JP2004145096A - 液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液晶装置の2枚の基板間の横ズレの発生を防止すること。
【解決手段】真空チャンバー1と、真空チャンバー1内に設置された第1の定盤2aと、加圧機構2cにより第1の定盤2aに向かって縦方向に変位する第2の定盤2bと、2枚の基板4a、4bの横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置4の基板貼り合わせ装置において、真空チャンバー1の空気取入口12に設けられ、基板貼り合わせ後の真空チャンバー1内への空気導入速度を調整する流量調整弁13と、真空チャンバー1内の気圧を検出する圧力センサー21と、空気導入開始後の圧力センサー21の検出値の増加に応じて加圧機構2cの定盤押付力を減少させる加圧機構制御手段20とを備える。
【選択図】 図2
【解決手段】真空チャンバー1と、真空チャンバー1内に設置された第1の定盤2aと、加圧機構2cにより第1の定盤2aに向かって縦方向に変位する第2の定盤2bと、2枚の基板4a、4bの横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置4の基板貼り合わせ装置において、真空チャンバー1の空気取入口12に設けられ、基板貼り合わせ後の真空チャンバー1内への空気導入速度を調整する流量調整弁13と、真空チャンバー1内の気圧を検出する圧力センサー21と、空気導入開始後の圧力センサー21の検出値の増加に応じて加圧機構2cの定盤押付力を減少させる加圧機構制御手段20とを備える。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、パーソナルコンピュータ、モニターディスプレイ等のOA機器や、携帯型情報通信機器等に用いられる液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法に関し、特に貼り合わせ後の基板同士の横ズレを防止する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の液晶装置の製造方法を図8及び図9を参照して説明する。図8は、従来の手順Aと手順Bの二種類の製造方法を示す工程図、図9は手順Aと手順Bそれぞれの各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【0003】
手順Aの工程1では、液晶装置の基板貼り合わせ装置101の真空チャンバー1内に対向して設けられ加圧機構2c及び整合機構(図示せず。)により相対変位可能な一対の定盤2a、2bの一方2aに、UV熱硬化併用型シール材3をリング状に連続させて塗布した第1の基板4aを保持させ、他方の定盤2bに第1の基板4aに貼り合わせる第2の基板4bを図示しない静電チャックまたは吸引チャック等の保持機構により保持させ、真空ポンプで吸引して真空チャンバー1内を真空にする。
【0004】
工程2では、真空チャンバー1内は真空状態のまま、加圧機構2cにより一対の定盤2a、2bを接近させて第1の基板4aのシール材3に第2の基板4bを押し付け、整合機構により第1、第2の基板4a、4bの重ね合わせ位置を整合させ、図示しないUV照射機構によりUVを照射してシール材3を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間5を有する液晶装置4を成形する。図9に示すように、このとき液晶装置4の押し付け力は、加圧機構2cに設定されている最大押し付け力Ckgfとなる。本明細書では、この最大押し付け力Ckgfを設定定盤押付力ということにする。
【0005】
工程3では、一対の定盤2a、2bで液晶装置4を押し付けたまま、真空チャンバー1内に空気を導入し、真空の液晶封入空間5内の圧力(P0=100Pa以下)と大気圧(P1=100,000Pa≒1kgf/cm2)との圧力差によりさらに液晶装置4を押し付ける。このとき、急激な周囲圧力の変化による液晶装置4への悪影響を避けるため、空気導入口のバルブを絞り、空気導入開始から真空チャンバー1内が大気圧なるまでの時間は、およそ60秒位にしている。また、このとき液晶装置4の押し付け力は、設定定盤押付力Ckgfに、真空の液晶封入空間5内の圧力と大気圧との圧力差に基づく押し付け力Dkgfを加えた値(C+D)kgfとなる。本明細書では、この圧力差に基づく押し付け力Dkgfを大気圧における気圧押付力ということにする。大気圧における気圧押付力Dkgfは、液晶装置のシール材に囲まれた真空部分の面積をAcm2とすると、真空の液晶封入空間5内の圧力P0は微小な値であるので無視して、D≒Acm2*1kgf/cm2=Akgfとなる。
【0006】
工程4では、一対の定盤2a、2bを離間させる。このとき液晶装置4の押し付け力は、設定定盤押付力Ckgfが取り除かれ、大気圧による気圧押付力Dkgfのみとなる。
【0007】
手順Bにおいては、工程1と工程2は手順Aと同じで、工程3と工程4が手順Aと異なっている。手順Bの工程3では、真空チャンバー1内は真空状態のまま一対の定盤2a、2bを離間させる。このとき図9の手順Bの工程3に示すように、液晶装置4の押し付け力は0kgfとなる。
【0008】
工程4では、真空チャンバー1内に60秒位をかけて空気を導入する。このとき液晶装置4の押し付け力は大気圧による気圧押付力Dkgfとなる。
【0009】
また、従来の技術として、一対の基板のアライメントとギャップ制御とを同一工程で行うことにより、アライメント精度を向上させるものがある(例えば、特許文献1参照。)。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−66163号公報(図2、図7、図8、図9)
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来の液晶装置の製造方法では、手順Aでは工程3において、手順Bでは工程4において、基板貼り合わせ後の空気導入による真空チャンバー1内の圧力上昇により液晶装置4への押し付け力が増分Dkgf増大する。シール材3は、この工程中ではまだ完全に硬化しておらず、この押し付け力の増大が第1の基板4aと第2の基板4bの間の横ズレ発生の原因となっていた。
