JP6033556B2

JP6033556B2 - Ｘ線検査装置及びｘ線検査方法

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Publication number: JP6033556B2
Application number: JP2012043824A
Authority: JP
Inventors: 中山　哲; 哲中山; 白川部　喜春; 喜春白川部; 毅梅基
Original assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Current assignee: Hitachi High Tech Science Corp
Priority date: 2012-02-29
Filing date: 2012-02-29
Publication date: 2016-11-30
Anticipated expiration: 2032-02-29
Also published as: JP2013181763A

Description

本発明は、少なくともＸ線源及び検出器を有し、非破壊検査に好適に用いられるＸ線検査装置及びＸ線検査方法に関する。

従来、試料中の異物や欠陥（以下、適宜「検査対象」という）の検出等を行うため、Ｘ線透過イメージングによる非破壊検査が広い分野で行われている。一方、Ｘ線透過イメージングではこれら異物等の元素種を特定することができないため、蛍光Ｘ線分析を利用した試料の元素分析が行われている。又、３次元撮像を実現するCT（コンピュータトモグラフィ）なども実用されている。これらＸ線透過イメージングは、外部からは見えない検査対象内部の情報を得ることが目的である。
ところで、製造現場では、短時間で大量の検査対象を検査する必要があるため、単純な透過像によるＸ線検査が広く用いられている。そして、このような単純Ｘ線（透過Ｘ線）画像の画質を向上させる技術として、Ｘ線画像にコントラスト処理を施した後、画像の濃淡に基づいて画像の飛び出し量を与え、陰影像を立体化(３次元化)する技術が開示されている（特許文献１）。

特開２００７−６１３７１号公報

しかしながら、従来のＸ線透過イメージングにおいては、広範囲の視野にて試料中の検査対象の視認性（バックグラウンドとの識別性）を向上させることが難しいという問題がある。例えば、背景のコントラスト（暗い部分から明るい部分）が高い場合、背景の輝度に合わせて視野毎にコントラストを調整しながら検査対象を撮像する必要がある。ところが、この方法では、検査対象となる欠陥を見落としたり、全ての視野の情報を得ようとすると、各視野毎にコントラストを調整するため多大の時間を費やすという問題がある。一方、CTでは鮮明な画像を得ることができるが、撮像に時間がかかり、製造現場では実用的とはいえない。
又、このようにＸ線透過画像が不鮮明であると、操作者の熟練の度合によって検査結果が変わってしまう。

本発明は上記の課題を解決するためになされたものであり、２次元のＸ線透過画像中の検査対象の画像をバックグラウンドから明瞭に識別して視認性を向上させ、ＣＴ画像よりも短時間で検査が可能なＸ線検査装置及び方法の提供を目的とする。

上記の目的を達成するために、本発明のＸ線検査装置は、少なくともＸ線源及び検出器を有し、試料中の検査対象を検出し、前記検査対象の２次元のＸ線透過画像を取得する画像取得手段と、前記Ｘ線透過画像を前記２次元の方向の少なくとも一方に１ピクセル以上シフトさせたシフト画像を生成するシフト画像生成手段と、前記Ｘ線透過画像と前記シフト画像とを差分して前記検査対象を強調する差分画像を生成する差分画像生成手段と、前記差分画像を表示する画像表示手段と、を有する。
このＸ線検査装置によれば、Ｘ線透過画像をシフトさせることにより、空間的に大きな周期で変化している画像信号と、空間的に小さな周期で変化している画像信号を切り分ける効果が得られる。そして、その後に生成される差分画像においては、空間的に大きな周期で変化している画像信号と、空間的に小さな周期で変化している画像信号とで、差分の度合いを異ならせることが可能になる。
従って、空間的に大きな周期で変化している大きな信号（例えば一方向に傾いている背景）の中に、空間的にサイズが小さな微小な信号（検査対象）が隠れていても、大周期の背景信号を減少させる一方で、検査対象となる微小信号の減少を抑制し、この信号を強調することができ、検査対象（試料中の異物や欠陥）の画像をバックグラウンドから明瞭に識別して視認性を向上させることができる。

前記シフト画像のシフト量ｄを設定するシフト量設定手段をさらに備え、前記シフト量設定手段は、前記検査対象の最小幅Ｗに対し、前記シフト量ｄを１ピクセル以上、Ｗ/２以下に設定するとよい。
このＸ線検査装置によれば、シフト量を最適な値に設定し、検査対象の画像の視認性をさらに向上させることができる。

