JPH10241623A

JPH10241623A - 電子管

Info

Publication number: JPH10241623A
Application number: JP3811397A
Authority: JP
Inventors: Yasuharu Negi; 康晴根木; Toshimitsu Nagai; 俊光永井; Atsushi Kibune; 淳木舩; Hiroshi Hasegawa; 寛長谷川; Shigeru Ichikawa; 繁市川; Hitoshi Kinoshita; 仁志木下; Norio Asakura; 憲夫朝倉; Motohiro Suyama; 本比呂須山
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1997-02-21
Filing date: 1997-02-21
Publication date: 1998-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】本発明は、気密性が良く、大量生産に適した
電子管を提供することを目的とする。【解決手段】本発明による電子管においては、封止用
金属支持体２４の内周面に接着させたインジウム２３を
側管１０と入力面板２１との間に配置させ、側管１０に
対して入力面板２１を押し付けると、インジウム２３
は、側管１０の端面に設けられた封止用金属押潰し面７
０により押し潰される。このとき、封止用金属押潰し面
７０は、内側から外側に向けて切り下げられた形状をも
っているので、インジウム２３は、封止用金属支持体２
４に向けて外側に逃げながら変形する。従って、封止用
金属押潰し面７０にインジウム２３が確実に圧着され、
入力面板２１と側管１０の端面との間をインジウム２３
で確実に封止することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、融点以下の温度状
態（例えば常温）に維持された封止用金属（例えばイン
ジウムを主成分とする金属）によって、側管と入力面板
とを接着固定した電子管に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から存在する電子管として、特開平
４−５８４４４号公報がある。この公報に開示された電
子管は、コールドインジウム法によって製造されたもの
である。このコールドインジウム法とは、トランスファ
ー装置と呼ばれる真空装置内で側管と入力面板とをイン
ジウムを介して接続する際に、インジウムを融点以下の
温度状態（例えば常温）に維持し、インジウムを固体の
ままで利用する技術である。そこで、側管と入力面板と
を接合させる際、側管に入力面板を押し付けるようにし
てインジウムを変形させ、インジウムを側管及び入力面
板に圧着させることで、電子管の真空気密封止を達成し
ている。また、電子管にコールドインジウム法を適用し
た例として、特開昭５７−１３６７４８号公報、特開昭
５４−１６１６７号公報や特開昭６１−２１１９４１号
公報等がある。

【０００３】また、電子管にホットインジウム法を適用
した例として、特開平６−３１８４３９号公報や特開平
３−１３３０３７号公報等がある。ホットインジウム法
とは、トランスファー装置内において、加熱器で溶融さ
せたインジウムにより、側管と入力面板とを接合させる
技術であり、側管側には、溶けたインジウムが流れ出さ
ないためのインジウム溜まり凹部が設けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
コールドインジウム法を適用する電子管は、上述したよ
うに構成されているため、次のような課題が存在してい
た。すなわち、側管の端面は、入力面板の内側表面に対
して平行で且つ略平坦な面として形成されているので、
たとえ入力面板及び側管をインジウムに力強く押し付け
るようにしても、インジウムとの接触面でなじみ性が悪
く、その結果、十分な真空気密が要求される電子管に気
密不良が発生する場合があった。そして、この気密不良
に起因して、大気中の酸素や水分が電子管内に入り込
み、光電面感度の劣化を招来していた。特に、側管の接
合端部が金属材料で形成されている場合には、インジウ
ムとのなじみ性が悪くなる。

【０００５】本発明は、上述の課題を解決するためにな
されたもので、特に、気密性が良く、大量生産に適した
電子管を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る本発明の
電子管は、第１の開口と第１の開口と反対側に位置する
第２の開口とを有する側管と、側管の第１の開口側に設
けられて、入射した光に応じて電子を放出する光電面を
もった入力面板と、側管の第２の開口側に設けられて、
入力面板と共に真空領域を規定するステムとを備え、入
力面板と側管の端面とを対峙させ、加圧変形自在な封止
用金属で入力面板と側管の端面との間を封止し、封止用
金属で封止した部分を環状の封止用金属支持体で外側か
ら包囲した電子管において、側管の端面には、封止用金
属を押し潰して変形させると共に端面の内側から外側に
向けて切り下げられた環状の封止用金属押潰し面が設け
られたことを特徴とする。

