JP2006234557A - X線画像補正方法およびx線検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】フラットパネルX線検出器の欠陥画像を正しく補正し、欠陥のない画像として表示する。
【解決手段】 フラットパネルX線検出器では線状につながった線欠陥が生じる場合があり、さらにその線欠陥に隣接するラインに一目では欠陥とわかりづらい不確かな欠陥ラインが存在する場合がある。その不確かな欠陥ラインを欠陥かどうか判定するために、不確かな欠陥ラインの平均輝度と、隣接する複数の正常画素からなるラインの平均輝度とを比較して欠陥かどうかを判定する。
【選択図】 図5
【解決手段】 フラットパネルX線検出器では線状につながった線欠陥が生じる場合があり、さらにその線欠陥に隣接するラインに一目では欠陥とわかりづらい不確かな欠陥ラインが存在する場合がある。その不確かな欠陥ラインを欠陥かどうか判定するために、不確かな欠陥ラインの平均輝度と、隣接する複数の正常画素からなるラインの平均輝度とを比較して欠陥かどうかを判定する。
【選択図】 図5
Description
本発明はフラットパネル型のX線検出器によって得られるX線画像を補正するためのX線画像補正方法に関する。また、本発明は、フラットパネル型のX線検出器を用いて工業製品等の被検査体を透視撮影するX線検査装置、断層撮影によって検査を行うX線検査装置等に関する。すなわち、本発明は、X線を用いて被検査体の透視を行うX線透視装置や、被検査体を回転させて多数の方向から得られたX線透過データから被検査体の断層像を演算して表示するX線CT装置等に関するものであって、検出器としてフラットパネル型のX線検出器を使用する装置に関する。
フラットパネル型のX線検出器はX線を検出するための多数の画素が格子状に並んだ構造をしており、画素の一つ一つがその位置に入射するX線の強度を検出する検出素子となっている。X線検出素子としての画素には、その1つだけが他の素子と感度が異なるという点状の欠陥や、1列に並んだ素子のすべての感度が正常とは異なるという線状の欠陥が現れることが多い。ここでいう欠陥画素とは、全く機能しない素子を含むことはもちろんのこと、同じ強度のX線を入射させても他の画素とは大きく異なる出力をする画素であり、入射X線強度を変化させた場合に検出素子の出力変化の仕方が通常とは異なるものを指している。このような状態をこの明細書では“感度特性が異なる”との表現を用いる。
欠陥画素はその周辺の画素とは大きく異なる感度特性となっているので、この状態でX線画像を撮影すると欠陥画素の部分だけ有効な画像情報を得られなくなってしまう。欠陥のある検出器で検出したX線画像の例を図9に示す。ここには点状の欠陥(点欠陥)51や線状の欠陥(線欠陥)52が画像のデータとして現れている。とくに線欠陥は欠陥画素数が多いため目立ちやすく、X線画像の画質を悪くする原因となる。
これを解決するためには欠陥のないX線検出器を使用してX線検査を行えばよいのであるが、完全に欠陥のないX線検出器を製造することは難しいので、欠陥のあるX線検出器を使用した場合でも画像処理において欠陥を目立たなくする工夫も行われている。
たとえば、非特許文献1に記載されているように、線欠陥部分のデータを両隣の画素の情報によって補完し、欠陥画素部分のデータを補正する手法が一般的に行われている。図7に補正の一例を示すように、[欠陥画素の輝度]=([隣接画素1の輝度]+[隣接画素2の輝度])/2とすることによって、線欠陥がある場合のX線画像を画質を悪化させずに表示することができるようになる。
Journal of Electronic Imaging, 9(1), pp22-31, (January 2000)
しかしながら、フラットパネルX線検出器の画素の感度特性は一般にばらつきがあるので、正常画素と感度特性が大きく異なる欠陥画素は容易に抽出できるが、正常画素との差異が小さい欠陥画素を抽出する場合には正常画素との区別が難しくなる。
フラットパネルX線検出器の感度特性の分布を考えた場合に、その特徴として本発明者は経験的に次の2点を見出した。
(1)正常画素の感度特性は、画素面を縦または横に分割した領域ごとに異なる特性を持つ。この領域内での正常画素同士の特性はほぼ等しくなる。
(2)正常画素に対し感度特性の差異が小さい欠陥画素は、正常画素と感度特性が大きく異なる欠陥画素の周辺に多く分布する。とくに正常画素と感度特性が大きく異なる線欠陥が存在している場合、その線欠陥に隣接するように分布する場合が多い。
