JP2010280518A5

JP2010280518A5 -

Info

Publication number: JP2010280518A5
Application number: JP2009133253A
Authority: JP
Filing date: 2009-06-02
Publication date: 2012-03-15
Anticipated expiration: 2029-06-02

Description

さらに、図４に示すように、ルツボ１と蓋３との取り付けに際し、ルツボ１と蓋３の外周端２ａとの間に帯状の粘着部材６を介在させることが好ましい。まず、図４（ａ）に示すように、ルツボ１の開口部２の外周端２ａに帯状の粘着部材６を取り付ける。次いで、図４（ｂ）に示す粘着部材５を具える蓋３を準備し、図４（ｃ）に示すように、第一の屈曲部４ａが開口部２の周端面２ｂと接触し、かつ、第二の屈曲部４ｂが帯状の弾性部材６と接触するように、ルツボ１に蓋３を取り付ける。かような構成の蓋３を、ルツボ１の開口部２に装着すると、開口部２が確実に塞がれ、ルツボ１に付着した原料粉等が例えばラッピングに導かれて内部に案内されるような事態は未然に防がれるから、ルツボ内への異物の侵入を更に確実に回避できる。また、このような帯状の粘着部材６を介在させた蓋３の取り付けにより、ルツボ１の容器としての密封性が更に向上することから、例えば蓋３とルツボ１との間から浸透して入り込む水分等の異物の浸入防止に有効である。更に、弾性部材を介して蓋３が取り付けられることから、蓋３とルツボ１との間の摩擦力が向上し、蓋３の取付けがより堅固なものとなる。そのことから、輸送中の振動による蓋の外れに起因したルツボ１の汚染や、蓋３がルツボ１に対し移動することが抑制され、そのことに起因した摩耗粉の発生が防止されるので、かかる摩耗粉のルツボ１内への侵入を回避することが可能となる。
また、図５（ａ）〜（ｃ）に示すように、ルツボ１と蓋３との間に帯状の弾性部材６を介在させて、ルツボ１に蓋３を取り付けた後に、ルツボ１の外面に沿ったカップ状の弾性部材７をルツボ１に装着し、かかるカップ状弾性部材７の端部を蓋３のフランジ部４の第二の屈曲部４ｂに係止して取り付けるような構成とすることも可能である。かかる構成を採用することにより、ルツボ１の容器として密封性が更に向上するとともに、蓋３の取り付けが更に堅固なものとなり、振動等により蓋３が外れにくくなる。

Claims

石英ガラスルツボの開口部に装着する蓋であって、前記開口部の外周端に密着するフランジ部と、前記開口部の周端面に接する領域に配設された粘着部材とを有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
請求項１に記載の蓋において、前記粘着部材が弾性を有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
請求項１または２に記載の蓋において、前記フランジ部は、ルツボ側に向かって２段階にわけて屈曲して径方向外側に延びる段差形状を有し、
前記段差形状は、径方向内側にある第一の屈曲部と、径方向外側にある第二の屈曲部からなり、
前記第一の屈曲部は、前記粘着部材を介して前記開口部の周端面に接し、
前記第二の屈曲部は、前記開口部の外周端側に接することを特徴とする石英ガラス用蓋。
請求項１〜３のいずれか一項に記載の蓋において、少なくとも内面の金属成分の付着量が0.05ng／cm^２以下であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
請求項１〜４のいずれか一項に記載の蓋において、可撓性を有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
請求項１〜５のいずれか一項に記載の蓋において、識別子を有することを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
請求項１〜６のいずれか一項に記載の蓋において、少なくとも一部が透明であることを特徴とする石英ガラスルツボ用蓋。
開口部に円盤状の蓋を有する石英ガラスルツボであって、前記蓋は、前記開口部の外周端に密着するフランジ部と、前記開口部の周端面に接する領域に配設された粘着部材とを有しており、該蓋のフランジ部を前記開口部の外周端に密着させて蓋を固定してなることを特徴とする石英ガラスルツボ。
単結晶シリコンを製造するに際し、石英ガラスルツボ内に多結晶シリコンを装入後、該多結晶シリコンの溶融を行うまでの待機期間は、請求項１〜８のいずれか一項に記載の蓋を、前記石英ガラスルツボの開口部に装着することを特徴とする石英ガラスルツボの取り扱い方法。