CN103454799A - 真空对盒装置及对盒方法和生产设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种真空对盒装置及对盒方法和生产设备，用以提高对盒的精确度和对盒质量。所述装置包括动态感知调节结构，其每一个子结构与上基板的一个子区域位置相对应，每一子结构包括平整度调节层、压电感应层和表面吸附层；对盒时，压电感应层根据对应的上基板子区域施加的压力产生压力感应电流并传送给控制电路，控制电路对平整度调节层施加相应的电场，使得平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；压电感应层根据对应的上基板子区域所受到的吸力产生吸力感应电流并传送给所述控制电路，控制电路根据所述吸力感应电流控制上机台的下降速度和施加到表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变。

Description

真空对盒装置及对盒方法和生产设备
技术领域
本发明涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种真空对盒装置及对盒方法和生产设备。
背景技术
在液晶显示器(Liquid Crystal Display，TFT-LCD)制造过程中，真空对盒是成盒(cell)工序的核心工艺，所谓成盒即是在近真空环境下，通过上机台和下机台分别吸附构成TFT-LCD的阵列基板（Thin Film Transistor，TFT）和彩膜基板（Color Filter，CF），上机台和下机台相向移动，将构成阵列基板和彩膜基板压合在一起，其中，吸附在上机台的基板可称之为上基板，吸附在下机台上的基板也可称之为下基板。并且，其他的显示器制造过程，比如电子纸等的制造，也需要将上、下基板进行真空对盒。
随着液晶面板生产线的发展，液晶显示面板的尺寸越来越大，对上基板所受到的力的精确度，以及剥离上基板方式的要求也越来越高。目前广泛使用的对上基板进行吸附和剥离的装置主要包括圆盘式硅橡胶吸附(Silicone Foamrubber Chuck，SFC)装置和平板式硅橡胶吸附(Plate Silicone rubber Chuck，PSC)装置。如图1所示，在SFC装置中，上机台1上设置有若干个环形的SFC粘性模块2用来吸附基板，基板剥离时计算机控制上机台1向上移动，同时控制位于SFC粘性模块2中心的气囊3充气鼓起使得基板剥离，通常SFC粘性模块2的个数超过200个。如图2所示，在PSC装置中，上机台1具有大面积的PSC粘性模块4，用于吸附上基板，PSC粘性模块4与上机台1之间设置有顶针(Pin)5，基板剥离时计算机控制上机台1向上移动，同时控制顶针5向下顶出使基板剥离，通常PSC粘性模块4的个数为4个。
但是，上述SFC装置和PSC装置都不能对上基板所受到的力和上基板的平整度进行感知，因此压盒过程中可能会造成上基板受力不均，进而导致上基板被压碎，或压盒后上基板与下基板的粘合状态较差，影响对盒的精确度和对盒质量。
发明内容
本发明实施例提供了一种真空对盒装置及对盒方法和生产设备，用以提高对盒的精确度和对盒质量。
本发明实施例提供了一种真空对盒装置，用于对显示面板的上基板和下基板进行对盒，所述装置包括上机台、下机台和控制电路，所述真空对盒装置还包括动态感知调节结构；
所述动态感知调节结构固定于所述上基台上，具有若干个子结构，每一个子结构与上基板的一个子区域位置相对应；每一个子结构从上至下依次包括平整度调节层、压电感应层和表面吸附层；
在上下基板对盒时，每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域施加的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；
以及，每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变。
所述真空对盒装置中，在上下基板对盒时,每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域施加的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变，实现对上基板平整度的补偿，消除了由上基板表面的高度差所引起的受力不均；同时，每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路根据与所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变，使得上基板受力均匀，进一步提高对盒的精确度和对盒质量。
