CN107086275A - 基板对盒装置及对盒方法 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种基板对盒装置及对盒方法，涉及显示技术领域。该基板对盒装置包括：第一机台；吸附单元，包括多个吸附支撑杆以及与吸附支撑杆连通的真空吸附系统，所述吸附支撑杆用于吸附待对盒基板；支撑单元，包括多个充气模块以及与充气模块连通的空气增压系统，所述充气模块通过喷射压缩空气与待对盒基板之间形成气垫，以使待对盒基板达到预设曲率；其中，吸附支撑杆贯穿于第一机台设置且相对于第一机台具有可移动性，充气模块设置在第一机台靠近所述待对盒基板的一侧且与所述第一机台的相对位置恒定。本公开可保证基板表面的受力均一性，从而避免产生Mura或破损等不良，同时还能控制喷射气体压力来调节成盒基板表面压力，从而调节曲面的曲度。

Description

基板对盒装置及对盒方法

技术领域

本公开涉及显示技术领域，尤其涉及一种基板对盒装置及对盒方法。

背景技术

曲面显示装置相比于平面显示装置具有更加宽广的视角，其弧线设计不仅可以增加可视图像的范围，还能带来逼真的画面临场感，例如弧形IMAX荧幕带来的影像环抱感和身临其境的真实感，而且视觉体验更加舒适。弧形显示符合人类眼球的球面特性，使得屏幕上每一点到达眼睛的距离相等，从而消除了屏幕边缘的视觉扭曲，创造出最自然舒适的观感。

随着画面视角的扩大，观影现场感也随之增强。这与位于眼角膜处的视觉细胞(圆锥细胞及杆状细胞)有着密切的关系。圆锥细胞位于视网膜的中心位置，而杆状细胞则位于视网膜周边。这两种细胞是我们能够通过眼睛认知事物的关键所在。人类自然视野范围是20～30度，其可通过刺激视网膜中心位置的圆锥细胞来认知事物。视野范围的扩大会刺激视网膜周边位置的杆状细胞，从而达到提高沉浸感、增强临场感的效果。此外，杆状细胞的敏感度远远高于圆锥细胞，因此刺激杆状细胞可使眼球捕捉到一些细微的亮度变化和色彩差异。曲面电视就是利用人体眼球工程学的特性，通过刺激杆状细胞来扩大画面视角，从而使观众具有更强的沉浸感。

目前随着曲面技术的发展，针对于OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示器中OLED基板和封装盖板的曲面贴合以及LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示器)中TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶体管)阵列基板和彩膜基板的曲面对盒，曲面对盒技术都是基板成盒的关键。目前为止，特定的设备只能生产固定曲度的产品，无法实现多曲度设计，而且基板的搬送方式基本都是硬接触，因此容易导致Mura或破损等不良。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本公开的目的在于提供一种基板对盒装置及对盒方法，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。

本公开的其他特性和优点将通过下面的详细描述变得显然，或部分地通过本公开的实践而习得。

根据本公开的一个方面，提供一种基板对盒装置，包括：

第一机台；

吸附单元，包括多个吸附支撑杆以及与所述吸附支撑杆连通的真空吸附系统，所述吸附支撑杆用于吸附待对盒基板；

支撑单元，包括多个充气模块以及与所述充气模块连通的空气增压系统，所述充气模块通过喷射压缩空气与所述待对盒基板之间形成气垫，以使所述待对盒基板达到预设曲率；

其中，所述吸附支撑杆贯穿于所述第一机台设置且相对于所述第一机台具有可移动性，所述充气模块设置在所述第一机台靠近所述待对盒基板的一侧且与所述第一机台的相对位置恒定。

