JP2010251624A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 サイドウォール27形成後、レジストパターン28により開口されたLDMOSソース領域にあるゲート電極側壁のサイドォールのみを除去し、LDMOS及び微細MOSのソース及びドレイン領域の高濃度拡散層を同時形成することにより、工程簡略化を図り、コスト低減を実現する。
【選択図】 図15
Description
前記フィールド酸化膜に囲まれた、前記第1領域とは異なる半導体基板の第2領域に互いに間隔をもって形成された第2ソース高濃度拡散層及び第2ドレイン高濃度拡散層と、前記第2ソース高濃度拡散層と前記第2ドレイン高濃度拡散層の間の半導体基板上に第2ゲート酸化膜を介して形成された第2ゲート電極をもつMOSトランジスタを備え、
前記LDMOSトランジスタでは前記第1ゲート電極の側面にサイドウォールが形成されておらず、前記チャネル拡散層及び前記第1ソース高濃度拡散層は、前記第1ゲート電極に対して自己整合的に、前記第1ドレイン高濃度拡散層は前記フィールド酸化膜に対して自己整合的に形成されたものであり、
かつ、前記MOSトランジスタでは、前記第2ソース高濃度拡散層と前記第2ゲート電極の間及び前記第2ドレイン高濃度拡散層と前記第2ゲート電極の間の半導体基板にソース低濃度拡散層とドレイン低濃度拡散層を備えており、前記第2ゲート電極の側面に酸化膜サイドウォールが形成され、前記第2ソース高濃度拡散層及び前記第2ドレイン高濃度拡散層は前記サイドウォール部に対して自己整合的に形成されたものである。
(A)フィールド酸化膜に囲まれた前記半導体基板の第1領域に、LDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極片側側面部の形成予定領域に対応して電界緩和用のフィールド酸化膜を形成する工程、
(B)半導体基板表面にLDMOSトランジスタ用の第1ゲート酸化膜及びMOSトランジスタ用の第2ゲート酸化膜を形成し、前記第1ゲート酸化膜上から前記電界緩和用フィールド酸化膜上にまたがるLDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極及びMOSトランジスタ用の第2ゲート電極を形成する工程、
(C)前記半導体基板の第1領域に、前記電界緩和用のフィールド酸化膜とは反対側の前記第1ゲート電極の側面に、前記第1ゲート電極の側面に対して自己整合的にチャネル拡散層を形成する工程、
(D)前記第2領域へのしきい値制御用不純物の導入を行なう工程、
(E)前期第1ゲート電極及び第2ゲート電極の側面に酸化膜サイドウォールを同時形成する工程、
(F)MOSトランジスタ用の第2ゲート電極側面部のサイドウォール部は選択的に残し、LDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極側面部の酸化膜サイドウォール部を除去する工程、
(G)前記チャネル拡散層内に前記第1ゲート電極に対して自己整合的に第1ソース高濃度拡散層を形成し、前記半導体基板の第1領域内で前記第1ゲート電極に対して前記チャネル拡散層とは反対側の半導体基板の領域に前記電界緩和用酸化膜に対して自己整合的に第1ドレイン高濃度拡散層を形成し、前記半導体基板の第2領域前記第2ゲート電極を挟んで第2ソース高濃度拡散層と第2ドレイン高濃度拡散層を形成する際、全て同時に形成する工程。
2:フィールド酸化膜
3:ゲート酸化膜
4:ゲートポリシリコン
5:ゲートキャップ酸化膜
6:Nバッファ層
7:高耐圧用Pウエル
8:高耐圧用Nエクステンション
9:N型高濃度拡散層
10:P型高濃度拡散層
11:低圧用Pウエル拡散層
12:低圧用Pハロー
13:低圧用Nエクステンション
14:サイドウォール
15:熱酸化膜
16:N型ウエル拡散層
17:フィールド酸化膜
18:N型ドリフト層
19:ゲート酸化膜
20:ゲートポリシリコン
21:ゲートキャップ酸化膜
22:N型バッファ層
23:高耐圧用Pウエル
24:低圧用Pウエル
25:低圧用Pハロー
26:低圧用Nエクステンション
27:サイドウォール
28:レジストパターン
29:N型高濃度拡散層
30:P型高濃度拡散層
31:レジストパターン
32:P型高濃度ラッチアップ防止層
33:U溝アイソレーション
34:BOX層(熱酸化膜)
35:N型ウエル拡散層
36:フィールド酸化膜
37:P型ドリフト層
38:ゲート酸化膜
39:ゲートポリシリコン
40:ゲートキャップ酸化膜
41:Pバッファ層
42:高耐圧用Nウエル
43:低圧用Nウエル拡散層
44:低圧用Nハロー
45:低圧用Pエクステンション
46:サイドウォール
47:N型高濃度拡散層
48:P型高濃度拡散層
