JP2010264624A - 吸着装置及び吸着装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】メディアの吸着力を向上させる。
【解決手段】吸着装置は、多数の吸引孔４１が形成された複数の吸引パネル４０が、真空ポンプに連結されたベースパネルに支持されて構成されている。そして、吸引パネル４０に形成された各吸引孔４１は、メディアが載置される載置面４２からベースパネルに接合される接合面４３まで貫通しており、載置面４２に向けて広がるように形成されている。そして、各吸引孔４１は、接合面４３側において同径の穴に形成された同径孔部４１ａと、載置面４２側において載置面４２に向けて広がるロート状に形成された拡径孔部４１ｂと、同径孔部４１ａと拡径孔部４１ｂとの間において開口面積が局部的に小さくなる小径孔部４１ｃとにより形成されている。
【選択図】図７

Description

本発明は、メディアを吸着パネルに吸着させる吸着装置及びこの吸着装置の製造方法に関する。

従来、この種の吸着装置は、メディアが載置される吸着テーブルと、吸着テーブルに吸引力を作用させる吸引ポンプとを主構成要素としている（例えば、特許文献１参照）。そして、この吸着テーブルは、複数の吸引孔が形成されてメディアが載置される複数の吸着パネルと、これらの吸着パネルを支持して真空ポンプに連結されるベースパネルと、複数の吸着パネルとベースパネルとの間に介挿されて吸着パネル吸引孔と吸引ポンプとを連通させるスペーサの３層構造となっている。そして、ベースパネル、スペーサ及び吸着パネルが、薄い接着シートによって接合されている。

特開平０２−１７２６４１号公報

ところで、従来の吸着装置は、吸着テーブルに形成された吸引孔の径が一定となっている。このため、従来の吸着装置では、メディアの吸着力を向上させるために、吸引孔の数を増やしたり、吸引孔の開口面積を大きくしたりする必要があった。しかしながら、このように構成すると、メディアに塞がれていない吸引孔に吸引力を奪われてしまうため、メディアを確実に吸着させるためには強力な吸引ポンプが必要になるという問題があった。

なお、吸着させるメディアの大きさに応じて、吸引力を作用させる領域を変化させることも考えられるが、このような構成にすると、メディアの大きさを検出するセンサや、吸引孔の切り替えを行う切替機構などが必要となり、吸着装置の部品点数が大幅に増えてコストが高くなるという問題がある。

そこで、本発明は、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる吸着装置及び吸着装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明に係る吸着装置は、メディアが載置される吸着パネルに形成された複数の吸引孔に吸引力を作用させることで、メディアを吸着パネルに吸着させる吸着装置であって、吸引孔は、メディアが載置される載置面に向けて広がっていることを特徴とする。

この吸着装置では、メディアを吸引するための吸引孔が吸着パネルの載置面に向けて広がっているため、吸引孔の最小開口面積を小さくしつつ、載置面における開口面積を大きくすることができる。このため、各吸引孔におけるメディアの吸引面積を大きくすることができ、しかも、吸引孔の最小開口面積を小さくすることで、吸引の圧力損失を大きくすることができるため、メディアに塞がれていない吸引孔から無駄な空気が吸引されるのを抑制することができる。これにより、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる。

この場合、吸引孔は、載置面に向けてロート状に広がっていることが好ましい。このような構成を採用することで、吸引孔内の圧力分布を均一化することができるとともに、吸引孔を形成する際の作業性を向上することができる。

そして、吸引孔は、同径に形成された同径孔部と、同径孔部の載置面側に形成されてロート状に広がる拡径孔部とを有することが更に好ましい。一般に、拡径孔部を形成するよりも同径孔部を形成する方が、製造容易性において優れる。そこで、同径孔部と拡径孔部との組み合わせにより吸引孔を載置面に向けて広げることで、メディアの吸引力を向上させつつ、吸引孔の製造容易性を向上させることができる。

また、吸着パネルを支持して、吸引孔に吸引力を作用させる吸引手段と吸引孔とを連通する連通溝が形成されているベースパネルを更に有することが好ましい。このように、ベースパネルに連通溝を形成することで、連通溝が形成されたスペーサを別途設けることなく、吸引手段と吸引孔とを連通させることができるため、吸着装置の積層枚数を低減することができる。これにより、積層による誤差の拡大を抑制することができるため、例えば、複数の吸着パネルを用いた場合など、吸着パネルの平面度を向上させることができる。

