JP4647955B2 - 光電陰極板及び電子管 - Google Patents
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Description
図1は、本発明に係る電子管の一実施形態である光電子増倍管を示す断面図である。同図に示すように、光電子増倍管1においては、金属製のステム3に金属製の側管5が気密に固定され、さらに、この側管5の上端部に光電陰極7が気密に固定されることで、真空容器が形成されている。
第2実施形態に係る電子管である光電子増倍管においては、組み込まれている光電陰極板23Cの層構造が第1実施形態に係る光電陰極板23Aの層構造と相違している。すなわち、光電陰極板23Cでは、図17及び図18に示すように、半導体電子放射層51上において電子放出部59が形成されていない領域を覆うように絶縁層69が形成されている点で、絶縁層63が半導体電子放射層51上の一部の領域にのみ形成されている光電陰極板23Aと相違している。
Claims (4)
- 入射した光を光電変換して光電子を放出する光電陰極板であって、
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、入射した光を吸収して光電子を発生する導電型がp型の半導体光吸収層と、
前記半導体光吸収層上に形成され、前記半導体光吸収層にて発生した光電子を加速する導電型がp型の半導体電子放射層と、
前記半導体電子放射層上に形成され、前記半導体電子放射層にて加速した光電子を外部に向けて放出する電子放出部と、
前記電子放出部における前記半導体放射層の露出部分に形成された活性層と、
前記電子放出部に電気的に接続された第1の電極と、
前記半導体電子放射層と前記第1の電極との間に形成された絶縁層と、
前記半導体基板に形成された第2の電極と、を備え、
前記電子放出部は、前記半導体放射層とpn結合を形成するコンタクト層及び前記コンタクト層とオーミック接触する電極層を有し、
前記第1の電極は、前記電極層によって前記電子放出部と一体的に形成されていることを特徴とする光電陰極板。 - 入射した光を光電変換して光電子を放出する光電陰極板であって、
半導体基板と、
前記半導体基板上に形成され、入射した光を吸収して光電子を発生する導電型がp型の半導体光吸収層と、
前記半導体光吸収層上に形成され、前記半導体光吸収層にて発生した光電子を加速する導電型がp型の半導体電子放射層と、
前記半導体電子放射層上に形成され、前記半導体電子放射層にて加速した光電子を外部に向けて放出する電子放出部と、
前記電子放出部における前記半導体放射層の露出部分に形成された活性層と、
前記電子放出部に電気的に接続された第1の電極と、
前記半導体電子放射層と前記第1の電極との間に形成された絶縁層と、
前記半導体基板に形成された第2の電極と、を備え、
前記半導体電子放射層上に直接積層されて前記電子放出部を形成するショットキー電極層を更に備え、
前記第1の電極は、前記半導体電子放射層上に前記絶縁層を介在させて積層されるとともに前記ショットキー電極層から伸びる電極層によって形成されていることを特徴とする光電陰極板。 - 前記絶縁層は、前記半導体電子放射層上において前記電子放出部が形成されていない領域を覆うように形成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の光電陰極板。
- 請求項1〜3のいずれか一項記載の光電陰極板を備えることを特徴とする電子管。
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