【０００７】この電子管においては、側管と入力面板と
の間を加圧変形自在な封止用金属（例えばインジウム又
はインジウムの合金）で接合させるにあたって、封止用
金属支持体の内周面に接着させた封止用金属を、側管と
入力面板との間に配置させ、側管に対して入力面板を押
し付けると、封止用金属は、側管の端面に設けられた封
止用金属押潰し面により押し潰される。このとき、封止
用金属押潰し面は、内側から外側に向けて切り下げられ
た形状をもっているので、封止用金属は、封止用金属支
持体に向けて外側に逃げながら変形する。従って、封止
用金属押潰し面に封止用金属が確実に圧着され、入力面
板と側管の端面との間を封止用金属で確実に封止するこ
とができる。更に、封止用金属押潰し面は、内側から外
側に向けて切り下げられた形状をもつことで、封止用金
属押潰し面において、その内側に位置する部分は、入力
面板の内側表面に近づくことになり、側管内部に封止用
金属が必要以上に流入するのを適切に阻止することがで
きる。また、封止用金属押潰し面において、その外側に
位置する部分は、入力面板の内側表面から遠ざかること
になるが、側管の外周に位置する環状の封止用金属支持
体により、側管外に封止用金属が必要以上にはみ出すの
を適切に阻止することができる。そして、側管の端面に
封止用金属押潰し面を設けることで、側管の端面の表面
積が大きくなり、このことが、封止用金属と側管の端面
との接合性を向上させる一因になっている。

【０００８】この場合、封止用金属押潰し面は、階段状
をなすと好ましい。このような構成を採用した場合、封
止用金属押潰し面の段数を変えるだけで、封止用金属押
潰し面の表面積を変更することができ、封止用金属と側
管の端面との圧着性や封止用金属の流動性を考慮した設
計変更が可能になる。

【０００９】また、封止用金属押潰し面は、傾斜状をな
すと好ましい。このような構成を採用した場合、封止用
金属押潰し面の加工が容易となり、しかも、封止用金属
押潰し面の傾斜角度を変えるだけの簡単な設計変更で、
種々の製品に対応させることができる。

【００１０】更に、側管の外周壁面に、封止用金属支持
体を収容する環状の切欠き部を形成すると好ましい。こ
のような構成を採用した場合、封止用金属支持体の外周
壁面と側管の外周壁面とを略面一にすることができ、電
子管における外周壁面の凹凸を可能な限り少なくするこ
とができ、引っ掛かりの極めて少ないシンプルな形状の
電子管が可能になる。従って、多数本の電子管を密に配
列する際に好適であり、電子管の汎用性や取り扱い性が
向上する。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による電
子管の好適な実施形態について詳細に説明する。

【００１２】図１は、本発明に係る電子管の第１実施形
態を示す断面図である。同図に示すように、電子管１は
円筒状の側管１０を有し、この側管１０は、導電性の良
いコバール金属を利用して、プレス成形又は射出成形又
は切削加工等の様々な一体成形方法により作り出された
リング状のカソード電極１１と、電気絶縁性材料（例え
ばセラミック）からなるリング状のバルブ１２と、コバ
ール金属からなるリング状の溶接電極１３と、バルブ１
２を２分割することで形成された第１バルブ１２Ａと第
２バルブ１２Ｂとの間で、挟むようにして固定させたコ
バール金属製のリング状中間電極５０とから構成され、
これら部材１１，１２，１３及び５０は互いに同心状に
積層配置されている。