【0012】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、第1、第2の基板間の横ズレの発生を防止する液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の液晶装置の基板貼り合わせ装置は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、該真空チャンバー内の気圧を検出する圧力センサーと、空気導入開始後の該圧力センサーの検出値の増加に応じて前記加圧機構の定盤押付力を減少させる加圧機構制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【0014】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁により真空チャンバー内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー内の気圧の上昇に応じて加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させるので、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0015】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、該真空チャンバー内への空気導入開始を検出し導入開始から該真空チャンバー内が大気圧になるまでの所定時間内に加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させる加圧機構制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【0016】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁により真空チャンバー内への空気導入速度を調整しながら、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの所定時間内に加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させるので、簡単な制御で、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0017】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、上記の発明において、前記加圧機構制御手段が、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるように前記加圧機構の定盤押付力を制御する手段であることを特徴とする。
【0018】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化が最小となるので、よりいっそう基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0019】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、上記の発明において、前記加圧機構制御手段が、設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定されている手段であることを特徴とする。
【0020】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化がゼロとなるので、さらに基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0021】
また、本発明の液晶装置の製造方法は、真空チャンバー内に対向して設置され相対変位可能な第1、第2の定盤の一方に、シール材を塗布した第1の基板を保持させ、他方に該第1の基板に貼り合わせる第2の基板を保持させ、該真空チャンバー内を真空にする第1の工程と、真空状態のまま前記第1、第2の定盤を接近させて前記第1の基板のシール材に前記第2の基板を押し付け、該第1、第2の基板を位置整合させ、該シール材を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間を有する液晶装置を成形する第2の工程と、空気を前記真空チャンバー内に導入しながら、該導入空気による該真空チャンバー内の圧力上昇に伴う前記液晶装置への前記気圧押付力の増加に応じて前記定盤押付力を減少させ、最終的に前記第1、第2の定盤を離間させる第3の工程と、を有することを特徴とする。
【0022】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気を真空チャンバー内に導入しながら、導入空気による真空チャンバー内の圧力上昇に伴う液晶装置への気圧押付力の増加に応じて定盤押付力を減少させ、最終的に第1、第2の定盤を離間させる第3の工程を有するので、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0023】
また、次の発明に係る液晶装置の製造方法は、上記の発明において、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるようにすることを特徴とする。
【0024】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化が最小となるので、よりいっそう基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0025】
また、次の発明に係る液晶装置の製造方法は、上記の発明において、前記設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定することを特徴とする。
【0026】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化がゼロとなるので、さらに基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、図1〜図4を参照して、本発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法の第1の実施形態を説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の構成を示す図、図2は同基板貼り合わせ装置が基板を押し付けた状態を示す図、図3は液晶装置の製造方法を示すフローチャート、図4は各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【0028】
