JP3872419B2

JP3872419B2 - 光電陰極、電子管及び光電陰極の組立方法

Info

Publication number: JP3872419B2
Application number: JP2002329750A
Authority: JP
Inventors: 康晴根木; 康幸江川; 徹廣畑; 実新垣
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 2002-11-13
Filing date: 2002-11-13
Publication date: 2007-01-24
Anticipated expiration: 2022-11-13
Also published as: JP2004165014A; CN1501423A; US20040094694A1; CN1328745C; US7002132B2

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光透過部材を透過した光を光電陰極板に入射させて光電子を放出させる光電陰極、そのような光電陰極を備えた電子管及び光電陰極の組立方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来におけるこの種の技術としては、例えば、特許文献１に記載された電子管がある。この特許文献１記載の電子管は、光電陰極板を面板と支持板とで挟み込み、面板に埋め込んだピンと支持板とを接合することで、光電陰極板を面板に固定している。この電子管において長波長光を検出するためにフィールドアシスト型の光電陰極として用いる場合には、ピンと支持板とを導電性材料により形成すれば、これらを介して光電陰極板にバイアス電圧を印加することが可能になる。
【０００３】
なお、上述したようなフィールドアシスト型の光電陰極は、例えば、特許文献２にも記載されている。この特許文献２記載のフィールドアシスト型の光電陰極の光電陰極板は、接着剤を用いて電子管の本体内面に固定されている。
【０００４】
【特許文献１】
特開２００２−４２６３６号公報
【特許文献２】
特開平８−２５５５８０号公報
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献１記載の電子管にあっては、面板に貫通孔を形成してピンを埋め込むという作業に細心の注意を要するため、作業性が若干低下してしまう。また、特許文献２記載の電子管にあっては、温度変動などによって接着剤が劣化し、最悪の場合には光電陰極板が剥がれ落ちてしまうという問題が考えられる。
【０００６】
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、作業性良く確実に光透過部材に光電陰極板を保持させることのできる光電陰極、電子管及び光電陰極の組立方法を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明に係る光電陰極は、光透過部材を透過した光を光電陰極板に入射させて、光電陰極板から光電子を放出させる光電陰極において、光透過部材に取り付けられると共に、光電陰極板が配置される第１の開口部を有する保持部材と、光電陰極板を光透過部材とで挟み込むと共に、光電子を通過させる第２の開口部を有する支持板とを備え、保持部材には、支持板に押し付けられるように折り曲げられて、支持板を光電陰極板に押圧する爪部が設けられていることを特徴とする。
【０００８】
この光電陰極においては、光透過部材に取り付けられた保持部材の爪部を支持板に押し付け、光電陰極板を光透過部材と支持板とで挟み込む。これにより、支持板が光電陰極板に押圧されるため、光電陰極板は支持板によって光透過部材に押圧されることになる。したがって、光電陰極板を光透過部材に対して確実に保持させることができ、しかも、構成が簡易であるため組立ての作業性も良い。さらに、光電陰極板に保持部材の爪部を直接押し付けるのではなく、爪部と光電陰極板との間に支持板を介在させているため、光電陰極板に破損等が生じるのを防止することができる。
【０００９】
また、爪部は、等間隔をもって支持板を囲むように複数設けられていることが好ましい。支持板を囲んで等間隔に配置された複数の爪部が支持板に押し付けられるため、支持板は均一な荷重配分で光電陰極板に押圧されることになる。したがって、より安定した光電陰極板の保持が可能になる。