また、吸着パネルとベースパネルとは、螺子止めにより接合されていることが好ましい。このように、吸着パネルとベースパネルとを螺子止めにより接合することで、吸着パネルとベースパネルとの接合及び分離を容易に行うことができる。このため、例えば、ベースパネルに対する吸着パネルの接合位置がずれたとしても、螺子を外すことで、容易に吸着パネルをベースパネルから分離させることができる。

また、ベースパネルには、吸着パネルとベースパネルとを接合する螺子がねじ込まれる螺子穴が形成されており、吸着パネルには、螺子穴に対応した位置に、螺子よりも径が大きい挿入穴が形成されており、螺子の頭部は、吸着パネルに当接する面が平面状に形成されていることが好ましい。このように、吸着パネルの挿入穴を螺子よりも径を大きくすることで、ベースパネルに対する吸着パネルの位置を調整することができる。しかも、螺子の頭部の吸着パネルに当接する面を平面状に形成することで、螺子を螺子穴ねじ込む際に吸着パネルの位置が矯正されないため、例えば、ベースパネルや吸着パネルの製造誤差があったとしても、ベースパネルと吸着パネルとを適切な位置で接合させることができる。

また、吸着パネルは、挿入穴が形成されて半抜き加工されたハーフパンチ部が形成されており、ベースパネルは、螺子穴が形成されてハーフパンチ部よりも大きな径のザグリ部が形成されていることが好ましい。このような構成を採用することで、ハーフパンチ部がザグリ部に嵌まり込んだ状態で、螺子が螺子穴にねじ込まれるため、螺子を吸着パネルの載置面下に潜り込ませることができる。これにより、メディアに螺子が接触することに起因するメディアの吸着不良や破損などを防止することができる。

本発明に係る吸着装置の製造方法は、メディアが載置される吸着パネルに形成された複数の吸引孔に吸引力を作用させることで、メディアを吸着パネルに吸着させる吸着装置の製造方法であって、吸着パネルを貫通する同径の吸引孔を穿孔する穿孔ステップと、吸引孔を穿孔した後、先端が略円錐形状に形成された工具を、メディアが載置される載置面から吸引孔に押圧して、吸引孔の載置面側をロート状に形成する形成ステップと、を有することを特徴とする。

この吸着装置の製造方法では、まず、吸着パネルを貫通する同径の吸引孔を穿孔することで、容易に吸引孔を形成することができる。その後、先端が略円錐形状に形成された工具を載置面から吸引孔に押圧することで、切削加工などを行うことなく、吸引孔を載置面に向けて広げることができる。これにより、各吸引孔におけるメディアの吸引面積を大きくすることができるため、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる。しかも、この工具により押圧された部分が吸引孔の内側に逃げるように移動するため、吸引孔の最小開口面積が、穿孔ステップで穿孔した吸引孔の開口面積よりも小さくなる。このため、吸引の圧力損失を更に大きくすることができるため、メディアに塞がれていない吸引孔から無駄な空気が吸引されるのを抑制することができ、簡易な構成でメディアの吸着力を更に向上させることができる。
である。

本発明によれば、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる。

実施形態に係る吸着装置を搭載したフラットベッド型インクジェットプリンタの斜視図である。 図１に示す吸着装置のＩＩ−ＩＩ線断面図である。 吸着テーブルを示す上面図である。 ベースパネルを上方から見た斜視図である。 吸着パネルを上方から見た斜視図である。 吸着パネルを下方から見た斜視図である。 吸着パネルの一部断面図である。 吸着テーブルの一部断面図である。 吸着テーブルの一部断面図である。 吸着パネルの製造方法を説明するための図である。 他の吸着テーブルの一部断面図である。 他の吸着テーブルの一部断面図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る吸着装置の好適な実施形態について詳細に説明する。実施形態では、本発明に係る吸着装置を、フラットベッド型インクジェットプリンタの吸着装置に適用するものとして説明する。なお、全図中、同一又は相当部分には同一符号を付すこととする。

図１は、実施形態に係る吸着装置を搭載したフラットベッド型インクジェットプリンタの斜視図である。図１に示すように、フラットベッド型インクジェットプリンタ１は、印刷対象のメディア（不図示）を載置して吸着するフラットベッド型の吸着装置２と、インク液滴を吐出するインクジェットヘッド（不図示）が搭載された印刷ユニット３とを備えている。この吸着装置２は、フレーム４によって所定の高さに保持された吸着テーブル１０と、吸着テーブル１０に吸引力を作用させる真空ポンプ２０とを備えている。そして、フラットベッド型インクジェットプリンタ１は、吸着テーブル１０にメディアを吸着させた状態で、インクジェットヘッドをＹ軸方向及びＸ軸方向に移動させながらインク液滴を吐出させることで、メディアに画像を印刷する。