较佳的，所述平整度调节层采用压电陶瓷材料；所述表面吸附层采用力敏导电橡胶材料，所述力敏导电橡胶材料为柔性导电复合材料，其电阻率随着受到的压力的增大而减小。
所述压电陶瓷材料在外力作用下会发生形变，在该形变相对应的两侧表面上产生电性相反的电荷；因此，当上基板对某一子结构的平整度调节层施加压力时，该子结构中由压电陶瓷材料形成的平整度调节层发生形变，并在发生形变的位置的两侧表面分别产生正电荷和负电荷，电荷的增大使得该子结构中的压电感应层中产生与所述压力相应的压力感应电流，并传送给控制电路，控制电路根据接收到的压力感应电流对平整度调节层施加相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变，对上基板的平整度进行补偿，进而消除由上基板表面的高度差所引起的压力不均；
所述力敏导电橡胶材料是通过在硅橡胶中填充不同的碳系导电材料（如炭黑、石墨、碳纤维等）形成。所述力敏导电橡胶材料具有可伸缩性，在压盒过程中，上基板的子区域受到的吸力增大时，与该子区域对应的子结构中受到的压力增大，硅橡胶的体积分数减小，导电粒子的体积分数增大，本子结构中的表面吸附层的电阻率会随着压力的增大而减小，电阻率的变化使得本子结构中的压电感应层中产生吸力感应电流，并反馈给控制电路，所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变，改变表面吸附层与上基板之间的接触面积，使得上基板受力更加均匀，进一步提高了真空对盒的精确度。
较佳的，所述表面吸附层在通电情况下产生形变，形成多个吸附上基板的吸盘，用于将所述上基板固定到动态感知调节结构上。
较佳的，所述表面吸附层中与吸盘相对应的位置设置有真空管，用于对由所述吸盘与上基板组成的密闭空间抽真空，使得上基板受到的吸附力增大。
较佳的，对于每一子结构，所述压电感应层包括：第一衬底基板，设置在所述第一衬底基板上的第一子电极，设置在所述第一子电极上方的中间介质层，设置在所述中间介质层上方的第二子电极，以及设置在所述第二子电极上方的第二衬底基板；
其中，所述第一子电极与所述第二子电极形成电容，在上下基板对盒时，所述平整度调节层受到压力后产生电荷，使得所述电容的电量发生变化，从而产生与所述压力相应的压力感应电流；所述上基板受到的吸力发生变化时，表面吸附层受到的压力发生变化，此时该子结构的表面吸附层的电阻率发生变化，电阻率的变化会使所述电容中产生与所述吸力相应的吸力感应电流。
较佳的，所述若干个子结构呈矩阵排列，每一子结构的第一子电极均沿第一方向分布，多个所述第一子电极在第一基板上形成第一电极层；每一子结构的第二子电极均沿第二方向分布，多个所述第二子电极在所述第二衬底基板下方形成第二电极层。
较佳的，所述子结构还包括设置在所述压电感应层和所述表面吸附层之间的压电传感层，用于将所述压力感应电流和吸力感应电流传输给所述控制电路。此外，所述压电传感层也可用导电的连接线来代替。
较佳的，所述装置还包括设置在上机台与动态感知调节结构之间的连接结构，用于将所述动态感知调节结构固定到上机台上；并且，所述连接结构有利于根据需要更换动态感知调节结构。此外，所述动态感知调节结构还可以通过粘接、螺接或卡接的方式固定到上机台上。
本发明实施例提供了一种显示面板的生产设备，所述显示面板的生产设备包括上述的真空对盒装置。
本发明实施例提供了一种利用上述的真空对盒装置进行对盒的方法，所述方法包括：
将上基板和下基板载入真空对盒装置，使得上基板吸附在动态感知调节结构的表面；
每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域施加到动态感知调节结构上的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；
真空对盒装置中抽真空，并对上基板和下基板进行对位；
将上基板和下基板进行压盒，每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变；
完成压盒后，将上基板与动态感知调节结构剥离。