本公开的一种示例性实施例中，每个所述吸附支撑杆均包括轴杆以及连接在所述轴杆末端的吸附盘。

本公开的一种示例性实施例中，所述吸附盘的吸附面形状为圆形或者椭圆形。

本公开的一种示例性实施例中，所述充气模块的表面为多孔吸附表面，所述吸附盘包括黏性吸附表面和内部多孔吸附管道；

其中，所述多孔吸附表面和所述多孔吸附管道的材质为复合碳纳米管多孔材料。

本公开的一种示例性实施例中，所述多个吸附支撑杆以所述第一机台的中心线为对称轴对称设置。

本公开的一种示例性实施例中，所述吸附单元还包括连接所述吸附支撑杆的驱动装置。

本公开的一种示例性实施例中，所述支撑单元还包括压力控制模块，用于读取所述待对盒基板的曲率数据，并根据所述曲率数据控制不同位置的所述充气模块中的空气压力；

其中，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递减；

或者，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递增。

本公开的一种示例性实施例中，所述真空吸附系统包括：

真空源；真空管道，连通所述真空源与所述吸附支撑杆；

真空控制阀，用于控制所述真空源的开启与闭合；

缓冲腔，连接所述真空源，用于缓冲真空气压；

减压阀，连接在所述真空源与所述缓冲腔之间，用于调节真空气压；

电控阀，连接所述缓冲腔，用于控制真空气源与压缩空气之间的切换；

压力传感器，连接所述电控阀，用于监控所述真空管道内的气压。

本公开的一种示例性实施例中，所述空气增压系统包括：

压缩空气源；

压缩空气控制阀，用于控制所述压缩空气源的开启与闭合；

空气管道，连通所述压缩空气源与所述充气模块。

根据本公开的一个方面，提供一种基板对盒方法，包括：

获取待对盒基板的标准曲率数据，所述标准曲率数据为所述待对盒基板成盒之后对应的曲率数据；

利用连通真空吸附系统的吸附支撑杆吸附所述待对盒基板，并根据所述标准曲率数据调节不同所述吸附支撑杆的相对位置；

利用连通空气增压系统的充气模块喷射压缩空气以与所述待对盒基板之间形成气垫；

确定一参考压力，并以所述参考压力为基准，根据所述标准曲率数据调节所述待对盒基板不同位置对应的所述充气模块中的气体压力；

对各个所述充气模块中的气体压力进行压力特征分析，并将分析结果反馈至压力控制模块，以控制所述充气模块对所述待对盒基板均匀施压；

将所述待对盒基板的当前曲率与所述标准曲率数据进行匹配，匹配成功则准备压盒，匹配失败则重复上述过程直至匹配成功；

调节第一机台和第二机台的相对位置，并控制所述第一机台带动所述待对盒基板向所述第二机台移动，以实现所述待对盒基板与另一基板的对盒。

本公开示例性实施方式所提供的基板对盒装置及对盒方法，可用于实现超薄基板尤其是具有曲度的柔性基板的对盒。在基板的对盒过程中，第一机台向其下方的第二机台运动，以通过吸附支撑杆带动待对盒基板向另一基板运动，同时还通过充气模块利用其喷射的气体推动待对盒基板向另一基板运动，从而实现两基板的对盒。该基板对盒装置一方面利用连通真空吸附系统的吸附支撑杆来吸附待对盒基板，另一方面利用连通空气增压系统的充气模块来保持与待对盒基板之间的间隙以形成气垫，这样便可以利用正负压力来实现待对盒基板的固定，从而保证基板表面的受力均一性，避免产生Mura或破损等不良；在此基础上，由于吸附支撑杆的高度可调且充气模块中的气压可控，因此可以通过调节不同位置的吸附支撑杆的高度以及充气模块所喷射的气体压力来控制待对盒基板的弯曲程度，从而达到调节基板曲面曲度的效果。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1示意性示出本公开示例性实施例中基板对盒装置的示意图一；

图2示意性示出本公开示例性实施例中基板对盒装置的示意图二；

图3示意性示出本公开示例性实施例中基板对盒装置的智能控制系统示意图；

图4示意性示出本公开示例性实施例中基板对盒方法的流程图。

附图标记：

10-第一机台；20-吸附支撑杆；201-轴杆；202-吸附盘；30-真空吸附系统；301-真空源；302-真空管道；303-真空控制阀；304-缓冲腔；305-减压阀；306-电控阀；307-压力传感器；40-充气模块；50-空气增压系统；501-压缩空气源；502-压缩空气控制阀；503-空气管道；60-驱动装置；80-待对盒基板。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。