49:N型高濃度ラッチアップ防止層
50:U溝アイソレーション
51:BOX(熱酸化膜)
Claims (14)
- 素子分離用のフィールド酸化膜に囲まれた半導体基板の第1領域に形成されたチャネル拡散層と、前記チャネル拡散層内に形成された第1ソース高濃度拡散層と、前記チャネル拡散層とは間隔をもって形成された第1ドレイン高濃度拡散層と、前記第1ソース高濃度拡散層と前記第1ドレイン高濃度拡散層の間の半導体基板上に第1ゲート酸化膜を介して前記第1ソース高濃度拡散層に隣接し、かつ前記第1ドレイン高濃度拡散層とは間隔をもって形成された第1ゲート電極と、前記第1ドレイン高濃度拡散層側の前記第1ゲート電極の側面下に前記チャネル拡散層とは間隔をもって形成された電界緩和用のフィールド酸化膜をもつLDMOSトランジスタと、
前記フィールド酸化膜に囲まれた、前記第1領域とは異なる半導体基板の第2領域に互いに間隔をもって形成された第2ソース高濃度拡散層及び第2ドレイン高濃度拡散層と、前記第2ソース高濃度拡散層と前記第2ドレイン高濃度拡散層の間の半導体基板上に第2ゲート酸化膜を介して形成された第2ゲート電極をもつMOSトランジスタを備え、
前記LDMOSトランジスタでは前記第1ゲート電極の側面にサイドウォールが形成されておらず、前記チャネル拡散層及び前記第1ソース高濃度拡散層は、前記第1ゲート電極に対して自己整合的に、前記第1ドレイン高濃度拡散層は前記フィールド酸化膜に対して自己整合的に形成されたものであり、
かつ、前記MOSトランジスタでは、前記第2ソース高濃度拡散層と前記第2ゲート電極の間及び前記第2ドレイン高濃度拡散層と前記第2ゲート電極の間の半導体基板上にソース低濃度拡散層とドレイン低濃度拡散層を備えており、前記第2ゲート電極の側面に酸化膜サイドウォールが形成され、前記第2ソース高濃度拡散層及び前記第2ドレイン高濃度拡散層は前記サイドウォール部に対して自己整合的に形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1ゲート酸化膜と前記第2ゲート酸化膜は同時形成されたものであり、前記第1ゲート酸化膜の膜厚は前記第2ゲート酸化膜の膜厚と同じであることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1ゲート酸化膜は前記第2ゲート酸化膜と別途形成されたものであり、前記第1ゲート電極の膜厚と前記第2ゲート電極の膜厚が異なることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記LDMOSトランジスタにおける前記第1ソース高濃度拡散層及び前記第1ドレイン高濃度拡散層と、前記MOSトランジスタにおける前記第2ソース高濃度拡散層及び前記第2ドレイン高濃度拡散層を同時形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記LDMOSトランジスタの第1ソース高濃度拡散層とその下部形成されたチャネル拡散層の間に除去される前のサイドォール部を用いてラッチアップ防止層を形成したことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の半導体装置。
- 前記LDMOSトランジスタ及び前記MOSトランジスタはSOI基板に形成され、かつU離によって分離されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の半導体装置。
- 半導体基板の第1領域に形成されたLDMOSトランジスタと第2領域に形成されたMOSトランジスタを備えた半導体装置の製造方法において、以下の工程(A)から(G)を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(A)フィールド酸化膜に囲まれた前記半導体基板の第1領域に、LDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極の片側側面部の形成予定領域に対応して電界緩和用のフィールド酸化膜を形成する工程、
(B)半導体基板表面にLDMOSトランジスタ用の第1ゲート酸化膜及びMOSトランジスタ用の第2ゲート酸化膜を形成し、前記第1ゲート酸化膜上から前記電界緩和用フィールド酸化膜上にまたがるLDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極及びMOSトランジスタ用の第2ゲート電極を形成する工程、
(C)前記半導体基板の第1領域に、前記電界緩和用のフィールド酸化膜とは反対側の前記第1ゲート電極の側面に、前記第1ゲート電極の側面に対して自己整合的にチャネル拡散層を形成する工程、
(D)前記第2領域へのしきい値制御用不純物の導入を行なう工程、
