JP2010250008A - 封止装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上面に開口部が形成され吸排気口P1を有けた空室筐体1と、前記空室筐体1の開口部を覆う柔軟性および透光性を有するシート部材11と、吸排気口P2を有するとともに、UV透過マスク15を内部に収容して前記シート部材11上に載置されるUVマスク支持枠14と、前記UVマスク支持枠14の上面の開口部を覆う可動封止盤18と、前記可動封止盤18の上方に配設された光源部とを備え、前記シート部材11を境界とする下部の空室筐体内が減圧可能な第1のチャンバーCH1となる一方、前記シート部材11を境界とする上部のUVマスク支持枠14および可動封止盤18に囲われた内部が減圧可能な第2のチャンバーCH2となるようにする。
【選択図】図1
Description
2・・・・・ステージ
3・・・・・ロッド
4・・・・・ギヤボックス
5・・・・・モータ
6・・・・・支持ロッド
7・・・・・流体圧シリンダー
8・・・・・支持ロッド
9・・・・・流体圧シリンダー
10・・・・アライメントカメラ
11・・・・UV透過特殊シート
12・・・・供給ロール
13・・・・巻取ロール
14・・・・UVマスク支持枠
15・・・・UVマスク
16・・・・Oリング
17・・・・Oリング
18・・・・可動封止盤
19・・・・ランプハウス
20・・・・UVランプ
21・・・・熱線カットフィルター
22・・・・シャッター
23・・・・開閉扉
24・・・・昇降装置
25・・・・流体圧チューブ
26a、26b、26c・・・・バルブ
27a、27b、27c・・・・バルブ
28・・・・真空ポンプ
30・・・・セル構造体
W1・・・・第1の基板
W2・・・・第2の基板
CH1・・・第1のチャンバー
CH2・・・第2のチャンバー
Claims (6)
- 上面に開口部が形成され吸排気口を有するとともに、内部にステージと下側基板の支持ロッドおよび上側基板の支持ロッドを昇降可能に設けた空室筺体と、
前記空室筺体の開口部を覆う柔軟性および透光性を有するシート部材と、
外形が前記空室筺体と略一致する形状であって吸排気口を有するとともに、UV透過マスクを内部に収容して前記シート部材上に載置されるUVマスク支持枠と、
前記UVマスク支持枠の上面の開口部を覆う可動封止盤と、
前記可動封止盤の上方に配設された光源部とを備え、
前記空室筺体上にシート部材を介してUVマスク支持枠および可動封止盤が配置されたとき、前記シート部材を境界とする下部の空室筺体内が減圧可能な第1のチャンバーとなる一方、前記シート部材を境界とする上部のUVマスク支持枠および可動封止盤に囲われた内部が減圧可能な第2のチャンバーとなるようにしたことを特徴とする封止装置。 - 前記空室筺体内に第1の基板を支持して昇降可能となるようにした第1の支持ロッドおよび第2の基板を支持して昇降可能となるようにした第2の支持ロッドと、セル構造体を載置して昇降可能となるようにしたステージとを備えたことを特徴とする請求項1記載の封止装置。
- 前記第1の支持ロッドが前記ステージ内で昇降するように構成したことを特徴とする請求項2記載の封止装置。
- 前記第1、第2の支持ロッドおよびステージを昇降するための駆動機構が空室筺体の底面下に構成されていることを特徴とする請求項2記載の封止装置。
- 前記空室筺体の任意の側面に第1のチャンバーの気密状態を保つことができるようにした開閉扉を設けたことを特徴とする請求項2記載の封止装置。
- 前記第1の基板と第2の基板とのアライメント調整をするためのアライメントカメラを前記ステージの側部に設けたことを特徴とする請求項2記載の封止装置。
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