此外，附图仅为本公开的示意性图解，并非一定是按比例绘制。图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。

本示例实施方式提供了一种基板对盒装置，用于进行超薄基板的对盒；如图1和图2所示，所述基板对盒装置可以包括：

相对设置的第一机台10和第二机台(图中未示出)；

吸附单元，包括多个吸附支撑杆20以及与吸附支撑杆20连通的真空吸附系统30，所述吸附支撑杆20用于吸附待对盒基板80；

支撑单元，包括多个充气模块40以及与充气模块40连通的空气增压系统50，所述充气模块40通过喷射压缩空气与待对盒基板80之间形成气垫，以使待对盒基板80达到预设曲率；

其中，所述吸附支撑杆20贯穿于第一机台10设置且相对于第一机台10具有可移动性，所述充气模块40设置在第一机台10靠近待对盒基板80(即面向第二机台)的一侧且与第一机台10的相对位置恒定。

所述第一机台10为基板对盒装置的上部机台，其用于控制待对盒基板80的纵向位移；所述第二机台为基板对盒装置的下部机台，其用于放置另一基板以备与上述的待对盒基板80进行贴合。

需要说明的是：该基板对盒装置用于进行超薄基板的对盒，其中的超薄基板优选为柔性基板但不排除玻璃基板，若为玻璃基板则其厚度应在0.3mm以下。本实施例中，所述待对盒基板80例如可以是封装盖板，所述另一基板例如可以是OLED基板；当然，所述待对盒基板80还可以是偏光片或者超薄触摸屏等柔性基板。

本公开示例性实施方式所提供的基板对盒装置，可用于实现超薄基板尤其是具有曲度的柔性基板的对盒。在基板的对盒过程中，第一机台10向其下方的第二机台运动，以通过吸附支撑杆20带动待对盒基板80向另一基板运动，同时还通过充气模块40利用其喷射的气体推动待对盒基板80向另一基板运动，从而实现两基板的对盒。该基板对盒装置一方面利用连通真空吸附系统30的吸附支撑杆20来吸附待对盒基板80，另一方面利用连通空气增压系统50的充气模块40来保持与待对盒基板80之间的间隙以形成气垫，这样便可以利用正负压力来实现待对盒基板80的固定，从而保证基板表面的受力均一性，避免产生Mura或破损等不良；在此基础上，由于吸附支撑杆20的高度可调且充气模块40中的气压可控，因此可以通过调节不同位置的吸附支撑杆20的高度以及充气模块40所喷射的气体压力来控制待对盒基板80的弯曲程度，从而达到调节基板曲面曲度的效果。

本示例实施方式中，所述吸附支撑杆20相对于第一机台10具有精确控制上下位置的功能。基于此，每个吸附支撑杆20均可以包括轴杆201以及连接在轴杆201末端的吸附盘202；其中，所述轴杆201贯穿于第一机台10设置且相对于第一机台10的高度可调，所述吸附盘202相对于轴杆201的角度可变。

需要说明的是：所述轴杆201的高度可调是指其相对于第一机台10可做竖直方向的运动，当轴杆201向上运动时可认为其向上收缩即高度升高，当轴杆201向下运动时可认为其向下伸展即高度降低。所述吸附盘202的角度可变是指其可以绕轴杆201做非平面转动，即吸附盘202的吸附面(与待对盒基板80的接触面)与第一机台10之间的夹角可变。