【００１３】また、中間電極５０をもったバルブ１２
は、カソード電極１１と溶接電極１３との間に設けら
れ、バルブ１２の一端は、カソード電極１１のフラット
な内端面１１ａに突き合わせた後、ろう付け等で固定さ
れ、バルブ１２の他端は、溶接電極１３のフラットな内
端面１３ａに突き合わせた後、ろう付け等で固定されて
いる。また、バルブ１２は、第１バルブ１２Ａと第２バ
ルブ１２Ｂとで中間電極５０の外周端部を挟み、接合部
分にろう付け作業を施すことで形成される。従って、ろ
う付け作業により、側管１０は簡単に一体化が図られる
ことになる。

【００１４】更に、カソード電極１１とバルブ１２と溶
接電極１３の筒状本体１３Ａとは略同じ外形（この場合
「例えば直径１４ｍｍの円形」）に形成されている。従
って、側管１０の外面から凹凸を無くすことができ、引
っ掛かりの無いシンプルな形状にすることができる。そ
の結果、狭い空間においても多数本の電子管を密に配列
させることができ、取り扱い易い電子管が可能になり、
しかも高圧に耐え得る構造を可能にしている。なお、リ
ング体をなすカソード電極１１、バルブ１２、中間電極
５０及び溶接電極１３の外形は多角形であってもよい。

【００１５】カソード電極１１の内周壁面１１ｂはバル
ブ１２の内周壁面１２ａより内側に位置し、バルブ１２
の内径に対してカソード電極１１の内径を小さくしてい
る。従って、後述する光電面２２側の意図しない場所で
生じた迷走電子が、バルブ１２に衝突するのを防止で
き、迷走電子の衝突により発生するバルブ１２の帯電
や、これに起因する電子軌道への影響を無くすことがで
きる。この場合、カソード電極１１は、電子管１のフォ
ーカス電極を兼ねているので、所定の電圧を電子管１に
印加したとき、有効径８ｍｍの光電面２２から放出した
電子は２ｍｍ程度の径に収束しながら、半導体素子４０
に入射する必要がある。そこで、カソード電極１１は、
内径１０ｍｍ、長さ３ｍｍが好適であり、セラミック製
の第１及び第２バルブ１２Ａ，１２Ｂは、内径１１ｍ
ｍ、長さ３ｍｍが好適である。

【００１６】前述した中間電極５０は、バルブ１２の内
周壁面１２ａから内方に突出し、中間電極５０の開口部
５０ａの内径は、電子軌道に干渉しない範囲内で極力小
さくなっている（好適には７ｍｍである）。従って、迷
走電子によるバルブ１２の帯電が防止されると共に、仮
に何らかの理由でバルブ１２が帯電しても、電子軌道に
近い空間の電位を中間電極５０により固定させているの
で、バルブ１２の帯電が電子軌道に悪影響を与えるのを
防止することができる。なお、中間電極５０の厚さは、
０．５ｍｍが好適である。

【００１７】側管１０の溶接電極１３には導電性材料
（例えばコバール金属）よりなる円盤状のステム３１が
固設され、このステム３１は、側管１０の第２の開口１
５側に配置されている。ここで、溶接電極１３の筒状本
体１３Ａの外端には、ステム３１との接合に利用するた
めに外方に突出した円形の第１フランジ部１３Ｂが形成
され、筒状本体１３Ａの内端には、バルブ１２との接合
に利用するために内方に突出した円形の第２フランジ部
１３Ｃが形成されている。また、ステム３１の外周に
は、第１フランジ部１３Ｂに嵌合させるための円形の切
欠き縁部３１ａが形成されている。従って、溶接電極１
３の第１フランジ部１３Ｂをステム３１の切欠き縁部３
１ａに嵌合させ、抵抗溶接を施すだけの簡単な組立て作
業で、溶接電極１３とステム３１とを簡単に接合させる
ことができる。また、抵抗溶接中において、ステム３１
に対する側管１０の着座性は極めて良い。なお、ステム
３１にはガラス３４で絶縁した貫通ピン３２が固定され
ている。