図２は、図１に示す吸着装置のＩＩ−ＩＩ線断面図であり、図３は、図３は、吸着テーブルを示す上面図である。図２及び図３に示すように、吸着テーブル１０は、真空ポンプ２０に連結されたベースパネル３０と、このベースパネル３０に支持されて多数の吸引孔４１が形成された４枚の吸着パネル４０とを備えている。この吸着テーブル１０は、４枚の吸着パネル４０が１枚のベースパネル３０に敷き詰められた状態で支持されている。このため、例えば、ベースパネル３０の寸法が、長さ：３０００ｍｍ×幅：１６００ｍｍである場合は、吸着パネル４０の寸法が、長さ：１５００ｍｍ×幅：８００ｍｍとなる。そして、ベースパネル３０と吸着パネル４０とは、積層された状態で螺子止めにより接合されている。

図４は、ベースパネルを上方から見た斜視図である。図４に示すように、ベースパネル３０は、複数の（本実施形態では４枚の）吸着パネル４０を支持するものであり、フレーム４によって所定の高さに保持されている。ベースパネル３０は、アルミ又はアルミ合金によって、所定厚さの平板矩形状に形成されている。

ベースパネル３０の中央部には、ベースパネル３０を貫通するポンプ用穴３１が形成されており、このポンプ用穴３１に、真空ポンプ２０に接続された吸引チューブ２１が連結されている（図２参照）。

吸着パネル４０が接合されるベースパネル３０の上面３２には、ベースパネル３０の厚さ方向に削り込まれた連通溝３３が形成されている。連通溝３３は、ポンプ用穴３１を通るリブ状に形成されており、ポンプ用穴３１を通りベースパネル３０の長さ方向に延びる縦溝３３ａと、この縦溝３３ａからベースパネル３０の幅方向に延びる複数の横溝３３ｂとにより形成されている。なお、ベースパネル３０の上面３２に吸着パネル４０が接合されると、連通溝３３が吸着パネル４０に覆われるため、この連通溝３３は、真空ポンプ２０に吸い込まれる空気の流路となる。

また、ベースパネル３０の上面３２には、連通溝３３の形成されていない部分に、複数のザグリ部３６が形成されている。これらのザグリ部３６は、ザグリ加工により所定深さに削り込まれており、その底面は平面状に形成されている。そして、各ザグリ部３６の中央部には、吸着パネル４０を螺子止めする螺子がねじ込まれる螺子穴３７が形成されている。

図５は、吸着パネルを上方から見た斜視図であり、図６は、吸着パネルを下方から見た斜視図である。図５及び図６に示すように、吸着パネル４０は、アルミ又はアルミ合金によって、所定厚さの平板矩形状に形成されている。

吸着パネル４０には、ベースパネル３０に形成された連通溝３３に連通される位置に、上述した複数の吸引孔４１が形成されている（図３参照）。これにより、吸引孔４１は、連通溝３３、ポンプ用穴３１及び吸引チューブ２１を介して、真空ポンプ２０と連通されるため、真空ポンプ２０を作動させることで、吸引孔４１に吸引力を作用させることができる。

図７は、吸着パネル４０の一部断面図である。図７に示すように、各吸引孔４１は、メディアが載置される載置面４２からベースパネル３０と接合される接合面４３まで貫通しており、載置面４２に向けて広がるように形成されている。そして、各吸引孔４１は、接合面４３側に形成される同径孔部４１ａと、載置面４２側に形成される拡径孔部４１ｂと、同径孔部４１ａと拡径孔部４１ｂとの間に形成される小径孔部４１ｃとにより構成されている。

同径孔部４１ａは、接合面４３から載置面４２に向けて所定の長さに形成されて、径が一定となる円柱状の孔である。拡径孔部４１ｂは、同径孔部４１ａから載置面４２に至る所定の長さに形成されて、載置面４２に向けて径が拡大するロート状の孔である。小径孔部４１ｃは、同径孔部４１ａと拡径孔部４１ｂとの間において開口面積が局部的に小さく形成された穴である。そして、吸引孔４１は、拡径孔部４１ｂの開口が載置面４２に開放されるとともに、同径孔部４１ａの開口がベースパネル３０に形成された連通溝３３に連通されている。これにより、真空ポンプ２０により発生された吸引力は、連通溝３３を介して吸引孔４１に作用されるため、載置面４２に載置されたメディアは、この吸引力によって載置面４２に吸着される。

