JP2010267722A - 荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法 - Google Patents

Abstract

【目的】検証しながら効率の優れたデータ処理を行なうことが可能な描画装置を提供することを目的とする。
【構成】描画装置１００は、設計データファイルを順次転送処理する転送処理回路２１４と、複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムで設計データを描画データに変換する第１番目のデータ処理と、通過したカバレッジポイントについて更新処理を行なう第１番目のデータ処理回路２２２ａと、更新処理で書き換えが行なわれた場合に当該描画データを検証するデータ処理回路２２２ｃと、第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を行なう第ｎ番目のデータ処理回路２２２ｎと、第ｎ番目のデータ処理が行なわれた各データに基づいて制御された電子ビームを用いてパターンを描画する描画部１５０と、を備え、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理と第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行なうことを特徴とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、荷電粒子ビーム描画装置及び荷電粒子ビーム描画方法に係り、特に、パターンレイアウトが定義された設計データを変換して電子ビーム描画装置で使用されるデータを生成する手法及びその装置に関する。

半導体デバイスの微細化の進展を担うリソグラフィ技術は半導体製造プロセスのなかでも唯一パターンを生成する極めて重要なプロセスである。近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスに要求される回路線幅は年々微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ所望の回路パターンを形成するためには、高精度の原画パターン（レチクル或いはマスクともいう。）が必要となる。ここで、電子線（電子ビーム）描画技術は本質的に優れた解像性を有しており、高精度の原画パターンの生産に用いられる。

図１４は、従来の可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。
可変成形型電子線（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ）描画装置は、以下のように動作する。第１のアパーチャ４１０には、電子線３３０を成形するための矩形例えば長方形の開口４１１が形成されている。また、第２のアパーチャ４２０には、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０を所望の矩形形状に成形するための可変成形開口４２１が形成されている。荷電粒子ソース４３０から照射され、第１のアパーチャ４１０の開口４１１を通過した電子線３３０は、偏向器により偏向され、第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１の一部を通過して、所定の一方向（例えば、Ｘ方向とする）に連続的に移動するステージ上に搭載された試料に照射される。すなわち、第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１との両方を通過できる矩形形状が、Ｘ方向に連続的に移動するステージ上に搭載された試料３４０の描画領域に描画される。第１のアパーチャ４１０の開口４１１と第２のアパーチャ４２０の可変成形開口４２１との両方を通過させ、任意形状を作成する方式を可変成形方式という。

かかる電子ビーム描画を行なうにあたり、まず、半導体集積回路のレイアウトが設計され、パターンレイアウトが定義されたレイアウトデータ（設計データ）が生成される。そして、従来は、外部装置でかかるレイアウトデータが変換され、電子線描画装置に入力可能な描画データが生成される。そして、描画データを電子線描画装置に一括転送入力して、電子線描画装置内で、描画データに基づいて、さらに、複数段の変換処理の末に電子線描画装置内のフォーマットのデータに変換されて描画される。

しかしながら、ＬＳＩの高集積化に伴って電子ビーム描画装置が処理するデータ量が膨大なものとなってきた。そのため、電子ビーム描画装置とオフラインになる外部装置で生成する描画データの生成時間や、生成された描画データを電子ビーム描画装置へと一括転送する際の転送時間が増大し、全体としての描画時間を増大させてしまうといった問題があった。そして、これは同時に描画されるマスクの製造コストが大きくなる原因にもなっている。そのため、発明者は、複数の設計データファイルを描画装置内に順次転送処理し、転送処理から続く複数段の各データ処理がパイプライン処理になるようにデータ処理を行ない、データ処理が行なわれた各データに基づいてパターンを描画するといった技術を開発した（例えば、特許文献１参照）。これにより転送時間やデータ処理時間を短縮できるようになった。

特開２００８−０３４４３９号公報

ここで、データ変換処理機能に不具合が内在する可能性がある場合に、変換された描画データが正しく変換できているかどうかを検証することが望ましい。データ変換処理をオフラインで行う場合には、変換後のデータを検証した後で描画装置内に転送することができるが、これでは描画装置へ一括転送する際の転送時間が増大し、全体としての描画時間を増大させてしまうといった問題が残ってしまう。一方、描画装置内でデータ変換処理を行う場合には変換前のデータを入力するのでデータ入力前にデータ検証を行なうことができない。描画装置内でデータ変換処理を行った後にオフラインでデータ検証を行なうことは可能であるが、それでは、せっかくパイプライン処理にて効率化を図った意味が無くなってしまう。

以上のように、描画装置内のデータ変換処理機能に不具合が内在する可能性がある場合に、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証することが望ましい。しかし、従来、効率よく変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証する手法が確立されていなかった。

本発明は、かかる問題点を克服し、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証しながら効率の優れたデータ処理を行なうことが可能な描画装置および方法を提供することを目的とする。

本発明の一態様の荷電粒子ビーム描画装置は、
第１と第２の記憶装置と、
複数のカバレッジポイントと各カバレッジポイントの通過の有無を示す情報とが定義されたカバレッジポイント情報ファイルを記憶する第３の記憶装置と、
パターンレイアウトが定義された所定の領域毎の複数の設計データファイルを外部から第１の記憶装置に順次転送処理する転送処理部と、
各設計データファイルを第１の記憶装置から順次読み出し、上述した複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムを用いて各設計データファイル内の設計データを所定のフォーマットの描画データに変換する第１番目のデータ処理を上述した転送処理とパイプライン処理になるように行ない、第１番目のデータ処理後の描画データを第２の記憶装置に記憶させ、第１番目のデータ処理をおこなった際に通過したカバレッジポイントについて第３の記憶装置に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルでは未通過を示している場合に通過を示す情報に書き換える更新処理を行なう第１番目のデータ処理部と、
各描画データを第２の記憶装置から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に第３の記憶装置に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルの更新処理で上述した書き換えが行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する検証処理を転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理とがパイプライン処理になるように行なう検証部と、
各描画データを前記第２の記憶装置から順次読み出し、第１番目のデータ処理とは異なる第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理と第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行なう第ｎ番目のデータ処理部と、
第１番目から第ｎ番目のデータ処理と検証処理とが行なわれた各データを第２の記憶装置から読み出し、読み出された各データに基づいて制御された荷電粒子ビームを用いて試料に所定のパターンを描画する描画部と、
を備えたことを特徴とする。

かかる構成により、転送時間と描画データへの変換時間と検証処理時間とその後のデータ処理時間とを重ねることができる。さらに、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証できる。さらに、カバレッジポイント情報ファイルの更新処理で書き換えが行なわれた場合に検証する。

また、検証部は、更新処理で書き換えが行なわれなかった第１番目のデータ処理後の描画データに対して検証処理を行なわないように構成すると好適である。

また、検証部は、更新処理で書き換えが行なわれた第１番目のデータ処理後の描画データに対して当該第１番目のデータ処理前の設計データを用いて検証処理を行なうと好適である。

或いは、転送処理部は、さらに、既に描画に使用された使用済み描画データを外部から前記第１の記憶装置に転送処理し、
検証部は、更新処理で書き換えが行なわれた第１番目のデータ処理後の描画データに対して使用済み描画データを用いて検証処理を行なうように構成しても好適である。

