JP2010287800A - 有機デバイスの製造装置並びに有機デバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に有機化合物層を含む複数の薄膜層を積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記各薄膜層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を備え、このレーザ加工部は、前記各薄膜層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成する。
【選択図】図1
Description
実施例1では、ガラス基板上に透明電極層としてのITO(酸化インジウム錫)膜を設け、この透明電極層にレーザにより微細加工を施した。具体的には、レーザはエルビウム系光パルスエネルギーモデルのフェムト秒(fs)ファイバーレーザであり、レーザ波長1560nm、レーザフルエンス1.5J/cm2、パルス幅1ps、繰り返し周波数195kHz、に設定してレーザアブレーションによる微細加工を行った。尚、連続的に前記レーザによる加工を施すために、基板を載置した加工ステージを200mm/secで適宜移動させた。
実施例2では、ガラス基板に透明電極層として設けたITO上に、有機化合物層としてのCuPc(p型半導体層:20nm)とC60(n型半導体層:50nm)とから成る積層膜を設け、この有機化合物層にレーザにより微細加工を施した。尚、レーザフルエンスを0.2J/cm2とした以外は実施例1と同条件である。
実施例3では、ガラス基板/ITO(透明電極層)/CuPc(p型半導体層:20nm)/C60(n型半導体層:50nm)/LiF(電子注入層:0.5nm)/Al(金属電極層:150nm)から成る有機薄膜太陽電池の金属電極層にレーザにより微細加工を施した。尚、レーザフルエンスを1.0J/cm2とした以外は実施例1と同条件である。
比較例1では、実施例1,2における透明電極層と有機化合物層の吸収率を測定した。一般的なシリコン系薄膜太陽電池の加工では、YAGレーザが多く用いられている。YAGレーザの波長は、基本波である1064nmと第二高調波532nmの二種類を用いて薄膜の加工を行っているが、レーザ波長に対する材料の吸収率が高いと、レーザエネルギーを効率良く加工に使うことができることから、図8から明らかなように、レーザ波長1560nmの実施例1,2で使用したレーザを用いることにより、YAGレーザに比し高品質な透明電極層の加工が可能となる。また、有機化合物層に関しても、波長1000nm以上で吸収があるため、レーザエネルギーが加工に有効利用される。尚、YAGレーザの第二高調波では有機化合物層の吸収率が低く、吸収されないレーザエネルギーは熱となり、有機化合物層に熱影響が発生する。実施例1,2におけるフェムト秒レーザとYAGレーザの加工状態の比較を図9に示す。図9より、フェムト秒レーザを用いることで、熱影響の少ない加工ができることが確認できる。
特開2004−247099の表1〜3において、実施例1〜3と同等のフルエンスでパルス幅が20psのレーザを用いて透明電極層の加工を行っている。一般的にパルス幅が長いほど加工量は大きくなるが加工対象物に与える熱影響は大きくなり、熱による盛り上がりや溶融だれが起きる。また、特開2004−247009の段落[0059]に走査速度が0.1mm/secが良好であると記載があるが、極端に遅い速度のため大面積では加工時間が長くなり、更にパルスのオーバーラップが大きくなるので熱影響を避けられない。実施例1では1psの短いパルス幅のレーザ、走査速度200mm/secを用いているので、加工対象物の熱影響を低減し高速且つ高品質な加工を実現できる。比較結果を図10に示す。
比較例3では、照射するレーザ光のフルエンスを0.08J/cm2として、それ以外は実施例2と同条件で実験を行った。
比較例4では、照射するレーザ光のフルエンスを1.6J/cm2として、それ以外は実施例3と同条件で実験を行った。
Claims (12)
- 基板上に有機化合物層を含む複数の薄膜層を積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記各薄膜層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を備え、このレーザ加工部は、前記各薄膜層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成したことを特徴とする有機デバイスの製造装置。
- 基板上に第一電極層、有機化合物層、第二電極層を順次積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を備え、このレーザ加工部は、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成したことを特徴とする有機デバイスの製造装置。