【００１８】また、ステム３１における真空側の面上に
は、ＡＰＤ（アバランシェ・フォトダイオード）として
動作する半導体素子４０が導電性の接着剤を介して固着
されている。半導体素子４０の電子入射面４４ａの直径
は３ｍｍ程度であり、半導体素子４０の所定の部位は、
ステム３１と絶縁させた貫通ピン３２に対してワイヤー
３３により接続されている。更に、半導体素子４０と中
間電極５０との間には板状のアノード電極６０が配置さ
れ、アノード電極６０の外周端部は溶接電極１３の第２
フランジ部１３Ｃに固定されている。このアノード電極
６０は、半導体素子４０に近い側に位置すると共に、厚
さ０．３ｍｍのステンレス製の薄板をプレス加工するこ
とで形成されている。なお、アノード電極６０と半導体
素子４０との間隔は１ｍｍが好適である。

【００１９】このアノード電極６０の中央には、半導体
素子４０の電子入射面４４ａに対峙させた開口部６１が
形成されている。このアノード電極６０には、開口部６
１を包囲するように突出した円筒状のコリメーター部
（コリメーター電極）６２が一体に形成され、このコリ
メーター部６２は、光電面２２に向けて突出すると共
に、開口部６１に対して同心的に配置されている。ま
た、コリメーター部６２の内径は３．０ｍｍが好適であ
り、この高さは１．３ｍｍが好適である。なお、アノー
ド電極６０は、溶接電極１３の第２フランジ部１３Ｃの
延長上に予め形成させておいて、溶接電極１３がアノー
ド電極６０を兼ねるように構成することも可能である。

【００２０】図２に示すように、側管１０におけるカソ
ード電極１１には、光を透過させるガラス製の入力面板
２１が固設され、この入力面板２１は、内側に光電面２
２を有すると共に、側管１０の第１の開口１４側に配置
されている。そして、この入力面板２１は、光電面２２
を作製した後、封止用金属として利用する加圧変形自在
な低融点金属（例えば、取り扱い容易で加工し易いイン
ジウムそれ自体、インジウムを主成分とする合金、鉛又
は鉛合金）２３を介してカソード電極１１に一体化さ
れ、その結果、入力面板２１と側管１０の端面との間は
低融点金属２３で封止される。また、低融点金属２３で
封止した部分は、コバール金属からなる環状の封止用金
属支持体２４で外側から包囲されている。更に、光電面
２２の周辺部分には、光電面２２と低融点金属２３とを
電気的に接続するように、クロムの薄膜よりなる光電面
電極２５が配置されている。この光電面電極２５の内径
８ｍｍは光電面２２の有効径を規定している。なお、封
止用金属として、加圧変形可能な金（Ａｕ）が利用され
ることもある。

【００２１】ここで、側管１０におけるカソード電極１
１の端面は、低融点金属２３を変形させて押し潰すため
の環状な封止用金属押潰し面７０として形成されてい
る。この封止用金属押潰し面７０は、側管１０の端面の
内側から外側に向けて切り下げられた形状をなし、階段
状に形成されている。すなわち、封止用金属押潰し面７
０の外側に位置する部分には、側管１０におけるカソー
ド電極１１の外周壁面１１ｃから内側に切り込まれた第
１の押潰し面７１が設けられ、封止用金属押潰し面７０
の内側に位置する部分には、第１の押潰し面７１から一
段高くなるように、連結面７３を介して入力面板２１に
近づけられた第２の押潰し面７２が設けられている。そ
して、第１及び第２の押潰し面７１，７２は、入力面板
２１の内側表面に対して平行な面として環状に形成さ
れ、連結面７３は押潰し面７１，７２に対して垂直な面
として環状に形成されている。この場合、第１の押潰し
面７１の幅Ｗ１は１．５ｍｍ程度が好適であり、第２の
押潰し面７２の幅Ｗ２は０．５ｍｍ程度、連結面７３の
高さＨは０．５ｍｍ程度が好適である。なお、第２の押
潰し面７２は、入力面板２１に向けて膨出する断面半球
面であってもよい。

