JP2010267414A - 光電子増倍管 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この光電子増倍管1は、上側フレーム2及び下側フレーム4からなる筐体5と、下側フレーム4上に配列されたダイノード33a〜33lを有する電子増倍部33と、光電面41と、陽極部34とを備え、上側フレーム2の対向面20a上には導電膜202が設けられ、電子増倍部33は、ダイノード33a〜33dそれぞれの下側フレーム4側に設けられた基台部52a〜52dと、それぞれの基台部52a〜52dの対向面40aに沿った方向の一端部で導電膜202に接続される給電部53a〜53dとを有し、基台部52a〜52dは、その両端部が該対向面40aに接合され、その中央部が該対向面40aから離間するように構成されており、給電部53a〜53d側の一端部の断面積が他端部における断面積よりも大きくなるように形成されている。
【選択図】図4
Description
Claims (4)
- 互いに対向して配置され、それぞれの対向面が絶縁材料からなる第1及び第2の基板を含む外囲器と、
前記第1の基板の前記対向面上の一端側から他端側に向けた一方向に沿って、順に離間して配列された複数段のダイノードを有する電子増倍部と、
前記外囲器内の前記一端側に前記電子増倍部から離間して設けられ、外部からの入射光を光電子に変換して、前記光電子を放出する光電面と、
前記外囲器内の前記他端側に前記電子増倍部から離間して設けられ、前記電子増倍部によって増倍された電子を信号として取り出す陽極部とを備え、
前記第2の基板の前記対向面上には、前記電子増倍部に対して給電するための給電部が設けられ、
前記電子増倍部は、
前記複数段のダイノードそれぞれの前記第1の基板側の端部に電気的に接続されて、前記複数段のダイノードによって形成された電子増倍路を跨るように設けられた支持台と、
それぞれの前記支持台の前記第1の基板の前記対向面に沿った方向の両端部の一方の端部から前記第2の基板に向けて伸びるように形成され、前記給電部と電気的に接続される給電部材と、
を有し、
前記支持台は、
前記両端部が、該対向面に接合され、且つ、前記両端部によって挟まれる中央部が、該対向面から離間するように構成されており、
前記両端部のうち前記給電部材側の一方の端部における該対向面に沿った断面積が、前記両端部のうちの他方の端部における断面積よりも大きくなるように形成されている、
ことを特徴とする光電子増倍管。 - 前記第1の基板の前記対向面上には凹部が形成されており、
前記支持台の前記中央部は、前記凹部上に配置されることにより、該対向面から離間される、
ことを特徴とする請求項1記載の光電子増倍管。 - 前記凹部は、前記複数段のダイノードのそれぞれに接続された複数の支持台を跨って形成されている、
ことを特徴とする請求項2記載の光電子増倍管。 - 前記複数段のダイノードに対応する複数の前記支持台は、前記第1の基板の前記対向面に沿って前記一方の端部と前記他方の端部とが互い違いに並べられるように配置されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の光電子増倍管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009115833A JP5330083B2 (ja) | 2009-05-12 | 2009-05-12 | 光電子増倍管 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009115833A JP5330083B2 (ja) | 2009-05-12 | 2009-05-12 | 光電子増倍管 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2010267414A true JP2010267414A (ja) | 2010-11-25 |
JP5330083B2 JP5330083B2 (ja) | 2013-10-30 |
Family
ID=43364223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009115833A Active JP5330083B2 (ja) | 2009-05-12 | 2009-05-12 | 光電子増倍管 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5330083B2 (ja) |
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