本発明の一態様の荷電粒子ビーム描画方法は、
パターンレイアウトが定義された所定の領域毎の複数の設計データファイルを外部から第１の記憶装置に順次転送処理する工程と、
各設計データファイルを第１の記憶装置から順次読み出し、複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムを用いて各設計データファイル内の設計データを所定のフォーマットの描画データに変換する第１番目のデータ処理を転送処理とパイプライン処理になるように行ない、第１番目のデータ処理後の描画データを第２の記憶装置に記憶させ、第１番目のデータ処理をおこなった際に通過したカバレッジポイントについて、複数のカバレッジポイントと各カバレッジポイントの通過の有無を示す情報とが定義されたカバレッジポイント情報ファイルを記憶する第３の記憶装置に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルでは未通過を示している場合に通過を示す情報に書き換える更新処理を行なう工程と、
各描画データを第２の記憶装置から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に第３の記憶装置に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルの更新処理で上述した書き換えが行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する検証処理を転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理とがパイプライン処理になるように行なう工程と、
各描画データを第２の記憶装置から順次読み出し、第１番目のデータ処理とは異なる第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理と第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行なう工程と、
第１番目から第ｎ番目のデータ処理と検証処理とが行なわれた各データを第２の記憶装置から読み出し、読み出された各データに基づいて制御された荷電粒子ビームを用いて試料に所定のパターンを描画する工程と、
を備えたことを特徴とする。

本発明によれば、転送時間と描画データへの変換時間と検証処理時間とその後のデータ処理時間とを重ねることができるので、効率の優れたデータ処理を行なうことができる。よって、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証しながら効率の優れたデータ処理を行なうことができる。その結果、大幅に描画時間を短縮させることができる。

実施の形態１における描画装置の構成を示す概念図である。 実施の形態１における電子ビーム描画方法の要部工程を示すフローチャート図である。 実施の形態１におけるカバレッジポイントを組み込む手法とカバレッジポイントが組み込まれる前後のデータ変換プログラムの一部の一例とカバレッジポイント情報ファイルの一例とを示す図である。 実施の形態１におけるデータ処理の流れを示す概念図である。 実施の形態１における制御回路の処理フローの一例を示す図である。 実施の形態１における制御回路と転送処理回路とデータ処理回路との間での信号送受信の様子を説明するための概念図である。 実施の形態１における転送処理回路の処理フローの一例を示す図である。 実施の形態１におけるデータ処理回路の処理フローの一例を示す図である。 実施の形態１におけるカバレッジポイント情報の更新を説明するための概念図である。 実施の形態１におけるカバレッジポイント情報ファイルの更新の様子を説明するための図である。 実施の形態１におけるパイプライン処理を説明するためのフロー図である。 実施の形態２におけるデータ処理の流れを示す概念図である。 実施の形態３におけるデータ処理の流れを示す概念図である。 従来の可変成形型電子線描画装置の動作を説明するための概念図である。

以下、実施の形態では、荷電粒子ビームの一例として、電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは、電子ビームに限るものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームでも構わない。また、荷電粒子ビーム装置の一例として、荷電粒子ビーム描画装置、特に、可変成形型の電子ビーム描画装置について説明する。

図１は、実施の形態１における描画装置の構成を示す概念図である。図１において、描画装置１００は、描画部１５０と制御部１６０を備えている。描画装置１００は、電子ビーム描画装置の一例である。描画部１５０は、描画室１０３と描画室１０３の上部に配置された電子鏡筒１０２を備えている。電子鏡筒１０２内には、電子銃２０１、照明レンズ２０２、第１のアパーチャ２０３、投影レンズ２０４、偏向器２０５、第２のアパーチャ２０６、対物レンズ２０７、及び偏向器２０８を有している。そして、描画室１０３内には、ＸＹステージ１０５が配置され、ＸＹステージ１０５上に描画対象となる試料１０１が配置される。制御部１６０は、制御ユニット１１２と制御ユニット２１２を有している。制御ユニット１１２は、制御回路１１０、複数のデータ処理回路１２２から構成されるデータ処理回路群１２０、ハードディスク装置等の記憶装置１２４、及び同じくハードディスク装置等の記憶装置１２６を備えている。そして、制御回路１１０と複数のデータ処理回路１２２と記憶装置１２４と記憶装置１２６とは、図示していないバスにより互いに接続されている。そして、制御ユニット１１２内の制御回路１１０は、複数のデータ処理回路１２２ａ、データ処理回路１２２ｂ、・・・データ処理回路１２２ｎから構成されるデータ処理回路群１２０の処理状況を管理する。また、制御ユニット２１２は、制御回路２１０、転送処理回路２１４、複数のデータ処理回路２２２から構成されるデータ処理回路群２２０、ハードディスク装置等の記憶装置２２４、同じくハードディスク装置等の記憶装置２２５、及び同じくハードディスク装置等の記憶装置２２６を備えている。そして、制御回路２１０と転送処理回路２１４と複数のデータ処理回路２２２と記憶装置２２４と記憶装置２２５と記憶装置２２６とは、図示していないバスにより互いに接続されている。そして、制御ユニット２１２内の制御回路２１０は、転送処理回路２１４、複数のデータ処理回路２２２ａ、データ処理回路２２２ｂ、データ処理回路２２２ｃ、・・・データ処理回路２２２ｎから構成されるデータ処理回路群２２０の処理状況を管理する。また、ここでは、各処理回路として、一例として、プログラムを実行させるＣＰＵ等の計算機を用いる。或いは、電気回路で処理内容を一部或いは全て回路構成した回路基板等を用いても構わない。図１では、本実施の形態１を説明する上で必要な構成部分以外については記載を省略している。描画装置１００にとって、通常、必要なその他の構成が含まれることは言うまでもない。

上述したように、電子ビーム描画を行なうにあたっては、まず、半導体集積回路のレイアウトが設計され、パターンレイアウトが定義されたレイアウトデータ（設計データ）が生成される。また、レイアウトデータは、通常、分散処理を行なうため、１チップの領域を所定の領域、例えば、短冊状或いはブロック状に仮想分割した領域毎にまとめられ、１つのデータファイル、すなわちレイアウトデータファイルを構成する。ここで、従来は、描画装置１００ではなく、外部装置でかかるレイアウトデータが電子ビーム描画装置に入力可能なフォーマットの描画データに変換されていた。そして出来上がった描画データを電子ビーム描画装置に一括転送入力して、電子ビーム描画装置内で描画データに基づいてさらに複数段の変換処理の末に電子ビーム描画装置内のフォーマットのデータに変換されて描画されていた。

しかしながら、実施の形態１では、外部装置でレイアウトデータを描画データに変換せずに、描画装置１００に外部の記憶装置３００に格納されているレイアウトデータを直接入力して、その後のデータ処理を展開していく構成としている。また、データ処理を展開していく中でデータ変換された描画データの検証も必要に応じて行なう構成としている。以下、そのフローに沿って実施の形態１における描画方法を説明する。