前記シフト画像のシフト量ｄを設定するシフト量設定手段をさらに備え、前記シフト量設定手段は、前記検査対象の空間周波数νに対し、前記シフト量ｄを１ピクセル以上、１/（２ν）以下に設定するとよい。
このＸ線検査装置によれば、空間的な周期をもつ構造（画像）を有する検査対象に対し、シフト量を最適な値に設定し、検査対象の画像の視認性をさらに向上させることができる。

本発明のＸ線分析方法は、少なくともＸ線源及び検出器を用い、試料中の検査対象を検出するＸ線検査方法であって、前記検査対象の２次元のＸ線透過画像を取得する画像取得過程と、前記Ｘ線透過画像を前記２次元の方向の少なくとも一方に１ピクセル以上シフトさせたシフト画像を生成するシフト画像生成過程と、前記Ｘ線透過画像と前記シフト画像とを差分して前記検査対象を強調する差分画像を生成する差分画像生成過程と、前記差分画像を表示する画像表示過程と、を有する。

前記シフト画像生成過程は、前記検査対象の最小幅Ｗに対し、１ピクセル以上、Ｗ/２以下の範囲で前記Ｘ線透過画像をシフトさせることが好ましい。
前記シフト画像生成過程は、前記検査対象の空間周波数νに対し、１ピクセル以上、１/（２ν）以下の範囲で前記Ｘ線透過画像をシフトさせることが好ましい。

本発明によれば、２次元のＸ線透過画像中の検査対象の画像をバックグラウンドから明瞭に識別して視認性を向上させ、ＣＴ画像よりも短時間でＸ線検査が可能となる。

本発明の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。Ｘ線透過画像をシフトさせてシフト画像を生成し、さらにＸ線透過画像とシフト画像とを差分した差分画像を生成する手順の一例を示す図である。実際の桃の幼果内の虫食いのＸ線透過画像、シフト画像、及び差分画像を示す図である。図３の撮像条件にて、シフト量を変化させたときの差分画像を示す図である。周期性を有する検査対象（テストチャート内の線分画像）のＸ線透過画像を示す図である。図５のパターン部分のプロファイルを示す図である。図５の画像をＸ，Ｙ方向ともにそれぞれ４ピクセルシフトして得られた差分画像を示す図である。図７のパターン部分のプロファイルを示す図である。図５の画像をＸ，Ｙ方向ともにそれぞれ８ピクセルシフトして得られた差分画像を示す図である。図９のパターン部分のプロファイルを示す図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
図１は本発明の実施形態に係るＸ線検査装置１の構成を示すブロック図である。
Ｘ線検査装置１は、Ｘ線源１２と透過Ｘ線検出器（検出器）１４とを有するＸ線検査部１０と；得られた２次元のＸ線透過画像を画像処理する画像処理装置６０と；試料１００をＸ線源１２の照射位置との間で相対的に移動させる移動機構（コンベア）３０と；を備えている。複数の試料１００が移動機構３０上に載置されて次々にＸ方向に沿ってＸ線源１２上に移動し、大量の試料１００を検査するようになっている。
なお、試料１００は、欠陥（検査対象）１０１を含んでいる。試料１００としては、例えば各種製品、農産物等があり、検査対象は例えば、製品や農産物の欠陥や異物である。試料１００が果実である場合、検査対象１０１は例えば虫食い、傷み、等に起因する欠陥である。
画像処理装置６０は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）６１、ＲＡＭ６２、ＲＯＭ６３、ハードディスクなどの記憶装置６４、キーボード等の入力装置（シフト量設定手段）６７、及びモニター等の表示装置（画像表示手段）６９を備えている。画像処理装置６０は、詳しくは後述する画像取得手段、シフト画像生成手段、差分画像生成手段、シフト量設定手段、画像表示手段として機能し、記憶装置６４等に格納されたコンピュータプログラムをＣＰＵ６１で実行することにより、これらの機能を実現する。画像処理装置６０は又、Ｘ線源１２からのＸ線の照射、透過Ｘ線検出器１４による検出等の全体の処理も行っている。