(1)正常画素の感度特性は、画素面を縦または横に分割した領域ごとに異なる特性を持つ。この領域内での正常画素同士の特性はほぼ等しくなる。
(2)正常画素に対し感度特性の差異が小さい欠陥画素は、正常画素と感度特性が大きく異なる欠陥画素の周辺に多く分布する。とくに正常画素と感度特性が大きく異なる線欠陥が存在している場合、その線欠陥に隣接するように分布する場合が多い。
図8に上記考え方の欠陥分布の模式図を示す。図8の例では、検出器全体の感度が領域Aから領域Dまでの4つに分かれている。そして、領域Aに差異の大きな点状の欠陥が存在するとともに、領域Cに差異の大きな欠陥画素が線状に分布している。これが線欠陥である。この線欠陥に隣接する画素は周囲との感度特性の差異が小さいが、これも線欠陥の一種であるとする。画素面全体でこの差異の小さい欠陥画素を見つけ出そうとすると、領域Bや領域Dの正常画素と区別がつきにくい。
ここで、領域ごとの感度特性の違いは十分に小さいので、一般に検出器からの信号を電気回路で取り込む際のゲイン補正によって十分な補正を行うことができる。しかし、差異の小さな欠陥画素は正常画素とは入射したX線量に対する画素からの出力の変化率が異なるため、ゲイン補正を行ってもX線量が変化した場合に補正が適切でなくなり、周囲とは異なった感度を示す。したがって、差異の小さな欠陥画素に対してゲイン補正を行っても、補正が十分には行えない。
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、フラットパネルX線検出器の欠陥画素を適切に抽出し、その画素において補正を行って欠陥を目立たなくするX線画像補正方法を提供することを目的とする。
さらに本発明は欠陥のあるフラットパネルX線検出器を用いたX線検査装置においても画質のよいX線画像の得られるX線検査装置を提供することを目的とする。
請求項1に係る本発明は、上記第1の課題を解決するために、フラットパネルX線検出器によって得られるX線画像を補正するX線画像補正方法において、フラットパネルX線検出器上の欠陥画素のうち、感度特性の平均値との差異が第1のしきい値よりも大きな第1の欠陥画素を最初に抽出し、続いて、第1の欠陥画素に隣接する画素のうち感度特性の平均値との差異が第2のしきい値よりも大きい第2の欠陥画素を抽出し、これら全ての欠陥画素に対して輝度補正を行ってX線画像を得ることを特徴とする。
請求項1に係る発明によれば、あきらかに発見される欠陥周辺に隣接して感度特性の平均値との差異が小さい欠陥が存在する可能性が高いという事実に基づいて、欠陥に隣接する画素の感度特性が正常であるかどうかを判定するので、感度特性の差異の小さな欠陥をも正しく抽出することができる。そして判定された画素が欠陥である場合はこれを含めて補正するので画像全体が正しく補正される。
また、請求項2に係る本発明は上記第2の課題を解決するために、被検査体にX線を照射し、そのX線をフラットパネルX線検出器によって検出するX線検査装置において、前記フラットパネルX線検出器上の欠陥画素のうち、感度特性の平均値との差異が第1のしきい値よりも大きな第1の欠陥画素を最初に抽出し、続いて、第1の欠陥画素に隣接する画素のうち感度特性の平均値との差異が第2のしきい値よりも大きい第2の欠陥画素を抽出し、これら全ての欠陥画素に対して輝度補正を行ってX線画像を得るようにした画像処理装置を備えたことを特徴とする。
請求項2に係る発明によれば、欠陥のあるフラットパネルX線検出器を用いても、画像処理装置によって欠陥部分の画素を正しく抽出しデータを正しく補正することができるから、欠陥部分のない正しいX線画像を得ることができる。
フラットパネルX線検出器における欠陥画素の出現可能性の特徴を利用して、正常画素との感度特性の差異が小さな欠陥画素を正しく抽出し補正することにより、欠陥画素の存在する位置においても正常画素と同等の画質が確保される。また欠陥画素を抽出する範囲を限定するため、欠陥画素を抽出し補正するための計算量を最小限に抑えることができる。
また、完全に欠陥のないフラットパネルX線検出器を製造することは非常に困難でありコストのかかるものであるが、本発明によれば、欠陥のあるフラットパネルX線検出器を用いても、欠陥部分の目立たない正しいX線画像を得ることができる。これは装置全体のコストを低く抑えるために有効である。