図２は、実施の形態１における電子ビーム描画方法の要部工程を示すフローチャート図である。図２において、電子ビーム描画方法は、制御ユニット２１２内で行なう処理として、レイアウトデータを転送する転送処理工程（Ｓ１０２）、描画データ変換処理工程（Ｓ１０４）、フォーマットチェック処理工程（Ｓ１０６）、更新フラグ判定工程（Ｓ１０８）、検証工程（Ｓ１１０）、その他の第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）、そして、制御ユニット１１２内で行なう処理として、その後の第ｎ＋１のデータ処理工程（Ｓ１２０）、その後の第ｎ＋ｋのデータ処理工程（Ｓ１２２）、そして、描画工程（Ｓ１２６）という一連の工程を実施する。

ここで、記憶装置（第３の記憶装置）には、複数のカバレッジポイントと各カバレッジポイントの通過の有無を示す情報とが定義されたカバレッジポイント情報ファイル１２と、カバレッジポイント情報ファイル１２が更新されたかどうかを示す更新フラグ情報ファイル１６とが記憶されている。実施の形態１では、レイアウトデータを描画データに変換するデータ変換プログラムに、予め、かかる複数のカバレッジポイントを組み込んでおく。

図３は、実施の形態１におけるカバレッジポイントを組み込む手法とカバレッジポイントが組み込まれる前後のデータ変換プログラムの一部の一例とカバレッジポイント情報ファイルの一例とを示す図である。カバレッジポイントの組み込みは、レイアウトデータを描画データに変換するデータ変換プログラムが新規に作成された場合やプログラムの一部が更新された場合等が生じたときに行なう。その際、カバレッジポイントを組み込んだデータ変換プログラム１４を作成するだけでなく、組み込んだカバレッジポイントに関するカバレッジポイント情報ファイル１２を作成する。

カバレッジポイントが組み込まれる前のデータ変換プログラム１１に対して、例えば、以下の場所にカバレッジポイントを組み込む。例えば、関数の先頭或いは最後に組み込む。データ変換プログラム１４では、”ＣＯＶＥＲＡＧＥ ＰＯＩＮＴｎ”で示されている。また、”ｉｆ”や”ｓｗｉｃｈ”が付いた文等のプログラムの分岐部に組み込む。データ変換プログラム１４では、”ＣＯＶＥＲＡＧＥ ＰＯＩＮＴｎ＋１”で示されている。また、ソースコードの任意行に組み込んでもよい。データ変換プログラム１４では、”ＣＯＶＥＲＡＧＥ ＰＯＩＮＴｎ＋２”で示されている。その他、ある変数の値が指定値或いは指定範囲になった場合にカバレッジポイントを更新するように組み込んでも好適である。以上のように、データ変換プログラム１４には、複数のカバレッジポイントが組み込まれる。図３の例では、３つのカバレッジポイントを示しているが、実際のデータ変換プログラム１４では、多数のカバレッジポイントが組み込まれる。かかるカバレッジポイント抽出設定処理は、ユーザーが確認しながら手作業でおこなってもよいし、或いは、設定項目を予め決めておき、例えば、カバレッジポイント抽出設定処理回路１０によって、かかる設定項目に該当する箇所に自動的にカバレッジポイントが設定されるように構成してもよい。

また、組み込まれた複数のカバレッジポイントは、カバレッジポイント情報ファイル１２に定義される。カバレッジポイント情報ファイル１２には、各カバレッジポイントについて、組み込まれた箇所のデータ変換プログラム１４内の関数名と行番号と通過フラグとが定義される。通過フラグは、カバレッジポイントの通過の有無を示す情報となり、最初は”０”に設定される。そして、一度通過すると”１”に更新されることになる。すなわち、”０”では当該カバレッジポイントは通過していないことを示し、”１”では当該カバレッジポイントは通過したことを示す。

図４は、実施の形態１におけるデータ処理の流れを示す概念図である。図４において、データ転送処理とデータ変換処理とデータ検査処理とデータ検証処理と、・・・データ転送処理とが行われることを示している。

図２のＳ１０２において、転送処理工程として、転送処理回路２１４は、所定の領域毎の複数のレイアウトデータファイルを外部から描画装置１００内の記憶装置２２４（第１の記憶装置）に順次転送し、記憶させる。

ここで、レイアウトデータファイルの転送に先立って、まず、制御ユニット２１２内の制御回路２１０の処理フローが実行される。

図５は、実施の形態１における制御回路の処理フローの一例を示す図である。図５のＳ２０２において、転送対象データ均一化処理として、制御ユニット２１２内の制御回路２１０は、転送対象となるレイアウトデータファイル群を転送するにあたり、後述するパイプライン処理１回当たりのデータ転送単位のデータサイズがパイプライン処理に適したサイズとなるようにレイアウトデータファイルをグループ化する。すなわち、複数のレイアウトデータファイルを１回の転送に対して１つずつ転送するのではなく、パイプライン処理に適したサイズとなるように少なくとも１つのレイアウトデータファイルを含む所定のデータサイズのファイル群でグループ化する。各レイアウトデータファイルのファイルサイズの情報は、予め入力しておけばよい。このようにグループ化することで、データ処理の負荷を均一化し、一方で処理が終了したが他方では処理が終了せずにパイプライン処理が停滞してしまうといった後述するパイプライン処理に支障をきたさないようにすることができる。

図５のＳ２０４において、各処理回路の状況判定工程として、制御回路２１０は、レイアウトデータファイルの転送に先立って、まず、制御ユニット２１２内の各処理回路への処理要求が出せる状況か、言い換えれば、処理時間に空きがあるかどうかを判定する。空きがなければ、空きができまでＳ２０４を繰り返す。空きがあればＳ２０６に進む。

図５のＳ２０６において、処理要求送信工程として、制御回路２１０は、制御ユニット２１２内の各処理回路への処理要求信号を送信する。

図６は、実施の形態１における制御回路と転送処理回路とデータ処理回路との間での信号送受信の様子を説明するための概念図である。図６に示すように、制御回路２１０は、制御ユニット２１２内の転送処理回路２１４や各データ処理回路２２２への処理要求信号を送信する。そして、処理要求信号を受けた各処理回路は、自身の負荷情報や処理の終了情報といった実行計算機情報を制御回路２１０に返信する。このように返信を受けることで制御回路２１０は、制御ユニット２１２内の各処理回路の処理情報を把握することができる。よって、これらの各処理回路を管理することができる。

図５のＳ２０８において、処理状況の判定工程として、制御回路２１０は、全データの処理が終了したかどうかを判定する。終了していなければＳ２０４に戻る。終了していればフローを終了する。

そして、上述した処理要求信号を受けた転送処理回路２１４側でも処理フローが実行される。

図７は、実施の形態１における転送処理回路の処理フローの一例を示す図である。図７のＳ３０２において、転送データ有無の判定工程として、転送処理回路２１４は、外部の記憶装置３００に転送すべきレイアウトデータファイルのグループが有るかどうかを判定する。なければフローを終了する。あればＳ３０４に進む。

図７のＳ３０４において、記憶領域判定工程として、転送処理回路２１４は、転送先となる記憶装置２２４の記憶領域にまだ転送データを受け入れるだけの空きがあるかどうかを判定する。空きがある場合にはＳ３０８に進む。空きがない場合にはＳ３０６に進む。