【００１０】
また、光電陰極板は、保持部材の第１の開口部内に嵌り込むことが好ましい。このような構成によれば、光電陰極の組立時において光電陰極板の組込み及び位置決め作業が極めて容易になり、光電陰極の組立作業の効率化がより一層図られる。さらに、光電陰極板の横方向への位置ずれが防止される。
【００１１】
また、保持部材には、光電陰極板を包囲する環状の包囲部が設けられ、その包囲部内に支持板が嵌り込むことが好ましい。このような構成によれば、光電陰極の組立時において支持板の組込み及び位置決め作業が極めて容易になり、光電陰極の組立作業の効率化がより一層図られる。しかも、支持板と包囲部とを密接させた場合には、支持板の第２の開口部から覗く光電陰極板の電子放出面に対し、仕事関数を低下させて光電子を放出させやすくするためのアルカリ金属等を蒸着する際に、このアルカリ金属が光電陰極板の側面に付着するのを防止することが可能になる。
【００１２】
また、光透過部材には、光電陰極板と電気的に接続する第１の導電膜が形成され、その第１の導電膜を介して光電陰極板に電圧が印加されることが好ましい。このような構成においては、例えば、第１の導電膜に電圧印加用電源の負極を接続することで、光電陰極板と電圧印加用電源の負極との電気的接続が達成される。したがって、光電陰極板の光入射面側に接するように設けられた負極側の電極に対してワイヤやピン等によるアクセスが不要になり、光電陰極の複雑化を防止することができる。
【００１３】
また、保持部材は、導電性材料により形成され、第１の導電膜と電気的に接続し、その保持部材と第１の導電膜とを介して光電陰極板に電圧が印加されることが好ましい。このような構成においては、例えば、保持部材に電圧印加用電源の負極を接続することで、光電陰極板と電圧印加用電源の負極との電気的接続が達成される。したがって、光電陰極板の光入射面側に接するように設けられた負極側電極に対してワイヤやピン等によるアクセスが不要になり、光電陰極の複雑化を防止することができる。
【００１４】
また、光電陰極板は、その両面にバイアス電圧が印加されてもよい。このような構成においては、例えば、保持部材にバイアス電圧印加用電源の負極を接続することで、光電陰極板とバイアス電圧印加用電源の負極との電気的接続が達成される。したがって、フィールドアシスト型の光電陰極として用いる場合にも、光電陰極板の光入射面側に接するように設けられた負極側電極に対してワイヤやピン等によるアクセスが不要になり、光電陰極の複雑化を防止することができる。
【００１５】
また、支持板には、光電陰極板と電気的に接続する第２の導電膜が、光電陰極板と接触する面からその反対側の面に第２の開口部の壁面を介して連続するように形成され、その第２の導電膜を介して光電陰極板に電圧が印加されることが好ましい。このような構成においては、例えば、支持板の反対側の面に形成された第２の導電膜にバイアス電圧印加用電源の正極を接続することで、光電陰極板とバイアス電圧印加用電源の正極との電気的接続が達成される。したがって、フィールドアシスト型の光電陰極として用いる場合にも、光電陰極板の光電子放出面側に接するように設けられた正極側の電極に対してワイヤやピン等によるアクセスが不要になり、光電陰極の複雑化を防止することができる。
【００１６】
本発明に係る電子管は、上述した光電陰極を備えたことを特徴とする。
【００１７】
この電子管における光電陰極は、光透過部材に取り付けられた保持部材の爪部を支持板に押し付け、光電陰極板を光透過部材と支持板とで挟み込むことで、光電陰極板を光透過部材に確実に保持させている。このように、光電陰極板の保持に接着剤を用いないで済むので、そのような接着剤からのガスの発生によって電子管内の真空度が低下するというようなこともない。なお、電子管とは、光電陰極を用いて微弱光を検出する装置をいい、光電子増倍管、ストリーク管、イメージインテンシファイア等が含まれる。
【００１８】
本発明に係る光電陰極の組立方法は、光透過部材を透過した光を光電陰極板に入射させて、光電陰極板から光電子を放出させる光電陰極において、光電陰極板が配置される第１の開口部を有する保持部材を光透過部材に取り付ける工程と、光電子を通過させる第２の開口部を有する支持板と光透過部材とで光電陰極板を挟み込む工程と、保持部材に設けられた爪部を支持板に押し付けるように折り曲げて、支持板を光電陰極板に押圧する工程とを備えたことを特徴とする。