本示例实施方式中，所述吸附盘202的吸附面用于匹配所吸附的待对盒基板80，其吸附面形状可以为圆形或者椭圆形，当然也可以是其它形状，这里不做具体限定。

在此基础上，所述吸附单元还可以包括连接吸附支撑杆20的驱动装置60，其具体可以分为用于控制轴杆201高度的伸缩模块以及用于控制吸附盘202旋转角度的旋转模块。

这样一来，当使用吸附支撑杆20吸附待对盒基板80时，便可以利用该驱动装置60的伸缩模块来调节轴杆201的高度，例如调节左右两侧的轴杆201高度上升并保持中间位置的轴杆201高度不变，同时利用该驱动装置60的旋转模块来调节吸附盘202的转向和角度例如调节左侧的吸附盘202顺时针转动以及调节右侧的吸附盘202逆时针转动，以使多个吸附支撑杆20的吸附盘202共同形成具有特定曲率的吸附表面，且该吸附表面的曲率与放置于第二机台的另一基板的曲面曲率相匹配，从而实现待对盒基板80的吸附以及待对盒基板80曲率的控制。基于此，本示例实施方式中的基板对盒装置具有调节超薄基板曲率的功能，能够满足超薄基板的不同曲率需求，从而可以降低设备成本。当然，这里为了保持基板曲率的稳定性并避免发生接触式损伤，在利用吸附支撑杆20进行曲面吸附的同时，还应利用充气模块40保持与待对盒基板80之间的稳定气流。

本实施例中，针对于轴杆201和吸附盘202的调节可以包括多种方式。例如，轴杆201本身不具收缩性，其可以向上运动以收入第一机台10或者向下运动以伸出第一机台10，从而控制吸附盘202的高度；或者，轴杆201本身具有收缩性，其可以依靠自身的收缩来控制吸附盘202的高度。而吸附盘202的转动可以通过内部转轴和齿轮来实现，多齿轮可定位转动后的吸附盘202，以防其恢复至转动前的状态。

考虑到曲面基板的对称性以及受力均一性，所述多个吸附支撑杆20优选以第一机台10的中心线为对称轴呈对称设置；其中，在中心线的位置可以设置也可以不设置该吸附支撑杆20，这里不做具体限定。

具体而言，以矩形机台的水平中心线为对称轴可以上下对称设置多个吸附支撑杆20，以矩形机台的竖直中心线为对称轴可以左右对称设置多个吸附支撑杆20。这样一来，所述多个吸附支撑杆20便可以均匀的分布在待对盒基板80的表面，从而保证曲面基板的对称性以及受力均一性。

本示例实施方式中，所述吸附支撑杆20的吸附盘202可以包括黏性吸附表面以及内部多孔吸附管道；所述充气模块40的表面可以为多孔吸附表面。所述多孔吸附管道以及所述多孔吸附表面的材质均可以为复合碳纳米管多孔材料例如碳纳米管与球墨烯复合的多孔材料。该复合多孔吸附材料可利用陶瓷技术制作衬底、并以碳纳米管与球墨烯复合制造多孔材料。本实施例使用复合碳纳米管多孔材料制造吸附面，可以有效的防止产生静电和接触型Mura不良。

为了精确的控制曲面基板的曲率，所述支撑单元还可以包括压力控制模块，用于读取待对盒基板80的曲率数据，并根据所读取的曲率数据控制不同位置的充气模块40中的气体压力。

其中，当需要使待对盒基板80形成凹面时，自待对盒基板80的中心位置向周边位置对应的充气模块40中的空气压力逐渐递减，此时吸附支撑杆20末端的吸附盘202相应的呈凸面状；当需要使待对盒基板80形成凸面时，自待对盒基板80的中心位置向周边位置对应的充气模块40中的空气压力逐渐递增，此时吸附支撑杆20末端的吸附盘202相应的呈凹面状。

本示例实施方式中，参考图1所示，所述真空吸附系统30可以包括：

真空源301，用于提供真空动力；

真空管道302，连通真空源301与各个吸附支撑杆20；

真空控制阀303，用于控制真空源301的开启与闭合；

缓冲腔304，连接真空源301，用于缓冲真空气压；

减压阀305，连接在真空源301和缓冲腔304之间，用于调节真空气压；

电控阀306，连接缓冲腔304，用于控制真空气源与压缩空气的切换，且切换开关由PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)控制；