図７のＳ３０６において、待機工程として、転送処理回路２１４は、転送先となる記憶装置２２４の記憶領域に転送データを受け入れるだけの空きができるまで処理フローを待機させる。そして、予め設定した所定の待機時間が経過しても記憶領域に空きができなない場合には処理フローを終了させる。

図７のＳ３０８において、データ転送処理工程として、転送処理回路２１４は、グループ化されたレイアウトデータ群を記憶装置２２４に転送する。

図７のＳ３１０において、転送エラー判定工程として、転送処理回路２１４は、転送処理にエラーが生じたかどうかを判定する。そして、エラーが生じた場合には、リトライするためにＳ３１２に進む。エラーが生じなかった場合にはＳ３１４に進む。

図７のＳ３１２において、リトライ回数判定工程として、転送処理回路２１４は、リトライ回数を判定する。そして、リトライ回数が予め設定した規定回数ｋｍａｘを超えていない場合には、Ｓ３０８に進み、データ転送処理を再度実行する。そして、予め設定した規定回数ｋｍａｘを超えている場合には処理フローを終了させる。

図７のＳ３１４において、登録工程として、転送処理回路２１４は、転送済みのデータ情報を変換キューへ登録する。以上のように、各転送処理に対して上述した図５の各ステップを実行しながら、順次、レイアウトデータファイルの各グループの転送処理を実行していく。

図２のＳ１０４において、描画データ変換工程（第１のデータ処理工程）として、第１のデータ処理回路の一例となるデータ処理回路２２２ａは、各レイアウトデータファイルを記憶装置２２４から順次読み出す。そして、読み出した各レイアウトデータファイル内のレイアウトデータに対して上述した複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムを用いて所定のフォーマットの描画データに変換する第１番目のデータ処理を描画装置１００内で上述した転送処理とパイプライン処理になるように行なう。そして、処理後の描画データを描画装置１００内の記憶装置２２６（第２の記憶装置）に記憶させる。さらに、データ処理回路２２２ａは、第１番目のデータ処理をおこなった際に通過したカバレッジポイントについて記憶装置２２５に記憶されたカバレッジポイント情報ファイル１２では通過フラグが未通過”０”を示している場合に通過を示すフラグ”１”（通過を示す情報）に書き換える更新処理を行なう。さらに、データ処理回路２２２ａは、更新処理を行なう場合には、更新フラグ情報ファイル１６に”１”を書き込み、更新処理を行なわない場合には、”０”を書き込む。具体的には、以下のような処理フローが実行される。

図８は、実施の形態１におけるデータ処理回路の処理フローの一例を示す図である。図８のＳ４０２において、変換キュー有無の判定工程として、第１番目のデータ処理を行なうデータ処理回路２２２ａは、変換キューの有無を判定する。制御回路２１０から処理要求信号を受けておらず変換キューの登録が無い場合には処理フローを終了する。制御回路２１０から処理要求信号を受けて変換キューが登録されている場合（すなわち、変換キュー有りの場合）にはＳ４０４に進む。ここでは、データ処理回路２２２ａが判定しているが、データ処理回路群２２０を管理する図示しない別のＣＰＵ等を設けて、そこで判定処理を実行させてもよい。或いは、データ処理回路群２２０を管理する制御回路２１０が判定してもよい。
図８のＳ４０３において、判定工程として、第１番目のデータ処理を実行する例えばデータ処理回路２２２ａは、処理内容がデータ変換かどうかを判定する。そして、いずれかの場合にはＳ４０４に進み、いずれでもない場合、例えば、データ検査処理或いはデータ検証処理等の場合にはＳ４０８へスキップする。

図８のＳ４０４において、記憶領域判定工程として、第１番目のデータ処理を実行する例えばデータ処理回路２２２ａは、処理後の格納先となる出力領域（ここでは記憶装置２２６の記憶領域）に処理後のデータを受け入れるだけの空きがあるかどうかを判定する。空きがある場合にはＳ４０８に進む。空きがない場合にはＳ４０６に進む。

図８のＳ４０６において、待機工程として、第１番目のデータ処理を実行する例えばデータ処理回路２２２ａは、転送先となる記憶装置２２６の記憶領域に処理後のデータを受け入れるだけの空きができるまで処理フローを待機させる。そして、予め設定した所定の待機時間が経過しても記憶領域に空きができなない場合には処理フローを終了させる。

図８のＳ４０８において、データ処理工程として、第１番目のデータ処理を実行する例えばデータ処理回路２２２ａは、各レイアウトデータファイルを記憶装置２２４から順次読み出す。そして、読み出した各レイアウトデータファイル内のレイアウトデータに対して描画装置１００用のフォーマットの描画データに変換する。データ処理回路２２２ａは、さらに、以下のようなカバレッジポイントの更新と更新フラグの書き換えを行なう。

図９は、実施の形態１におけるカバレッジポイント情報の更新を説明するための概念図である。例えば、図９（ａ）に示すように、カバレッジポイント情報ファイル１２では、最初、すべてのカバレッジポイント通過フラグに”０”が定義されている。すなわち、ファイル作成時にはすべて”０”に初期化される。そして、パイプライン処理に適したサイズとしてグループ化されたファイル群のレイアウトデータについて、データ変換処理を行った結果、カバレッジポイントｎとカバレッジポイントｎ＋１とを通過したとする。かかる場合、データ処理回路２２２ａは、図９（ｂ）に示すように、通過したカバレッジポイントｎとカバレッジポイントｎ＋１について、カバレッジポイント情報ファイル１２の通過フラグに”１”を書き込むことで更新処理を行なう。図９（ｂ）の例では、関数「ｆｕｎｃ１」の行番号「３」に配置されたカバレッジポイントｎのカバレッジポイント通過フラグに”１”が書き込まれる。また、関数「ｆｕｎｃ１」の行番号「５」に配置されたカバレッジポイントｎ＋１のカバレッジポイント通過フラグに”１”が書き込まれる。また、データ処理回路２２２ａは、更新有無のチェック処理として、例えば、書き込み先の通過フラグとの間で排他的論理和演算（ＸＯＲ演算）を行うなどして、カバレッジポイント情報ファイル１２の複数の通過フラグの中に”０”から”１”に変わったものがあるかどうかをチェックする。そして、データ処理回路２２２ａは、更新フラグ情報１６への書き換え処理として、通過フラグの中に”０”から”１”に変わったものが１つ以上あった場合には、更新フラグ情報１６に”１”を書き込む。また、通過フラグの中に”０”から”１”に変わったものがまったく無い場合には、更新フラグ情報１６に”０”を書き込む。或いは、まず、更新フラグ情報１６を”０”に初期化した後、通過フラグの中に”０”から”１”に変わったものが１つ以上あった場合にだけ、更新フラグ情報１６に”１”を書き込むようにしてもよい。