【００１９】
この光電陰極の組立方法によれば、一例として、光透過部材に保持部材を取り付けた後、光電陰極板を光透過部材と支持板とで挟み込んで、保持部材が有する爪部を支持板に押し付けるという極めて容易な作業によって、光電陰極板を光透過部材に保持させることができる。したがって、光電陰極の組立てを効率良く行うことが可能になる。なお、光電陰極板を光透過部材と支持板とで挟み込んだ後に、光透過部材に保持部材を取り付けることもできる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る光電陰極、光電陰極の組立方法及び電子管の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００２１】
図１に示すように、光電陰極１は、前方（上方）から入射した光（ｈν）に感応して後方（下方）に光電子（ｅ^-）を放出する光電陰極板（いわゆる光電面として機能する半導体結晶）２が組み込まれた透過型のフィールドアシスト型光電陰極であり、光電子増倍管等の電子管における光電変換部として用いられる。この光電陰極１は、石英ガラスにより形成された円板状の光透過板（光透過部材）３を有し、この光透過板３の下面３ａには、軸線Ｌを中心として円形の凹部４が形成されている。
【００２２】
図１及び図２に示すように、この凹部４の底面４ａには、軸線Ｌを中心とした円形の光通過領域Ａを除いて、Ｃｒからなる第１の導電膜６が形成されており、この第１の導電膜６は、凹部４の底面４ａから側面４ｂ、さらに下面３ａにかけて一様に広がっている（図２の梨地領域）。したがって、光透過板３を透過する光（ｈν）は、底面４ａの光通過領域Ａを通過することになる。なお、第１の導電膜６の材料は、石英ガラスへの馴染が良く剥離しにくいことからＣｒ，Ｔｉ，Ｃｕ等が好適であるが、導電性を有していれば他の材料であってもよい。
【００２３】
この光透過板３の凹部４内には、光電陰極板２を保持するためのコバール製保持部材７が嵌め込まれている。この保持部材７は、凹部４の底面４ａに接触する円形薄板状の保持部８を有すると共に、この保持部８と底面４ａに形成された導電膜６とがＩｎ（インジウム）接合されることで、光透過板３に強固に固定される。なお、保持部材７をＮｉ製としても、Ｉｎ接合によって強固な固定力を確保することができる。
【００２４】
この保持部８には、光通過領域Ａよりも広い矩形の第１の開口部９が形成されており、この第１の開口部９内に、軸線Ｌ方向から見たときの外形が第１の開口部９と同形状である矩形薄板状の光電陰極板２が光透過部材３に接触するように嵌め込まれる。これにより、光電陰極板２の光入射面２ａは、保持部８の第１の開口部９から覗く第１の導電膜６と電気的に接続される。
【００２５】
さらに、保持部８の外縁には、凹部４の側面４ｂに沿わせるための円環状の包囲部１１が一体的に形成されている。この包囲部１１は、光電陰極板２の側面２ｃとの間に空隙Ｓをもって光電陰極板２を包囲している。そして、この包囲部１１内には、軸線Ｌ方向から見たときの外形が包囲部１１の内面と同形状である円板状のセラミックス製支持板１２が光電陰極板２に接触するように嵌め込まれる。この支持板１２には、光電陰極板２の電子放出面２ｂから放出される光電子（ｅ^-）を通過させる円形の第２の開口部１３が形成されている。
【００２６】
この支持板１２の第２の開口部１３側の縁部には、Ｃｒからなる第２の導電膜１４が形成されている（図２の梨地領域）。この第２の導電膜１４は、第２の開口部１３の壁面を介して支持板１２の上面１２ａから下面１２ｂにかけて連続するように形成されると共に、上面１２ａ側において光電陰極板２の電子放出面２ｂと電気的に接続される。なお、第２の導電膜１４の材料は、電子管の真空度の低下を招くガス発生を起こさないことからＣｒ，Ｔｉ，Ａｇ等が好適であるが、導電性を有していれば他の材料であってもよい。
【００２７】