利用上述方法进行对盒的过程中，每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域施加到动态感知调节结构上的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变，实现对上基板平整度的补偿，消除了由上基板表面的高度差所引起的受力不均；并且，将上基板和下基板进行压盒时，每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变，使得上基板受力均匀，进一步提高对盒的精确度和对盒质量。
较佳的，所述表面吸附层中与吸盘相对应的位置设置有真空管，所述使得上基板吸附在动态感知调节结构的表面，包括：
对动态感知调节结构施加正向电压，使得表面吸附层的部分结构凹陷，以形成多个吸盘，将上基板吸附在表面吸附层上；通过真空管对由所述吸盘与上基板组成的密闭空间抽真空，使得上基板受到的吸附力增大。通过该方法使上基板吸附到在机台表面，并通过控制施加的正向电压的大小进而控制上基板所受到的吸附力，使得上基板既不会因吸附力过小而从上机台表面脱落，也不会因吸附力过大而导致碎裂。
较佳的，所述将上基板与动态感知调节结构剥离，包括：
对表面吸附层施加反向电压，使得用于吸附上基板的吸盘消失，表面吸附层与上基板之间的吸附力降低；通过真空管输入氮气，氮气均匀压在上基板表面，使得上基板与表面吸附层剥离。该剥离过程中，对动态感知调节模组施加反向电压，可使表面吸附层的凹陷的部分迅速恢复到平坦状态，表面吸附层的吸盘消失，表面吸附层与上基板之间的吸附力减小，同时，通过真空管输入气体，气体均匀压在上基板表面，使得上基板从上机台表面迅速剥离，还可使得压盒更紧密，而且该气体是在压盒后输入的，因此还进一步保证了压盒后的显示面板的盒内为真空状态，有效避免了氮气气泡与真空气泡的产生，提高了盒厚均一性和压盒的质量；同时，通过该方法将上基板与上机台剥离，避免了现有技术中使用顶针而造成的黑斑或暗斑，进一步提高了显示面板的质量。
附图说明
图1为现有技术中SPF型真空对盒装置的上机台的结构示意图；
图2为现有技术中PSC型真空对盒装置的上机台的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种真空对盒装置的结构示意图；
图4为动态感知调节结构的剖面结构示意图；
图5为压电感应层的平面结构示意图；
图6为沿图4中A-A1方向压电感应层的剖面结构示意图；
图7为本发明实施例提供的一种对盒方法的流程示意图。
具体实施方式
本发明实施例提供了一种真空对盒装置及对盒方法和生产设备，用以提高对盒的精确度和对盒质量。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明实施例提供了真空对盒装置，所述真空对盒装置用于对显示面板的上基板和下基板进行对盒，参见图3和图4，从图3中可以看出，所述装置包括上机台301、下机台302，以及用于控制上机台301和下机台302实现上基板和下基板的对盒的控制电路303。
结合图3和图4，可用看出所述上机台301上设置有动态感知调节结构304，所述动态感知调节结构304具有呈矩阵排列的若干个子结构，每一个子结构与上基板的一个子区域位置相对应；每一个子结构从上至下依次包括平整度调节层3041、压电感应层3042、压电传感层3043和表面吸附层3044；
在上下基板对盒时，每一个子结构的所述压电感应层3042，根据本子结构对应的上基板子区域施加的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流，并传送给所述控制电路303；所述控制电路303通过对该子结构的平整度调节层3041施加于所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层3041产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；
以及，每一个子结构的所述压电感应层3042，根据本子结构对应的上基板子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并传送给所述控制电路303；所述控制电路303根据所述吸力感应电流，控制上机台301的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层3044的电压，使得每一子结构的表面吸附层3044发生与电压值大小相应的形变。