図１０は、実施の形態１におけるカバレッジポイント情報ファイルの更新の様子を説明するための図である。まず、データ変換処理が一度も行なわれていないカバレッジポイント情報ファイル１２ａでは、通過フラグがすべて”０”に初期化されている。そして、データ処理回路２２２ａは、例えば、記憶装置２２４からレイアウトデータファイル１，２のグループを処理単位として読み出し、データ変換処理を行なう。そして、変換後の描画データは記憶装置２２６に格納される。その際、関数「ｆｕｎｃ１」の行番号「３」に配置されたカバレッジポイントｎを通過した場合に、カバレッジポイント情報ファイル１２ｂで示すように、かかるカバレッジポイント通過フラグに”１”が書き込まれる。次に、データ処理回路２２２ａは、例えば、記憶装置２２４からレイアウトデータファイル３のグループを処理単位として読み出し、データ変換処理を行なう。そして、変換後の描画データは記憶装置２２６に格納される。その際、新たなカバレッジポイントを通過しなかった場合、カバレッジポイント情報ファイル１２ｃで示すように、更新処理において通過フラグへの書き込みは行なわれない。続いて、データ処理回路２２２ａは、例えば、記憶装置２２４からレイアウトデータファイル４，５のグループを処理単位として読み出し、データ変換処理を行なう。そして、変換後の描画データは記憶装置２２６に格納される。その際、関数「ｆｕｎｃ１」の行番号「７」に配置されたカバレッジポイントｎ＋２を通過した場合に、カバレッジポイント情報ファイル１２ｄで示すように、かかるカバレッジポイント通過フラグに”１”が書き込まれる。

カバレッジポイント情報ファイル１２の更新処理と、更新有無のチェック処理と、更新フラグ情報１６への書き換え処理は、パイプライン処理に適したサイズとしてグループ化されたファイル群がデータ変換処理される毎に行なう。カバレッジポイント情報ファイル１２の更新処理はデータ変換処理をおこなった結果必要がある場合に行なってもよい。また、更新フラグ情報１６は、パイプライン処理に適したサイズとしてグループ化されたファイル群毎に設けられる。これにより、各グループの処理を並列に行なった際に他のグループでの書き換え処理時に上書きされてしまうことを防げる。よって、各グループの処理を並列に行なうことができる。

図１１は、実施の形態１におけるパイプライン処理を説明するためのフロー図である。実施の形態１では、レイアウトデータ群の各グループに対して上述した転送処理から後述する第ｎ番目のデータ処理までパイプライン処理になるように行なう。図１１では、レイアウトデータファイル１，２からなるレイアウトデータ群の処理データグループを転送処理（データ転送）から第１番目のデータ処理（プロセス１：描画データ変換）、第２番目のデータ処理（プロセス２：フォーマット検査）、データ検証（プロセス３）と続き、・・・そして第ｎ番目のデータ処理（プロセスｎ）までがパイプライン構成されている。ここで、データ検証処理は、描画データ変換後であれば、第２番目のデータ処理のフォーマット検査を含む第ｎ番目までのデータ処理のいずれの前或いは後で行なうようにしても構わない。

図１１の例では、転送処理回路２１４は、レイアウトデータファイル１，２からなるレイアウトデータ群の処理データグループの転送処理となるデータ転送（１）に続き、次の処理データグループの転送処理となるデータ転送（２）、データ転送（３）、・・・と順次転送処理を行なう。また、第１番目のデータ処理を行なう例えばデータ処理回路２２２ａは、データ転送（１）が終わったレイアウトデータファイル１，２からなるレイアウトデータ群の処理データグループのデータ変換処理となるデータ変換（１）に続き、次の処理データグループのデータ変換処理となるデータ変換（２）、データ変換（３）、・・・と順次データ変換処理を行なう。そして、第２番目のデータ処理を行なう例えばデータ処理回路２２２ｂは、データ変換（１）が終わったレイアウトデータファイル１，２からなるレイアウトデータ群の処理データグループのフォーマット検査処理となるフォーマット検査（１）に続き、次の処理データグループのフォーマット検査処理となるフォーマット検査（２）、フォーマット検査（３）、・・・と順次フォーマット検査処理を行なう。そして、例えばデータ処理回路２２２ｃは、フォーマット検査（１）が終わったレイアウトデータファイル１，２からなるレイアウトデータ群の処理データグループのデータ検証処理となるデータ検証（１）に続き、次の処理データグループのデータ検証処理となるデータ検証（２）、データ検証（３）、・・・と順次、後述する判定工程（Ｓ１０８）の結果に応じてデータ検証処理を行なう。このように、パイプライン処理で進めることで、転送時間と第１のデータ処理となる描画データ変換処理にかかる時間と検証時間とその他のデータ処理にかかる時間とが重なり合うため大幅な時間短縮を図ることができる。そして、第１番目のデータ処理以降の処理後の描画データは描画装置１００内の記憶装置２２６（第２の記憶装置）に記憶される。

以上のようにパイプライン処理で進めるにあたって、上述したように、転送処理の際に転送に失敗した場合でもＳ３１０及びＳ３１２でリトライを続ける処理を実行することで、パイプライン処理をやり直さなくても済むようにすることができる。さらに、転送処理の際にＳ３０４で記憶装置２２４の領域の空きを待ち、記憶領域が不足していた場合に、スペースができるまで処理を中断し、スペースができた時点で再開するように処理することで、同様にパイプライン処理をやり直さなくても済むようにすることができる。同様に、Ｓ４０４で記憶装置２２６の領域の空きを待ち、記憶領域が不足していた場合に、スペースができるまで処理を中断し、スペースができた時点で再開するように処理することで、同様にパイプライン処理をやり直さなくても済むようにすることができる。

図８のＳ４１０において、登録工程として、データ処理回路２２２ａは、データ処理済みのデータ情報を変換キューへ登録する。

図８のＳ４１２において、判定工程として、最終段のデータ処理回路２２２ｎによるデータ処理でない場合、すなわち、データ処理されたプロセスｍが第ｎ番目のプロセスｎでない場合には、Ｓ４０２に戻る。データ処理回路２２２ｎによるデータ処理が終了した場合にはＳ４１４に進む。

図８のＳ４０２に戻って、変換キュー有無の判定工程として、今度は第２番目のデータ処理を行なうデータ処理回路２２２ｂが変換キューの有無を判定する。ここでは、データ処理回路２２２ｂが判定しているが、データ処理回路群２２０を管理する図示しない別のＣＰＵ等を設けて、そこで判定処理を実行させてもよい。或いは、データ処理回路群２２０を管理する制御回路２１０が判定してもよい点は同様である。そして、図８のＳ４０３において、判定工程として、第２番目のデータ処理を実行する例えばデータ処理回路２２２ｂは、処理内容がデータ変換かどうかを判定する。そして、いずれかの場合にはＳ４０４に進み、いずれでもない場合、例えば、データ検査処理（フォーマットチェック処理）或いはデータ検証処理等の場合にはＳ４０８へスキップする。ここでは、フォーマットチェック処理を行なう第２番目のデータ処理を想定しているので、Ｓ４０８へスキップすることになる。