さらに、包囲部１１の下端部には、軸線Ｌを中心に等間隔をもって（９０度毎に）４つの爪部１６が一体的に形成されている。この爪部１６は、図１及び図３に示すように、支持板１２の下面１２ｂの外縁における非導電性領域Ｂ（第２の導電膜１４が形成されていない領域）に押し付けられるように軸線Ｌに向けて直角に折り曲げられて、支持板１２を光電陰極板２に押圧する。なお、爪部１６の個数は４つに限定されない。例えば、包囲部１１の下端部に、対向する一対の爪部１６を一体的に形成してもよい。
【００２８】
以上のように構成された光電陰極１においては、光透過板２に固定された保持部材７の爪部１６を支持板１２の下面１２ｂに押し付け、光電陰極板２を光透過板３と支持板１２とで挟み込む。これにより、支持板１２が光電陰極板２に押圧されるため、光電陰極板２は支持板１２によって光透過板３に押圧されることになる。したがって、光電陰極板２を光透過板３に対して確実に保持させることができる。
【００２９】
また、保持部材７は、コバールという導電性材料からなり、第１の導電膜６を介して光電陰極板２の光入射面２ａと電気的に接続されているが、保持部材７の爪部１６は、セラミックスという電気的絶縁性材料からなる支持板１２を介して光電陰極板２を電子放出面２ｂ側から押圧している。そのため、光電陰極板２の光入射面２ａと電子放出面２ｂとが保持部材７を介して導通することもない。
【００３０】
しかも、光電陰極板２の電子放出面２ｂに爪部１６を直接押し付けるのではなく、爪部１６と光電陰極板２との間にセラミックス製の支持板１２を介在させて光電陰極板２と支持板１２とを面接触させるため、光電陰極板２に破損等が生じるのを防止することができる。
【００３１】
さらに、４つの爪部１６は、等間隔をもって支持板１２を囲むように設けられて、支持板２に押し付けられるため、支持板１２は均一な荷重配分で光電陰極板２に押圧されることになる。したがって、安定した光電陰極板２の保持が可能になる。
【００３２】
次に、上述した光電陰極１の組立方法について説明する。
【００３３】
まず、光透過板３において、下面３ａ、凹部４の底面４ａのうち光通過領域Ａを除く領域及び凹部４の側面４ｂにＣｒを蒸着して第１の導電膜６を形成する。同様に、支持板１２の第２の開口部１３側縁部の所定領域にＣｒを蒸着して第２の導電膜１４を形成する。導電膜６，１４の形成後、図４に示すように、光透過板３の凹部４内に保持部材７を嵌め込み、保持部材７の保持部８と凹部４の底面４ａとをＩｎ接合することで、光透過板３に保持部材７を固定する。このとき、保持部材７の爪部１６は折り曲げず、下方に向けて真直ぐに延在させておく。
【００３４】
続いて、図５に示すように、保持部材７の第１の開口部９内に光電陰極板２を嵌め込み、光電陰極板２の光入射面２ａと、光透過板３に形成された第１の導電膜６とを電気的に接続させる。このように、第１の開口部９内に光電陰極板２を嵌め込むという極めて容易な作業によって、光電陰極板２の組込み及び位置決め、並びに光入射面２ａと第１の導電膜６との電気的接続が達成され、光電陰極板２の横方向への位置ずれも防止される。
【００３５】
光電陰極板２の嵌め込み後、図６に示すように、保持部材７の包囲部１１内に支持板１２を嵌め込み、光電陰極板２の電子放出面２ｂと、支持板１２の上面１２ａに形成された第２の導電膜１４とを電気的に接続させる。このように、包囲部１１内に支持板１２を嵌め込むという極めて容易な作業によって、支持板２の組込み及び位置決め、並びに電子放出面２ｂと第２の導電膜１４との電気的接続が達成される。続いて、図７に示すように、保持部材７の爪部１６を支持板１２の下面１２ｂに押し付けるように折り曲げて、支持板１２を光電陰極板２に押圧することによって、光電陰極板２を光透過板３に対して保持させる。
【００３６】
そして最後に、光電陰極板２の電子放出面２ｂに対し、仕事関数を低下させて光電子（ｅ^-）を放出させやすくするため、Ｃｓ等のアルカリ金属（或いはその酸化物等）を蒸着する。このとき、図１に示すように、光透過板３と接触する光電陰極板２の側面２ｃは包囲部１１と支持板１２とで覆われているため、包囲部１１と光電陰極板２の側面２ｃとの間に形成された空隙Ｓへのアルカリ金属蒸気の流入が防止される。そのため、支持板１２の第２の開口部１３から覗く電子放出面２ｂにのみアルカリ金属層が形成されて、側面２ｃへのアルカリ金属の付着は防止される。したがって、側面２ｃを介した光入射面２ａと電子放出面２ｂとの短絡を防止することができる。なお、支持板１２の材料として面の粗いセラミックスを用いれば、支持板１２の表面にアルカリ金属が付着しても支持板１２の電気抵抗は高く維持される。したがって、支持板１２及び保持部材７を介した光入射面２ａと電子放出面２ｂとの短絡を防止することができる。
