JP2013196843A - 走査透過型電子顕微鏡及び試料観察方法 - Google Patents
走査透過型電子顕微鏡及び試料観察方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】電子線EBの照射により試料Sから第1の散乱角範囲に出た電子の第1の強度を検出する第1の検出器21と、電子線EBの照射により試料Sから第1の散乱角範囲とは異なる第2の散乱角範囲に出た電子の第2の強度を検出する第2の検出器22と、第1の強度に基づいて試料Sに含まれる第1の元素の第1の像を生成すると共に、第2の強度に基づいて試料Sに含まれる第2の元素の第2の像を生成する画像生成部30とを備え、画像生成部30が、第1の像と第2の像とを足し合わせて試料Sの顕微鏡像を生成する。
【選択図】図5
Description
異種の原子A1、A2を含む試料Sの正確な顕微鏡像を一度に取得する。
図5は、本実施形態に係る走査透過型電子顕微鏡の構成図である。
前記電子線を試料の表面に収束させるレンズ系と、
前記試料に対して前記電子線源と反対側に設けられ、前記電子線の照射により前記試料から第1の散乱角範囲に出た第1の電子の第1の強度を検出する第1の検出器と、
前記第1の検出器に対して前記電子線源と反対側に設けられ、前記電子線の照射により前記試料から前記第1の散乱角範囲とは異なる第2の散乱角範囲に出た第2の電子の第2の強度を検出する第2の検出器と、
前記第1の強度に基づいて前記試料に含まれる第1の元素の第1の像を生成すると共に、前記第2の強度に基づいて前記試料に含まれる第2の元素の第2の像を生成する画像生成部とを備え、
前記画像生成部が、前記第1の像と前記第2の像とを足し合わせて前記試料の顕微鏡像を生成することを特徴とする走査透過型電子顕微鏡。
前記第2の検出器は、前記光軸に重なる円形の検出面を備えることを特徴とする付記1に記載の走査透過型電子顕微鏡。
前記第2の検出器はBF検出器であることを特徴とする付記2に記載の走査透過型電子顕微鏡。
前記試料に対して前記電子線源と反対側に設けられた第1の検出器を用いて、前記電子線の照射によって前記試料から第1の散乱角範囲に出た第1の電子の第1の強度を検出し、前記第1の強度に基づいて前記試料に含まれる第1の元素の第1の像を生成するステップと、
前記第1の検出器に対して前記電子線源と反対側に設けられた第2の検出器を用いて、前記電子線の照射によって前記試料から前記第1の散乱角範囲とは異なる第2の散乱角範囲に出た第2の電子の第2の強度を検出し、前記第2の強度に基づいて前記試料に含まれる第2の元素の第2の像を生成するステップと、
前記第1の像と前記第2の像とを足し合わせて前記試料の顕微鏡像を生成するステップと、
を有することを特徴とする試料観察方法。
前記第2の検出器として、前記光軸に重なる円形の検出面を備えた検出器を用いることを特徴とする付記7に記載の試料観察方法。
前記第2の像の輝度を規格化するステップとを更に有し、
前記顕微鏡像を生成するステップは、規格化された前記第1の像と規格化された前記第2の像とを足し合わせることにより行われることを特徴とする付記7又は付記8に記載の試料観察方法。
Claims (5)
- 電子線を生成する電子線源と、
前記電子線を試料の表面に収束させるレンズ系と、
前記試料に対して前記電子線源と反対側に設けられ、前記電子線の照射により前記試料から第1の散乱角範囲に出た第1の電子の第1の強度を検出する第1の検出器と、
前記第1の検出器に対して前記電子線源と反対側に設けられ、前記電子線の照射により前記試料から前記第1の散乱角範囲とは異なる第2の散乱角範囲に出た第2の電子の第2の強度を検出する第2の検出器と、
前記第1の強度に基づいて前記試料に含まれる第1の元素の第1の像を生成すると共に、前記第2の強度に基づいて前記試料に含まれる第2の元素の第2の像を生成する画像生成部とを備え、
前記画像生成部が、前記第1の像と前記第2の像とを足し合わせて前記試料の顕微鏡像を生成することを特徴とする走査透過型電子顕微鏡。 - 前記第1の検出器は、前記レンズ系の光軸に重なる穴を備えた環状の検出面を備え、
前記第2の検出器は、前記光軸に重なる円形の検出面を備えることを特徴とする請求項1に記載の走査透過型電子顕微鏡。 - 前記画像生成部は、前記第1の像と前記第2の像の各々の輝度を規格化すると共に、規格化された前記第1の像と前記第2の像とを足し合わせて前記顕微鏡像を生成することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の走査透過型電子顕微鏡。
- 前記画像生成部は、前記第1の像と前記第2の像とを互いに異なる色彩とすることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の走査透過型電子顕微鏡。
- 走査透過型電子顕微鏡の電子線源で生成された電子線を試料の表面に照射するステップと、
前記試料に対して前記電子線源と反対側に設けられた第1の検出器を用いて、前記電子線の照射によって前記試料から第1の散乱角範囲に出た第1の電子の第1の強度を検出し、前記第1の強度に基づいて前記試料に含まれる第1の元素の第1の像を生成するステップと、
前記第1の検出器に対して前記電子線源と反対側に設けられた第2の検出器を用いて、前記電子線の照射によって前記試料から前記第1の散乱角範囲とは異なる第2の散乱角範囲に出た第2の電子の第2の強度を検出し、前記第2の強度に基づいて前記試料に含まれる第2の元素の第2の像を生成するステップと、
前記第1の像と前記第2の像とを足し合わせて前記試料の顕微鏡像を生成するステップと、
を有することを特徴とする試料観察方法。
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JP2012060459A JP2013196843A (ja) | 2012-03-16 | 2012-03-16 | 走査透過型電子顕微鏡及び試料観察方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015181101A (ja) * | 2014-03-03 | 2015-10-15 | Jfeスチール株式会社 | 電子線を用いた試料観察方法、並びに、電子顕微鏡用アタッチメントおよび電子顕微鏡 |
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-
2012
- 2012-03-16 JP JP2012060459A patent/JP2013196843A/ja active Pending
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