本発明をX線検査装置の一種であるX線透視装置の例で説明する。図1はX線透視装置の概略図である。X線を発生するX線源1とフラットパネル型のX線検出器2が対向して配置され、その間に検査対象である被検査体3が配置される。X線源1の微小な一点からからある広がりを持って放射されたX線4は被検査体3を透過し平面状のX線検出器2で検出される。X線検出器2は二次元的に広がった領域を一度に検出するものであるから、被検査体3の透過X線像を一度の撮影で得ることができる。被検査体3を透過したX線は被検査体3の内部情報を表しているので、この透過画像から被検査体3の内部状態を検査することができる。
X線検出器2から出力される信号は取込回路7を介して制御装置5に取り込まれ、各種の補正処理や演算処理が行われ、最終的にX線像として表示器8に表示される。制御装置5には各種の動作条件や演算処理条件などを入力するための入力装置9も接続されている。さらに、制御装置5はX線電源6を介してX線源1の管電圧や管電流を制御する。
X線検出器2はフラットパネル型のX線検出器であって、多数のX線検出素子が格子状に配列されて二次元的な面としてX線を検出できる。それぞれのX線検出素子はその位置のX線強度を計測することができ、その一つの強度が全体を画像として表示した場合の一点の明るさに相当するので、一つ一つのX線検出素子は画素と呼ばれることがある。それぞれのX線検出素子はX線を光に変換するシンチレータや光を電気的信号に変換する半導体素子などの組み合わせで構成され、その出力信号を読み出すための縦横にマトリックス状に配置された導線を備えている。そのような構造からフラットパネルX線検出器は、一つの素子が正しく動作しないという点欠陥だけでなく、一列に並んだ素子の全体が正しく動作しないという線欠陥を持つことが多くなっている。
以下にフラットパネルX線検出器によって得られるX線画像を補正するX線画像補正方法の一例を示す。線欠陥周辺の補正を行うために以下の手順で画像の処理を行う。
(1)図2に示すように、X線源1とフラットパネルX線検出器2との間に何も存在しない状態でX線を発生して画像撮影を行う。このようにして得られた画像は一般にエア画像と呼ばれる。
(2)エア画像上では、正常画素は領域ごとにほぼ同レベルの輝度値を持つ。したがって、画像全体の輝度値平均に対して大きく異なる輝度値の画素は欠陥画素として判別できる(図3)。欠陥画素と判別するためには平均的な輝度とその輝度分布から第1のしきい値を設定し、特定の画素の輝度と平均輝度との差がその第1のしきい値以内にあるものは正常画素と判定し、第1の上下しきい値以上のものを欠陥画素と判定する。第1のしきい値としては例えば輝度分布の標準偏差の3倍程度とすればよい。この時点では輝度の差異の小さな欠陥画素は差異が十分ではないために欠陥とは判別されない。そして、この時点で欠陥画素と判別できたもののX線検出器内の座標を記録する。
(3)欠陥と判別された画素のうち、一直線上につながっているものを探す。これが線欠陥である(図4)。
(2)エア画像上では、正常画素は領域ごとにほぼ同レベルの輝度値を持つ。したがって、画像全体の輝度値平均に対して大きく異なる輝度値の画素は欠陥画素として判別できる(図3)。欠陥画素と判別するためには平均的な輝度とその輝度分布から第1のしきい値を設定し、特定の画素の輝度と平均輝度との差がその第1のしきい値以内にあるものは正常画素と判定し、第1の上下しきい値以上のものを欠陥画素と判定する。第1のしきい値としては例えば輝度分布の標準偏差の3倍程度とすればよい。この時点では輝度の差異の小さな欠陥画素は差異が十分ではないために欠陥とは判別されない。そして、この時点で欠陥画素と判別できたもののX線検出器内の座標を記録する。
(3)欠陥と判別された画素のうち、一直線上につながっているものを探す。これが線欠陥である(図4)。
(4)線欠陥に隣接する画素群1ラインの輝度値を参照し、その平均値を求める(図5(a))。
(5)(4)のラインに隣接する数ライン分の画素群の輝度値を参照し、その平均値を求める(図5(b))。
(6)(4)と(5)の結果を比較し、一定以上の差があれば(4)のラインも欠陥であるとして欠陥画素の座標の記録に追加する。すなわち、数ライン分の画素群の輝度値の平均輝度とその分布から第2のしきい値を設定し、(4)と(5)の結果の差がその第2のしきい値以上であれば(4)のライン(すなわち、線欠陥に隣接する1ライン)も欠陥であると判定する。この第2のしきい値は上述の第1のしきい値よりも小さいことが普通である。
(7)上記(4)〜(6)の手順を、線欠陥を挟んだ反対側でも適用する。画像上に複数の線欠陥がある場合には、全ての線欠陥に対して同様の処理を行う。
