TWI526776B - Charged particle beam rendering device, format inspection device and format inspection method - Google Patents

Charged particle beam rendering device, format inspection device and format inspection method Download PDF

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Description

帶電粒子束描繪裝置、格式檢查裝置及格式檢查方法
本發明之實施形態，係有關於帶電粒子束描繪裝置、格式檢查裝置及格式檢查方法。
隨著近年來的大型積體電路(LSI)之高積體化及大容量化，半導體裝置所要求的電路線寬係日趨微小。為了形成半導體裝置所要求的電路圖案，係採用光刻技術，在此光刻技術方面，係進行：使用了被稱作遮罩(光罩)之原始影像圖案的圖案轉印。為了製造使用於此圖案轉印之高精密度的遮罩，係採用具有優異之解析度的帶電粒子束描繪裝置。
通常，在帶電粒子束描繪裝置中，係對於描繪資料進行檢查其格式之格式檢查(例如，參見日本發明專利公開公報2008-34439號)。此格式檢查係在資料傳輸和資料複製時等之時機而執行。此外，格式檢查有時會對於相同的描繪資料而以不同的檢查條件(檢查內容)作執行。另外，描繪資料，係例如，具有晶片階層、框階層、塊階層、單元階層及圖形階層這樣的階層構造之資料。
然而，如前述的具有階層構造之描繪資料的資料量大，在該描繪資料之格式檢查方面恐需要很長的時間。此外，若為了縮短該檢查時間而馬虎將格式檢查之一部分作省略，則恐變成無法進行正確的檢查。
本發明，係提供可實現檢查時間的縮短及正確的檢查之帶電粒子束描繪裝置、格式檢查裝置及格式檢查方法。
依照一個實施形態，帶電粒子束描繪裝置，係具備：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查的格式檢查部；描繪資料合格於利用了前述格式檢查部的檢查之情況下，生成與描繪資料相關之編碼資訊及與格式檢查相關之檢查資訊的資訊生成部；記憶藉資訊生成部而生成之編碼資訊及檢查資訊的資訊記憶部；對於描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢查的情況下，使用藉資訊記憶部作記憶之編碼資訊而對於描繪資料進行檢查之編碼檢查部；描繪資料合格於利用了編碼檢查部的檢查之情況下，對於藉資訊記憶部作記憶之檢查資訊進行檢查的資訊檢查部；以及依利用了資訊檢查部之檢查結果而改變格式檢查之處理內容而進行檢查之檢查執行部。
此外，依照另一個實施形態，格式檢查裝置，係具備：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查的格式檢查部；描繪資料合格於利用了前述格式檢查部的檢查之情況下，生成與描繪資料相關之編碼資訊及 與格式檢查相關之檢查資訊的資訊生成部；記憶藉資訊生成部而生成之編碼資訊及檢查資訊的資訊記憶部；對於描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢查的情況下，使用藉資訊記憶部作記憶之編碼資訊而對於描繪資料進行檢查之編碼檢查部；描繪資料合格於利用了編碼檢查部的檢查之情況下，對於藉資訊記憶部作記憶之檢查資訊進行檢查的資訊檢查部；以及依利用了資訊檢查部之檢查結果而改變格式檢查之處理內容而進行檢查之檢查執行部。
此外，依照另一個實施形態，格式檢查方法，係具有以下步驟：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查的步驟；描繪資料合格於利用了前述格式檢查的情況下，生成與描繪資料相關之編碼資訊及與格式檢查相關之檢查資訊的步驟；記憶所生成之編碼資訊及檢查資訊的步驟；對於描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢查的情況下，使用所記憶之編碼資訊而對於描繪資料進行檢查之步驟；描繪資料合格於使用了編碼資訊之檢查的情況下，對於所記憶之檢查資訊進行檢查的步驟；以及依利用了對於檢查資訊之檢查的檢查結果而改變格式檢查之處理內容而進行檢查的步驟。
11‧‧‧台
2‧‧‧描繪部
2a‧‧‧描繪室
2b‧‧‧光學鏡筒
21‧‧‧電子槍
22‧‧‧照明透鏡
23‧‧‧第1孔隙
24‧‧‧投影透鏡
25‧‧‧第1偏向器
26‧‧‧第2孔隙
27‧‧‧接物鏡
28‧‧‧第2偏向器
3‧‧‧控制部
3a‧‧‧描繪資料轉換部
3b‧‧‧描繪資料記憶部
3c‧‧‧格式檢查裝置
3d‧‧‧描繪控制部
31‧‧‧格式檢查部
32‧‧‧資訊生成部
33‧‧‧資訊記憶部
34‧‧‧編碼檢查部