Ｘ線源１２は試料１００の下方に配置され、Ｘ線源１２からＸ線が上方に放出されて試料１００を透過した後、試料１００上方の透過Ｘ線検出器１４によって受光されるようになっている。
なお、Ｘ線源から放射され、試料１００を含む検査対象１０１を透過したＸ線の一部又は全部を補足できる位置に検出器が配置されていれば、その配置はＸ線源の上下方向に限るものではなく、左右、斜め、いかなる方向でもかまわない。
Ｘ線源１２は、所定のＸ線管球からなる。Ｘ線管球は例えば、管球内のフィラメント（陰極）から発生した熱電子がフィラメント（陰極）とターゲット（陽極）との間に印加された電圧により加速され、ターゲット（Ｗ（タングステン）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）など）に衝突して発生したＸ線を１次Ｘ線としてベリリウム箔などの窓から出射するものである。
透過Ｘ線検出器１４は、複数個の半導体検出素子（固体撮像素子等）を有し、固体撮像素子が２次元アレイ状に並ぶエリアセンサである。各固体撮像素子としては、例えば電荷結合素子（ＣＣＤ）やＣＭＯＳイメージセンサが挙げられる。そして、試料１００を透過した透過Ｘ線１２Ｘは、所定の蛍光板で蛍光（可視光画像）に変換されて透過Ｘ線検出器１４で受光されるようになっている。
なお、Ｘ線源１２から試料１００の全体にＸ線が照射され、その透過Ｘ線１２Ｘをエリアセンサである透過Ｘ線検出器１４で検出することで、試料１００の面方向（Ｘ−Ｙ方向）の２次元画像が一度に得られるが、例えば透過Ｘ線検出器１４としてラインセンサを用い、試料１００を一方向にスキャンして２次元画像を取得してもよい。

次に、図２を参照し、Ｘ線透過画像をシフトさせてシフト画像を生成し、さらにＸ線透過画像とシフト画像とを差分した差分画像を生成する手順の一例について説明する。なお、図２において、試料（桃の幼果）１００中の検査対象（欠陥）１０１を検査するものとする。
まず、画像取得手段（画像処理装置）６０は、試料１００（検査対象１０１）の２次元（Ｘ−Ｙ方向）のＸ線透過画像Ｉ_０を取得する。具体的には、例えば透過Ｘ線検出器１４を構成する個々の固体撮像素子に透過Ｘ線１２Ｘを蛍光に変換した画像が受光され、試料１００の２次元情報が取得される。ここで、検査対象１０１の最小幅をＷとする。なお、シフト量がＸ方向及びＹ方向とで同じ場合、最小幅Ｗは、検査対象１０１のＸ方向及びＹ方向のそれぞれの最小幅のうち小さい方の幅に相当する。また、シフト量がＸ方向とＹ方向とで相違する場合、Ｘ方向のシフト量ｄ_ｘについてはＸ方向の最小幅Ｗ_ｘを設定し、Ｙ方向のシフト量ｄ_ｙについてはＹ方向の最小幅をＷ_ｙを設定する。

次に、シフト画像生成手段（画像処理装置）６０は、Ｘ線透過画像Ｉ_０を２次元の方向の少なくとも一方に１ピクセル以上シフトさせたシフト画像Ｉ_Ｓを生成する。なお、図２の例では、Ｘ線透過画像Ｉ_０をＸ、Ｙ方向にそれぞれシフト量ｄ_ｘ、ｄ_ｙシフトさせているが、Ｘ、Ｙ方向の一方にのみ画像をシフトさせてもよい。又、ｄ_ｘとｄ_ｙの値は同一でもよく、異なっていてもよい。例えば、検査対象が、多数のＸ方向に延びる線を含む縞状の模様である場合、Ｘ方向の画像は変化しないから、Ｙ方向にのみ画像をシフトすればよい。
次に、差分画像生成手段（画像処理装置）６０は、Ｘ線透過画像Ｉ_０とシフト画像Ｉ_Ｓとを差分した差分画像Ｉ_Ｄを生成する。そして、画像表示手段６９は差分画像Ｉ_Ｄを表示する。

なお、シフト画像Ｉ_Ｓにおける座標（Ｘ_Ｓ、Ｙ_Ｓ）の画素値の生成は、例えば、Ｘ線透過画像Ｉ_０の同一座標に対し、それぞれシフト量ｄ_ｘ、ｄ_ｙを減算した座標（Ｘ_Ｓ-ｄ_ｘ、Ｙ_Ｓ-ｄ_ｙ）の画素値を生成して行うことができる。
又、差分画像Ｉ_Ｄの生成は例えば、Ｘ線透過画像Ｉ_０とシフト画像Ｉ_Ｓの同一座標の画素値を比較する（通常は、信号強度の差分を計算する）ことで行うことができる。