(E)前期第1ゲート電極及び第2ゲート電極の側面に酸化膜サイドウォールを同時形成する工程、
(F)MOSトランジスタ用の第2ゲート電極の側面部のサイドウォール部を選択的に残し、LDMOSトランジスタ用の第1ゲート電極の側面部の酸化膜サイドウォール部を除去する工程、
(G)前記チャネル拡散層内に前記第1ゲート電極に対して自己整合的に第1ソース高濃度拡散層を形成し、前記半導体基板の第1領域内で前記第1ゲート電極に対して前記チャネル拡散層とは反対側の半導体基板の領域に前記電界緩和用酸化膜に対して自己整合的に第1ドレイン高濃度拡散層を形成し、前記半導体基板の第2領域に前記第2ゲート電極を挟んで第2ソース高濃度拡散層と第2ドレイン高濃度拡散層を形成する際、全て同時に形成する工程。 - 前記工程(B)において、第1ゲート酸化膜と第2ゲート酸化膜を同時形成し、形成する膜厚が同じであることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(B)において、第1ゲート酸化膜と第2ゲート酸化膜を別途形成し、形成する膜厚が異なることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(B)において、前記第1ゲート電極及び第2ゲート電極を形成する際、酸化膜のハードマスクを用いて下部シリコン電極を加工する工程を含み、前記工程(F)において第1ゲート電極の側面部の酸化膜サイドウォール部を選択的に除去する際、ゲート電極上のハードマスク用の酸化膜の削れる膜厚が、サイドウォール部の削れる酸化膜厚に対して、相対的に少ないことを特徴とする請求項7から9のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(D)において、前記半導体基板の第2領域に前記第2ゲート電極に対して自己整合的にソース低濃度拡散層及びドレイン低濃度拡散層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項7から10のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記工程(F)において、第2ソース高濃度拡散層と第2ドレイン高濃度拡散層を前記第2ゲート電極とは間隔をもって形成することを特徴とする請求項7から11のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記LDMOSトランジスタ及び前記MOSトランジスタはSOI基板に形成され、かつU溝によって分離される工程を含むことを特徴とする請求項7から12のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1高濃度ソース領域下部のチャネル拡散層領域に除去される前のサイドォール部を用いてラッチアップ防止拡散層を形成する工程を有することを特徴とする請求項7から13のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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US9012987B2 (en) | 2012-03-06 | 2015-04-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Semiconductor device, printing apparatus, and manufacturing method thereof |
JP2015204307A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-16 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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JP2005044924A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Ricoh Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
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JP2009071152A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Toyota Central R&D Labs Inc | 複合ic |
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