また、吸着パネル４０には、ベースパネル３０に形成されたザグリ部３６に対応する位置に、ハーフパンチ部４５が形成されている（図３参照）。ハーフパンチ部４５は、ハーフパンチ（半抜き）加工により、吸着パネル４０の板厚の半分程度が打ち抜かれたものである。このため、メディアが載置される吸着パネル４０の載置面４２には、ハーフパンチ部４５により所定深さの凹部４６が形成されており、その底面は平面状に形成されている。また、ベースパネル３０と接合される吸着パネル４０の接合面４３には、ハーフパンチ部４５により所定高さの凸部４７が形成されており、その頭頂面は平面状に形成されている。そして、ハーフパンチ部４５の中央部には、ベースパネル３０に形成された螺子穴３７に対応する位置に、螺子穴３７よりも径の大きな挿入穴４８が形成されている。

次に、図８及び図９を参照して、吸着テーブル１０におけるベースパネル３０と吸着パネル４０との接合方法について説明する。図８及び図９は、吸着テーブルの一部断面図である。図８及び図９に示すように、ベースパネル３０に吸着パネル４０を接合させるためには、まず、ベースパネル３０の上面３２に４枚の吸着パネル４０を並べて載置して、ベースパネル３０のザグリ部３６に吸着パネル４０のハーフパンチ部４５の凸部４７を嵌め込み、ベースパネル３０の螺子穴３７に吸着パネル４０の挿入口を合わせる。このとき、ザグリ部３６の径はハーフパンチ部４５の径よりも大きく、また、挿入穴４８の径は螺子穴３７の径よりも大きいため、ベースパネル３０に対する吸着パネル４０の位置を調整して、螺子穴３７と挿入穴４８とを位置合わせすることができる。

そして、螺子５０を挿入穴４８から挿入して螺子穴３７にねじ込み、ベースパネル３０に各吸着パネル４０を螺子止めする。ベースパネル３０に各吸着パネル４０を螺子止めする螺子５０は、その頭部５１の吸着パネル４０に当接する面が平面状に形成されたものを用いる。これにより、ベースパネル３０に４枚の吸着パネル４０が接合される。このとき、ザグリ部３６の底面、ハーフパンチ部４５における凸部４７の頭頂面、ハーフパンチ部４５における凹部４６の底面、及び、螺子５０の頭部５１の吸着パネルに当接する面は、全て平面状に形成されているため、螺子５０を螺子穴３７にねじ込む際に吸着パネル４０の位置が矯正されることなく、ベースパネル３０に対する吸着パネル４０の位置が保持される。

このようにしてベースパネル３０と吸着パネル４０とが接合された吸着テーブル１０は、ベースパネル３０と吸着パネル４０とが、ベースパネル３０のザグリ部３６に吸着パネル４０のハーフパンチ部４５がはめ込まれた状態で密着されており、螺子穴３７にねじ込まれた螺子５０により螺子止めされて接合されている。そして、ベースパネル３０の連通溝３３が吸着パネル４０によって覆われるとともに、吸着パネル４０の各吸引孔４１がこの連通溝３３に連通されている。また、螺子５０の頭部５１は、ハーフパンチ部４５の凹部４６の中に沈み込むため、吸着パネル４０の載置面４２は、突出物のない平面状となる。

次に、図１０を参照して、吸着パネル４０に吸引孔４１を形成して吸着パネル４０を製造する方法について説明する。図１０は、吸着パネルの製造方法を説明するための図である。

まず、図１０（ａ）に示すように、平板状の吸着パネル４０を用意する。

次に、図１０（ｂ）に示すように、先端が円柱状に形成された工具６１を、吸着パネル４０の載置面４２から押圧して貫通させる。そして、工具６１を吸着パネル４０から引き抜くと、吸着パネル４０に同径孔の吸引孔４１が形成される。

次に、図１０（ｃ）に示すように、先端が略円錐形状に形成された工具６２を、載置面４２から吸引孔４１に押圧する。すると、図１０（ｄ）に示すように、吸引孔４１は、載置面４２側の一部が、載置面４２に向けて広がるロート状に変形される。このとき、吸着パネル４０は、工具６２に押圧された部分が吸引孔４１の内側に向けて変形移動して、吸引孔４１の開口面積が局部的に小さくなる。