図1において、201は第1の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置で、真空チャンバー1と、この真空チャンバー1内に定置され液晶装置の一方の基板4aを保持する定置定盤2aと、同じく真空チャンバー1内に設置され液晶装置の他方の基板4bを図示しない静電チャックまたは吸引チャック等の保持機構により保持し、空圧シリンダー等からなる加圧機構2cにより定置定盤2aに向かって縦方向に変位して基板4bを基板4aに貼り付ける変位定盤2bを備えている。定置定盤2aと変位定盤2bの少なくとも一方には、2枚の基板4a、4bの横方向の貼り合わせ位置を整合させるための整合機構(図示せず。)と、基板貼り付け後にシール材にUVを照射して硬化させるUV照射機構(図示せず。)が備えられている。
【0029】
また、真空チャンバー1には、チャンバー内の空気を吸引して真空にするために、排気弁10を介して真空ポンプ11が接続され、空気取入口12には、大気または圧縮空気を流量調整しながらチャンバー1内へ導入するためのマスフローコントローラー等の流量調整弁13が接続されている。流量調整弁13の流量は、後に説明する加圧機構2cの定盤押付力制御スピードが追従できる適当な速さに設定される。空気導入開始時は流量を絞り気味にして一気に圧力が上がらないようにし、真空チャンバー1内の圧力が大気圧に近づくにつれて開度を大きくするのがよい。流量調整弁13は、空気取入口を完全に遮断する止め弁の機能を備えているものを用いるが、開度が固定され、止め弁の機能を備えていないものを使用するときは、別に止め弁を設ける。
【0030】
20は、空圧シリンダー等からなる加圧機構2cを制御するための制御装置で、図示はしないが、空圧源からの圧力を減圧する減圧弁、空圧シリンダーの伸縮を切換える切換弁、制御信号により空圧シリンダーの定盤押付力を制御する電空レギュレータ及びこれらを制御するマイクロコンピュータ等を備えている。21は真空チャンバー1内の気圧を検出して制御装置20に検出信号を送る圧力センサーである。
【0031】
2枚の基板の張り合わせ後の真空チャンバー1内への空気導入工程において、圧力センサー21が真空チャンバー1内の気圧P(100Pa〜100,000Pa)を検出し検出信号をマイクロコンピュータに送ると、マイクロコンピュータは、次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り、定盤押付力Fkgfを制御する。ここでCkgfは加圧機構2cの設定定盤押付力(最大値)、Pは真空チャンバー1内の気圧であり、式を簡単化するために、真空=100Pa≒0、大気圧=100,000Pa=1としている。
Fkgf=Ckgf(1−P)
したがって、加圧機構2cの定盤押付力Fkgfは、チャンバー1内が真空のとき設定定盤押付力Ckgf、大気圧となったとき0kgfとなるように徐々に減少する。そうすると、定盤押付力と気圧押付力の合計押付力(和)Gkgfは、
Gkgf=Fkgf+Akgf*P=Ckgf+(Akgf−Ckgf)P
となる。したがって、合計押付力Gkgfは、チャンバー1内が真空のときCkgf、大気圧となったときAkgf(=Dkgf)となる。その後、マイクロコンピュータで指令して切換弁を切換えて空圧シリンダーを縮小させ、第1、第2の定盤2a、2bを離間させる。上記の式で明らかなように、合計押付力Gkgfは、設定定盤押付力Ckgfと大気圧における気圧押付力Akgfの間の値で変化する。また、設定定盤押付力Ckgfと大気圧における気圧押付力Akgfを同等の値とすれば、合計押付力Gkgfは変化しないで一定の値となる。
【0032】
なお、本実施形態では、加圧機構2cおよび制御装置20として、空圧システムを採用したが、モーターとボールねじによる加圧機構を採用してもよい。この場合、定盤2aまたは2bに設けた荷重計6の検出値に基づきボールねじの送り量を制御し、設定定盤押付力Ckgfと定盤押付力Fkgfを制御する。
【0033】
この基板貼り合わせ装置201によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁13により真空チャンバー1内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー1内の気圧の上昇に応じて加圧機構2cの定盤押付力Fkgfを徐々に減少させるので、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板4a、4b間の横ズレを防止することができる。
【0034】
次に、図1〜図4を参照して、上述の液晶装置の基板貼り合わせ装置201の動作、すなわち第1の実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明する。
【0035】
工程1では、図1、図3に示すように、液晶装置の基板貼り合わせ装置201の真空チャンバー1内の定置定盤2aに、UV熱硬化併用型シール材3をリング状に連続して塗布した第1の基板4aを保持させ、変位定盤2bに保持機構により第2の基板4bを保持させ(定置定盤2aに基板4bを、変位定盤2bに基板4aを保持させてもよい)、その後、真空ポンプ11で吸引して真空チャンバー1内を真空にする。このとき、図3に示すように基板4a、4bは離れているので定盤押付力は0kgfとなっている。
【0036】
工程2では、真空チャンバー1内は真空状態のまま、加圧機構2cにより変位定盤2bを定置定盤2aに接近させ、図2に示すように、第1の基板4aのシール材3に第2の基板4bを押し付け、整合機構により第1、第2の基板4a、4bの重ね合わせ位置を整合させ、UV照射機構によりUVを照射してシール材を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間5を有する液晶装置4を成形する。図4に示すように、このとき液晶装置4の押し付け力は、加圧機構2cの設定定盤押付力Ckgfとなる。
【0037】
工程3では、液晶装置4を押し付けたまま、マイクロコンピュータから指令して流量調整弁13を開いて真空チャンバー1内に空気を導入する。このとき圧力センサー21でチャンバー1内の気圧Pを検出し検出信号をマイクロコンピュータに送り、マイクロコンピュータは、次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り、
Fkgf=Ckgf(1−P)
定盤押付力Fkgfを制御し、図4の工程3の破線で示すように、定盤押付力Fkgfを設定定盤押付力Ckgfから0kgfまで徐々に減少させ、その後、マイクロコンピュータで指令して切換弁を切換えて空圧シリンダーを縮小させ、第1、第2の定盤を離間させる。工程3における液晶装置4の押し付け力は、定盤押付力Fkgfに、気圧押付力Akgf*Pを加えた値となり、図4の工程3の実線で示すように空気の導入に伴ってCkgfからDkgfまで徐々に増大する。この合計押付力Gkgfは、CkgfとDkgfの中間の値となっている。