具体的：
所述平整度调节层3041采用压电陶瓷材料制作；所述压电陶瓷材料，是指用必要成份的原料进行混合后，然后通过造粒、成型、高温烧结等工艺而获得的由微细晶粒无规则集合而成的多晶体，如钛酸钡系、锆钛酸铅二元系等化合物。所述压电陶瓷材料在外力或外电场作用下会发生形变，并在该形变相对应的两侧表面上产生电性相反的电荷；因此，在上下基板对盒过程中，当上基板吸附在动态感知调节结构上后，上基板对动态感知调节结构施加压力，每一子结构中由压电陶瓷材料形成的平整度调节层3041在该压力的作用下产生形变，以使得上基板与动态感知调节结构的贴合度增大，并在发生形变的位置的两侧分别产生正电荷和负电荷，所述正电荷与负电荷的电量相等，且电量大小与形变程度相对应；但是，在所述压力的作用下产生的形变是不稳定的，因此需要对该发生形变的部分平整度调节层施加一定的电场，使得本结构中的平整度调节层3041在该电场的作用下能够保持形变；
由于该平整度调节层3041与压电感应层直接接触，因此平整度调节层表面的电荷变化会引起压电感应层3042表面的电荷发生变化，使得压电感应层3042中产生压力感应电流，并通过压电传感层3043传送给控制电路303；控制电路303根据接收到的压力感应电流，对平整度调节层3041施加与所述压力感应电流相应的电场，使得平整度调节层3041在该电场下产生与对应的上基板子区域相吻合的形变，并能够保持该形变，进而使得动态感知调节结构与上基板的贴合程度增大，消除由基板表面的高度差所引起的压力不均，实现对上基板的平整度进行补偿；利用所述平整度调节层3041可进行50微米（μm）内的高度调整。
所述压电感应层3042，设置在平整度调节层3041的下方，参见图5和图6，其中，图5为压电感应层3042的平面结构示意图，图6为沿图5中A-A1方向的压电感应层3042的剖面结构示意图；结合图5和图6可以看出，对于每一所述子结构，所述压电感应层3042包括：相对设置的第一衬底基板30421和第二衬底基板30422，设置在第一衬底基板30421上、面向第二衬底基板30422的第一子电极30423a，设置在第二衬底基板30422上、面向第一衬底基板30421的第二子电极30424a，以及设置在第一子电极30423a和第二子电极30424a之间的中间介质层30425；
其中，所述第一子电极30423a与所述第二子电极30424a形成电容，在上下基板对盒时，所述平整度调节层3041受到压力后产生电荷，使得所述电容的电量发生变化，从而产生与所述压力相应的压力感应电流；所述上基板受到的吸力发生变化时，表面吸附层3044受到的压力发生变化，此时该子结构的表面吸附层3044的电阻率发生变化，所述电阻率的变化使得所述电容中产生与所述吸力相应的吸力感应电流。
其中，每一子结构的第一子电极30423a均沿第一方向分布，多个所述第一子电极30423a在第一衬底基板30421上形成第一电极层30423；
每一子结构的第二子电极30424a均沿第二方向分布，多个所述第二子电极30424a在第二衬底基板30422的下方形成第二电极层30424；
所述第一子电极30423a和第二子电极30424a采用钛、铝等导电金属材料制作。
所述中间介质层30425包括多个有呈矩阵分布的四棱锥形状的中间介质层单元30425a组成，每一中间介质层单元30425a设置在第一子电极30423a和第二子电极30424a之间，使得所述压电感应层3042具有良好的静态和动态性能，无论是对于瞬间的触碰还是持续的受挤压，压电感应层3042均能良好的获取触觉信息。
所述动态感知调节结构中，当所述动态感知调节结构中的某一子结构中产生压力感应电流或吸力感应电流时，通过检测该子结构对应的第一子电极30423a和第二子电极30424a的坐标，即可确定该子结构的位置，有利于提高所述控制电路303的控制精度，进而提高对盒精度。
所述压电传感层3043，设置在压电感应层3042的下方，用于将所述压力感应电流和吸力感应电流传输给控制电路303；所述压电传感层3043同样采用压电陶瓷材料形成，可进一步提高动态感知调节结构304在竖直方向上的调节能力；此外，所述压电传感层3043还可以采用其它的导电材料形成，或者，所述压电传感层3043还可以用导电的连接线来代替。
所述表面吸附层3044，设置在压电传感层3043的下方，将与上基板施加到动态感知调节结构304上的压力相应的压力感应电流以及与上基板所受到的吸力的相应的吸力感应电流传输给控制电路303；
