JP5022951B2 - 半導体製造システム - Google Patents
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Reuse Methodology Manual(ISBN 0-7923-8175-0)
図9は、描画領域内に存在する素子の役割に応じてステージ速度を可変にする例を説明する図である。描画領域内に存在する素子の役割に応じてステージ速度を可変にすることにより、描画速度を調整することができる。
20 チップ情報
30 ネット情報
40 レイヤ情報
50 素子情報
60 セル情報
70 配置情報
90 図形情報
100 特性情報
110 プロセス情報
120 材質情報
130 処理結果
140 優先度情報
150 照射条件
160 画像情報
170 装置情報
180 開口情報
190 アパーチャ情報
1000,1001,1002 計算機
2000 記憶装置用ネットワーク(SAN)
3000,3001,3002,3003 記憶装置
4000 リソグラフ装置
4001 プロセス装置
4002 検査装置
5000 LAN
Claims (5)
- 半導体設計、製造、検査に関わる複数の情報を、これら各情報間の関連性を表す情報と共に記憶する記憶装置と、
該記憶装置、半導体検査装置、半導体製造装置及び半導体設計計算機間をそれぞれ接続するネットワークを備え、
半導体設計計算機、前記半導体検査装置及び前記半導体製造装置は、前記ネットワークを介して前記記憶装置にアクセスし、前記関連性を表す情報及び複数の前記半導体製造、検査に関わる情報に対して、前記関連性をたどることによりアクセス可能であることを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体検査システムにおいて、
前記半導体検査装置は前記半導体設計、製造、検査に関わる複数の情報のうち素子の役割に基づいて検査対象を選択することを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体検査システムにおいて、
前記半導体設計、製造、検査に関わる複数の情報のうち素子の優先度の情報に基づいて検査対象を決定することを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体製造システムにおいて、
前記半導体検査装置は前記半導体設計、製造、検査に関わる複数の情報のうち補正情報に基づいて検査位置を決定することを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体検査システムにおいて、
前記記憶装置を複数備え、前記半導体設計、製造、検査に関わる複数の情報が、複数の記憶装置に分かれて記憶されていることを特徴とする半導体検査システム。
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