【００３７】
以上のような光電陰極１の組立方法によれば、光透過板３に保持部材７を固定した後、光電陰極板２を光透過板３と支持板１２とで挟み込んで、保持部材７の爪部１６を支持板１２に押し付けるという極めて容易な作業によって、光電陰極板２を光透過板３に保持させることができる。したがって、光電陰極１の組立てを効率良く行うことが可能になる。
【００３８】
なお、電気的接続を確実なものとするために、光入射面２ａと導電膜６とをＩｎ接合してもよい。同様に、電子放出面２ｂと導電膜１４とをＩｎ接合してもよい。そして、光電陰極１においては、Ｉｎ接合に代えて、他の低融点金属を用いた接合を行ってもよい。
【００３９】
次に、上述した光電陰極１を備えた電子管である光電子増倍管について説明する。
【００４０】
図８に示すように、光電子増倍管２０においては、金属製のステム２１に金属製の側管２２が気密に固定され、さらに、この側管２２の上端部に光電陰極１が気密に固定されることで、真空容器が形成されている。この側管２２と光電陰極１との固定は、側管２２の上端部に形成された内向きフランジ部２３と光透過部材３の下面３ａに形成された第１の導電膜６とをＩｎ接合することで達成されている。
【００４１】
このように形成された真空容器内にはメタルチャンネルダイノード２４が設置され、このメタルチャンネルダイノード２４と光電陰極１との間には、ステムピン２６と接続された格子状の収束電極２７が設置されている。したがって、光電陰極板２から放出された光電子（ｅ^-）は、収束電極２７によってメタルチャンネルダイノード２４の一段目のダイノード２４ａに収束される。これにより、光電子（ｅ^-）はメタルチャンネルダイノード２４内で順次増倍され、最終段のダイノード２４ｂから２次電子群が放出される。この二次電子群はアノード２８に達し、このアノード２８と接続されたステムピン２９を介して外部に出力される。
【００４２】
さらに、収束電極２７には、支持板１２の下面１２ｂに向かって内側に傾いて延在する一対のコンタクト用電極３１が一体的に形成されている。このコンタクト用電極３１の上端部は、支持板１２の下面１２ｂに形成された第２の導電膜１４に圧接されている。
【００４３】
以上のように構成された光電子増倍管２０によれば、バイアス電圧印加用電源（図示せず）の負極を側管２２に接続することで、第１の導電膜６を介して光電陰極板２の光透過面２ａとの電気的接続が達成される。一方、バイアス電圧印加用電源の正極をステムピン２６に接続することで、収束電極２７、コンタクト用電極３１及び第２の導電膜１４を介して光電陰極板２の電子放出面２ｂとの電気的接続が達成される。
【００４４】
このように、フィールドアシスト型の光電陰極板２のバイアス電圧印加用電極に対してワイヤやピン等によるアクセスが不要になり、光電陰極１の複雑化を防止することができ、光電子増倍管２０を小型化することが可能になる。なお、バイアス電圧印加用電源の負極を保持部材７に接続しても、第１の導電膜６を介して光透過面２ａとの電気的接続が達成される。
【００４５】
また、光電子増倍管２０においては、光電陰極板２の保持に接着剤を用いないで済むため、そのような接着剤からのガスの発生によって光電子増倍管２０内の真空度が低下するというようなこともない。
【００４６】
本発明は、上記実施形態に限定されない。例えば、上述した光電陰極１は、保持部材７において保持板８の外縁に包囲部１１を一体的に形成した場合であったが、図９に示す光電陰極１０のように、保持板８の開口部９側の縁部に環状の包囲部１１を一体的に形成してもよい。この場合には、光電陰極板２の光透過面２ａと電子放出面２ｂとの短絡を防止するため、光電陰極板２の側面２ｃと包囲部１１との間に電気的絶縁性部材（図示せず）を介在させることが望ましい。
【００４７】
また、上記光電陰極１においては、光透過板３の下面３ａに凹部４を形成したが、このような凹部４を形成しなくても光電陰極板２の保持には影響がない。また、本発明に係る光電陰極によれば、フィールドアシスト型の光電陰極に限らず種々の光電陰極において光電陰極板の保持が可能である。さらに、本発明に係る光電陰極は、上述の光電子増倍管２０に限らず、ストリーク管やイメージインテンシファイア等、種々の電子管に対して光電陰極としての適用が可能である。