【0038】
この液晶装置の製造方法によれば、基板4a、4b貼り合わせ後に、真空チャンバー1内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー1内の気圧の上昇に伴う液晶装置4への気圧押付力の増加に応じて定盤押付力を徐々に減少させ、最終的に第1、第2の定盤2a、2bを離間させる第3の工程を有するので、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板4a、4b間の横ズレを防止することができる。
【0039】
ここで、加圧機構2cの設定押し付け力Ckgfを、真空の液晶封入空間5を有することに起因する大気圧による液晶装置4の押し付け力Dkgfと同等の値にすれば、図5に示すように、工程2及び工程3における液晶装置4の押し付け力は増減することなく一定となり、空気導入に伴う押し付け力の増大がなくなり、基板の横ズレ防止にいっそうの効果がある。
【0040】
(第2の実施形態)
次に、図6及び図7を参照して、本発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法の第2の実施形態を説明する。図6は本発明の第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の構成を示す図、図7は液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。
【0041】
図6に示す第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置301が図1の第1の実施形態に係る基板貼り合わせ装置201と異なるところは、制御装置30の工程3における加圧機構2cの制御方法のみであり、他は製造装置201と変わるところはないので説明は省略する。
【0042】
工程3は、2枚の基板の接着後の真空チャンバー1内への空気導入工程であるが、真空チャンバー1が真空状態から空気を導入して大気圧となるまでの時間は、流量調整弁13の開度調整のパターンを決めれば、一定の時間(Tsec)となる。そこで、マイクロコンピュータに流量調整弁13への空気導入のための開弁指令信号を出させると同時に計時を開始させ、計時時間(tsec)に応じて次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り定盤押付力Fkgfを制御させるようにする。
Fkgf=Ckgf(1−t/T)
したがって、定盤押付力Fkgfは、チャンバー1内が真空のとき(t=0secのとき)Ckgf、大気圧となったとき(t=Tsecのとき)0kgfとなるように徐々に減少する。そして、t=Tsecとなったときマイクロコンピュータで指令して切換弁を切り換えて空気シリンダーを収縮させて変位定盤2bと定置定盤2aを離間させる。この基板貼り合わせ装置によれば、簡単な制御で、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0043】
図7は、上述の第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の動作、すなわち第2の実施形態に係る液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。工程3の定盤押付力制御がF=C(1−t/T)と変わっているだけで、あとは図3と同じである。各工程における基板の押し付け力も図4と同様となる。この定盤押付力制御方法は、真空チャンバー1内の気圧Pを変数として用いていないが、気圧Pは計時時間tの関数であるので、気圧Pを変数として用いているといってよい。従って、この定盤押付力制御方法も、導入大気による真空チャンバー1内の圧力上昇に伴う液晶装置4への押し付け力の増加に応じて加圧機構2cを制御して定盤押付力を減少させる制御方法となっている。この制御方法は、圧力センサー21の検出値を必要としないので制御が簡単になる。
【0044】
なお、第1及び第2の実施形態とも真空チャンバー1内の気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大が抑制されているので、従来の空気導入時間60秒よりも導入時間を短縮してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板貼り合わせ装置の構成を示す図である。
【図2】図1の装置が基板を押し付けた状態を示す図である。
【図3】本発明の液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図4】図3の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【図5】図3の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【図6】第2の実施形態の基板貼り合わせ装置の構成を示す図である。
【図7】第2の実施形態の液晶装置の製造方法のフローチャートである。
【図8】従来の2種類の液晶装置の製造方法を示す工程図である。
【図9】図8の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバー、 2a 定置定盤(第1の定盤)、 2b 変位定盤(第2の定盤)、 2c 加圧機構、 3 UV熱硬化併用型シール材、 4 液晶装置、 4a 第1の基板、 4b 第2の基板、 5 真空の液晶封入空間、10 排気弁、 11 真空ポンプ、 12 空気取入口、 13 流量調整弁、 20 制御装置、 21 圧力センサー、 30 制御装置
【発明の属する技術分野】
本発明は、パーソナルコンピュータ、モニターディスプレイ等のOA機器や、携帯型情報通信機器等に用いられる液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法に関し、特に貼り合わせ後の基板同士の横ズレを防止する技術に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の液晶装置の製造方法を図8及び図9を参照して説明する。図8は、従来の手順Aと手順Bの二種類の製造方法を示す工程図、図9は手順Aと手順Bそれぞれの各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【0003】