【００２２】次に、トランスファー装置と呼ばれる真空
装置（図示せず）内で、側管１０と入力面板２１との間
を低融点金属２３で封止する手順について簡単に説明す
る。なお、封止の際、トランスファー装置の内部は、低
融点金属２３が溶融しない融点以下の温度（例えば常
温）状態に維持されている。

【００２３】図３に示すように、カソード電極１１の上
に低融点金属２３、入力面板２１の順に配置し、それぞ
れを同軸上に位置決めする。この場合、低融点金属２３
は、環状の封止用金属支持体２４の内周壁面に接着固定
されると共に、断面がおよそ二等辺三角形になるような
リング体に形成されている。なお、低融点金属２３の外
形は、内径１３．５ｍｍ、外形１４．５ｍｍ、高さ２ｍ
ｍが好適である。この状態で、カソード電極１１と入力
面板２１とを１５０ｋｇ程度の高圧で互いに押し付ける
ことにより、低融点金属２３が押し潰されて変形するこ
とで接着剤として機能し、入力面板２１は側管１０と一
体化する。

【００２４】この一体化に際して、低融点金属２３は、
第１の押潰し面７１及び第２の押潰し面７２で押し潰さ
れながら、封止用金属支持体２４に向けて外側に逃げる
ように変形する。従って、第１及び第２の押潰し面７
１，７２と連結面７３に低融点金属２３が確実に圧着さ
れ、入力面板２１と封止用金属押潰し面７０との間を低
融点金属２３で確実に封止することができ、電子管１内
の気密性が向上する。

【００２５】更に、低融点金属２３が押し潰される際、
封止用金属押潰し面７０の第２の押潰し面７２は、入力
面板２１の内側表面に近づくことになるので、側管１０
内部に低融点金属２３が必要以上に流入するのを適切に
阻止することができ、低融点金属２３が光電面２２に付
着するのを回避することができる。また、封止用金属押
潰し面７０の第１の押潰し面７１は、入力面板２１の内
側表面から遠ざかってはいるが、側管１０の外周に配置
した環状の封止用金属支持体２４を利用することで、側
管１０外に低融点金属２３が必要以上にはみ出すのを適
切に阻止している。また、低融点金属２３は、第１の押
潰し面７１と連結面７３と入力面板２１の内側表面と封
止用金属支持体２４の内側表面とで形成された領域内に
閉じ込められるように変形する。また、側管１０の端面
に封止用金属押潰し面７０を設けることで、側管１０の
端面の表面積が大きくなり、このことが、低融点金属２
３と側管１０の端面との接合性を向上させ、電子管１の
気密性をアップさせている。

【００２６】本発明は、前述した実施形態に限定される
ものではなく、例えば、図４に示すように、側管１０に
おけるカソード電極１１の外周壁面１１ｃには、環状の
封止用金属支持体２４を収容する環状の切欠き部７４が
形成されている。この切欠き部７４によって、封止用金
属支持体２４の外周壁面２４ａとカソード電極１１の外
周壁面１１ｃとを略面一にすることができ、電子管１に
おける側管１０の外周壁面の凹凸を可能な限り少なくす
ることができ、引っ掛かりの極めて少ないシンプルな形
状が達成される。従って、多数本の電子管１を密に配列
する際に好適であり、電子管１の汎用性や取り扱い性が
向上する。すなわち、限られたスペースに１０００本〜
１万本の電子管１を並べて利用する高エネルギ分野や医
療機器分野からの要望に応えることができる。

【００２７】また、図５に示すカソード電極１１Ａ
は、、コバール金属製の板材をプレス加工して、所定の
形状に折り曲げられたものであり、製造コストの低減を
可能にしている。このカソード電極１１Ａの端面には環
状な封止用金属押潰し面７５が形成され、この封止用金
属押潰し面７５は、側管１０の端面の内側から外側に向
けて切り下げられた形状をなし、階段状に形成されてい
る。すなわち、封止用金属押潰し面７５の外側に位置す
る部分には、板状のカソード電極１１Ａを内側に折り曲
げることで形成された第１の押潰し面７６が設けられ、
封止用金属押潰し面７５の内側に位置する部分には、板
状のカソード電極１１Ａの端部を入力面板２１に向けて
立ち上がらせることで形成された第２の押潰し面７７が
設けられている。

