JP5071962B2 - 負圧形成装置及びそのドレン排出方法 - Google Patents
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そのため特許文献1(特開平11−99379号公報)には、この問題点を解消するため、2基以上のドレン分離チャンバを並列に設置したガス吸引装置が開示されている。この装置を図8により説明する。
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置の該ドレン分離チャンバからドレンを排出する方法において、
前記減圧室に対して2基以上並列に設置した前記ドレン分離チャンバの一部に前記ガス抜き経路を連通させて前記減圧室の内部を減圧処理し、
他のドレン分離チャンバでは該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、
前記減圧工程と前記ドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り替え実施するようにし、
さらに、前記真空ポンプに設けた吸入口から外気を吸入し、前記ドレン分離チャンバに供給する吐出ガス量を増大させるようにしたことを特徴とする。
本発明方法において、好ましくは、ドレン分離チャンバをドレン排出工程から減圧工程に切り替えるに際し、まず真空ポンプにより該ドレン分離チャンバ内のガス圧を減圧室内のガス圧以下とした後、ドレン分離チャンバと減圧室とを連通させるようにするとよい。これによってドレン分離チャンバと減圧室とを連通させた時、ドレン分離チャンバ内のガスが減圧室内に逆流し、減圧室内のガス圧が増大するのを防止することができる。
減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、
前記減圧室に対して2基以上並列に設置され下部にドレン排出弁を備えたドレン分離チャンバと、
前記減圧室と該複数のドレン分離チャンバとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第1の配管及び弁機構と、
該複数のドレン分離チャンバと該真空ポンプとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第2の配管及び弁機構と、
該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に供給する第3の配管及び弁機構と、を備え、
該第1〜第3の配管及び弁機構を操作することにより、該減圧室の減圧処理と該ドレン分離チャンバのドレン排出処理とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り換え可能に構成し、
さらに、前記真空ポンプに開閉可能な外気吸入口を設けることにより、前記ドレン分離チャンバに供給する吐出ガス量を増大可能に構成したことを特徴とする。
このようにドレン分離チャンバを2基設ける場合、三方弁を用いることで、第1〜第3の配管及び弁機構を簡素化することができる。
(実施形態1)
当初、即ち図3に示す即ち(初期状態)において、減圧室1及びドレン分離チャンバ2及び3は大気圧の状態となっている。
(実施形態2)
(実施形態3)
2,3 ドレン分離チャンバ
4 真空ポンプ
5,6,7,8 電動三方弁
11,12,13,14,15,16 ガス抜き経路
19,20 ドレン排出弁
21 逆止弁
22,23,24 吐出ガス経路
25,26,45 開閉弁
41 吸入口
42,43,44 吐出口
Claims (7)
- 減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置の該ドレン分離チャンバからドレンを排出する方法において、
前記減圧室に対して2基以上並列に設置した前記ドレン分離チャンバの一部に前記ガス抜き経路を連通させて前記減圧室の内部を減圧処理し、
他のドレン分離チャンバでは該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を導入して該ドレン分離チャンバ内を大気圧より高圧の雰囲気とした後、ドレン排出弁を開放することにより、該ドレン分離チャンバからドレンを排出し、
前記減圧工程と前記ドレン排出工程とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り替え実施するようにし、
さらに、前記真空ポンプに設けた吸入口から外気を吸入し、前記ドレン分離チャンバに供給する吐出ガス量を増大させるようにしたことを特徴とするドレン排出方法。 - 前記ドレン分離チャンバを前記ドレン排出工程から前記減圧工程に切り替えるに際し、まず前記真空ポンプにより該ドレン分離チャンバ内のガス圧を前記減圧室内のガス圧以下とした後、該ドレン分離チャンバと該減圧室とを連通させることを特徴とする請求項1に記載のドレン排出方法。
- 減圧室からドレン分離チャンバを経て真空ポンプに至るガス抜き経路を設けた負圧形成装置において、
前記減圧室に対して2基以上並列に設置され下部にドレン排出弁を備えたドレン分離チャンバと、
前記減圧室と該複数のドレン分離チャンバとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第1の配管及び弁機構と、
該複数のドレン分離チャンバと該真空ポンプとの間のガス抜き経路を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に接続する第2の配管及び弁機構と、
該真空ポンプの吐出ガスの少なくとも一部を該複数のドレン分離チャンバに切り換え可能に供給する第3の配管及び弁機構と、を備え、
該第1〜第3の配管及び弁機構を操作することにより、該減圧室の減圧処理と該ドレン分離チャンバのドレン排出処理とを該複数のドレン分離チャンバで順次切り換え可能に構成し、
さらに、前記真空ポンプに開閉可能な外気吸入口を設けることにより、前記ドレン分離チャンバに供給する吐出ガス量を増大可能に構成したことを特徴とする負圧形成装置。 - 前記ドレン排出弁の下流側に設けたドレン排出管に外気が前記ドレン分離チャンバに侵入することを防止する逆止弁を設けたことを特徴とする請求項3に記載の負圧形成装置。
- 前記ドレン分離チャンバが2基設けられ、前記第1の配管及び弁機構が、三方弁と、前記減圧室と該三方弁とを結ぶ第1のガス抜き経路と、該三方弁と各水分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第2及び第3のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項3に記載の負圧形成装置。
- 前記ドレン分離チャンバが2基設けられ、前記第2の配管及び弁機構が、三方弁と、前記真空ポンプと該三方弁とを結ぶ第1のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第2及び第3のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項3に記載の負圧形成装置。
- 前記ドレン分離チャンバが2基設けられ、前記第3の配管及び弁機構が、三方弁と、前記真空ポンプの吐出口と該三方弁とを結ぶ第1のガス抜き経路と、該三方弁と各ドレン分離チャンバとをそれぞれ結ぶ第2及び第3のガス抜き経路とで構成されたことを特徴とする請求項3に記載の負圧形成装置。
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