図２のＳ１０６（第２回目の図８のＳ４０８でもある）において、フォーマットチェック処理工程（第２のデータ処理工程）として、第２のデータ処理回路の一例となるデータ処理回路２２２ｂは、各描画データを記憶装置２２６から順次読み出し、各描画データに対してそれぞれフォーマットチェック処理を行なう第２番目のデータ処理を行なう。データ処理結果は制御回路２１０或いは制御ユニット２１２内の回路が接続可能な図示しないメモリ等に出力される。

そして、図８のＳ４１０において、登録工程として、データ処理回路２２２ｂは、データ処理済みのデータ情報を変換キューへ登録する。そして、図８のＳ４１２でデータ処理回路２２２ｎによるデータ処理が終了したかどうかを判定する。そして、終了していない場合には、第３回目のＳ４０２からＳ４１２までを実行する。

図８のＳ４０２に戻って、変換キュー有無の判定工程として、今度は第３番目のデータ処理となるデータ検証処理を行なうデータ処理回路２２２ｃが変換キューの有無を判定する。ここでは、データ処理回路２２２ｃが判定しているが、データ処理回路群２２０を管理する図示しない別のＣＰＵ等を設けて、そこで判定処理を実行させてもよい。或いは、データ処理回路群２２０を管理する制御回路２１０が判定してもよい点は同様である。そして、データ検証処理時は、描画データを別のデータにデータ処理するためのプロセスではないので、処理後のデータを記憶装置２２６に格納する必要はない。よって、図８のＳ４０３において、判定工程として、例えばデータ処理回路２２２ｃは、処理内容がデータ変換かどうかを判定する。そして、いずれでもない場合、例えば、データ検査処理（フォーマットチェック処理）或いはデータ検証処理等の場合にはＳ４０８へスキップする。ここでは、データ検証処理を想定しているので、図８のＳ４０４とＳ４０６は省略して、図８のＳ４０８に進む。

図２のＳ１０８（第３回目の図８のＳ４０８の一部でもある）において、フラグ判定工程（第３番目のデータ処理の一部）として、検証部の一例となるデータ処理回路２２２ｃは、記憶装置２２５から更新フラグ情報ファイル１６を読み出し、更新フラグ情報ファイル１６に”１”が書き込まれているかどうかを判定する。言い換えれば、当該第１番目のデータ処理時に記憶装置２２５に記憶されたカバレッジポイント情報ファイル１２の更新処理でいずれかの通過フラグに”０”から”１”への書き換えが行なわれたかどうかを判定する。更新フラグ情報ファイル１６に”１”が書き込まれているか場合には検証を行ない、更新フラグ情報ファイル１６に”０”が書き込まれているか場合には検証を行なわず検証工程をスキップ（省略）する。言い換えれば、データ処理回路２２２ｃは、更新処理で通過フラグへの書き換えが行なわれなかった第１番目のデータ処理後の描画データに対して検証処理を行なわないように構成する。各グループのデータ変換処理を順次行なっていくうちに、同じカバレッジポイントを通過する場合が生じる。その際には、更新処理で通過フラグへの書き換えが行なわれないが、既に通過フラグが”１”となっている箇所は以前に検証が済んでいるのでここでは検証を行なわずに済ませて構わない。このように、既に１回検証が終わっているデータ変換プログラムの該当箇所については、検証しないことにすることで、すべてのデータを検証する場合に比べて検証時間を大幅に短縮することができる。

図２のＳ１１０（第３回目の図８のＳ４０８の残りの一部でもある）において、データ検証工程（第３番目のデータ処理の残りの一部）として、検証部の一例となるデータ処理回路２２２ｃは、各描画データを記憶装置２２６から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に記憶装置２２５に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルの更新処理が行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する。また、検証処理は、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理とがパイプライン処理になるように行なわれる。検証方法は、例えば、ＸＯＲ演算を行なう。

実施の形態１では、さらに、各レイアウトデータファイルを記憶装置２２４から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理前のレイアウトデータを用いて検証処理を行なう。すなわち、データ変換後の描画データがデータ変換前のレイアウトデータと同様の図形を示すデータに正確に変換できているかどうかを検証する。そして、検証結果は、記憶装置２２５に格納する。また、検証の結果、正確にデータ変換できていない場合には、エラーとして、図２で示したフローチャートに沿ったデータ処理全体を停止させ、検証結果を制御回路２１０或いは制御ユニット２１２内の回路が接続可能な図示しないメモリや図示しないモニタ等に出力する。検証の結果、正確にデータ変換できている場合には、以降のデータ処理へと進む。もちろん、検証の結果、正確にデータ変換できている場合でも検証結果を制御回路２１０或いは制御ユニット２１２内の回路が接続可能な図示しないメモリや図示しないモニタ等に出力しても構わないことは言うまでもない。

そして、図８のＳ４１０において、登録工程として、データ処理回路２２２ｃは、データ処理済みのデータ情報を変換キューへ登録する。そして、図８のＳ４１２でデータ処理回路２２２ｎによるデータ処理が終了したかどうかを判定する。そして、終了していない場合には、第４回目のＳ４０２からＳ４１２までを実行する。

そして、図２のＳ１０８（第ｎ回目の図６のＳ４０８でもある）において、第ｎ番目のデータ処理工程として、第ｎ番目のデータ処理部となるデータ処理回路２２２ｎは、各描画データを記憶装置２２６から順次読み出し、第１番目のデータ処理とは異なる第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理と第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行ない、処理内容がデータ変換を伴った場合には第ｎ番目のデータ処理後のデータを第２の記憶装置に記憶させる。処理内容がフォーマット検査或いはデータ検証である場合には、その結果は制御回路２１０或いは制御ユニット２１２内の回路が接続可能な図示しないメモリや図示しないモニタ等に出力される。ここでは、第ｎ番目のデータ処理は、第３番目のデータ処理より後の処理を示しているが、第２番目或いは第３番目のデータ処理であっても構わない。例えば、検証工程の後にフォーマット検査工程を行ない、かかるフォーマット検査工程が最終段のデータ処理工程であってもよい。すなわち、データ検証処理を除けば、ｎ≧２であればよい。或いは、上述したように、例えば、フォーマット検査工程の後に検証工程を行ない、かかる検証工程が最終段のデータ処理工程であってもよい。すなわち、データ検証処理を含めれば、ｎ≧３であればよい。

そして、図８のＳ４１０において、登録工程として、データ処理回路２２２ｃは、データ処理済みのデータ情報を変換キューへ登録する。そして、図８のＳ４１２でデータ処理回路２２２ｎによるデータ処理が終了したかどうかを判定する。

そして、Ｓ４１４において、データ転送処理工程として、データ処理回路２２２ｎは、第ｎ番目までの処理が終了したレイアウトデータ群のグループを記憶装置２２６から制御ユニット１１２の記憶装置１２４に転送する。

また、最終段のデータ処理回路２２２ｎは、第ｎ番目までの処理が終了した各データ変換済みデータの情報を削除する。ここでは、例えばデータ処理回路２２２ｎが代表して削除しているが、各データ処理回路２２２が削除してもよい。或いは、データ処理回路群２２０を管理する図示しない別のＣＰＵ等を設けて、そこで削除処理を実行させてもよい。或いは、データ処理回路群２２０を管理する制御回路２１０が削除処理を実行してもよい。