压力传感器307，连接电控阀306，用于监控真空管道302内的气压。

由此可知，该真空吸附系统30可为吸附支撑杆20提供足够的真空度，以使其在吸附待对盒基板80时具有足够的吸力。

本示例实施方式中，参考图1所示，所述空气增压系统50可以包括：

压缩空气源501，用于提供分离压缩空气；

压缩空气控制阀502，用于控制压缩空气源的开启与关闭；

空气管道503，连通压缩空气源501与各个充气模块40。

由此可知，该空气增压系统50可为充气模块40提供空气源，以使其在与待对盒基板80之间形成气垫时具有足够的气压。

由于该基板对盒装置需要利用充气模块40输出的气体与待对盒基板80之间形成气垫，且在吸附曲面基板时还需使不同位置的充气模块40输出不同压强的气体，以便于配合不同高度的吸附支撑杆20来保持曲面基板的吸附稳定性，因此所述空气增压系统50还应与上述的压力控制模块相连，以便于控制各个充气模块40输出的气体压强。

本示例实施方式中的基板对盒装置可通过图3的智能系统进行控制。其具体控制过程如下：机械手臂发出送片信号，基板对盒装置在接收到该送片信号后打开真空腔，吸附支撑杆20从第一机台10即上部机台伸出，待对盒基板80由机械手臂送入，此时真空控制阀303开启并将真空源301与吸附支撑杆20连通，则吸附支撑杆20开始吸附待对盒基板80；吸附支撑杆20向上收缩至上部压盒位置，此时压缩空气控制阀502开启并将压缩空气源501与充气模块40连通，则充气模块40输出气体以使待对盒基板80弯曲，达到相应的曲度后进行气体保持；上部机台带动待对盒基板80向下与另一基板进行贴合，并在贴合完毕后进行UV(紫外光)固化，以使曲度固定，从而完成基板的曲度对盒。

基于上述的基板对盒装置，本示例实施方式还提供了一种基板对盒方法，用于进行超薄基板的对盒；如图4所示，所述基板对盒方法可以包括：

S1、获取待对盒基板80的标准曲率数据，所述标准曲率数据为所述待对盒基板80成盒之后对应的曲率数据；

S2、利用连通真空吸附系统30的吸附支撑杆20吸附所述待对盒基板80，并根据所述标准曲率数据调节不同吸附支撑杆20的相对位置；

S3、利用连通空气增压系统50的充气模块40喷射压缩空气以与所述待对盒基板80之间形成气垫；

S4、确定一参考压力，并以所述参考压力为基准，根据所述标准曲率数据调节所述待对盒基板80不同位置对应的所述充气模块40中的气体压力；

S5、对各个所述充气模块40中的气体压力进行压力特征分析，并将分析结果反馈至压力控制模块，以控制所述充气模块40对所述待对盒基板80均匀施压；

S6、将所述待对盒基板80的当前曲率与所述标准曲率数据进行匹配，匹配成功则准备压盒，匹配失败则重复上述过程直至匹配成功；

S7、调节第一机台10和第二机台的相对位置，并控制所述第一机台10带动所述待对盒基板80向所述第二机台移动，以将所述待对盒基板80与另一基板进行压盒，直至封框胶黏合固化。

基于上述步骤，即可控制待对盒基板80根据预设曲率进行弯曲，并在弯曲之后与另一基板进行压盒。其中，待对盒基板80的弯曲方式例如可以为图2所示的均匀凹陷状、也可以为均匀凸起状、或者还可以为非均匀的凹凸状结合等，这里对此不作具体限定，以实际设计的曲率为准。例如，本实施例以参考压力作为待对盒基板80中间位置对应的充气模块40中的气体压力，调节各个充气模块40中的气体压力由中间向两侧多维递减，即可得到图2所示的基板曲率。

如此一来，在压盒过程中，喷射气体均匀的分布在上基板表面以对其施加向下的压力，使得压盒更加紧密，且气体不会进入盒内；当封框胶黏合固化后，两基板便完成了曲面对盒，从而达到能够自由控制基板对盒曲度的效果。