【００２８】この第１の押潰し面７６と第２の押潰し面
７７とは連結面７８を介して連続し、第２の押潰し面７
７は、第１の押潰し面７６から一段高くなるように形成
されて、入力面板２１に近づけられている。そして、カ
ソード電極１１Ａの外周壁面１１Ａｃを内側に窪ませる
ように加工した場合、カソード電極１１Ａには、環状の
封止用金属支持体２４を収容するための環状の切欠き部
７９が形成される。この切欠き部７９によって、封止用
金属支持体２４の外周壁面２４ａとカソード電極の外周
壁面１１Ａｃとを面一にすることができる。

【００２９】前述した封止用金属押潰し面７０，７５の
段数は一段であるが、必要に応じてこの段数を増やして
もよい。この場合、低融点金属２３と封止用金属押潰し
面７０，７５との圧着性や低融点金属２３の逃げ性を考
慮することが肝要である。また、封止用金属押潰し面７
０，７５において、第１の押潰し面７１，７６及び第２
の押潰し面７２，７７は、外側に向けて切り落とすよう
に傾斜させてもよい。次に、図６に示すカソード電極１
１Ｂの端面には、傾斜状の封止用金属押潰し面８０が形
成され、この封止用金属押潰し面８０は約２５°の傾斜
角度αをもって環状に形成され、側管１０の端面の内側
から外側に向けて切り下げられている。そこで、カソー
ド電極１１Ｂと入力面板２１とを１５０ｋｇ程度の高圧
で互いに押し付けることにより、低融点金属２３が押し
潰されて変形し、結果的に低融点金属２３が接着剤とし
て機能し、入力面板２１は側管１０と一体化する。この
一体化に際して、低融点金属２３は、封止用金属押潰し
面８０で押し潰されながら、封止用金属支持体２４に向
けて外側に逃げるように変形する。従って、封止用金属
押潰し面８０に低融点金属２３が確実に圧着され、入力
面板２１と封止用金属押潰し面８０との間を低融点金属
２３で確実に封止することができ、電子管１内の気密性
が向上する。このような封止用金属押潰し面８０は加工
が容易であり、しかも、封止用金属押潰し面８０の傾斜
角度αを変えるだけの簡単な設計変更で、種々の製品に
対応させることができる。

【００３０】図７に示すように、側管１０におけるカソ
ード電極１１Ｃの外周壁面１１Ｃｃには、環状の封止用
金属支持体２４を収容する環状の切欠き部８１が形成さ
れている。この切欠き部８１によって、封止用金属支持
体２４の外周壁面２４ａとカソード電極１１Ｃの外周壁
面１０Ｃｃとを面一にすることができ、電子管１におけ
る側管１０の外周壁面の凹凸を可能な限り少なくするこ
とができ、引っ掛かりの極めて少ないシンプルな形状が
達成される。この場合、封止用金属押潰し面８０の傾斜
角度αは２５°程度が好適である。

【００３１】図８に示すように、カソード電極１１Ｄの
端面において、その中央には、２５°の傾斜角度αをも
つ環状の封止用金属押潰し面８２が設けられている。ま
た、端面の外側には、環状の封止用金属支持体２４を収
容するための環状の切欠き部８３が形成され、この切欠
き部８３は、カソード電極１１Ｄの外周壁面１１Ｄｃを
切り込むことで形成されている。そして、端面の内側に
は、封止用金属押潰し面８２から溢れ出た余剰の低融点
金属２３を受け止めるための封止用金属受入れ部８４が
環状に形成されている。この封止用金属受入れ部８４
は、カソード電極１１Ｄの内周壁面１１Ｄｄを切り込む
ことで、Ｌアングル状に形成され、封止用金属押潰し面
８２に連続する。従って、側管１０内部に向けて低融点
金属２３が必要以上に流入した場合でも、余剰な低融点
金属２３を封止用金属受入れ部８４内に流し込むことが
でき、低融点金属２３が光電面２２に付着するのを適切
に回避することができる。