そして、データ処理回路２２２ｎは、第ｎ番目までの処理が終了したレイアウトデータ群のグループを記憶装置２２４から削除する。第ｎ番目までの処理が終了したデータを順次削除していくことで、記憶装置２２４の記憶領域を空けることができ、後段の転送データを順次記憶することができる。

さらに、データ処理回路２２２ｎは、第ｎ番目までの処理が終了したレイアウトデータ群のグループを記憶装置２２６から削除する。第ｎ番目までの処理が終了したデータを順次削除していくことで、記憶装置２２６の記憶領域を空けることができ、後段のデータ処理される各グループのデータを順次記憶することができる。

図８では、Ｓ４０２からＳ４１４まで進んだ後に、またＳ４０２に戻って繰り返す図になっているが、１つのグループがＳ４０２からＳ４１４まで終了した後に次のグループの処理を行なうのではなく、以上の各ステップをレイアウトデータ群の各グループについてパイプライン処理になるように実行していく。

そして、次に制御ユニット１１２にて描画するまでに必要な残ったデータ処理を実行していく。

図２のＳ１２０において、第ｎ＋１番目のデータ処理工程として、第ｎ＋１のデータ処理回路の一例となるデータ処理回路１２２ａは、制御ユニット２１２でデータ処理された各描画データを記憶装置１２４から順次読み出し、各描画データに対してそれぞれ所定のデータ処理の第ｎ＋１番目のデータ処理を行なう。そして処理後のデータを記憶装置１２６に記憶させる。

そして、第ｎ＋１番目から第ｎ＋ｋ番目のデータ処理を順に行なっていき、描画するための最終データ、例えばショットデータを作成する。

すなわち、図２のＳ１２２において、第ｎ＋ｋ番目のデータ処理工程として、第ｎ＋ｋのデータ処理回路の一例となるデータ処理回路１２２ｋは、各描画データを記憶装置１２６から順次読み出し、各描画データに対してそれぞれ所定のデータ処理の第ｎ＋ｋ番目のデータ処理を行なう。そして処理後のデータを記憶装置１２６に記憶させる。

以上のように、記憶装置２２６から第ｎ番目のデータ処理が行なわれた各データを読み出し、読み出された各データに基づいて、制御ユニット１１２でさらにデータ処理される。そして、図２のＳ１２６において、描画工程として、描画部１５０は、最終段の描画装置内フォーマットデータで制御された電子ビーム２００を用いて試料１０１に所定のパターンを描画する。言い換えれば、描画に用いる電子ビーム２００は、第ｎ番目のデータ処理が行なわれた各データに基づいて制御されている。描画部１５０の具体的な動作について以下に説明する。

電子銃２０１から出た荷電粒子線の一例となる電子ビーム２００は、照明レンズ２０２により矩形、例えば長方形の穴を持つ第１のアパーチャ２０３全体を照明する。ここで、電子ビーム２００をまず矩形、例えば長方形に成形する。そして、第１のアパーチャ２０３を通過した第１のアパーチャ像の電子ビーム２００は、投影レンズ２０４により第２のアパーチャ２０６上に投影される。かかる第２のアパーチャ２０６上での第１のアパーチャ像の位置は、偏向器２０５によって制御され、ビーム形状と寸法を変化させることができる。そして、第２のアパーチャ２０６を通過した第２のアパーチャ像の電子ビーム２００は、対物レンズ２０７により焦点を合わせ、偏向器２０８により偏向されて、移動可能に配置されたＸＹステージ１０５上の試料１０１の所望する位置に照射される。

以上のように、実施の形態１では、転送時間と描画データへの変換時間と検証時間とその後のデータ処理時間とを重ねることができる。さらに、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証できる。さらに、データ変換処理時にカバレッジポイント情報を自動的に更新するので、既に検証したカバレッジポイント箇所の検証を省くことができる。これにより、必要以上に検証に時間をかけることを回避することができ、検証時間を短縮することができる。よって、効率の優れたデータ処理を行なうことができる。よって、変換された描画データが正しく変換されているかどうかを検証しながら効率の優れたデータ処理を行なうことができる。その結果、大幅に描画時間を短縮させることができる。

実施の形態２．
実施の形態１では、検証工程（Ｓ１１０）において変換前のレイアウトデータと変換後の描画データとを用いて検証を行なっていたが、これに限るものではない。実施の形態２では、描画工程（Ｓ１２６）で既に少なくとも一回使用された描画データ（使用済み描画データ）と、今回データ変換された描画データとを比較することで今回データ変換された描画データの検証を行なう場合について説明する。例えば、データ変換用プログラムのバージョンアップ（更新）が行なわれた場合に特に有効である。

図１２は、実施の形態２におけるデータ処理の流れを示す概念図である。図１２において、転送工程（Ｓ１０２）において、転送処理回路２１４が、既に少なくとも一回使用された描画データとなる旧変換データを外部の記憶装置３０２から入力し、記憶装置２２４に格納する点以外は図４と同様である。また、実施の形態２において、装置構成は図１と同様である。但し、外部の記憶装置３０２の図示は省略している。また、実施の形態２における電子ビーム描画方法の要部工程は、転送工程（Ｓ１０２）の内容と検証工程（Ｓ１１０）の内容とを除き図２と同様である。その他、特に記載しない内容は実施の形態１と同様である。

図２のＳ１０２において、転送処理工程として、転送処理回路２１４は、所定の領域毎の複数のレイアウトデータファイルを外部の記憶装置３００から描画装置１００内の記憶装置２２４（第１の記憶装置）に順次転送し、記憶させる。また、転送処理回路２１４は、所定の領域毎に対応する、既に少なくとも一回使用された描画データとなる旧変換データ（使用済み描画データ）を外部の記憶装置３０２から描画装置１００内の記憶装置２２４（第１の記憶装置）に順次転送し、記憶させる。そして、描画データ変換処理工程（Ｓ１０４）から更新フラグ判定工程（Ｓ１０８）までの各工程を実施の形態１と同様に実施する。

図２のＳ１１０において、データ検証工程として、検証部の一例となるデータ処理回路２２２ｃは、各描画データを記憶装置２２６から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に記憶装置２２５に記憶されたカバレッジポイント情報ファイルの更新処理が行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する。また、検証処理は、転送処理と第１番目のデータ処理と検証処理とがパイプライン処理になるように行なわれる。検証方法は、例えば、ＸＯＲ演算を行なう。

実施の形態２では、各旧変換データを記憶装置２２４から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理で問題なしとして描画に用いられた旧変換データを用いて検証処理を行なう。すなわち、データ変換後の描画データが以前に問題が起こらなかった旧変換データとなる描画データと同様の図形を示すデータに正確に変換できているかどうかを検証する。そして、検証結果は、記憶装置２２５に格納する。

例えば、データ変換用プログラムのバージョンアップ（更新）が行なわれた場合に、更新箇所以外は、既に前回の描画の際に正確にデータ変換が行なわれたはずである。そのため、旧変換データは、更新箇所以外は正しくデータ変換されているはずである。よって、旧変換データを用いて検証することで、レイアウトデータと比較するよりもより検証精度が向上することが期待できる。