所述表面吸附层3044采用力敏导电橡胶材料制作；所述力敏导电橡胶材料是通过在硅橡胶或其他高分子基体材料中填充不同的碳系导电材料（如炭黑、石墨、碳纤维等）形成的。本实施例中采用炭黑-硅橡胶作为力敏导电材料，所述炭黑-硅橡胶为填充有炭黑的硅橡胶，其中，炭黑的质量分数为8%。该力敏导电橡胶材料具有可伸缩性，随着压力增大，橡胶的体积分数减小，导电粒子的体积分数增大，其电阻率会随着所受到的压力的增大而减小。
在通电的情况下，表面吸附层3044产生形变，形成多个吸附上基板的吸盘；所述表面吸附层3044中设置有真空管3044a，通过所述真空管3044a对由所述吸盘和上基板组成的密闭空间进行抽真空，使得吸盘与上基板之间的吸附力进一步增大，最终使得上基板完全依靠吸附力吸附在表面吸附层3044的表面。
上基板完全依靠吸附力吸附在所述表面吸附层3044的表面后，上基板受到表面吸附层3044的吸力，并对表面吸附层3044产生与所述吸力相应的压力，每一子结构中表面吸附层3044受到压力后电阻率会发生变化，使得本子结构中的压电感应层3042产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并通过压电传感层3043传送给控制电路303，所述控制电路303根据与所述吸力感应电流控制上机台301的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层3044的电压，使得每一子结构的表面吸附层3044发生与电压值大小相应的形变，从而使得上基板受力更均匀，提高对盒的精确度和对盒质量，同时能够有效的避免上基板被压碎，进一步提高了生产的安全性。
在上下基板对盒完成后，控制电路303对每一子结构的表面吸附层304施加反向电压，表面吸附层3044上的吸盘迅速消失，表面吸附层3044恢复到平整状态，上基板受到的吸力减小，同时，通过设置在吸盘中的真空管3044a输入惰性气体，如氮气、氩气等，使得上基板与动态感知调节结构304完全剥离；由于在输入气体时，气体均匀压在上基板表面，因此可使压盒更紧密，而且输入气体是在压盒后进行的，进一步保证了压盒后的显示面板的盒内为真空状态，有效避免了氮气气泡与真空气泡的产生，提高了盒厚均一性和压盒的质量；同时，通过该方法将上基板与动态感知调节结构304剥离，避免了现有技术中使用顶针而造成的黑斑或暗斑，进一步提高了显示面板的质量。
此外，也可以不对动态感知调节结构304施加反向电压，而只对动态感知调节结构304进行断电，使得吸盘自行消失，但是吸盘自行消失的速度不及施加反向电压后的消失的速度快。
进一步的，所述真空对盒装置中还设置有连接结构305，所述连接结构305设置在上机台301与动态感知调节结构304之间，用于将所述动态感知调节结构304固定到上机台301表面；所述连接结构为定型永磁铁底座或电磁铁底座，将所述动态感知调节结构通过粘接、螺接或卡接的方式固定到连接结构上，然后配合上机台的电磁铁结构，利用磁铁之间的吸引力，将动态感知调节结构固定到上机台上。当需要更换动态感知调节结构时，只需要对上机台的电磁铁结构施加反向电压，使两磁铁之间产生排斥力，便可将动态感知调节结构取下。
需指出的是，所述动态感知调节结构也可以通过粘接、螺接或卡接的方式直接固定到上机台上。
本发明实施例还提供了一种使用上述真空对盒装置进行对盒的方法，所述方法包括：
将上基板和下基板载入真空对盒装置，使得上基板吸附在动态感知调节结构的表面；
每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域施加到动态感知调节结构上的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；
真空对盒装置中抽真空，并对上基板和下基板进行对位；
将上基板和下基板进行压盒，每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变；
完成压盒后，将上基板与动态感知调节结构剥离。
下面以本发明实施例提供的真空对盒装置为例，详细介绍实际制备工艺中，利用上述真空对盒装置对显示面板的上基板和下基板进行对盒的方法，参见图7，该对盒方法具体包括：
第一步S1，利用搬动设备的机械手将上基板和下基板载入真空对盒装置的真空腔体中，并将下基板放置在下机台302上，将上基板放置在动态感知调节结构304的正下方。