35‧‧‧資訊檢查部
36‧‧‧檢查執行部
37‧‧‧資訊更新部
51‧‧‧圖案檢查裝置
52‧‧‧圖案檢查部
B‧‧‧電子束
BL‧‧‧塊階層
CL‧‧‧單元階層
CP‧‧‧晶片階層
FG‧‧‧圖形階層
FR‧‧‧框階層
W‧‧‧樣品
圖1，係對於第1實施形態相關之帶電粒子束描繪裝置的示意構成進行繪示之圖。
圖2，係供以說明第1實施形態相關之描繪資料的說 明圖。
圖3，係供以說明第1實施形態相關之格式檢查及資訊生成的說明圖。
圖4，係供以說明第1實施形態相關之按檢查內容的處理內容之說明圖。
圖5，係對於第1實施形態相關之檢查處理的流程進行繪示的流程圖。
圖6，係供以說明第1實施形態相關之檢查資訊檔的更新之一例的說明圖。
圖7，係供以說明第1實施形態相關之格式檢查及資訊生成的另一例之說明圖。
圖8，係供以說明第1實施形態相關之按檢查內容的處理內容之另一例的說明圖。
圖9，係供以說明第2實施形態相關之格式檢查及資訊生成的說明圖。
圖10，係供以說明第2實施形態相關之按檢查內容的處理內容之說明圖。
圖11，係供以說明第2實施形態相關之格式檢查及資訊生成的另一例之說明圖。
圖12，係供以說明第2實施形態相關之按檢查內容的處理內容之另一例的說明圖。
圖13，係對於第3實施形態相關之圖案檢查裝置的示意構成進行繪示之圖。
以下，參見圖式而說明本發明之實施形態。
(第1實施形態)
參見圖1至圖8而說明有關於第1實施形態。
如圖1所示，第1實施形態相關之帶電粒子束描繪裝置1，係具備：進行利用了帶電粒子束之描繪的描繪部2、及對於該描繪部2進行控制之控制部3。此帶電粒子束描繪裝置1，係在帶電粒子束方面採用例如電子束的可變型之描繪裝置的一例。另外，帶電粒子束非限於電子束者，亦可為離子束等之其他的帶電粒子束。
描繪部2，係具有：收容成為描繪對象之樣品W的描繪室2a、及連通於該描繪室2a之光學鏡筒2b。在描繪室2a內，係設有：支撐樣品W之台11。此台11係以可移動於在水平面內互相正交之X方向與Y方向的方式而形成，在該台11之載置面上，係載置：例如遮罩和素材(blank)等之樣品W。此外，在光學鏡筒2b內，係射出電子束B之電子槍21、對於該電子束B作聚光之照明透鏡22、射束成形用之第1孔隙23、投影用之投影透鏡24、射束成形用之第1偏向器25、射束成形用之第2孔隙26、將射束焦點對焦於樣品W上之接物鏡27、配置：供以控制相對於樣品W之射束射擊位置的第2偏向器28。
在此描繪部2中，係電子束B從電子槍21射出，藉照明透鏡22而照射於第1孔隙23。此第1孔隙23係具 有例如矩形狀之開口。藉此，若電子束B通過第1孔隙23，則該電子束之剖面形狀係成形為矩形狀，藉投影透鏡24而投影於第2孔隙26。另外，此投影位置係可藉第1偏向器25而偏向，可藉投影位置之變更而對於電子束B的形狀與尺寸進行控制。之後，通過第2孔隙26之電子束B，係其焦點藉接物鏡27對焦於台11上之樣品W而照射。此時，相對於台11上之樣品W的電子束B之射擊位置係藉第2偏向器28而控制。
控制部3，係具備：將所輸入之描繪資料轉換成描繪裝置用格式之描繪資料轉換部3a、將轉換結束的描繪資料作記憶之描繪資料記憶部3b、檢查該轉換結束的描繪資料之格式的格式檢查裝置3c、及基於檢查結束的描繪資料而對於描繪部2進行控制之描繪控制部3d。
描繪資料轉換部3a，係將是對於例如半導體積體電路等之佈局資料(設計資料和CAD資料等)進行轉換從而得到之資料的描繪資料轉換成描繪裝置用格式。另外，描繪資料，係從保管該描繪資料的資料庫等之記憶裝置(未圖示)透過例如有線或無線的網路而輸入至描繪資料轉換部3a。
描繪資料記憶部3b，係將藉描繪資料轉換部3a而轉換之描繪裝置用格式的描繪資料作記憶之記憶部。在此描繪資料記憶部3b方面，係例如，可使用磁碟裝置和半導體磁碟裝置(快閃記憶體)等。
格式檢查裝置3c，係在資料傳輸時等從描繪資料記 憶部3b將描繪裝置用格式的描繪資料作讀出，檢查該描繪資料之格式(細節後述)。另外，格式檢查裝置3c，係在描繪資料檢查合格時，將該合格之描繪資料發送至下個階段之描繪控制部3d，但在描繪資料成為不合格之情況下係宣告錯誤(錯誤的通知)。
描繪控制部3d，係基於送自格式檢查裝置3c之描繪裝置用格式的描繪資料而對於描繪部2進行控制。詳細而言，描繪控制部3d，係基於檢查合格之描繪資料，一邊使載置著樣品W之台11移動於例如X方向，一邊進行將電子束B藉偏向而射擊於台11上之樣品W的各既定位置之圖形描繪，之後，使台11步進移動於Y方向後與前述同樣方式進行圖形描繪，將此重複進行而對於樣品W之描繪區域進行利用了電子束B之描繪(描繪動作的一例)。
於此，前述之描繪資料，係如圖2所示，分層為：晶片階層CP、比該晶片階層CP還下位之框階層FR、比該框階層FR還下位之塊階層BL、比該塊階層BL還下位之單元階層CL、及比該單元階層CL還下位之圖形階層FG(階層構造)。另外，轉換前後之描繪資料的兩方被階層化。在如此之描繪資料中，若某階層為第1階層，則該第1階層之下階層成為第2階層，該第2階層之下階層成為第3階層。