【００３２】図９に示すカソード電極１１Ｅは、、コバ
ール金属製の板材をプレス加工して、所定の形状に折り
曲げられたものであり、製造コストの低減を可能にして
いる。このカソード電極１１Ｅの端面には環状な封止用
金属押潰し面８５が形成され、封止用金属押潰し面８５
は約２５°の傾斜角度αをもって形成され、側管１０の
端面の内側から外側に向けて切り下げられている。ま
た、カソード電極１１Ｅの外周壁面１１Ｅｃを内側に窪
ませるように加工した場合、カソード電極１１Ｅには、
環状の封止用金属支持体２４を収容するための環状の切
欠き部８６が形成される。この切欠き部８６によって、
封止用金属支持体２４の外周壁面２４ａとカソード電極
の外周壁面１１Ｅｃとを面一にすることができる。

【００３３】図１０に示した光電子増倍管９０は、ＴＯ
−８型のパッケージサイズを有している。この光電子増
倍管９０は、コバール金属からなる円筒状の側管９１を
有し、この側管９１は、板厚０．３ｍｍのコバール金属
をプレス加工にて筒状に形成し、その全長は約１０ｍｍ
に達する。側管９１の一端には、光を透過させるガラス
製の入力面板９２が固設され、この入力面板９２は、そ
の内側にＧａＡｓ結晶の光電面９３を有すると共に、側
管９１の第１の開口９４側に配置されている。

【００３４】この入力面板９２は、光電面９３をＣｓ蒸
気と酸素で活性化した後、封止用金属として利用する低
融点金属（例えば、インジウムそれ自体、インジウムを
主成分とする加圧変形自在な合金、鉛又は鉛合金）９５
を介して側管９１の端面に一体化され、その結果、入力
面板９２と側管９１の端面との間は低融点金属９５で封
止される。また、低融点金属９５で封止した部分は、コ
バール金属からなる環状の封止用金属支持体２４で外側
から包囲されている。更に、光電面９３の周辺部分に
は、光電面９３と低融点金属９５とを電気的に接続する
ように、クロムの薄膜よりなる光電面電極９６が配置さ
れている。この光電面電極９６の内径は光電面９３の有
効径を規定している。なお、封止用金属として、加圧変
形可能な金（Ａｕ）が利用される場合もある。

【００３５】更に、側管９１の他端には、導電性材料
（例えばコバール金属）よりなる円盤状のステム９７が
抵抗溶接により固定されている。このステム９７は、側
管９６の第２の開口９８側に配置されると共に、ガラス
９９で絶縁した複数の貫通ピン１００を有している。ま
た、側管９１内には、光電面９３から放出した電子を増
倍させる積層型ダイノード１０１が配置され、ダイノー
ド１０１の各ダイノード部１０１ａ〜１０１ｈは抵抗溶
接により８段に亙って組付けられている。そして、各ダ
イノード部１０１ａ〜１０１ｈを各貫通ピン１００の先
端に抵抗溶接で固定することで、ダイノード１０１は側
管９１内で固定されることになる。また、最終段ダイノ
ード部１０１ｈの上方には、増倍した電子を収集して検
出する陽極部１０２が配置されている。

【００３６】ここで、側管９１の端部は、０．８ｍｍ程
度の長さに亙って内側に折曲げられることで折曲げ部１
０３をなし、折曲げ部１０３には、低融点金属９５を変
形させて押し潰すための環状な封止用金属押潰し面１０
４が形成されている。この封止用金属押潰し面１０４は
約２５°の傾斜角度αをもって形成され、側管９１の端
面の内側から外側に向けて切り下げられている。そこ
で、側管９１の端部と入力面板９２とを１５０ｋｇ程度
の高圧で互いに押し付けることにより、インジウム９５
が押し潰されて変形し、結果的に低融点金属９５が接着
剤として機能し、入力面板９２は側管９１と一体化す
る。

