JP2010257883A - 環状明視野像観察装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、透過電子と散乱電子を受けて光信号に変換する円盤状シンチレータ6を設け、かつ該円盤状シンチレータ6の中心部を遮蔽するための遮蔽手段13を設け、この状態で前記円盤状シンチレータ6で環状明視野像を検出するように構成する。
【選択図】図1
Description
(1)請求項1記載の発明は、照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、透過電子と散乱電子を検出する円盤状電子検出器を設け、かつ該円盤状電子検出器の中心部を遮蔽するための遮蔽手段を設け、この状態で前記円盤状電子検出器で環状明視野像を検出するようにしたことを特徴とする。
(5)請求項5記載の発明は、照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、その中心部に透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴があき、試料の弾性散乱電子を検出するための第1の円環状電子検出器と、該第1の円環状電子検出器を通過した透過電子と散乱電子を受け、環状明視野像の取込角を制限する絞りと、該絞りの下に設けられ、その中心部に透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴があき、環状明視野像を検出する第2の円環状電子検出器と、該第2の円環状電子検出器の穴を通過した透過電子と散乱電子を検出するための円盤状電子検出器とを有することを特徴とする。
(3)請求項3記載の発明によれば、透過電子と散乱電子の一部をカットするので、輝度を弱めることができ、その残った透過電子と散乱電子の信号に基づいて環状明視野像を得るため、コントラストのよい軽元素と重元素の環状明視野像を得ることができる。
(実施例1)
図1は本発明の実施例1の構成図で、図9におけるシンチレータ部拡大図に本発明の内容を加えたものと、各々のシンチレータ検出領域の説明図である。図1において、図9と同一のものは、同一の符号を付して示す。円環状シンチレータ5の下方に円盤状シンチレータ6を設置し、該円盤状シンチレータ6の上方に遮蔽板13を設置する。21は円盤状シンチレータ6に照射される視野を制限するための絞りである。5は絞り21の上方に設けた円環状シンチレータであり、中心部に透過電子と散乱電子を通過させるための穴5aが空いている。5bは環状暗視野像9を検出するための検出領域である。
この実施例によれば、所定の大きさの遮蔽部を任意に選択して遮蔽することができるため、最適な環状明視野像を得ることができる。
(実施例2)
図4は本発明の実施例2の構成図で、図9におけるシンチレータ部拡大図に本発明の内容を加えたものと、各々のシンチレータ検出領域の説明図である。図4において、図3,図9と同一のものは、同一の符号を付して示す。円環状シンチレータ5の下方の透過電子及び散乱電子を取得できる位置に円環状シンチレータ16を設置する。円環状シンチレータ16において、16aは透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴、斜線部は検出領域16bである。
(実施例3)
図5は本発明の実施例3の構成図であり、図9におけるシンチレータ部に本発明の内容を加えたものと、各々のシンチレータ検出領域の説明図である。図4,図9と同一のものは、同一の符号を付して示す。円環状シンチレータ5の下方の透過電子及び散乱電子を取得できる位置に、円環状シンチレータ16を設置する。更にその下方に透過電子像10を検出する円盤状シンチレータ6を配置する。
5a 穴
5b 検出領域
6 円盤状シンチレータ
6a 検出領域
9 環状暗視野像
13 遮蔽板
13a 遮蔽部
14 環状明視野像
21 絞り
Claims (6)
- 照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、
透過電子と散乱電子を検出する円盤状電子検出器を設け、
かつ該円盤状電子検出器の中心部を遮蔽するための遮蔽手段を設け、
この状態で前記円盤状電子検出器で環状明視野像を検出するようにしたことを特徴とする環状明視野像観察装置。 - 前記円盤状電子検出器の上方に、その中心部に透過電子と散乱電子の一部を前記円盤状電子検出器に向けて通過させるための穴があき、試料の弾性散乱電子を検出するための円環状電子検出器を設けたことを特徴とする請求項1記載の環状明視野像観察装置。
- 前記円盤状電子検出器で回折像を検出する場合において、透過電子と散乱電子の一部をカットし、その残った透過電子と散乱電子の信号に基づいて環状明視野像を得ることを特徴とする請求項1記載の環状明視野像観察装置。
- 前記遮蔽手段には複数の大きさの遮蔽部が設けられ、該遮蔽部の何れかを任意に選択可能であることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の環状明視野像観察装置。
- 照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、
その中心部に透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴があき、試料の弾性散乱電子を検出するための第1の円環状電子検出器と、
該第1の円環状電子検出器を通過した透過電子と散乱電子を受け、環状明視野像の取込角を制限する絞りと、
該絞りの下に設けられ、その中心部に透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴があき、環状明視野像を検出する第2の円環状電子検出器と、
該第2の円環状電子検出器の穴を通過した透過電子と散乱電子を検出するための円盤状電子検出器と、
を有することを特徴とする環状明視野像観察装置。 - 照射光学系と結像光学系を有し、試料を透過した透過電子或いは散乱電子を検出して表示部に表示するようにした走査透過型電子顕微鏡において、
その中心部に透過電子を通過させるための穴があき、試料の弾性散乱電子を検出するための第1の円環状電子検出器と、
該第1の円環状電子検出器の下に設けられ、その中心部に透過電子と散乱電子の一部を通過させるための穴があき、所定の大きさの検出領域を持つ第2の円環状電子検出器と、
該第2の円環状電子検出器の穴を通過した透過電子と散乱電子を検出するための、所定の大きさの検出領域を持つ円盤状電子検出器と、
を有することを特徴とする環状明視野像観察装置。
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