以上のように、Ｘ線透過画像Ｉ_０をシフトさせることにより、空間的に大きな周期で変化している画像信号と、空間的に小さな周期で変化している画像信号を切り分ける効果が得られる。そして、その後に生成される差分画像Ｉ_Ｄにおいては、空間的に大きな周期で変化している画像信号と、空間的に小さな周期で変化している画像信号とで、差分の度合いを異ならせることが可能になる。この場合、後述するように、シフト量を変えることで、各周期での画像信号の差分の度合いを制御することができる。
従って、空間的に大きな周期で変化している大きな信号（例えば一方向に傾いている背景）の中に、空間的にサイズが小さな微小な信号（検査対象）が隠れていても、大周期の背景信号を減少させる一方で、検査対象となる微小信号の減少を抑制してこの信号を強調することができ、背景の中に埋もれている信号の視認性を改善する。
これにより、従来のＸ線検査装置のように、検査を行う際の経験や技量の差を小さくできる。又、ＣＴよりも短時間で検査を行うことが可能であり、ほぼリアルタイムで検査結果が得られるので、早く大量かつ、正確に検査することが求められる産業用のＸ線検査装置に有効である。

なお、画質とは主体が画像データ自身であり、大きな信号は大きなまま、小さな信号は小さなままで、正確に、もれなくS/N比が高く撮像できるかといった、画像自身の質に関する指標である。
一方、視認性とは、主体が観察者、検査者、使用者であり、必要な画像信号を分かりやすくし、不必要な画像信号をできるだけ目立たなくさせることである。
そして、画質を向上させると、場合によってはS/Nが向上し、視認性も向上する場合もあるが、これは、他の視認性に影響する背景信号などの不必要で大きな信号が少ない場合に限られる。従って、単なる画質の向上ではなく、本発明のような画像のシフト処理及び差分画像の生成が必要になる。

図３は、実際の桃の幼果１００内の欠陥１０１のＸ線透過画像Ｉ_０（図３（ａ））、シフト画像Ｉ_Ｓ（図３（ｂ））、及び差分画像Ｉ_Ｄ（図３（ｃ））を示す。
差分画像Ｉ_Ｄにおいて、検査対象である欠陥１０１を明瞭に視認できることがわかる。なお、図３の画像の撮像条件は、Ｘ線源１２の加速電圧及び加速電流を80kV、300μAとし、１回当りの撮像時間を1秒として16回撮像した。又、撮影倍率2.06倍とした。又、図３の例では、シフト量をＸ，Ｙ方向ともにそれぞれ５ピクセルとした。

図４は、図３の撮像条件にて、シフト量を変化させたときの差分画像Ｉ_Ｄを示す。但し、シフト量をＸ，Ｙ方向ともに同一としている。
シフト量が１ピクセル（pix）（図４（ａ））及び２ピクセル（図４（ｂ））の場合、コントラストが低く、欠陥を認識できるものの、明瞭に視認することが難しい。一方、シフト量が２０ピクセル（図４（ｅ））の場合、コントラストが高過ぎ、画像の輪郭が僅かに潰れているが、欠陥を視認することは可能である。なお、図示しないが、これ以上のシフト量では、欠陥１０１の視認レベルの変化よりも、むしろ桃の幼果１００の形状の変化が認められた。
そして、シフト量が５ピクセル（図４（ｃ））及び１０ピクセル（図４（ｄ））が最も欠陥１０１の視認性が高く、２０ピクセルでも十分に欠陥を視認できる。

なお、図３、図４の桃の幼果１００内の欠陥１０１の最小幅Ｗは１ｍｍ程度であり、１ピクセル＝２４．３μｍに相当するので、Ｗ≒４０ピクセルとなる。そして、検査対象の欠陥１０１の微小信号を残しつつ、桃の幼果１００の形状変化を抑え、背景を最大限減少させたシフト量は、上述のように２０ピクセルであるから、欠陥１０１の視認性が高くなる好ましいシフト量ｄの上限値は、ｄ≦Ｗ/２となる。
又、図４（ａ）及び（ｂ）のようにシフト量が小さい場合、欠陥１０１の視認性は悪いものの認識可能であることが判る。シフト量の下限値は、桃のサイズ又は対象とする欠陥のサイズによって変化し、シフト時の背景の信号変化量が大きい場合に小さくなる傾向がある。