(5)(4)のラインに隣接する数ライン分の画素群の輝度値を参照し、その平均値を求める(図5(b))。
(6)(4)と(5)の結果を比較し、一定以上の差があれば(4)のラインも欠陥であるとして欠陥画素の座標の記録に追加する。すなわち、数ライン分の画素群の輝度値の平均輝度とその分布から第2のしきい値を設定し、(4)と(5)の結果の差がその第2のしきい値以上であれば(4)のライン(すなわち、線欠陥に隣接する1ライン)も欠陥であると判定する。この第2のしきい値は上述の第1のしきい値よりも小さいことが普通である。
(7)上記(4)〜(6)の手順を、線欠陥を挟んだ反対側でも適用する。画像上に複数の線欠陥がある場合には、全ての線欠陥に対して同様の処理を行う。
(8)記録された欠陥画素に対して、図7で例示したような補正処理を実行する。すなわち、[欠陥画素の輝度]=([隣接画素1の輝度]+[隣接画素2の輝度])/2 というような補正を行う。線欠陥に隣接する欠陥ライン等のように欠陥画素同士が隣接する画素の輝度を補正する場合については、上記の隣接画素1および2とは、さらにその外側に隣接する正常画素を指している。
(9)画像全体に対して、領域ごとの感度特性差をなくすためにゲイン補正を実行する。
(9)画像全体に対して、領域ごとの感度特性差をなくすためにゲイン補正を実行する。
以上ですべての欠陥画素を補正したデータを得ることができる。以上の手順は、差異の大きな欠陥画素の周辺の1画素ごと、または数画素ごとに実行してもよいものとする。
なお、本実施例ではエア画像上で感度特性の判定を行ったが、X線を照射せずに撮影するオフセット画像上でも同様の判定を行いエア画像での結果と合成してもよい。この場合、欠陥画素の感度特性に加えてダークノイズ特性も補正される。オフセット画像とは、図6に示すように、X線を照射しない場合にX線検出器から得られる画像のことである。X線照射しないようにするにはX線源1に電源を供給せずX線を発生させない場合や、X線源1とX線検出器2との間にシャッタなどを設けてX線がX線検出器2に届かないようにする場合などがある。
上記で説明したX線画像補正方法を図1に例示したX線透視装置に適用すれば、使用するX線検出器2に線欠陥などがあったとしても、より確実に画像の補正ができ、最終的に表示される画像としてみた場合に良好な画質のX線透過画像として見ることができる。このとき上述のX線画像補正は主に制御装置5によって実現される。
また、上述のX線画像補正方法はX線CT装置にも適用される。典型的なX線CT装置はX線源とX線検出器との間に配置した被検査体をX線光軸と直交する軸の周りに回転しつつX線透過データを採取し、そのデータを用いて再構成処理を行うことにより被検査体の断層像を得る装置である。X線CT装置においてもフラットパネルX線検出器を用いた装置が実用化されている。
フラットパネルX線検出器を有するX線CT装置を運転する際には、被検査体を回転しつつX線透過データを採取するのであるから、このときに本発明のX線画像補正方法を適用すれば欠陥のないX線透過データが得られる。したがって最終的に演算される断層像においてもより正確な断層像が得られることになる。
1…X線源、2…X線検出器、3…被検査体、4…X線、5…制御装置、6…X線電源、7…取込回路、8…表示器、9…入力装置
Claims (2)
- フラットパネルX線検出器によって得られるX線画像を補正するX線画像補正方法において、フラットパネルX線検出器上の欠陥画素のうち、感度特性の平均値との差異が第1のしきい値よりも大きな第1の欠陥画素を最初に抽出し、続いて、第1の欠陥画素に隣接する画素のうち感度特性の平均値との差異が第2のしきい値よりも大きい第2の欠陥画素を抽出し、これら全ての欠陥画素に対して輝度補正を行ってX線画像を得ることを特徴とするX線画像補正方法。
- 被検査体にX線を照射し、そのX線をフラットパネルX線検出器によって検出するX線検査装置において、前記フラットパネルX線検出器上の欠陥画素のうち、感度特性の平均値との差異が第1のしきい値よりも大きな第1の欠陥画素を最初に抽出し、続いて、第1の欠陥画素に隣接する画素のうち感度特性の平均値との差異が第2のしきい値よりも大きい第2の欠陥画素を抽出し、これら全ての欠陥画素に対して輝度補正を行ってX線画像を得るようにした画像処理装置を備えたことを特徴とするX線検査装置。
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