在圖2之例中，係是晶片階層CP的要素群(晶片群)之一部分的晶片CP1對應於是框階層FR的要素群 (框群)之一部分的三個框FR1~FR3。此外，是框階層FR的要素群之一部分的框FR2對應於是塊階層BL的要素群(塊群)之一部分的十八個塊BL1~BL18。是塊階層BL的要素群之一部分的塊BL9對應於是單元階層CL的要素群(單元群)之一部分的四個單元CL1~CL4。單元階層CL的要素群之一部分的CL1對應於是圖形階層FG的要素群(圖形群)之一部分的複數個圖形FG1,FG2。
接著，詳細說明有關於前述之格式檢查裝置3c。
如圖1所示，格式檢查裝置3c，係具備：在第1次的檢查中對於描繪資料進行格式檢查之格式檢查部31、生成與格式檢查合格之描繪資料相關之編碼資訊及與格式檢查相關之檢查資訊的資訊生成部32、將該所生成之編碼資訊及檢查資訊作記憶之資訊記憶部33、在第2次之後的檢查中使用編碼資訊而檢查前述之描繪資料之編碼檢查部34、對於檢查資訊進行檢查之資訊檢查部35、依該檢查結果而改變格式檢查之處理內容而執行檢查之檢查執行部36、及將資訊記憶部33內之檢查資訊作更新之資訊更新部37。
格式檢查部31，係進行第1次之格式檢查的情況下，如圖3所示，從描繪資料記憶部3b將是描繪資料的資料1讀出，對於該資料1進行基於檢查內容之格式檢查。在此時之檢查內容方面，係例如，設定：「cell_max≦128」、「cell_level無」及「0≦date_type≦7」。
資訊生成部32，係如圖3所示，從格式檢查部31取得與檢查合格之資料1的編碼(code)和格式檢查(檢查內容)相關的資訊，生成資料1的編碼資訊檔及檢查資訊檔。
於此，在資料1的初次之格式檢查合格時，係例如，在編碼資訊檔中資料1的編碼以如「“file name”=“編碼1”」的方式被記述。再者，在檢查資訊檔中，係在〔檢查項目〕方面記述了「cell_max=“ON”」、「cell_level=“OFF”」及「date_type=“ON”」，在〔檢查參數〕方面記述了「cell_max=128」、「cell_level=non(無)」及「date_type=0-7(0以上至7以下的範圍)」。然後在最後，在編碼資訊檔中檢查資訊檔的編碼以如「inf_file=“編碼2”」的方式被寫入。另外，「cell_max」係指單元的最大尺寸，「cell_level」係指單元的等級(數值大者等級較高)，「date_type」係指資料的類型(種類)。
回到圖1，資訊記憶部33，係將送自資訊生成部32之資料1的編碼資訊檔及檢查資訊檔作記憶。在此資訊記憶部33方面，係例如，可使用磁碟裝置和半導體磁碟裝置(快閃記憶體)等。
編碼檢查部34，係進行第2次之後的格式檢查之情況下，從前述之描繪資料記憶部3b將是描繪資料的資料1讀入，同時從資訊記憶部33將資料1的編碼資訊檔作讀入，使用該編碼資訊檔而進行資料1的錯誤檢查(編碼 檢查)，亦即對於資料1的值與編碼資訊檔的「file name」之編碼1的值是否一致進行檢查。再者，編碼檢查部34，係使用該編碼資訊檔而進行檢查資訊檔的錯誤檢查(編碼檢查)，亦即亦對於檢查資訊檔的值與編碼資訊檔的「inf_file」之編碼2的值是否一致進行檢查。
另外，無資料1及檢查資訊檔的錯誤之情況下，亦即在資料1及檢查資訊檔檢查合格之情況下，係省略對於資料1之格式檢查(對於檢查內容之全檢查項目的檢查)。另一方面，在資料1或檢查資訊檔成為檢查不合格之情況下，係通知錯誤，之後，變成執行對於資料1之格式檢查(對於檢查內容之全檢查項目的檢查)。
資訊檢查部35，係資料1及檢查資訊檔檢查合格之情況下，檢查該檢查資訊檔而對於檢查資訊檔之變更進行檢測，亦即比較該檢查資訊檔內之檢查內容與本次的檢查內容而對於檢查內容之變更進行檢測(檢查資訊檔檢查)。此資訊檢查部35，係在檢測出檢查資訊檔內之檢查內容的變更時，將與該變更的檢測通知及變更內容相關之變更資訊發送至檢查執行部36。
檢查執行部36，係接收來自資訊檢查部35的檢測通知，再者，基於送自資訊檢查部35的變更資訊，追加執行與檢查資訊檔之變更內容對應之亦即與被變更之檢查內容(檢查項目)對應的格式檢查。
資訊更新部37，係基於前述之變更資訊而將變更內容應用於檢查資訊檔，將檢查資訊檔作更新(更新檢查資 訊檔)。再者，資訊更新部37係將編碼資訊檔的「inf_file」之編碼作改寫，將編碼資訊檔作更新(更新編碼資訊檔)。
