JP2008166838A - 半導体製造システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体の設計に係る情報、及び半導体の検査に係る情報を論理的な表現形式に従って前記情報の役割を表すメタデータを付与した情報を記憶する記憶装置と、該記憶装置と半導体検査装置間をそれぞれ接続する記憶装置用ネットワークを備え、前記記憶装置は、半導体検査装置及び半導体の設計用計算機からシームレスにアクセス可能とした。
【選択図】図1
Description
Reuse Methodology Manual(ISBN 0-7923-8175-0)
セス可能とした。
図9は、描画領域内に存在する素子の役割に応じてステージ速度を可変にする例を説明する図である。描画領域内に存在する素子の役割に応じてステージ速度を可変にすることにより、描画速度を調整することができる。
20 チップ情報
30 ネット情報
40 レイヤ情報
50 素子情報
60 セル情報
70 配置情報
90 図形情報
100 特性情報
110 プロセス情報
120 材質情報
130 処理結果
140 優先度情報
150 照射条件
160 画像情報
170 装置情報
180 開口情報
190 アパーチャ情報
1000,1001,1002 計算機
2000 記憶装置用ネットワーク(SAN)
3000,3001,3002,3003 記憶装置
4000 リソグラフ装置
4001 プロセス装置
4002 検査装置
5000 LAN
Claims (4)
- 半導体の設計に係る情報、及び半導体の検査に係る情報を論理的な表現形式に従って前記情報の役割を表すメタデータを付与した情報を記憶する記憶装置と、
該記憶装置と半導体検査装置間をそれぞれ接続する記憶装置用ネットワークを備え、
前記記憶装置は、半導体検査装置及び半導体の設計用計算機からシームレスにアクセス可能としたことを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体検査システムにおいて、
前記半導体検査装置は前記情報の役割データに基づいて検査対象を選択することを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体検査システムにおいて、
前記半導体検査装置は前記情報の役割データに基づいて検査位置を決定することを特徴とする半導体検査システム。 - 請求項1記載の半導体製造システムにおいて、
前記半導体検査装置はインスタンスの被補正データに基づいて検査位置を決定することを特徴とする半導体検査システム。
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JP2002532760A (ja) * | 1998-12-17 | 2002-10-02 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | レチクルを製造および検査するためのメカニズム |
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