第二步S2，上机台301逐渐下降，直至上基板与动态感知调节结构304的表面吸附层3044紧密接触；然后，对动态感知调节结构304施加正向电压，使得表面吸附层3044的部分结构凹陷，以形成多个吸盘，将上基板吸附在表面吸附层3044上；以及通过设置在表面吸附层3044中的真空管3044a对由所述吸盘与上基板组成的密闭空间进行抽真空，使得上基板与表面吸附层3044之间的吸附力进一步增大。
第三步S3，每一子结构中的平整度调节层3041受到压力后产生形变，并在发生形变的位置的两侧表面分别产生正电荷和负电荷，电荷的增大使得压电感应层3042中产生与所述压力相应的压力感应电流，并传送给控制电路303，控制电路303根据接收到的压力感应电流对平整度调节层3041施加相应的电场，使得该子结构的平整度调节层3041产生与对应的上基板子区域相吻合的形变，对上基板的平整度进行补偿，进而消除由上基板表面的高度差所引起的压力不均；其中，所述平整度调节层3041可进行50μm内的高度调节。
第四步S4，对真空腔体进行抽真空，使得真空腔体中的环境接近真空状态；同时，根据真空对盒装置中的摄像头所拍摄的画面，利用下机台302在水平方向上移动下基板的位置，对上基板和下基板进行对位。
第五步S5，对位完成后，上机台301继续逐渐下压，对上基板和下基板进行压盒；
压盒过程中，上基板的每一子区域受到吸力后，对与之对应的子结构的表面吸附层3044施加相应的压力，表面吸附层3044的电阻率会随着压力的增大而减小，当表面吸附层3044的电阻率发生变化时，会引起压电感应层3042产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并通过压电传感层3043传递给控制电路303，所述控制电路303根据所述吸力感应电流，控制上机台301的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层3044的电压，使得每一子结构的表面吸附层3044发生与电压值大小相应的形变，使得上基板受力均匀；同时，控制电路303将该压力与预设的压力上限进行比较，若该压力大于或等于预设的压力上限时，则指示上机台301停止下降，以免上机台压碎上基板。
第六步S6，压盒完成后，将氮气等惰性气体注入到真空体腔内，破除真空体腔内的真空状态。
第七步S7，对表面吸附层3044施加反向电压，使得表面吸附层3044恢复平坦状态，用于吸附上基板的吸盘消失，表面吸附层3044与上基板之间的吸附力降低；同时，通过真空管3044a输入氮气，气体均匀压在上基板表面，使得上基板与表面吸附层3044完全剥离。
第八步S8，利用机械手将完成对盒后形成的显示面板从真空对盒装置中取出。
本发明实施例提供了一种显示面板的生产设备，所述显示面板的生产设备包括上述的真空对盒装置。
综上，本发明实施提供的真空对盒装置，在压盒的过程中，通电后的动态感知调节结构可以检测到上基板的平整度，并根据平整度的不同发生形变，对上基板的平整度进行补偿，使得上基板表面均匀受力，消除了由于上基板表面的高度差所引起的受力不均；并且，所述动态感知调节结构检测上基板所受到的吸力，产生与所述吸力相应的感应电流并产传送给控制电路，控制电路根据与所述吸力相对应的感应电流控制上机台的下降速度和施加到上基板上的吸力，使得上基板在压盒过程中受力均匀，同时避免上基板被压碎，提高了真空对盒的精确度和安全性，提高了显示面板的质量；同时，通过对感知调节结构施加反向电压和对上基板吹气的方式，将上基板与上机台进行剥离，大大减少了气泡、黑斑、暗斑等不良的产生。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (12)

1.一种真空对盒装置，用于对显示面板的上基板和下基板进行对盒，所述装置包括上机台、下机台和控制电路，其特征在于，还包括动态感知调节结构；
所述动态感知调节结构固定于所述上基台上，具有若干个子结构，每一个子结构与上基板的一个子区域位置相对应；每一个子结构从上至下依次包括平整度调节层、压电感应层和表面吸附层；
在上下基板对盒时，每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域施加的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；以及