於此，在第2次之後的檢查時，係例如，如圖4所示，無檢查內容之變更之情況下，處理內容僅成為「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」。另一方面，存在檢查項目之變更(追加)的情況下，亦即「cell_level」從「無」變更成「3」之情況下，處理內容係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外，變成「3.cell_level檢查」、「4.檢查資訊檔更新」及「5.編碼資訊檔更新」。此外，存在檢查參數之變更的情況下，亦即「cell_max」從「128」變更成「64」之情況下，處理內容係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外，變成「3.cell_max檢查」、「4.檢查資訊檔更新」及「5.編碼資訊檔更新」。如此變成處理內容依檢查內容而變。
在前述之編碼檢查中，係對於資料1與「file name」之編碼1的值是否一致進行檢查。該等值為一致之情況下，對於檢查資訊檔與「inf_file」之編碼2的值是否一致進行檢查。若該等值為一致，則在前述之檢查資訊檔檢查中，係根據檢查資訊檔的內容而判定檢查項目之變更的有無，若在本次的檢查中存在被變更(亦包含追加)之檢查項目，則執行對於該檢查項目之檢查。最後，成為檢查對象之檢查項目和檢查參數等被記述於檢查資訊檔而檢查資訊檔被更新，依該更新而編碼資訊檔的「inf_file」之 編碼亦被更新。
另外，前述之格式檢查部31和資訊生成部32、資訊記憶部33、編碼檢查部34、資訊檢查部35、檢查執行部36、資訊更新部37等，係可藉電路等之硬體、或者執行各功能的程式等之軟體而構成，再者，亦可藉該兩者的組合而構成。此外，前述之檢查處理，係可為逐次處理(順序處理)亦可為平行處理。再者，如前所述，對於1個描繪資料而生成一組之編碼資訊檔及檢查資訊檔，但並非限定於此者，例如，亦可採取對於描繪資料內之晶片的每者生成編碼資訊檔及檢查資訊檔。
接著，參見圖5而說明有關於前述之格式檢查裝置3c所進行之檢查處理的流程。
如圖5所示，對於檢查是否為第1次進行判斷(步驟S1)，若判斷為檢查係第1次(步驟S1之YES)，則從描繪資料記憶部3b讀入資料，藉格式檢查部31而執行對於該資料之格式檢查(步驟S2)。之後，對於資料是否格式檢查合格進行判斷(步驟S3)，若判斷為資料係格式檢查未合格亦即不合格(步驟S3之NO)，則通知指出該意旨之錯誤(步驟S4)，處理回到步驟S1。另一方面，在判斷為資料係格式檢查合格之情況下(步驟S3之YES)，係藉資訊生成部32而生成資料的編碼資訊檔及檢查資訊檔，於資訊記憶部33保存該等檔案(步驟S5)。
於此，例如，如圖3所示，檢查內容為「cell_max ≦128」、「cell_level無」及「0≦date_type≦7」之情況下，資料1於初次之格式檢查合格時，於編碼資訊檔寫入資料1的編碼1。再者，在檢查資訊檔中，係在〔檢查項目〕方面，寫入「cell_max=“ON”」、「cell_level=“OFF”」及「date_type=“ON2」，再者，在〔檢查參數〕方面，寫入「cell_max=128」、「cell_level=non」及「date_type=0-7」。之後，在編碼資訊檔案中，係寫入檢查資訊檔的編碼2。
在前述之步驟S1中，若判斷為檢查非第一次，亦即若判斷為係第二次之後(步驟S1之NO)，則從描繪資料記憶部3b讀入資料，同時從資訊記憶部33讀入檢查資訊檔，藉編碼檢查部34而執行對於該等資料及檢查資訊檔之編碼檢查(步驟S6)。之後，對於資料及檢查資訊檔是否編碼檢查合格進行判斷(步驟S7)，若判斷為資料及檢查資訊檔為編碼檢查未合格亦即若判斷為不合格(步驟S7之NO)，則通知指出該意旨之錯誤(步驟S8)，處理回到步驟S1。另外，在步驟S4或步驟S8中，若通知錯誤，則變成執行對於資料的全檢查項目之格式檢查。
另一方面，在前述之步驟S7中，在判斷為資料及檢查資訊檔係編碼檢查合格之情況下(步驟S7之YES)，係藉資訊檢查部35而執行檢查資訊檔的檢查(步驟S9)，對於檢查內容是否被變更進行判斷(步驟S10)。之後，若判斷為檢查內容未被變更(步驟S10之NO)，則處理回到步驟S1，另一方面，若判斷為檢查內容被變 更(步驟S10之YES)，則僅被變更的檢查項目之格式檢查藉檢查執行部36而被追加執行(步驟S11)。接著，藉資訊更新部37而進行檢查資訊檔及編碼資訊檔的更新(步驟S12)，處理回到步驟S1。
於此，例如，如圖4所示，在存在檢查項目之變更(「cell_level」的追加)的情況下，係追加執行「cell_level檢查」。此外，在存在檢查參數之變更(「cell_max」之變更)的情況下，係追加執行「cell_max檢查」。另外，不管檢查內容之變更的有無，執行編碼檢查及檢查資訊檔檢查。如此，在無檢查內容之變更的情況下，係藉編碼檢查之執行，使得可省略對於全檢查項目進行檢查之格式檢查，故可縮短檢查時間。此外，在存在檢查內容之變更的情況下，係一邊省略對於全檢查項目進行檢查之格式檢查，亦一邊進行對於被變更之檢查項目的格式檢查。為此，變得可一邊達成檢查時間的縮短，一邊進行正確之檢查。以此方式，可使檢查之嚴密化及處理的高效化並存。