そして、図１０（ｅ）に示すように、工具６２を吸着パネル４０から引き抜くと、吸引孔４１に、接合面４３側の同径孔部４１ａと、載置面４２側の拡径孔部４１ｂとが形成されるとともに、同径孔部４１ａと拡径孔部４１ｂとの間に吸引孔４１の径が局部的に小さくなった小径孔部４１ｃが形成される。

このように、本実施形態に係る吸着装置２では、メディアを吸引するための吸引孔４１が吸着パネル４０の載置面４２に向けて広がっているため、吸引孔４１の最小開口面積を小さくしつつ、載置面４２における開口面積を大きくすることができる。このため、各吸引孔４１におけるメディアの吸引面積を大きくすることができ、しかも、吸引孔４１の最小開口面積を小さくすることで、吸引の圧力損失を大きくすることができるため、メディアに塞がれていない吸引孔４１から無駄な空気が吸引されるのを抑制することができる。これにより、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる。特に、小径孔部４１ｃを形成することで、吸引孔４１の最小開口面積を更に小さくすることができるため、吸引の圧力損失を更に大きくすることができ、吸引力の分散をより効果的に低減することができる。

また、吸引孔４１を、載置面４２に向けてロート状に広がる形状とすることで、吸引孔４１内の圧力分布を均一化することができるとともに、吸引孔４１を形成する際の作業性を向上することができる。

そして、同径に形成された同径孔部４１ａと、ロート状に広がる拡径孔部４１ｂとの組み合わせにより、吸引孔４１を載置面４２に向けて広げることで、メディアの吸引力を向上させつつ、吸引孔４１の製造容易性を向上させることができる。

また、ベースパネル３０に連通溝３３を形成することで、連通溝が形成されたスペーサを別途設けることなく、真空ポンプ２０と吸引孔４１とを連通させることができるため、吸着テーブル１０の積層枚数を低減することができる。これにより、積層による誤差の拡大を抑制することができるため、例えば、複数の吸着パネルを用いた場合など、吸着パネルの平面度を向上させることができる。

また、吸着パネル４０とベースパネル３０とを螺子止めにより接合することで、吸着パネル４０とベースパネル３０との接合及び分離を容易に行うことができる。このため、例えば、ベースパネル３０に対する吸着パネル４０の接合位置がずれたとしても、螺子５０を外すことで、容易に吸着パネル４０をベースパネル３０から分離させることができる。

また、吸着パネル４０の挿入穴４８を螺子５０よりも径を大きくすることで、ベースパネル３０に対する吸着パネル４０の位置を調整することができる。しかも、螺子５０の頭部５１の吸着パネル４０に当接する面を平面状に形成することで、螺子５０を螺子穴３７ねじ込む際に吸着パネル４０の位置が矯正されないため、例えば、ベースパネル３０や吸着パネル４０の製造誤差があったとしても、ベースパネル３０と吸着パネル４０とを適切な位置で接合させることができる。

また、吸着パネル４０に挿入穴４８が形成されたハーフパンチ部４５を形成し、ベースパネル３０に螺子穴３７が形成されたザグリ部３６を形成することで、ハーフパンチ部４５がザグリ部３６に嵌まり込んだ状態で、螺子５０が螺子穴３７にねじ込まれるため、螺子５０の頭部５１を吸着パネル４０の載置面４２下に潜り込ませることができる。これにより、メディアに螺子５０の頭部５１が接触することに起因するメディアの吸着不良や破損などを防止することができる。

