JP2010251726A - 圧電アクチュエータの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】2以上の圧電体層のうち何れか一の外表面側に位置する圧電体層に分極処理を施し、その圧電体層の残留分極を制御することによって、平板状の形状を調節した圧電アクチュエータを、圧電駆動型の可変キャパシタの駆動部として用いる。
【選択図】図4
Description
8,18,48,58:アクチュエータ部
9,19,49,59:支持体
3,13,53:電極層
4,14,54:電極層
5,15,55:電極層
30:可変キャパシタ
31:圧電アクチュエータ
38:アクチュエータ部
39:支持体
40:可変キャパシタ
61:レジスト
Claims (3)
- 2以上の平板状の圧電体層と、それら2以上の圧電体層の間及び圧電体層の外表面のうち少なくとも何れか一方に設けられた電極層と、を有するアクチュエータ部、
並びに、そのアクチュエータ部の一端を支持する支持体、で圧電アクチュエータを構成し、
前記2以上の圧電体層のうち何れか一の外表面側に位置する圧電体層に分極処理を施し、その圧電体層の残留分極を制御することによって、平板状の形状を調節する圧電アクチュエータの製造方法。 - 前記2以上の圧電体層のうち、一の圧電体層と、他の圧電体層とを、残留分極が異なるものとする請求項1に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
- 前記圧電体層の外表面の両方を、焼成面で構成する請求項1又は2に記載の圧電アクチュエータの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010066290A JP2010251726A (ja) | 2009-03-27 | 2010-03-23 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009078283 | 2009-03-27 | ||
JP2010066290A JP2010251726A (ja) | 2009-03-27 | 2010-03-23 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010251726A true JP2010251726A (ja) | 2010-11-04 |
Family
ID=42269725
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010066290A Pending JP2010251726A (ja) | 2009-03-27 | 2010-03-23 | 圧電アクチュエータの製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8375538B2 (ja) |
EP (1) | EP2234184B1 (ja) |
JP (1) | JP2010251726A (ja) |
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- 2010-03-23 US US12/729,532 patent/US8375538B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2010-03-24 EP EP20100250559 patent/EP2234184B1/en not_active Not-in-force
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US8375538B2 (en) | 2013-02-19 |
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