【００３７】この一体化に際して、低融点金属９５は、
封止用金属押潰し面１０４で押し潰されながら、封止用
金属支持体２４に向けて外側に逃げるように変形する。
従って、封止用金属押潰し面１０４に低融点金属９５が
確実に圧着され、入力面板９２と封止用金属押潰し面１
０４との間を低融点金属９５で確実に封止することがで
き、光電子増倍管９０内の気密性が向上する。このよう
な封止用金属押潰し面１０４は加工が容易であり、しか
も、封止用金属押潰し面１０４の傾斜角度αを変えるだ
けの簡単な設計変更で、種々の製品に対応させることが
できる。

【００３８】

【発明の効果】本発明による電子管は、以上のように構
成されているため、次のような効果を得る。すなわち、
側管の端面には、低融点金属を押し潰して変形させると
共に端面の内側から外側に向けて切り下げられた環状の
封止用金属押潰し面が設けられているので、電子管の気
密性が良好になる。そして、側管に対して入力面板を所
定の圧力をもって押し付けるだけで、低融点金属を介在
させた側管と入力面板との接合が達成されるので、電子
管の大量生産が可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る電子管の第１実施形態を示す断面
図である。

【図２】図１に示した電子管の要部を示す拡大断面図で
ある。

【図３】図１に示した電子管の組立て要領を示す要部拡
大断面図である。

【図４】本発明に係る電子管の第２実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図５】本発明に係る電子管の第３実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図６】本発明に係る電子管の第４実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図７】本発明に係る電子管の第５実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図８】本発明に係る電子管の第６実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図９】本発明に係る電子管の第７実施形態を示す要部
拡大断面図である。

【図１０】本発明に係る電子管の第８実施形態を示す断
面図である。

【図１１】図１０に示した電子管の要部を示す拡大断面
図である。

【符号の説明】

１，９０…電子管、１０，９１…側管、１４，９４…第
１の開口、１５，９８…第２の開口、２１，９２…入力
面板、２２，９３…光電面、２３，９５…低融点金属
（封止用金属）、２４…封止用金属支持体、３１，９７
…ステム、７０，７５，８０，８２，８５，１０４…封
止用金属押潰し面、７４，７９，８１，８３，８６…切
欠き部。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者長谷川寛静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内 (72)発明者市川繁静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内 (72)発明者木下仁志静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内 (72)発明者朝倉憲夫静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内 (72)発明者須山本比呂静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】第１の開口と前記第１の開口と反対側に
位置する第２の開口とを有する側管と、前記側管の前記第１の開口側に設けられて、入射した光
に応じて電子を放出する光電面をもった入力面板と、前記側管の前記第２の開口側に設けられて、前記入力面
板と共に真空領域を規定するステムとを備え、前記入力面板と前記側管の端面とを対峙させ、加圧変形
自在な封止用金属で前記入力面板と前記側管の前記端面
との間を封止し、前記封止用金属で封止した部分を環状
の封止用金属支持体で外側から包囲した電子管におい
て、前記側管の前記端面には、前記封止用金属を押し潰して
変形させると共に前記端面の内側から外側に向けて切り
下げられた環状の封止用金属押潰し面が設けられたこと
を特徴とする電子管。
【請求項２】前記封止用金属押潰し面は、階段状をな
すことを特徴とする請求項１記載の電子管。
【請求項３】前記封止用金属押潰し面は、傾斜状をな
すことを特徴とする請求項１記載の電子管。
【請求項４】前記側管の外周壁面に、前記封止用金属
支持体を収容する環状の切欠き部を形成したことを特徴
とする請求項１〜３のいずれか一項記載の電子管。