如以上所說明，依照第1實施形態，對於描繪資料再度進行格式檢查之情況下，使用已記憶之編碼資訊而對於描繪資料進行檢查，在該描繪資料檢查合格時，對於已記憶之檢查資訊進行檢查而依該檢查結果而將格式檢查之處理內容改變而進行格式檢查。如此藉使用了編碼資訊的檢查之執行，使得可省略對於全檢查項目進行檢查之格式檢查，故可實現檢查時間的縮短。再者，依對於檢查資訊之 檢查結果而將格式檢查之處理內容作變更而執行檢查，故變成可執行按檢查結果之處理內容的檢查，可實現正確的檢查。例如，在藉對於檢查資訊之檢查而檢測出檢查資訊之變更的情況下，係可進行對應於該變更內容之檢查，可達成正確的檢查。
另外，如前所述，每次變更檢查條件(檢查內容)使該變更內容反映於檢查資訊檔中而將檢查資訊檔作更新，但並非限定於此者，例如，在對於相同的資料以不同的檢查條件進行複數次檢查之情況下，係亦可採取；將複數次檢查的值之中限制最嚴之值採用為檢查資訊檔的值，將檢查資訊檔作更新。藉此，變成使用檢查條件嚴格之檢查資訊檔，故可實現更正確的檢查。
於此，例如，如圖6所示，檢查內容從第1次變更成如第2次，亦即「cell_max」從「128」變更成「64」，再者，若「cell_level」從「無」變更成「3」，則檢查資訊檔的檢查項目之「cell_level」從「OFF」成為「ON」，檢查參數的「cell_max」從「128」成為「64」，再者，「cell_level」從「non」變成「3」。
之後，檢查內容從第2次變更成如第3次，亦即「cell_max」從「64」變更成「128」，再者，若「cell_level」從「3」變更成「無」，則檢查資訊檔的檢查項目之「cell_level」從「ON」成為「OFF」，檢查參數的「cell_max」從「64」成為「128」，再者，「cell_level」應會從「3」成為「non」。然而，由於採用限制最 嚴的值，故檢查資訊檔的檢查項目之「cell_level」係保持「ON」，檢查參數之「cell_max」亦保持「64」，再者，「cell_level」亦保持「3」。
接著，說明有關於前述之檢查處理的另一例。在前述之說明中，係從格式檢查裝置3c對於1台描繪部2而進行資料傳輸，但並非限定於此者，說明有關於對於複數台例如2台描繪部2而進行資料傳輸之情況下的檢查處理。於此，使2台描繪部2之中第1描繪部為「Tool A」，使另1台描繪部為「Tool B」。
在第1次的檢查時，係如圖7所示，從描繪資料記憶部3b藉格式檢查部31而讀出資料1，對於該資料1進行基於檢查內容之格式檢查。在此時之檢查內容方面，係例如，在〔檢查項目〕方面設定了「basic_check=“ON”」、「Tool A chcck=“ON”」及「Tool B check=“OFF”」，在〔檢查參數〕方面設定了「cell_max=128」和「cell_level=512等。基於此檢查內容，而在供於「Tool A」之檢查方面，執行「basic_check」及「Tool A check」。
接著，資料1為前述之檢查合格之情況下，藉資訊生成部32而生成資料的編碼資訊檔及檢查資訊檔。例如，在編碼資訊檔中資料1的編碼以如「“file name”=“checksum1」的方式被記述。再者，在檢查資訊檔中，係在〔檢查項目〕方面記述了「basic_check=“ON”」、「Tool A check=“ON”」及「Tool B check =“OFF”」，在〔檢查參數〕方面記述了「cell_max=128」和「cell_level=512等。然後在最後，在編碼資訊檔案中，係檢查資訊檔的編碼以如「“inf_file”=“checksum2”」的方式被寫入。
之後，在第2次之後的檢查時，係例如，如圖8所示，無檢查內容之變更的情況(對於第1描繪部之資料傳輸時)下，處理內容僅成為「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」。另一方面，存在檢查項目之變更的情況(對於第2描繪部之資料傳輸時)下，亦即「Tool A check」從「ON」變成「OFF」，「Tool B check」從「OFF」變成「ON」之情況下，處理內容，係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外，變成「3.Tool B檢查」、「4.檢查資訊檔更新」及「5.編碼資訊檔更新」。
在前述之編碼檢查中，係對於資料1與「checksum1」的值是否一致進行檢查，在該等值為一致之情況下，係對於檢查資訊檔與「chccksum2」的值是否一致進行檢查。若該等之值為一致，則在檢查資訊檔檢查中，係根據檢查資訊檔的內容而判定是否進行「basic_check」，若判定為進行該檢查，則在供於「Tool B」之檢查方面，追加執行「Tool B check」。之後，在檢查資訊檔中被記述「Tool B check=“ON”」而檢查資訊檔被更新，依該更新而編碼資訊檔的「inf_file」之編碼亦被更新。如此，在存在檢查內容之變更的情況下，係一邊省略對於全檢查項目進行檢查之格式檢查，亦一邊進行對於 被變更之檢查項目的格式檢查，使得可一邊達成檢查時間的縮短，一邊進行正確之檢查。
