JP2005084615A - 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 真空チャンバ1内において、接着剤(シール剤)9を介して、2枚の基板8a,8bを加圧して貼り合わせ、その後チャンバ1内大気圧開放による内外圧力差により、貼り合わせ基板8a,8bに適正なセルギャップが形成される。
そこで、チャンバ1内圧力を検出するセンサ12を設け、大気開放によるチャンバ1内圧力が上昇する間で、チャンバ1内圧力が貼り合わせ時の基板加圧力に等価となったことを検知されたとき、基板8a,8bに対するステージ5a,5b等の加圧及び拘束を解除させ、セルギャップ形成に際し過大な圧力が基板に作用するのを回避する。
【選択図】 図1
Description
液晶表示パネル製造の場合、例えば、第1の基板はTFTを形成したTFT基板であり、第2の基板はカラーフィルタを形成したカラーフィルタ基板であり、その第1の基板の表示面に液晶が滴下されるとともにスペーサが散布され、その表示面を囲むように接着剤である光硬化性のシール剤が塗布され、その塗布されたシール剤を介し第1の基板と第2の基板とが貼り合わされる。
1A,1B ハウジング
2 真空ポンプ(真空源)
2b 開閉弁
3 供給タンク
3b 開閉弁
4 制御器
41 比較判定部
42 データ設定部
43 タイマ
5a,5b ステージ
6 移動機構
7 X−Y−θ移動テーブル
8a,8b 基板
9 シール剤(接着剤)
10 液晶
11 紫外線照射光源
12 センサ
Claims (9)
- 減圧雰囲気中で、接着剤を介して第1及び第2の2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置において、
給排気可能なチャンバと、
このチャンバ内において、接着剤が塗布された前記第1の基板を着脱自在に保持する第1のステージと、
この第1のステージに対向し、前記第1の基板に貼り合わされる前記第2の基板を前記チャンバ内で着脱自在に保持する第2のステージと、
この第2のステージ及び前記第1のステージのうち、少なくともいずれか一方のステージを貼り合わせ方向に移動させ、あらかじめ設定された加圧力を基板に印加可能な移動機構と、
この移動機構により前記2枚の基板に対して前記あらかじめ設定された加圧力を印加した後に前記チャンバ内の給気操作開始後前記チャンバ内圧力がセルギャップ形成圧力に対応する圧力に到達する前までに前記移動機構による前記2枚の基板に対する加圧を解除するように制御する制御器と
を具備することを特徴とする基板貼り合わせ装置。 - 前記チャンバ内の圧力を検出するセンサを有し、
前記制御器は、前記センサからの信号を受け、前記移動機構により前記2枚の基板に対してあらかじめ設定された加圧力を印加したときからの前記チャンバ内圧力の上昇幅が、前記あらかじめ設定された加圧力に対応する圧力値に到達した以後に前記移動機構による前記2枚の基板に対する加圧を解除するように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記制御器は、前記センサからの信号を受け、前記移動機構により2枚の基板に対してあらかじめ設定された加圧力を印加したときからのチャンバ内圧力の上昇幅と、前記あらかじめ設定された加圧力に対応する圧力値との和が、セルギャップ形成圧力値に到達する前までに、前記移動機構による前記2枚の基板に対する加圧を解除するように構成されたことを特徴とする請求項2に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記移動機構により前記2枚の基板に対して前記あらかじめ設定された加圧力を印加した後に、前記チャンバ内への給気操作開始後の時間経過を計時するタイマを有し、
前記制御器は、前記タイマによる計時時間が前記給気操作により上昇したチャンバ内圧力の上昇幅が、前記あらかじめ設定された加圧力に対応した圧力値に到達するに要する時間を経過した以後に、移動機構による前記2枚の基板に対する加圧を解除する
ように構成されたことを特徴とする請求項1に記載の基板貼り合わせ装置。 - 前記制御器は、タイマによる計時時間が、前記給気操作により上昇したチャンバ内圧力の上昇幅と、前記あらかじめ設定された加圧力に対応した圧力値との和が、セルギャップ形成圧力値に到達するに要する時間に到達する前までに移動機構による前記2枚の基板に対する加圧を解除するように構成されたことを特徴とする請求項4に記載の基板貼り合わせ装置。
- 前記セルギャップ形成圧力は、大気圧であることを特徴とする請求項1ないし5に記載の基板貼り合わせ装置。
- 減圧雰囲気中で、接着剤を介して第1及び第2の2枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ方法において、
チャンバ内に配置された第1及び第2の基板を保持して位置合わせをする第1の工程と、
この第1の工程の後に、前記チャンバ内の減圧雰囲気中で、前記第1及び第2のステージのうちの少なくともいずれか一方を駆動し、あらかじめ設定された所定加圧力の印加により前記接着剤を介して前記第1及び第2の基板を貼り合わせる第2の工程と、
この第2の工程の後に、前記チャンバ内圧力を昇圧させる第3の工程と、
この第3の工程の進行過程において、昇圧による前記チャンバ内圧力が、セルギャップ形成圧力に対応する圧力に到達する前までに第1及び第2の各ステージによる前記2枚の基板に対する加圧を解除する第4の工程と、
この第4の工程の後、大気圧に復帰したチャンバ内から貼り合わされた2枚の基板を取り出す第5の工程と
を有することを特徴とする基板貼り合わせ方法。 - 前記第4の工程は、昇圧による前記チャンバ内圧力の上昇幅が、前記所定加圧力に相当する圧力値に到達した以後に、前記第1及び第2の各ステージによる前記2枚の基板に対する加圧を解除することを特徴とする請求項7に記載の基板貼り合わせ方法。
- 前記第4の工程は、さらに昇圧によるチャンバ内圧力の上昇幅と、前記あらかじめ設定された所定加圧力に対応する圧力値との和が、セルギャップ形成圧力値に到達する前までに、第1及び第2の各ステージによる前記2枚の基板に対する加圧を解除することを特徴とする請求項8に記載の基板貼り合わせ方法。
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