- 仕込室と、プラズマ洗浄室、有機成膜室、スパッタ室、CVD室、電極蒸着室、封止室、グローブボックス室等の一つ若しくは複数種の処理室と、この処理室に基板を搬送する搬送室とから成り、前記仕込室と前記処理室とを前記搬送室の周囲に気密を保持したまま一連に基板を処理加工できるように放射状に設け、前記各処理室に対する基板の搬送を前記搬送室を介して行うように構成し、基板上に第一電極層、有機化合物層、第二電極層を順次積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記処理室として、前記第一電極層、前記有機化合物層若しくは前記第二電極層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を有するレーザ加工室を設けて、このレーザ加工室の前記レーザ加工部は、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成したことを特徴とする有機デバイスの製造装置。
- 仕込室と、プラズマ洗浄室、有機成膜室、スパッタ室、CVD室、電極蒸着室、封止室、グローブボックス室等の一つ若しくは複数種の処理室とを気密を保持したまま一連に基板を処理加工できるように直列に設け、基板を保持した搬送体を前記各室内を順次通過させることで前記各処理室により基板を処理加工して、基板上に第一電極層、有機化合物層、第二電極層を順次積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記処理室として、前記第一電極層、前記有機化合物層若しくは前記第二電極層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を有するレーザ加工室を設けて、このレーザ加工室の前記レーザ加工部は、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工するように構成したことを特徴とする有機デバイスの製造装置。
- 前記レーザ加工室を複数設け、この各レーザ加工室において前記レーザ加工部により、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層のいずれか1つ以上の層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工を行うように構成したことを特徴とする請求項3,4のいずれか1項に記載の有機デバイスの製造装置。
- 前記処理室として設けるプラズマ洗浄室、有機成膜室、スパッタ室、CVD室、電極蒸着室、封止室及び前記レーザ加工室内の雰囲気は、真空雰囲気若しくは不活性ガスなどによる非酸化性雰囲気としたことを特徴とする請求項3〜5のいずれか1項に記載の有機デバイスの製造装置。
- 基板上に有機化合物層を含む複数の薄膜層を積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造方法であって、前記各薄膜層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工することを特徴とする有機デバイスの製造方法。
- 基板上に第一電極層、有機化合物層、第二電極層を順次積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造方法であって、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工することを特徴とする有機デバイスの製造方法。
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- 仕込室と、プラズマ洗浄室、有機成膜室、スパッタ室、CVD室、電極蒸着室、封止室、グローブボックス室等の一つ若しくは複数種の処理室とを気密を保持したまま一連に基板を処理加工できるように直列に設け、基板を保持した搬送体を前記各室内を順次通過させることで前記各処理室により基板を処理加工して、基板上に第一電極層、有機化合物層、第二電極層を順次積層して成る有機デバイスを製造する有機デバイスの製造装置であって、前記処理室として、前記第一電極層、前記有機化合物層若しくは前記第二電極層を夫々レーザアブレーション加工するレーザ加工部を有するレーザ加工室を設けた有機デバイスの製造装置を用い、前記レーザ加工室において、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工することを特徴とする有機デバイスの製造方法。
- 前記レーザ加工室を複数設けた有機デバイスの製造装置を用い、前記各レーザ加工室において、前記第一電極層、前記有機化合物層及び前記第二電極層のいずれか1つ以上の層に、夫々1000〜1600nmの範囲で同一の波長の短パルスレーザを0.1〜1.5J/cm2のフルエンスで照射してレーザアブレーション加工を行うことを特徴とする請求項9,10のいずれか1項に記載の有機デバイスの製造方法。
- 前記処理室として設けるプラズマ洗浄室、有機成膜室、スパッタ室、CVD室、電極蒸着室、封止室及び前記レーザ加工室内の雰囲気は、真空雰囲気若しくは不活性ガスなどによる非酸化性雰囲気とすることを特徴とする請求項9〜11のいずれか1項に記載の有機デバイスの製造方法。
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