(第2實施形態)
參見圖9至圖12而說明有關於第2實施形態。
第2實施形態係基本上與第1實施形態相同。在第2實施形態中，係說明有關於與第1實施形態之差異，與在第1實施形態中所說明之部分相同的部分係以相同符號表示，其說明亦省略。
在第2實施形態中，資訊生成部32，係在格式檢查合格之資料的檢查資訊方面，並非檢查項目和檢查參數等之檢查內容之資訊，而是生成利用了格式檢查之檢查對象資訊，亦即生成資料1實際的檢查對象資訊。資訊記憶部33，係將利用了該格式檢查之檢查對象資訊作記憶。資訊檢查部35，係對於該資訊記憶部33內之檢查對象資訊的有無進行檢測。檢查執行部36，係藉資訊檢查部35而檢測出檢查對象資訊的存在時，使用資訊記憶部33內之檢查對象資訊，而進行對應於該檢查對象資訊之檢查，亦即進行對於存在檢查對象資訊之檢查項目的檢查。另一方面，藉資訊檢查部35而未檢測出檢查對象資訊的存在之形況下，亦即關於不存在檢查對象資訊之檢查項目，係如平常進行資料1之格式檢查。
於此，例如，在第1次的檢查時，係如圖9所示，從描繪資料記憶部3b藉格式檢查部31而讀出資料1，對於 該資料1進行基於檢查內容之格式檢查。在此時之檢查內容方面，係例如，設定：「cell_max≦128」、「cell_level無」及「0≦date_type≦7」。
接著，若資料1為前述之檢查合格，則藉資訊生成部32而生成資料的編碼資訊檔及檢查資訊檔。例如，在資料1的初次之格式檢查合格時，係在編碼資訊檔中，資料1的編碼以如「“file name”=“編碼1”」的方式被記述。再者，在檢查資訊檔中，係在〔檢查對象資訊〕方面記述了「cell_max=100」、「cell_level=non」及「date_type=1,2」。此等資訊係在初次之格式檢查的檢查對象資訊，包含：含於資料1之最大單元的值100和含於資料1之實際的值1,2等之資訊。最後，在編碼資訊檔中，係檢查資訊檔的編碼以如「“inf_file”=“編碼2”」的方式被寫入。
之後，在第2次之後的檢查時，係例如，如圖10所示，無檢查內容之變更之情況下，處理內容僅成為「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」。另一方面，存在檢查項目之變更(追加)的情況下，亦即在「cell_level」從「無」變更成「3」之情況下，處理內容係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外，變成「3.cell_level檢查」、「4.檢查資訊檔更新」及「5.編碼資訊檔更新」。此外，存在檢查參數之變更的情況下，亦即，在「cell_max」從「128」變更成「64」之情況下，處理內容係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外， 變成「3.cell_max檢查」。如此變成處理內容依檢查內容而變。
在前述之編碼檢查中，係對於資料1與「file name」之編碼1的值是否一致進行檢查。該等之值為一致之情況下，對於檢查資訊檔與「inf_file」之編碼2的值是否一致進行檢查。若該等之值為一致，則在檢查資訊檔檢查中，係根據檢查資訊檔的內容而對於本次的檢查之檢查對象資訊的存在進行判定，檢測出該存在之情況下，使用存在之檢查對象資訊而執行檢查。可依此檢查對象資訊的有無而掌握檢查內容之變更。另外，關於不存在檢查對象資訊之檢查項目，係如平常執行資料1的檢查。最後，讀入資料1而進行之檢查項目作為檢查對象資訊而補記於檢查資訊檔，再者，編碼資訊檔的「inf_file」之編碼亦更新。
另外，在前述之「cell_level檢查」中，係檢查資訊檔(參見圖9)成為「cell_level=non」，不存在檢查對象資訊，故執行基於「cell_level≦3」之資料1的檢查。此外，在前述之「cell_max檢查」中，係檢查資訊檔(參見圖9)成為「cell_max=100」，存在檢查對象資訊，故並非使用資料1的來源資訊，而是使用實際之檢查對象資訊而進行檢查。於此，係檢查內容為「cell_max≦64」，檢查資訊檔內之檢查對象資訊成為「cell_max=100」，故「cell_max」不會成為64以下，檢查成為不合格，宣告錯誤(錯誤通知)。此時，並非使用資料1 的來源資訊(例如，二進制資料)，而是使用檢查資訊檔內之實際的檢查對象資訊(例如，文字資料)而進行檢查，故相較於使用描繪資料的來源資訊之情況(讀取二進制資料而進行處理之情況等)下，可縮短處理時間。
如以上所說明，依照第2實施形態，可獲得與前述之第1實施形態同樣的效果，可實現檢查時間的縮短及正確的檢查。再者，使用實際的檢查對象資訊，而進行對應於該檢查對象資訊之檢查，使得相較於使用描繪資料的來源資訊之情況、及讀取例如二進制資料而進行處理之情況等下，可縮短處理時間。
