JP2010269957A5 - - Google Patents

Description

本実施例では、下地層７としてシランカップリング剤より成る皮膜を使用したが、下地層７の種類については、本実施例においてはどのようなものでも良い。例えばポリシロキ酸、アクリル樹脂、エポキシ樹脂など、使用波長において実質的に透明であれば特に限定されるものではない。本実施例では、光学素子１の形状として、メニスカス形状のレンズを例にとり示したが、本実施例はこの形状に限定されるものではない。例えば両凹形状のレンズ，両凸形状のレンズ，平凸形状のレンズ，平凹形状のレンズ，メニスカス形状の正レンズ，非球面レンズ，自由曲面レンズでも良い。又プリズムなど、どんな形状の光学素子でも良い。これは以下の実施例においても同様である。

図２では，塗膜２８，保護膜２９ともデフォルメされ，非常に厚く描かれているが，塗膜２８と保護膜２９の実際の厚さは各々１〜１００μｍ程度である。また，保護膜２９は，塗膜２８の端部も含め全体を覆うように形成するのが望ましい。非光線有効部であるコバ部２３の内面反射防止用の下地層２７、塗膜２８を形成後、光線有効部のレンズ面２２ｂに微細凹凸形状の構造部を有する反射防止構造体２５を形成した。反射防止構造体２５の形成方法は次のとおりである。光線有効部のレンズ面２２ｂを純粋リンス，アルコールで洗浄し、レンズ面２２ｂを上向きに真空チャック式の回転ステージに載せた。光学素子２１の光線有効部のレンズ面２２ｂの中央に酸化アルミニウムを含有する塗布液を適量滴下し、３０００ｒｐｍで３０秒間回転させ、１００℃以上のオーブンで３０分以上かけて焼成した。ここでは、スピン塗工条件を約３０００ｒｐｍで３０秒間程度としたが、本実施例はこれに限定するものではなく、所望の膜厚を得るために塗工条件を変えても構わない。また，スピンコート法に限らず，ディップコート法、スプレーコート法などを用いても良い。

Claims (10)

1. 透明な基板の光入出射面のうち少なくとも１面に反射防止膜を形成した光学素子であって、該光学素子の側端のコバ部は粗面より成り、該粗面の上に使用波長域で実質透明な皮膜を一層以上形成した下地層と、該下地層の上に使用波長において実質不透明な塗膜が形成されていることを特徴とする光学素子。
2. 前記光学素子のコバ部の粗面の表面粗さｒｍｓは
   ５μｍ＜ｒｍｓ＜２０μｍ
   なる条件を満足することを特徴とする請求項１に記載の光学素子。
3. 前記下地層の厚さＤは、
   ０．１ｎｍ＜Ｄ＜１００ｎｍ
   なる条件を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載の光学素子。
4. 前記下地層の少なくとも１つの皮膜はシランカップリング剤より成ることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光学素子。
5. 前記透明な基板はアルカリ金属を１％以上含有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光学素子。
6. 前記塗膜は、樹脂および使用波長域において、不透明成分を含有し、さらに添加剤又は硬化剤のうち、少なくとも一方を含有することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の光学素子。
7. 前記塗膜は、形成後に温水処理および樹脂軟化点の焼成工程を介して形成されたものであることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の光学素子。
8. 前記不透明成分は、コールタール，コールタールピッチ，染料，顔料，不透明微粒子のうち，いずれか一つ以上を含有することを特徴とする請求項６に記載の光学素子。
9. 前記塗膜は、黒色顔料又は黒色染料の少なくとも１つを含有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか一項に記載の光学素子。
10. 請求項１乃至９のいずれか１項に記載の光学素子を、一以上有していることを特徴とする光学系。