手順Aの工程1では、液晶装置の基板貼り合わせ装置101の真空チャンバー1内に対向して設けられ加圧機構2c及び整合機構(図示せず。)により相対変位可能な一対の定盤2a、2bの一方2aに、UV熱硬化併用型シール材3をリング状に連続させて塗布した第1の基板4aを保持させ、他方の定盤2bに第1の基板4aに貼り合わせる第2の基板4bを図示しない静電チャックまたは吸引チャック等の保持機構により保持させ、真空ポンプで吸引して真空チャンバー1内を真空にする。
【0004】
工程2では、真空チャンバー1内は真空状態のまま、加圧機構2cにより一対の定盤2a、2bを接近させて第1の基板4aのシール材3に第2の基板4bを押し付け、整合機構により第1、第2の基板4a、4bの重ね合わせ位置を整合させ、図示しないUV照射機構によりUVを照射してシール材3を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間5を有する液晶装置4を成形する。図9に示すように、このとき液晶装置4の押し付け力は、加圧機構2cに設定されている最大押し付け力Ckgfとなる。本明細書では、この最大押し付け力Ckgfを設定定盤押付力ということにする。
【0005】
工程3では、一対の定盤2a、2bで液晶装置4を押し付けたまま、真空チャンバー1内に空気を導入し、真空の液晶封入空間5内の圧力(P0=100Pa以下)と大気圧(P1=100,000Pa≒1kgf/cm2)との圧力差によりさらに液晶装置4を押し付ける。このとき、急激な周囲圧力の変化による液晶装置4への悪影響を避けるため、空気導入口のバルブを絞り、空気導入開始から真空チャンバー1内が大気圧なるまでの時間は、およそ60秒位にしている。また、このとき液晶装置4の押し付け力は、設定定盤押付力Ckgfに、真空の液晶封入空間5内の圧力と大気圧との圧力差に基づく押し付け力Dkgfを加えた値(C+D)kgfとなる。本明細書では、この圧力差に基づく押し付け力Dkgfを大気圧における気圧押付力ということにする。大気圧における気圧押付力Dkgfは、液晶装置のシール材に囲まれた真空部分の面積をAcm2とすると、真空の液晶封入空間5内の圧力P0は微小な値であるので無視して、D≒Acm2*1kgf/cm2=Akgfとなる。
【0006】
工程4では、一対の定盤2a、2bを離間させる。このとき液晶装置4の押し付け力は、設定定盤押付力Ckgfが取り除かれ、大気圧による気圧押付力Dkgfのみとなる。
【0007】
手順Bにおいては、工程1と工程2は手順Aと同じで、工程3と工程4が手順Aと異なっている。手順Bの工程3では、真空チャンバー1内は真空状態のまま一対の定盤2a、2bを離間させる。このとき図9の手順Bの工程3に示すように、液晶装置4の押し付け力は0kgfとなる。
【0008】
工程4では、真空チャンバー1内に60秒位をかけて空気を導入する。このとき液晶装置4の押し付け力は大気圧による気圧押付力Dkgfとなる。
【0009】
また、従来の技術として、一対の基板のアライメントとギャップ制御とを同一工程で行うことにより、アライメント精度を向上させるものがある(例えば、特許文献1参照。)。
【0010】
【特許文献1】
特開2000−66163号公報(図2、図7、図8、図9)
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来の液晶装置の製造方法では、手順Aでは工程3において、手順Bでは工程4において、基板貼り合わせ後の空気導入による真空チャンバー1内の圧力上昇により液晶装置4への押し付け力が増分Dkgf増大する。シール材3は、この工程中ではまだ完全に硬化しておらず、この押し付け力の増大が第1の基板4aと第2の基板4bの間の横ズレ発生の原因となっていた。
【0012】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、第1、第2の基板間の横ズレの発生を防止する液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上記の目的を達成するために、本発明の液晶装置の基板貼り合わせ装置は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、該真空チャンバー内の気圧を検出する圧力センサーと、空気導入開始後の該圧力センサーの検出値の増加に応じて前記加圧機構の定盤押付力を減少させる加圧機構制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【0014】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁により真空チャンバー内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー内の気圧の上昇に応じて加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させるので、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0015】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、該真空チャンバー内への空気導入開始を検出し導入開始から該真空チャンバー内が大気圧になるまでの所定時間内に加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させる加圧機構制御手段と、を備えたことを特徴とする。
【0016】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁により真空チャンバー内への空気導入速度を調整しながら、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの所定時間内に加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させるので、簡単な制御で、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0017】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、上記の発明において、前記加圧機構制御手段が、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるように前記加圧機構の定盤押付力を制御する手段であることを特徴とする。