ここで、シフト量ｄの下限値は１ピクセル以上であれば特に限定されず、個々の測定毎に調整すればよい。これは、下限値は、対象とする微小信号の大きさではなく、取得画像の状態（コントラスト、S/N、微小信号の信号強度、背景信号の強度や周期）に依存して変わるためである。例えば、上記した幼果桃では、シフト量ｄの下限値は５ピクセル（図４（ｃ））に相当するＷ/８程度であったが、測定環境や測定対象が変わると、下限値も変化する。
又、後述するテストチャートのように背景が無い（小さい）場合、シフト量は小さくても効果がある。
そして、本発明で行う差分画像は、元の画像を空間周波数の点では劣化させる方向に働く。従来の画像処理は、S/Nや空間周波数を上げることを目的としており、本発明はこれとは全く異なる。つまり、空間周波数が劣化しても（低くなっても）、背景の邪魔を排除できれば、視認性が向上するという大きな効果が得られる。そのとき、視認性と空間周波数の劣化のバランスをどのように調整するかが問題となるが、その1つの指針がシフト量ｄの上限値と考えられる。微小信号も残しつつ、背景を最大限減少させ、必要な空間周波数もできるだけ維持しつつ、視認性を上げるためには、シフト量ｄの上限値を簡単に算出できることが好ましい。

なお、大周期の背景信号は、シフト量が多くなると減少量が小さくなり、背景信号の残留量は大きくなる。一方、微小信号の減少抑制効果は、画像の印象から、ある所からほぼ変化しなくなり、逆に形状が変化する効果が生じる（図４の例では、W/2以上で対象101の見え方に変化がなくなっている）。この"ある所"を、シフト量ｄの上限値を設定することにより、対象とする微小信号のサイズ、又は空間周波数（後述）から一意的かつ簡便に規定できることを本発明者は見出した。
そして、シフト量ｄの決定は、実用的には、上限値で通常運用し、更に効果を高めたい場合に、この上限を目安にしてどれだけシフト量を小さくできるかを試行錯誤で合わせ込むことになる。従って、シフト量ｄの上限値を簡便に規定できると、作業効率が大幅に向上するので好ましい。

シフト量ｄの調整は、操作者がキーボード等の入力装置（シフト量設定手段）６７を操作してシフト量ｄを入力することで行うことができる。シフト画像生成手段６０は、入力されたシフト量ｄに基づいてシフト画像を生成する。なお、シフト量ｄはＸ，Ｙ方向で別々に設定してもよく、両方向で同一の値としてもよい。
又、シフト量ｄの上限値の算出式（図４の例では、検査対象の最小幅Ｗに対し、Ｗ/２、後述する図５の例では検査対象の空間周波数νに対し、１/（２ν））を記憶装置６４に格納しておき、操作者が入力装置６７から最小幅Ｗや空間周波数νを入力すると、画像処理装置６０がシフト量ｄの上限値を算出して表示するようにしてもよい。このようにすると、上述のようにシフト量ｄの目安がすぐにわかるので作業効率が向上する。

次に、図５〜図１０を参照し、周期性を有する検査対象（テストチャート１００内の線分画像１０１）のシフト画像を生成する際の、最適なシフト量について説明する。
テストチャート１００は、解像度や鮮鋭度の測定に用いられる一般的な仕様のものである。
図５は、テストチャート１００、及びその中の線分画像１０１を示すＸ線透過画像Ｉ_０である（シフト量＝０）。線分画像１０１は図５の上下方向にそれぞれ間隔（ピッチ）が異なる平行線群からなり、例えば２．０（ＬＰ/ｍｍ）の数字の部分に位置する線分画像１０１ａは、１ｍｍの上下間隔内に、２つのラインペア（線対、ＬＰ）が存在する、つまり、各線の上限の幅及び線同士の間隔が１/２/２＝０．２５ｍｍであることを示す。そして、図５の下方の線分画像（つまり、数字が大きい）になるにつれ、ピッチが小さくなり、ラインペアの分離はし難くなる。
また、このテストチャート１００の背景には、色目の濃淡や複雑な線画等がない。このような場合、空間周波数を用いてシフト量の上限値を算出すると、視認性がさらに向上するので好ましい。
なお、図５〜図１０は、撮影倍率を3.3倍とし、１ピクセル＝１５μｍに相当する。

図６は、図５のパターン部分のプロファイルを示す。線分画像のピッチが小さくなる（すなわち、ＬＰ/ｍｍの数値が大きくなる）ほど、縦軸の値（画素値；（Gray value）が減少し、画像がぼやけて解像度が低下することを示す。