需要说明的是：所述基板对盒方法中的具体细节已经在对应的基板对盒装置中进行了详细的描述，这里不再赘述。

应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。

此外，尽管在附图中以特定顺序描述了本公开中方法的各个步骤，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些步骤，或是必须执行全部所示的步骤才能实现期望的结果。附加的或备选的，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，以及/或者将一个步骤分解为多个步骤执行等。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和精神由所附的权利要求指出。

Claims (10)

1.一种基板对盒装置，其特征在于，包括：

第一机台；

吸附单元，包括多个吸附支撑杆以及与所述吸附支撑杆连通的真空吸附系统，所述吸附支撑杆用于吸附待对盒基板；

支撑单元，包括多个充气模块以及与所述充气模块连通的空气增压系统，所述充气模块通过喷射压缩空气与所述待对盒基板之间形成气垫，以使所述待对盒基板达到预设曲率；

其中，所述吸附支撑杆贯穿于所述第一机台设置且相对于所述第一机台具有可移动性，所述充气模块设置在所述第一机台靠近所述待对盒基板的一侧且与所述第一机台的相对位置恒定。

2.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，每个所述吸附支撑杆均包括轴杆以及连接在所述轴杆末端的吸附盘。

3.根据权利要求2所述的基板对盒装置，其特征在于，所述吸附盘的吸附面形状为圆形或者椭圆形。

4.根据权利要求2所述的基板对盒装置，其特征在于，所述充气模块的表面为多孔吸附表面，所述吸附盘包括黏性吸附表面和内部多孔吸附管道；

其中，所述多孔吸附表面和所述多孔吸附管道的材质为复合碳纳米管多孔材料。

5.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述多个吸附支撑杆以所述第一机台的中心线为对称轴对称设置。

6.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述吸附单元还包括连接所述吸附支撑杆的驱动装置。

7.根据权利要求1-4任一项所述的基板对盒装置，其特征在于，所述支撑单元还包括压力控制模块，用于读取所述待对盒基板的曲率数据，并根据所述曲率数据控制不同位置的所述充气模块中的空气压力；

其中，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递减；

或者，自所述待对盒基板的中心位置向周边位置对应的所述充气模块中的空气压力逐渐递增。

8.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，所述真空吸附系统包括：

真空源；真空管道，连通所述真空源与所述吸附支撑杆；

真空控制阀，用于控制所述真空源的开启与闭合；

缓冲腔，连接所述真空源，用于缓冲真空气压；

减压阀，连接在所述真空源与所述缓冲腔之间，用于调节真空气压；

电控阀，连接所述缓冲腔，用于控制真空气源与压缩空气之间的切换；

压力传感器，连接所述电控阀，用于监控所述真空管道内的气压。

9.根据权利要求1所述的基板对盒装置，其特征在于，所述空气增压系统包括：

压缩空气源；

压缩空气控制阀，用于控制所述压缩空气源的开启与闭合；

空气管道，连通所述压缩空气源与所述充气模块。

10.一种基板对盒方法，其特征在于，包括：

获取待对盒基板的标准曲率数据，所述标准曲率数据为所述待对盒基板成盒之后对应的曲率数据；

利用连通真空吸附系统的吸附支撑杆吸附所述待对盒基板，并根据所述标准曲率数据调节不同所述吸附支撑杆的相对位置；

利用连通空气增压系统的充气模块喷射压缩空气以与所述待对盒基板之间形成气垫；

确定一参考压力，并以所述参考压力为基准，根据所述标准曲率数据调节所述待对盒基板不同位置对应的所述充气模块中的气体压力；

对各个所述充气模块中的气体压力进行压力特征分析，并将分析结果反馈至压力控制模块，以控制所述充气模块对所述待对盒基板均匀施压；

将所述待对盒基板的当前曲率与所述标准曲率数据进行匹配，匹配成功则准备压盒，匹配失败则重复上述过程直至匹配成功；

调节第一机台和第二机台的相对位置，并控制所述第一机台带动所述待对盒基板向所述第二机台移动，以实现所述待对盒基板与另一基板的对盒。