【0018】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化が最小となるので、よりいっそう基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0019】
また、次の発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置は、上記の発明において、前記加圧機構制御手段が、設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定されている手段であることを特徴とする。
【0020】
係る液晶装置の基板貼り合わせ装置によれば、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化がゼロとなるので、さらに基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0021】
また、本発明の液晶装置の製造方法は、真空チャンバー内に対向して設置され相対変位可能な第1、第2の定盤の一方に、シール材を塗布した第1の基板を保持させ、他方に該第1の基板に貼り合わせる第2の基板を保持させ、該真空チャンバー内を真空にする第1の工程と、真空状態のまま前記第1、第2の定盤を接近させて前記第1の基板のシール材に前記第2の基板を押し付け、該第1、第2の基板を位置整合させ、該シール材を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間を有する液晶装置を成形する第2の工程と、空気を前記真空チャンバー内に導入しながら、該導入空気による該真空チャンバー内の圧力上昇に伴う前記液晶装置への前記気圧押付力の増加に応じて前記定盤押付力を減少させ、最終的に前記第1、第2の定盤を離間させる第3の工程と、を有することを特徴とする。
【0022】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気を真空チャンバー内に導入しながら、導入空気による真空チャンバー内の圧力上昇に伴う液晶装置への気圧押付力の増加に応じて定盤押付力を減少させ、最終的に第1、第2の定盤を離間させる第3の工程を有するので、気圧の上昇による液晶装置への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0023】
また、次の発明に係る液晶装置の製造方法は、上記の発明において、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるようにすることを特徴とする。
【0024】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気導入開始から真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化が最小となるので、よりいっそう基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0025】
また、次の発明に係る液晶装置の製造方法は、上記の発明において、前記設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定することを特徴とする。
【0026】
係る液晶装置の製造方法によれば、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、押し付け力の変化がゼロとなるので、さらに基板間の横ズレの防止に効果がある。
【0027】
【発明の実施の形態】
(第1の実施形態)
以下、図1〜図4を参照して、本発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法の第1の実施形態を説明する。図1は本発明の第1の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の構成を示す図、図2は同基板貼り合わせ装置が基板を押し付けた状態を示す図、図3は液晶装置の製造方法を示すフローチャート、図4は各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【0028】
図1において、201は第1の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置で、真空チャンバー1と、この真空チャンバー1内に定置され液晶装置の一方の基板4aを保持する定置定盤2aと、同じく真空チャンバー1内に設置され液晶装置の他方の基板4bを図示しない静電チャックまたは吸引チャック等の保持機構により保持し、空圧シリンダー等からなる加圧機構2cにより定置定盤2aに向かって縦方向に変位して基板4bを基板4aに貼り付ける変位定盤2bを備えている。定置定盤2aと変位定盤2bの少なくとも一方には、2枚の基板4a、4bの横方向の貼り合わせ位置を整合させるための整合機構(図示せず。)と、基板貼り付け後にシール材にUVを照射して硬化させるUV照射機構(図示せず。)が備えられている。
【0029】
また、真空チャンバー1には、チャンバー内の空気を吸引して真空にするために、排気弁10を介して真空ポンプ11が接続され、空気取入口12には、大気または圧縮空気を流量調整しながらチャンバー1内へ導入するためのマスフローコントローラー等の流量調整弁13が接続されている。流量調整弁13の流量は、後に説明する加圧機構2cの定盤押付力制御スピードが追従できる適当な速さに設定される。空気導入開始時は流量を絞り気味にして一気に圧力が上がらないようにし、真空チャンバー1内の圧力が大気圧に近づくにつれて開度を大きくするのがよい。流量調整弁13は、空気取入口を完全に遮断する止め弁の機能を備えているものを用いるが、開度が固定され、止め弁の機能を備えていないものを使用するときは、別に止め弁を設ける。
【0030】
20は、空圧シリンダー等からなる加圧機構2cを制御するための制御装置で、図示はしないが、空圧源からの圧力を減圧する減圧弁、空圧シリンダーの伸縮を切換える切換弁、制御信号により空圧シリンダーの定盤押付力を制御する電空レギュレータ及びこれらを制御するマイクロコンピュータ等を備えている。21は真空チャンバー1内の気圧を検出して制御装置20に検出信号を送る圧力センサーである。
【0031】
2枚の基板の張り合わせ後の真空チャンバー1内への空気導入工程において、圧力センサー21が真空チャンバー1内の気圧P(100Pa〜100,000Pa)を検出し検出信号をマイクロコンピュータに送ると、マイクロコンピュータは、次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り、定盤押付力Fkgfを制御する。ここでCkgfは加圧機構2cの設定定盤押付力(最大値)、Pは真空チャンバー1内の気圧であり、式を簡単化するために、真空=100Pa≒0、大気圧=100,000Pa=1としている。