図７は、図５の画像をＸ，Ｙ方向ともにそれぞれ４ピクセルシフトしたシフト画像を生成して得られた差分画像を示す。又、図８は、図７のパターン部分のプロファイルを示す。
同様に、図９は、図５の画像をＸ，Ｙ方向ともにそれぞれ８ピクセルシフトしたシフト画像を生成して得られた差分画像を示す。又、図１０は、図９のパターン部分のプロファイルを示す。
図８より、シフト量を４ピクセルとした場合、線分画像のピッチが８．０ＬＰ/ｍｍまでは縦軸の値（画素値；（Gray value）が減少しないことがわかる。
一方、図１０より、シフト量を８ピクセルと大きくした場合、線分画像のピッチが８．０ＬＰ/ｍｍの線構造が消失することがわかる。

以上のように、テストチャート１００の場合、シフト量が４ピクセル以下である場合に８．０ＬＰ/ｍｍ以下の空間周波数の線分画像の視認性を高めることが可能である。
ここで、線分画像１０１のように空間的な周期をもつ構造（画像）は空間周波数νで定義することができる。空間周波数νは、単位長に含まれる構造の繰り返し数（周期）で表され、上記した８．０ＬＰ/ｍｍの線分画像の場合、ν＝８（/ｍｍ）となり、１/ν＝１２５μｍとなる。
そして、図５〜図１０の例では、１ピクセル＝１５μｍに相当し、シフト量が４ピクセルは６０μｍに相当するので、空間周波数ν以下の検査対象の視認性を高くするには、シフト量ｄの上限を、１/（２ν）に設定することが好ましい。
又、シフト量ｄの調整は、操作者がキーボード等の入力装置（シフト量設定手段）６７を走査してシフト量ｄを入力することで行うことができる。シフト画像生成手段６０は、入力されたシフト量ｄに基づいてシフト画像を生成する。なお、シフト量ｄはＸ，Ｙ方向で別々に設定してもよく、両方向で同一の値としてもよい。

本発明は上記実施形態に限定されず、本発明の思想と範囲に含まれる様々な変形及び均等物に及ぶことはいうまでもない。

１Ｘ線検査装置
１０Ｘ線検査部
１２Ｘ線源
１２Ｘ透過Ｘ線
１４（透過Ｘ線）検出器
６０画像処理装置（画像取得手段、シフト画像生成手段、差分画像生成手段）
６７入力装置（シフト量設定手段）
６９表示装置（画像表示手段）
１００試料
１０１検査対象（欠陥や異物）
Ｗ検査対象の最小幅

Claims

少なくともＸ線源及び検出器を有し、試料中の検査対象を検出するＸ線検査装置であって、前記検査対象の２次元のＸ線透過画像を取得する画像取得手段と、前記Ｘ線透過画像を前記２次元の方向の少なくとも一方に１ピクセル以上シフトさせたシフト画像を生成するシフト画像生成手段と、前記Ｘ線透過画像と前記シフト画像とを差分して前記検査対象を強調する差分画像を生成する差分画像生成手段と、前記差分画像を表示する画像表示手段と、を有するＸ線検査装置。
前記シフト画像のシフト量ｄを設定するシフト量設定手段をさらに備え、
前記シフト量設定手段は、前記検査対象の最小幅Ｗに対し、前記シフト量ｄを１ピクセル以上、Ｗ/２以下に設定する請求項１記載のＸ線検査装置。
前記シフト画像のシフト量ｄを設定するシフト量設定手段をさらに備え、
前記シフト量設定手段は、前記検査対象の空間周波数νに対し、前記シフト量ｄを１ピクセル以上、１/（２ν）以下に設定する請求項１記載のＸ線検査装置。
少なくともＸ線源及び検出器を用い、試料中の検査対象を検出するＸ線検査方法であって、前記検査対象の２次元のＸ線透過画像を取得する画像取得過程と、前記Ｘ線透過画像を前記２次元の方向の少なくとも一方に１ピクセル以上シフトさせたシフト画像を生成するシフト画像生成過程と、前記Ｘ線透過画像と前記シフト画像とを差分して前記欠陥及び/又は異物を強調する差分画像を生成する差分画像生成過程と、前記差分画像を表示する画像表示過程と、を有するＸ線検査方法。
前記シフト画像生成過程は、前記検査対象の最小幅Ｗに対し、１ピクセル以上、Ｗ/２以下の範囲で前記Ｘ線透過画像をシフトさせる請求項４に記載のＸ線検査方法。
前記シフト画像生成過程は、前記検査対象の空間周波数νに対し、１ピクセル以上、１/（２ν）以下の範囲で前記Ｘ線透過画像をシフトさせる請求項４に記載のＸ線検査方法。