於此，說明有關於前述之檢查處理的另一例。在前述之說明中，係將檢查內容之資料類型以如「0≦date_type≦7」的方式作設定，但並非限定於此者，說明有關於使用對於資料類型的範圍進行規定之檔案(文字檔)的情況下之檢查處理。
在第1次的檢查時，係如圖11所示，從描繪資料記憶部3b藉格式檢查部31而讀出資料1，對於該資料1進行基於檢查內容之格式檢查。在此時之檢查內容方面，係例如，設定了「cell_max≦128」、「cell_level無」及「aux_check有」，再者，輸入aux.xml檔。此檔案，係決定資料1的資料類型的範圍。基於此檢查內容，而在供於資料1及aux.xml檔的檢查方面，執行「aux_check」。
接著，資料1及aux.xml檔為前述之檢查合格之情況 下，藉資訊生成部32而生成編碼資訊檔及檢查資訊檔。例如，在資料1的初次之格式檢查合格時，係在編碼資訊檔中，資料1的編碼以如「“file name”=“checksum1」的方式，另外，aux.xml檔的編碼以如「aux=“checksum2」的方式被記述。再者，在檢查資訊檔中，係在〔檢查對象資訊〕方面記述了「cell_max=100」、「cell_level=non」及「date_type=1,2」。此等資訊係在初次之格式檢查的檢查對象資訊，包含：含於資料1之最大單元的值100和含於資料1之實際的值1,2等之資訊。最後，在編碼資訊檔中，係檢查資訊檔的編碼以如「“inf_file”=“checksum3”」的方式被寫入。
之後，在第2次之後的檢查時，係例如，如圖12所示，無檢查內容之變更之情況下，處理內容僅成為「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」。另一方面，在存在檢查參數之變更的情況下，亦即在aux.xml檔被變更之情況下，處理內容係除了「1.編碼檢查」及「2.檢查資訊檔檢查」以外，變成「3.aux_check檢查」、「4.檢查資訊檔更新」及「5.編碼資訊檔更新」。
在前述之編碼檢查中，係對於資料1與「checksum1」的值是否一致，再者，對於aux.xml檔與「checksum2」的值是否一致進行檢查。對於資料1與「checksum1」的值一致，aux.xml檔與「checksum2」的值不一致之情況下，對於檢查資訊檔與「checksum3」的值是否一致進行檢查。若該等之值為一致，則在檢查資訊 檔檢查中，係根據檢查資訊檔的內容而對於是否寫入「date_type」進行判定，若判定為其被寫入，則執行使該「date_type」為原始之「aux_check」。若在此檢查中資料1合格，則編碼資訊檔的「aux」之編碼被更新。
另外，在前述之「aux_check」方面，係檢查資訊檔(參見圖11)成為「date_type=1,2」，存在檢查對象資訊，故並非使用資料1的來源資訊，而是使用實際之檢查對象資訊而進行檢查。於此，係執行對於「date_type」的1,2等數值與在aux.xml檔中作規定之資料類型的範圍進行比較之檢查。藉此，相較於需要使用描繪資料的來源資訊之情況、及讀取例如二進制資料而進行處理之情況等下，可縮短處理時間。
(第3實施形態)
參見圖13而說明有關於第3實施形態。
第3實施形態相關之圖案檢查裝置，係具備：第1實施形態相關之格式檢查裝置。在第3實施形態中，係說明有關於與第1實施形態之差異，與在第1實施形態中所說明之部分相同的部分係以相同符號表示，其說明亦省略。另外，亦可採取：替換第1實施形態相關之格式檢查裝置而使用第2之實施形態相關之格式檢查裝置。
如圖13所示，第3實施形態相關之圖案檢查裝置51，係具備：第1實施形態相關之格式檢查裝置3c、及對於圖案進行檢查之圖案檢查部52。在格式檢查裝置3c 中，係輸入對於例如半導體積體電路等之佈局資料(設計資料和CAD資料等)進行轉換從而得到之第1資料(描繪資料)。此外，在圖案檢查部52中，係輸入了：格式檢查裝置3c的格式檢查合格之第1資料；再者，基於藉帶電粒子束描繪裝置1而於樣品W上實際被描繪之圖案而作成的第2資料(描繪資料)。
第1資料，係從保管該資料的資料庫等之記憶裝置(未圖示)透過有線或無線的網路而輸入至格式檢查裝置3c，格式檢查合格後，輸入至圖案檢查部52。此外，第2資料亦同樣從保管該資料的資料庫等之記憶裝置(未圖示)透過有線或無線的網路而輸入至圖案檢查部52。另外，此等資料係如同第1實施形態相關之描繪資料，例如，以晶片階層CP、框階層FR、塊階層BL、單元階層CL及圖形階層FG的方式階層化(參見圖2)。
格式檢查裝置3c，係對於所輸入的第1資料之格式以與第1實施形態相同的方式作檢查。另外，格式檢查裝置3c，係在第1資料檢查合格時，將該合格之第1資料發送至下個階段的圖案檢查部52，但在描繪資料成為不合格之情況下係宣告錯誤(錯誤的通知)。