Fkgf=Ckgf(1−P)
したがって、加圧機構2cの定盤押付力Fkgfは、チャンバー1内が真空のとき設定定盤押付力Ckgf、大気圧となったとき0kgfとなるように徐々に減少する。そうすると、定盤押付力と気圧押付力の合計押付力(和)Gkgfは、
Gkgf=Fkgf+Akgf*P=Ckgf+(Akgf−Ckgf)P
となる。したがって、合計押付力Gkgfは、チャンバー1内が真空のときCkgf、大気圧となったときAkgf(=Dkgf)となる。その後、マイクロコンピュータで指令して切換弁を切換えて空圧シリンダーを縮小させ、第1、第2の定盤2a、2bを離間させる。上記の式で明らかなように、合計押付力Gkgfは、設定定盤押付力Ckgfと大気圧における気圧押付力Akgfの間の値で変化する。また、設定定盤押付力Ckgfと大気圧における気圧押付力Akgfを同等の値とすれば、合計押付力Gkgfは変化しないで一定の値となる。
【0032】
なお、本実施形態では、加圧機構2cおよび制御装置20として、空圧システムを採用したが、モーターとボールねじによる加圧機構を採用してもよい。この場合、定盤2aまたは2bに設けた荷重計6の検出値に基づきボールねじの送り量を制御し、設定定盤押付力Ckgfと定盤押付力Fkgfを制御する。
【0033】
この基板貼り合わせ装置201によれば、基板貼り合わせ後に、流量調整弁13により真空チャンバー1内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー1内の気圧の上昇に応じて加圧機構2cの定盤押付力Fkgfを徐々に減少させるので、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板4a、4b間の横ズレを防止することができる。
【0034】
次に、図1〜図4を参照して、上述の液晶装置の基板貼り合わせ装置201の動作、すなわち第1の実施形態に係る液晶装置の製造方法を説明する。
【0035】
工程1では、図1、図3に示すように、液晶装置の基板貼り合わせ装置201の真空チャンバー1内の定置定盤2aに、UV熱硬化併用型シール材3をリング状に連続して塗布した第1の基板4aを保持させ、変位定盤2bに保持機構により第2の基板4bを保持させ(定置定盤2aに基板4bを、変位定盤2bに基板4aを保持させてもよい)、その後、真空ポンプ11で吸引して真空チャンバー1内を真空にする。このとき、図3に示すように基板4a、4bは離れているので定盤押付力は0kgfとなっている。
【0036】
工程2では、真空チャンバー1内は真空状態のまま、加圧機構2cにより変位定盤2bを定置定盤2aに接近させ、図2に示すように、第1の基板4aのシール材3に第2の基板4bを押し付け、整合機構により第1、第2の基板4a、4bの重ね合わせ位置を整合させ、UV照射機構によりUVを照射してシール材を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間5を有する液晶装置4を成形する。図4に示すように、このとき液晶装置4の押し付け力は、加圧機構2cの設定定盤押付力Ckgfとなる。
【0037】
工程3では、液晶装置4を押し付けたまま、マイクロコンピュータから指令して流量調整弁13を開いて真空チャンバー1内に空気を導入する。このとき圧力センサー21でチャンバー1内の気圧Pを検出し検出信号をマイクロコンピュータに送り、マイクロコンピュータは、次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り、
Fkgf=Ckgf(1−P)
定盤押付力Fkgfを制御し、図4の工程3の破線で示すように、定盤押付力Fkgfを設定定盤押付力Ckgfから0kgfまで徐々に減少させ、その後、マイクロコンピュータで指令して切換弁を切換えて空圧シリンダーを縮小させ、第1、第2の定盤を離間させる。工程3における液晶装置4の押し付け力は、定盤押付力Fkgfに、気圧押付力Akgf*Pを加えた値となり、図4の工程3の実線で示すように空気の導入に伴ってCkgfからDkgfまで徐々に増大する。この合計押付力Gkgfは、CkgfとDkgfの中間の値となっている。
【0038】
この液晶装置の製造方法によれば、基板4a、4b貼り合わせ後に、真空チャンバー1内への空気導入速度を調整しながら、導入空気によるチャンバー1内の気圧の上昇に伴う液晶装置4への気圧押付力の増加に応じて定盤押付力を徐々に減少させ、最終的に第1、第2の定盤2a、2bを離間させる第3の工程を有するので、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板4a、4b間の横ズレを防止することができる。
【0039】
ここで、加圧機構2cの設定押し付け力Ckgfを、真空の液晶封入空間5を有することに起因する大気圧による液晶装置4の押し付け力Dkgfと同等の値にすれば、図5に示すように、工程2及び工程3における液晶装置4の押し付け力は増減することなく一定となり、空気導入に伴う押し付け力の増大がなくなり、基板の横ズレ防止にいっそうの効果がある。
【0040】
(第2の実施形態)
次に、図6及び図7を参照して、本発明に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置及び液晶装置の製造方法の第2の実施形態を説明する。図6は本発明の第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の構成を示す図、図7は液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。
【0041】
図6に示す第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置301が図1の第1の実施形態に係る基板貼り合わせ装置201と異なるところは、制御装置30の工程3における加圧機構2cの制御方法のみであり、他は製造装置201と変わるところはないので説明は省略する。
【0042】
工程3は、2枚の基板の接着後の真空チャンバー1内への空気導入工程であるが、真空チャンバー1が真空状態から空気を導入して大気圧となるまでの時間は、流量調整弁13の開度調整のパターンを決めれば、一定の時間(Tsec)となる。そこで、マイクロコンピュータに流量調整弁13への空気導入のための開弁指令信号を出させると同時に計時を開始させ、計時時間(tsec)に応じて次式で算出した加圧機構2cの定盤押付力制御信号を電空レギュレータに送り定盤押付力Fkgfを制御させるようにする。