実施の形態３．
実施の形態１，２では、いずれも描画装置１００内で転送処理工程（Ｓ１０２）からその他の第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）までを行なっていたが、かかる工程をオフラインで行なうことを排除するものではない。実施の形態３では、かかる転送処理工程（Ｓ１０２）からその他の第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）までをオフラインで行なう構成について説明する。

図１３は、実施の形態３におけるデータ処理の流れを示す概念図である。図１３において、描画装置１００から制御ユニット２１２を取り出し、外部のデータ処理装置とした点以外は、図４と同様である。また、実施の形態３において、図１の制御ユニット２１２を外部のデータ処理装置とした点以外は図１と同様である。また、実施の形態３における電子ビーム描画方法の要部工程は、転送処理工程（Ｓ１０２）から第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）までを描画装置１００の外部で行なう点以外は、図２と同様である。

以上のように、転送処理工程（Ｓ１０２）から第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）までをオフラインでおこなった場合でも、転送処理工程（Ｓ１０２）から第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）までの処理時間を短縮できる点は実施の形態１と同様である。また、第ｎのデータ処理工程（Ｓ１１２）まで済んだ各データを描画装置１００内の記憶装置１２４に順次転送すれば、実施の形態１と同様の効果を得ることができる。

以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。

また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、可変成形型ＥＢ描画装置１００を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。

その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての荷電粒子ビーム描画装置、荷電粒子ビーム描画方法、荷電粒子線描画データの作成方法、荷電粒子線描画データの変換方法、及びそれらの装置は、本発明の範囲に包含される。

１０ カバレッジポイント抽出設定処理回路
１２ カバレッジポイント情報ファイル
１１，１４ データ変換プログラム
１６ 更新フラグ情報ファイル
１００ 描画装置
１０１，３４０ 試料
１０２ 電子鏡筒
１０３ 描画室
１０５ ＸＹステージ
１１０，２１０ 制御回路
１１２，２１２ 制御ユニット
１２０，２２０ データ処理回路群
１２２，２２２ データ処理回路
１２４，１２６，２２４，２２５，２２６，３００，３０２ 記憶装置
１５０ 描画部
１６０ 制御部
２００ 電子ビーム
２０１ 電子銃
２０２ 照明レンズ
２０３，４１０ 第１のアパーチャ
２０６，４２０ 第２のアパーチャ
２０４ 投影レンズ
２０５，２０８ 偏向器
２０７ 対物レンズ
２１４ 転送処理回路
３３０ 電子線
４１１ 開口
４２１ 可変成形開口
４３０ 荷電粒子ソース

Claims (5)

1. 第１と第２の記憶装置と、
   複数のカバレッジポイントと各カバレッジポイントの通過の有無を示す情報とが定義されたカバレッジポイント情報ファイルを記憶する第３の記憶装置と、
   パターンレイアウトが定義された所定の領域毎の複数の設計データファイルを外部から前記第１の記憶装置に順次転送処理する転送処理部と、
   各設計データファイルを前記第１の記憶装置から順次読み出し、前記複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムを用いて各設計データファイル内の設計データを所定のフォーマットの描画データに変換する第１番目のデータ処理を前記転送処理とパイプライン処理になるように行ない、第１番目のデータ処理後の描画データを前記第２の記憶装置に記憶させ、前記第１番目のデータ処理をおこなった際に通過したカバレッジポイントについて前記第３の記憶装置に記憶された前記カバレッジポイント情報ファイルでは未通過を示している場合に通過を示す情報に書き換える更新処理を行なう第１番目のデータ処理部と、
   各描画データを前記第２の記憶装置から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に前記第３の記憶装置に記憶された前記カバレッジポイント情報ファイルの更新処理で前記書き換えが行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する検証処理を前記転送処理と前記第１番目のデータ処理と前記検証処理とがパイプライン処理になるように行なう検証部と、
   各描画データを前記第２の記憶装置から順次読み出し、前記第１番目のデータ処理とは異なる第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を、前記転送処理と前記第１番目のデータ処理と前記検証処理と前記第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行なう第ｎ番目のデータ処理部と、
   前記第１番目から第ｎ番目のデータ処理と検証処理とが行なわれた各データを前記第２の記憶装置から読み出し、読み出された前記各データに基づいて制御された荷電粒子ビームを用いて試料に所定のパターンを描画する描画部と、
   を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム描画装置。
2. 前記検証部は、前記更新処理で前記書き換えが行なわれなかった前記第１番目のデータ処理後の描画データに対して前記検証処理を行なわないことを特徴とする請求項１記載の荷電粒子ビーム描画装置。
3. 前記検証部は、前記更新処理で前記書き換えが行なわれた前記第１番目のデータ処理後の描画データに対して当該第１番目のデータ処理前の設計データを用いて前記検証処理を行なうことを特徴とする請求項１又は２記載の荷電粒子ビーム描画装置。
4. 前記転送処理部は、さらに、既に描画に使用された使用済み描画データを外部から前記第１の記憶装置に転送処理し、
   前記検証部は、前記更新処理で前記書き換えが行なわれた前記第１番目のデータ処理後の描画データに対して前記使用済み描画データを用いて前記検証処理を行なうことを特徴とする請求項１又は２記載の荷電粒子ビーム描画装置。
5. パターンレイアウトが定義された所定の領域毎の複数の設計データファイルを外部から第１の記憶装置に順次転送処理する工程と、
   各設計データファイルを前記第１の記憶装置から順次読み出し、前記複数のカバレッジポイントが組み込まれたデータ変換プログラムを用いて各設計データファイル内の設計データを所定のフォーマットの描画データに変換する第１番目のデータ処理を前記転送処理とパイプライン処理になるように行ない、第１番目のデータ処理後の描画データを第２の記憶装置に記憶させ、前記第１番目のデータ処理をおこなった際に通過したカバレッジポイントについて、複数のカバレッジポイントと各カバレッジポイントの通過の有無を示す情報とが定義されたカバレッジポイント情報ファイルを記憶する第３の記憶装置に記憶された前記カバレッジポイント情報ファイルでは未通過を示している場合に通過を示す情報に書き換える更新処理を行なう工程と、
   各描画データを前記第２の記憶装置から順次読み出し、当該第１番目のデータ処理時に前記第３の記憶装置に記憶された前記カバレッジポイント情報ファイルの更新処理で前記書き換えが行なわれた場合に当該第１番目のデータ処理が行なわれた描画データを検証する検証処理を前記転送処理と前記第１番目のデータ処理と前記検証処理とがパイプライン処理になるように行なう工程と、
   各描画データを前記第２の記憶装置から順次読み出し、前記第１番目のデータ処理とは異なる第ｎ番目（ｎ≧２）のデータ処理を、前記転送処理と前記第１番目のデータ処理と前記検証処理と前記第ｎ番目のデータ処理とがパイプライン処理になるように行なう工程と、
   前記第１番目から第ｎ番目のデータ処理と検証処理とが行なわれた各データを前記第２の記憶装置から読み出し、読み出された前記各データに基づいて制御された荷電粒子ビームを用いて試料に所定のパターンを描画する工程と、
   を備えたことを特徴とする荷電粒子ビーム描画方法。

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