圖案檢查部52中，係基於所輸入之各資料，而對於藉帶電粒子束描繪裝置1於樣品W上實際被描繪之圖案等進行檢查。在此檢查中，係例如，進行如對於實際被描繪之圖案與描繪資料進行比較的檢查。
如以上所說明，依照第3實施形態，可獲得與前述之 第1實施形態同樣的效果，可實現檢查時間的縮短及正確的檢查。此外，代替第1實施形態相關之格式檢查裝置3c而使用第2之實施形態相關之格式檢查裝置3c之情況下，係可獲得與前述之第2實施形態同樣的效果。
雖說明本發明之幾個實施形態，惟此等實施形態係作為例子而提示者，並未意圖限定發明之範圍。此等新穎的實施形態可依其他的各種形態予以實施，在不脫離發明之要旨之範圍下，可進行多種的省略、置換、變更。此等實施形態和其變化係包含於發明之範圍和要旨，同時包含於申請專利範圍所記載之發明與其均等之範圍。
11‧‧‧台
2‧‧‧描繪部
2a‧‧‧描繪室
2b‧‧‧光學鏡筒
21‧‧‧電子槍
22‧‧‧照明透鏡
23‧‧‧第1孔隙
24‧‧‧投影透鏡
25‧‧‧第1偏向器
26‧‧‧第2孔隙
27‧‧‧接物鏡
28‧‧‧第2偏向器
3‧‧‧控制部
3a‧‧‧描繪資料轉換部
3b‧‧‧描繪資料記憶部
3c‧‧‧格式檢查裝置
3d‧‧‧描繪控制部
31‧‧‧格式檢查部
32‧‧‧資訊生成部
33‧‧‧資訊記憶部
34‧‧‧編碼檢查部
35‧‧‧資訊檢查部
36‧‧‧檢查執行部
37‧‧‧資訊更新部
W‧‧‧樣品
1‧‧‧帶電粒子束描繪裝置

Claims (5)

  1. 一種帶電粒子束描繪裝置，具有進行利用了帶電粒子束之描繪的描繪部、及就前述描繪部作控制的控制部，特徵在於：前述控制部，係具有就描繪資料的格式作檢查的格式檢查裝置、及基於檢查結束的描繪資料而就前述描繪部作控制的描繪控制部，前述格式檢查裝置，係具備：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查的格式檢查部；前述描繪資料合格於利用了前述格式檢查部的檢查之情況下，生成與前述描繪資料相關之編碼資訊及與前述格式檢查相關之檢查資訊的資訊生成部；記憶藉前述資訊生成部而生成之前述編碼資訊及前述檢查資訊的資訊記憶部；對於前述描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢查的情況下，使用藉前述資訊記憶部作記憶之前述編碼資訊而對於前述描繪資料進行檢查之編碼檢查部；前述描繪資料合格於利用了前述編碼檢查部之檢查的情況下，對於藉前述資訊記憶部作記憶之前述檢查資訊進行檢查的資訊檢查部；以及依利用了前述資訊檢查部之檢查結果而改變前述格式檢查之處理內容而進行檢查的檢查執行部。
  2. 如申請專利範圍第1項之帶電粒子束描繪裝置， 其中，前述資訊生成部，係作為前述檢查資訊而生成與前述檢查內容相關之檢查資訊，前述檢查執行部，係藉前述資訊檢查部而檢測出前述檢查資訊之變更的情況下，進行對應於該檢查資訊之變更內容的檢查。
  3. 如申請專利範圍第1項之帶電粒子束描繪裝置，其中，前述資訊生成部，係作為前述檢查資訊而生成利用了前述格式檢查之檢查對象資訊，前述檢查執行部，係藉前述資訊檢查部而檢測出前述檢查對象資訊之存在的情況下，使用藉前述資訊記憶部作記憶之前述檢查對象資訊，而進行對應於該檢查對象資訊之檢查。
  4. 一種格式檢查裝置，特徵在於：具備：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查的格式檢查部；前述描繪資料合格於利用了前述格式檢查部的檢查之情況下，生成與前述描繪資料相關之編碼資訊及與前述格式檢查相關之檢查資訊的資訊生成部；記憶藉前述資訊生成部而生成之前述編碼資訊及前述檢查資訊的資訊記憶部；對於前述描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢 查的情況下，使用藉前述資訊記憶部作記憶之前述編碼資訊而對於前述描繪資料進行檢查之編碼檢查部；前述描繪資料合格於利用了前述編碼檢查部之檢查的情況下，對於藉前述資訊記憶部作記憶之前述檢查資訊進行檢查的資訊檢查部；以及依利用了前述資訊檢查部之檢查結果而改變前述格式檢查之處理內容而進行檢查的檢查執行部。
  5. 一種格式檢查方法，特徵在於：具有以下步驟：對於具有階層構造之描繪資料進行基於檢查內容之格式檢查；前述描繪資料合格於利用了前述格式檢查的情況下，生成與前述描繪資料相關之編碼資訊及與前述格式檢查相關之檢查資訊；記憶所生成之前述編碼資訊及前述檢查資訊；對於前述描繪資料而再度進行基於檢查內容之格式檢查的情況下，使用所記憶之前述編碼資訊而對於前述描繪資料進行檢查；前述描繪資料合格於使用了前述編碼資訊之檢查的情況下，對於所記憶之前述檢查資訊進行檢查；以及依利用了對於前述檢查資訊之檢查的檢查結果而改變前述格式檢查之處理內容而進行檢查。
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