每一个子结构的所述压电感应层，根据本子结构对应的上基板子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流，并传送给所述控制电路；所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述平整度调节层采用压电陶瓷材料；
所述表面吸附层采用力敏导电橡胶材料，所述力敏导电橡胶材料为柔性导电复合材料，其电阻率随着受到的压力的增大而减小。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述表面吸附层在通电情况下产生形变，形成多个吸附上基板的吸盘。
4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述表面吸附层中与吸盘相对应的位置设置有真空管，用于对由所述吸盘与上基板组成的密闭空间抽真空，增大表面吸附层与上基板之间的吸附力。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，对于每一子结构，所述压电感应层包括：第一衬底基板，设置在所述第一衬底基板上的第一子电极，设置在所述第一子电极上方的中间介质层，设置在所述中间介质层上方的第二子电极，以及设置在所述第二子电极上方的第二衬底基板；
其中，所述第一子电极与所述第二子电极形成电容，在上下基板对盒时，所述平整度调节层受到压力后产生电荷，使得所述电容的电量发生变化，从而产生与所述压力相应的压力感应电流；所述上基板受到的吸力发生变化时，表面吸附层受到的压力发生变化，此时该子结构的表面吸附层的电阻率发生变化，电阻率的变化会使所述电容中产生与所述吸力相应的吸力感应电流。
6.如权利要求4所述的装置，其特征在于，所述若干个子结构呈矩阵排列，每一子结构的第一子电极均沿第一方向分布，多个所述第一子电极在第一基板上形成第一电极层；
每一子结构的第二子电极均沿第二方向分布，多个所述第二子电极在所述第二衬底基板下方形成第二电极层。
7.如权利要求1-6任一权项所述的装置，其特征在于，所述子结构还包括设置在所述压电感应层和所述表面吸附层之间的压电传感层，用于将所述压力感应电流和吸力感应电流传输给所述控制电路。
8.如权利要求1-6任一权项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括设置在上机台与动态感知调节结构之间的连接结构，用于将所述动态感知调节结构固定到上机台上。
9.一种显示面板的生产设备，其特征在于，所述显示面板的生产设备包括权利要求1～8任一权项所述的真空对盒装置。
10.一种利用权力要求1-8任一权项所述的装置进行对盒的方法，其特征在于，所述方法包括：
将上基板和下基板载入真空对盒装置，使得上基板吸附在动态感知调节结构的表面；
每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域施加到动态感知调节结构上的压力，产生与所述压力大小相应的压力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路通过对该子结构的平整度调节层施加与所述压力感应电流相应的电场，使得该子结构的平整度调节层产生与对应的上基板子区域相吻合的形变；
真空对盒装置中抽真空，并对上基板和下基板进行对位；
将上基板和下基板进行压盒，每一子结构的压电感应层根据与之对应的上基板的子区域所受到的吸力，产生与所述吸力相应的吸力感应电流并传送给控制电路，所述控制电路根据所述吸力感应电流，控制上机台的下降速度和施加到该子结构的表面吸附层的电压，使得每一子结构的表面吸附层发生与电压值大小相应的形变；
完成压盒后，将上基板与动态感知调节结构剥离。
11.如权利要求10所述方法，其特征在于，所述表面吸附层中与吸盘相对应的位置设置有真空管，所述使得上基板吸附在动态感知调节结构的表面，包括：
对动态感知调节结构施加正向电压，使得表面吸附层的部分结构凹陷，以形成多个吸盘，将上基板吸附在表面吸附层上；通过真空管对由所述吸盘与上基板组成的密闭空间抽真空，增大表面吸附层与上基板之间的吸附力。
12.如权利要求11所述方法，其特征在于，所述将上基板与动态感知调节结构剥离，包括：
对表面吸附层施加反向电压，使得用于吸附上基板的吸盘消失，表面吸附层与上基板之间的吸附力降低；通过真空管输入氮气，氮气均匀压在上基板表面，使得上基板与表面吸附层剥离。
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