【００４８】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明に係る光電陰極、電子管及び光電陰極の組立方法よれば、光透過部材に取り付けられた保持部材の爪部を支持板に押し付け、光電陰極板を光透過部材と支持板とで挟み込むことで、作業性良く確実に光透過部材に光電陰極板を保持させることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る光電陰極の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示した光電陰極の分解斜視図である。
【図３】図１に示した光電陰極の底面図である。
【図４】光透過板の凹部内に保持部材を嵌め込んだ状態を示す斜視図である。
【図５】保持部材の開口部内に光電陰極板を嵌め込んだ状態を示す斜視図である。
【図６】保持部材の包囲部内に支持板を嵌め込んだ状態を示す斜視図である
【図７】保持部材の爪部を支持板に押し付けるように折り曲げた状態を示す斜視図である。
【図８】本発明に係る電子管の一実施形態である光電子増倍管を示す断面図である。
【図９】本発明に係る光電陰極の他の実施形態を示す断面図である。
【符号の説明】
１，１０…光電陰極、２…光電陰極板、３…光透過板（光透過部材）、６…第１の導電膜、７…保持部材、９…第１の開口部、１１…包囲部、１２…支持板、１３…第２の開口部、１４…第２の導電膜、１６…爪部、２０…光電子増倍管（電子管）。

Claims

光透過部材を透過した光を光電陰極板に入射させて、前記光電陰極板から光電子を放出させる光電陰極において、
前記光透過部材に取り付けられると共に、前記光電陰極板が配置される第１の開口部を有する保持部材と、
前記光電陰極板を前記光透過部材とで挟み込むと共に、前記光電子を通過させる第２の開口部を有する支持板とを備え、
前記保持部材には、前記支持板に押し付けられるように折り曲げられて、前記支持板を前記光電陰極板に押圧する爪部が設けられていることを特徴とする光電陰極。
前記爪部は、等間隔をもって前記支持板を囲むように複数設けられていることを特徴とする請求項１記載の光電陰極。
前記光電陰極板は、前記保持部材の前記第１の開口部内に嵌り込むことを特徴とする請求項１又は２記載の光電陰極。
前記保持部材には、前記光電陰極板を包囲する環状の包囲部が設けられ、その包囲部内に前記支持板が嵌り込むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の光電陰極。
前記光透過部材には、前記光電陰極板と電気的に接続する第１の導電膜が形成され、その第１の導電膜を介して前記光電陰極板に電圧が印加されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の光電陰極。
前記保持部材は、導電性材料により形成され、前記第１の導電膜と電気的に接続し、その保持部材と前記第１の導電膜とを介して前記光電陰極板に電圧が印加されることを特徴とする請求項５記載の光電陰極。
前記光電陰極板は、その両面にバイアス電圧が印加されることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一項に記載の光電陰極。
前記支持板には、前記光電陰極板と電気的に接続する第２の導電膜が、前記光電陰極板と接触する面からその反対側の面に前記第２の開口部の壁面を介して連続するように形成され、その第２の導電膜を介して前記光電陰極板に電圧が印加されることを特徴とする請求項７記載の光電陰極。
請求項１〜８のいずれか一項記載の光電陰極を備えたことを特徴とする電子管。
光透過部材を透過した光を光電陰極板に入射させて、前記光電陰極板から光電子を放出させる光電陰極において、
前記光電陰極板が配置される第１の開口部を有する保持部材を前記光透過部材に取り付ける工程と、
前記光電子を通過させる第２の開口部を有する支持板と前記光透過部材とで前記光電陰極板を挟み込む工程と、
前記保持部材に設けられた爪部を前記支持板に押し付けるように折り曲げて、前記支持板を前記光電陰極板に押圧する工程とを備えたことを特徴とする光電陰極の組立方法。