JP2010238796A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】セル領域端部またはその周辺部のトレンチゲートの終端領域において、ゲート耐量が向上するパターンを提供する。トレンチゲートのセル領域コーナー部(トレンチゲートの終端部)で直角部が形成される場合には、その直角部を面取りするようにできる限り大きい曲率半径の曲線状のトレンチゲートで連結する。また、セル領域の外周を囲むトレンチゲートを配置し、そのコーナー部においても大きい曲率半径の曲線状のトレンチゲートで連結する。更に、セル領域の端部においてトレンチゲートが直交しない非交差パターンを採用する。
【選択図】 図2
Description
の第3トレンチゲート33で連結するか、両トレンチゲート31、32とのなす角が鈍角となるように第3トレンチゲート33sで連結することである。
2 n−型半導体層
4 ベース層
8 トレンチ
11 絶縁膜(ゲート酸化膜)
13 ゲート電極
13c ゲート引き出し部
14 ボディ領域
15 ソース領域
17 ソース電極
18 ゲート連結電極
18p ゲートパッド電極
21 セル領域
22 終端領域
25 セル
30 トレンチゲート
31 第1トレンチゲート
32 第2トレンチゲート
33 第3トレンチゲート
30o 最外周トレンチゲート
108 トレンチ
121 セル領域
130 トレンチゲート
C、C’ 連結部
t 端部
RA 直角部
Claims (7)
- 半導体基板に設けたトレンチ内を絶縁膜で被覆して導電材料を埋設した複数のトレンチゲートを有する半導体装置であって、
第1方向に延在する第1トレンチゲートと、
該第1方向に垂直な第2方向に延在する第2トレンチゲートと、
前記半導体基板上で前記第1トレンチゲートと前記第2トレンチゲートで囲まれて互いに独立したトランジスタセルが配列するセル領域と、
前記半導体基板上で該セル領域の外側を囲み前記第1トレンチゲートおよび前記第2トレンチゲートが終端する終端領域と、を備え、
該セル領域の端部において終端する前記第1トレンチゲートと前記第2トレンチゲートの端部を第3トレンチゲートで連結したことを特徴とする半導体装置。 - 前記終端領域の端部において終端する前記第1トレンチゲートと前記第2トレンチゲートの端部を第3トレンチゲートで連結したことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第3トレンチゲートは、曲線形状あるいは、第1トレンチゲートおよび第2トレンチゲートと鈍角をなして第3方向に延在する直線形状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第3トレンチゲートは、該第3トレンチゲートが連結する前記第1トレンチゲート及び前記第2トレンチゲートの端部を延在した場合に形成される直角部を面取りする形状に配置されることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。
- 前記セル領域および前記終端領域の他の端部において、一方が終端し他方が延在する前記第1トレンチゲートおよび前記第2トレンチゲートを丁字状に直接連結したことを特徴とする請求項2または請求項3に記載の半導体装置。
- 前記端部はコーナー部であることを特徴とする請求項1から請求項4に記載の半導体装置。
- 前記他の端部はコーナー部であることを特徴とする請求項5に記載の半導体装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8779507B2 (en) | 2011-03-31 | 2014-07-15 | Semiconductor Components Industries, Llc | Insulated gate semiconductor device |
CN109935635A (zh) * | 2019-03-11 | 2019-06-25 | 福建龙夏电子科技有限公司 | 半导体器件及其形成方法、芯片 |
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JPH10256545A (ja) * | 1997-03-14 | 1998-09-25 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
-
2009
- 2009-03-30 JP JP2009082995A patent/JP2010238796A/ja active Pending
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