Fkgf=Ckgf(1−t/T)
したがって、定盤押付力Fkgfは、チャンバー1内が真空のとき(t=0secのとき)Ckgf、大気圧となったとき(t=Tsecのとき)0kgfとなるように徐々に減少する。そして、t=Tsecとなったときマイクロコンピュータで指令して切換弁を切り換えて空気シリンダーを収縮させて変位定盤2bと定置定盤2aを離間させる。この基板貼り合わせ装置によれば、簡単な制御で、気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大を抑制し、基板間の横ズレを防止することができる。
【0043】
図7は、上述の第2の実施形態に係る液晶装置の基板貼り合わせ装置の動作、すなわち第2の実施形態に係る液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。工程3の定盤押付力制御がF=C(1−t/T)と変わっているだけで、あとは図3と同じである。各工程における基板の押し付け力も図4と同様となる。この定盤押付力制御方法は、真空チャンバー1内の気圧Pを変数として用いていないが、気圧Pは計時時間tの関数であるので、気圧Pを変数として用いているといってよい。従って、この定盤押付力制御方法も、導入大気による真空チャンバー1内の圧力上昇に伴う液晶装置4への押し付け力の増加に応じて加圧機構2cを制御して定盤押付力を減少させる制御方法となっている。この制御方法は、圧力センサー21の検出値を必要としないので制御が簡単になる。
【0044】
なお、第1及び第2の実施形態とも真空チャンバー1内の気圧の上昇による液晶装置4への押し付け力の増大が抑制されているので、従来の空気導入時間60秒よりも導入時間を短縮してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の基板貼り合わせ装置の構成を示す図である。
【図2】図1の装置が基板を押し付けた状態を示す図である。
【図3】本発明の液晶装置の製造方法を示すフローチャートである。
【図4】図3の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【図5】図3の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【図6】第2の実施形態の基板貼り合わせ装置の構成を示す図である。
【図7】第2の実施形態の液晶装置の製造方法のフローチャートである。
【図8】従来の2種類の液晶装置の製造方法を示す工程図である。
【図9】図8の各工程における基板の押し付け力を示す図である。
【符号の説明】
1 真空チャンバー、 2a 定置定盤(第1の定盤)、 2b 変位定盤(第2の定盤)、 2c 加圧機構、 3 UV熱硬化併用型シール材、 4 液晶装置、 4a 第1の基板、 4b 第2の基板、 5 真空の液晶封入空間、10 排気弁、 11 真空ポンプ、 12 空気取入口、 13 流量調整弁、 20 制御装置、 21 圧力センサー、 30 制御装置
Claims (7)
- 真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、
前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、
該真空チャンバー内の気圧を検出する圧力センサーと、
空気導入開始後の該圧力センサーの検出値の増加に応じて前記加圧機構の定盤押付力を減少させる加圧機構制御手段と、
を備えたことを特徴とする液晶装置の基板貼り合わせ装置。 - 真空チャンバーと、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の一方の基板を保持する第1の定盤と、該真空チャンバー内に設置され液晶装置の他方の基板を保持し加圧機構により該第1の定盤に向かって縦方向に変位して該他方の基板を該一方の基板に貼り合わせる第2の定盤と、該第1、第2の定盤のいずれかに設けられ該2枚の基板の横方向の貼り合わせ位置を整合させる整合機構とを備えた液晶装置の基板貼り合わせ装置において、
前記真空チャンバーの空気取入口に設けられ、基板貼り合わせ後の該真空チャンバー内への空気導入速度を調整する流量調整弁と、
該真空チャンバー内への空気導入開始を検出し導入開始から該真空チャンバー内が大気圧になるまでの所定時間内に加圧機構の定盤押付力を徐々に減少させる加圧機構制御手段と、
を備えたことを特徴とする液晶装置の基板貼り合わせ装置。 - 前記加圧機構制御手段は、空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるように前記加圧機構の定盤押付力を制御する手段であることを特徴とする請求項1または2に記載の液晶装置の基板貼り合わせ装置。
- 前記加圧機構制御手段は、設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定されている手段であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の液晶装置の基板貼り合わせ装置。
- 真空チャンバー内に対向して設置され相対変位可能な第1、第2の定盤の一方に、シール材を塗布した第1の基板を保持させ、他方に該第1の基板に貼り合わせる第2の基板を保持させ、該真空チャンバー内を真空にする第1の工程と、
真空状態のまま前記第1、第2の定盤を接近させて前記第1の基板のシール材に前記第2の基板を押し付け、該第1、第2の基板を位置整合させ、該シール材を硬化させて貼り合わせ、真空の液晶封入空間を有する液晶装置を成形する第2の工程と、
空気を前記真空チャンバー内に導入しながら、該導入空気による該真空チャンバー内の圧力上昇に伴う前記液晶装置への前記気圧押付力の増加に応じて前記定盤押付力を減少させ、最終的に前記第1、第2の定盤を離間させる第3の工程と、
を有することを特徴とする液晶装置の製造方法。 - 空気導入開始から前記真空チャンバー内が大気圧になるまでの間の、前記液晶装置に対する気圧押付力と定盤押付力の和が、大気圧における気圧押付力と設定定盤押付力の中間の値になるようにすることを特徴とする請求項5に記載の液晶装置の製造方法。
- 前記設定定盤押付力が大気圧における気圧押付力と同等の力に設定することを特徴とする請求項5または6に記載の液晶装置の製造方法。
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