更に、吸着パネル４０に吸引孔４１を形成する際、まず、吸着パネル４０を貫通する同径の吸引孔４１を穿孔することで、容易に吸引孔４１を形成することができる。その後、先端が略円錐形状に形成された工具６２を載置面４２から吸引孔４１に押圧することで、切削加工などを行うことなく、吸引孔４１を載置面に向けて広げることができる。これにより、各吸引孔４１におけるメディアの吸引面積を大きくすることができるため、簡易な構成でメディアの吸着力を向上させることができる。しかも、この工具６２により押圧された部分が吸引孔４１の内側に逃げるように移動して小径孔部４１ｃが形成されるため、吸引孔４１の最小開口面積が、工具６１で穿孔した同径孔部４１ａの開口面積よりも小さくなる。このため、吸引の圧力損失を更に大きくすることができるため、吸引力の分散によりメディアに塞がれていない吸引孔４１から無駄な空気が吸引されるのを抑制することができ、簡易な構成でメディアの吸着力を更に向上させることができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態において、吸引孔４１は、同径孔部４１ａ、拡径孔部４１ｂ及び小径孔部４１ｃにより形成されるものとして説明したが、載置面４２に向けて広がるように形成されていれば如何なる形状であってもよい。例えば、図１１に示す吸着テーブル１０のように、吸着パネル４０に形成される吸引孔７１を、接合面４３から載置面４２に向けて広がるロート状の拡径孔部７１ａのみで形成してもよい。また、図１２に示す吸着テーブル１０のように、吸着パネル４０に形成される吸引孔７２を、接合面４３側に形成される小径の同径孔部７２ａと、載置面４２側に形成される大径の同径孔部７２ｂとにより形成してもよい。この場合、同径孔部７２ｂは、同径孔部７２ａよりも径が大きいため、吸引孔７２は、載置面４２に向けて広がるように形成される。

また、上記実施形態において、吸着装置２は、フラットベッド型インクジェットプリンタ１に適用するものとして説明したが、フラットベッド型のカッターやプロッタなど、シート状のメディアを吸着保持するものであれば、如何なる装置に適用してもよい。

１…フラットベッド型インクジェットプリンタ、２…吸着装置、３…印刷ユニット、４…フレーム、１０…吸着テーブル、２０…真空ポンプ、２１…吸引チューブ、３０…ベースパネル、３１…ポンプ用穴、３２…ベースパネルの上面、３３…連通溝、３３ａ…連通溝における縦溝、３３ｂ…連通溝における横溝、３６…ザグリ部、３７…螺子穴、４０…吸着パネル、４１…吸引孔、４１ａ…同径孔部、４１ｂ…拡径孔部、４１ｃ…小径孔部、４２…吸着パネルの載置面、４３…吸着パネルの接合面、４５…ハーフパンチ部、４６…ハーフパンチ部の凹部、４７…ハーフパンチ部の凸部、４８…挿入穴、５０…螺子、５１…螺子の頭部、６１…工具、６２…工具、７１…吸引孔、７１ａ…拡径孔部、７２…吸引孔、７２ａ…小径の同径孔部、７２ｂ…大径の同径孔部。

Claims (8)

1. メディアが載置される吸着パネルに形成された複数の吸引孔に吸引力を作用させることで、前記メディアを吸着パネルに吸着させる吸着装置であって、
   前記吸引孔は、前記メディアが載置される載置面に向けて広がっていることを特徴とする吸着装置。
2. 前記吸引孔は、前記載置面に向けてロート状に広がっていることを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
3. 前記吸引孔は、同径に形成された同径孔部と、前記同径孔部の前記載置面側に形成されてロート状に広がる拡径孔部とを有することを特徴とする請求項１に記載の吸着装置。
4. 前記吸着パネルを支持して、前記吸引孔に吸引力を作用させる吸引手段と前記吸引孔とを連通する連通溝が形成されているベースパネルを更に有することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の吸着装置。
5. 前記吸着パネルと前記ベースパネルとは、螺子止めにより接合されていることを特徴とする請求項４に記載の吸着装置。
6. 前記ベースパネルには、前記吸着パネルと前記ベースパネルとを接合する螺子がねじ込まれる螺子穴が形成されており、
   前記吸着パネルには、前記螺子穴に対応した位置に、前記螺子よりも径が大きい挿入穴が形成されており、
   前記螺子の頭部は、前記吸着パネルに当接する面が平面状に形成されていることを特徴とする請求項５に記載の吸着装置。
7. 前記吸着パネルは、前記挿入穴が形成されて半抜き加工されたハーフパンチ部が形成されており、
   前記ベースパネルは、前記螺子穴が形成されて前記ハーフパンチ部よりも大きな径のザグリ部が形成されていることを特徴とする請求項６に記載の吸着装置。
8. メディアが載置される吸着パネルに形成された複数の吸引孔に吸引力を作用させることで、前記メディアを吸着パネルに吸着させる吸着装置の製造方法であって、
   前記吸着パネルを貫通する同径の吸引孔を穿孔する穿孔ステップと、
   前記吸引孔を穿孔した後、先端が略円錐形状に形成された工具を、前記メディアが載置される載置面から前記吸引孔に押圧して、前記吸引孔の前記載置面側をロート状に形成する形成ステップと、
   を有することを特徴とする吸着装置の製造方法。
   
   

Images