JP2010229412A5 - 接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法に関するものである。

本発明の目的は、被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接着シートを製造することができる接着シートが備える接合膜の製造方法およびかかる接着シートを製造することができる接着シートの製造方法を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法は、金属原子および該金属原子に結合している酸素原子で構成される金属酸化物と、該金属酸化物に結合する脱離基と、を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
前記機能性基板の一方の面側に、前記脱離基を構成する原子を含むガスの存在下で、前記金属酸化物膜を、物理的気相成長法により成膜することで前記接合膜を得ることを特徴とする。
これにより、被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接着シートとすることができる。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法は、金属原子および該金属原子に結合している酸素原子で構成される金属酸化物と、該金属酸化物に結合する脱離基と、を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
前記機能性基板の一方の面側に、物理的気相成長法により前記金属酸化物膜を成膜する工程と、
前記脱離基を構成する原子を含むガスの存在下で、前記金属酸化物膜を熱処理することで前記接合膜を得る工程と、を有することを特徴とする。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与し、前記接合膜の前記エネルギーが付与された領域の表面付近に存在する前記脱離基が、前記金属酸化物から脱離することにより、前記脱離基が脱離した原子に活性手が生じて、前記接合膜の表面の前記領域に、前記接着シートを接着すべき被着体に対する接着性が発現するものであることが好ましい。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記物理的気相成長法は、スパッタリング法であることが好ましい。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記金属原子は、インジウム、スズ、亜鉛、チタン、およびアンチモンのうちの少なくとも１種であることが好ましい。
接合膜を、これらの金属原子を含むものとすることにより、接合膜は、優れた導電性と透明性とを発揮するものとなる。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記脱離基は、水素原子、炭素原子、窒素原子、リン原子、硫黄原子およびハロゲン原子、またはこれらの各原子で構成される原子団のうちの少なくとも１種であることが好ましい。
これらの脱離基は、エネルギーの付与による結合／脱離の選択性に比較的優れている。このため、エネルギーを付与することによって比較的簡単に、かつ均一に脱離する脱離基が得られることとなり、接着シートの接着性をより高度化することができる。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記接合膜は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、フッ素含有インジウム錫酸化物（ＦＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）または二酸化チタン（ＴｉＯ_２）に、脱離基として水素原子が導入されたものであることが好ましい。
かかる構成の接合膜は、それ自体が優れた機械的特性を有している。また、多くの材料に対して特に優れた接着性を示すものである。したがって、このような接合膜は、基板に対して特に強固に接着するとともに、対向基板に対しても特に強い被着力を示し、その結果として、基板と対向基板とを強固に接合することができる。

接着シートが備える接合膜の製造方法は、金属原子および該金属原子に結合する有機成分で構成される脱離基を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
前記機能性基板の一方の面側に、低還元性雰囲気下で、有機金属材料を供給し、有機金属化学気相成長法により成膜することで前記接合膜を得ることを特徴とする。
これにより、被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接着シートとすることができる。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与し、前記接合膜の前記エネルギーが付与された領域の表面付近に存在する前記脱離基が、当該接合膜から脱離することにより、前記脱離基が脱離した前記金属原子に活性手が生じて、前記接合膜の表面の前記領域に、前記接着シートを接着すべき被着体に対する接着性が発現するものであることが好ましい。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記脱離基は、前記有機金属材料に含まれる有機物の一部が残存したものであることが好ましい。
このように成膜した際に膜中に残存する残存物を脱離基として用いる構成とすることにより、形成された金属膜中に脱離基を導入する必要がなく、比較的簡単な工程で接合膜を成膜することができる。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記脱離基は、炭素原子を必須成分とし、水素原子、窒素原子、リン原子、硫黄原子およびハロゲン原子のうちの少なくとも１種を含む原子団で構成されることが好ましい。
これらの脱離基は、エネルギーの付与による結合／脱離の選択性に比較的優れている。このため、エネルギーを付与することによって比較的簡単に、かつ均一に脱離する脱離基が得られることとなり、機能性基板の接着性をより高度化することができる。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記脱離基は、アルキル基であることが好ましい。
アルキル基で構成される脱離基は、化学的な安定性が高いため、脱離基としてアルキル基を備える接合膜は、耐候性および耐薬品性に優れたものとなる。
本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記有機金属材料は、金属錯体であることが好ましい。
金属錯体を用いて接合膜を成膜することにより、金属錯体中に含まれる有機物の一部を残存した状態で、確実に接合膜を形成することができる。

本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法では、前記金属原子は、銅、アルミニウム、亜鉛および鉄のうちの少なくとも１種であることが好ましい。
接合膜を、これらの金属原子を含むものとすることにより、接合膜は、優れた導電性を発揮するものとなる。

本発明の接着シートの製造方法は、前記機能性基板の一方の面側に、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法を用いて接合膜を形成して前記接着シートを得ることを特徴とする。

本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを説明するための図（斜視図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、Ｉの構成の接合膜のエネルギー付与前の状態を示す部分拡大図である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、Ｉの構成の接合膜のエネルギー付与後の状態を示す部分拡大図である。 Ｉの構成の接合膜を成膜する際に用いられる成膜装置を模式的に示す縦断面図である。 図４に示す成膜装置が備えるイオン源の構成を示す模式図である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、IIの構成の接合膜のエネルギー付与前の状態を示す部分拡大図である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、IIの構成の接合膜のエネルギー付与後の状態を示す部分拡大図である。 IIの構成の接合膜を成膜する際に用いられる成膜装置を模式的に示す縦断面図である。 接着シートの他の構成を説明するための図（斜視図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第１実施形態を説明するための図（縦断面図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第１実施形態を説明するための図（縦断面図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第２実施形態を説明するための図（縦断面図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第３実施形態を説明するための図（縦断面図）である。 本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第４実施形態を説明するための図（縦断面図）である。 接合体を適用して得られた弾性表面波素子を示す平面図である。 図１５に示す弾性表面波素子の縦断面図である。 接合体を適用して得られた配線基板を示す分解斜視図である。

以下、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法を、添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートは、所定の機能を有する機能性基板（以下、単に「基板」と言うこともある。）と、この機能性基板の一方の面側に設けられた接合膜とを有しており、被着体（対向基板）に接着（接合）して用いられるものである。

＜第１実施形態＞
まず、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法の各第１実施形態について説明する。
図１は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを説明するための図（斜視図）、図２は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、Ｉの構成の接合膜のエネルギー付与前の状態を示す部分拡大図、図３は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、Ｉの構成の接合膜のエネルギー付与後の状態を示す部分拡大図、図４は、Ｉの構成の接合膜を成膜する際に用いられる成膜装置を模式的に示す縦断面図、図５は、図４に示す成膜装置が備えるイオン源の構成を示す模式図、図６は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、IIの構成の接合膜のエネルギー付与前の状態を示す部分拡大図、図７は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートが備える、IIの構成の接合膜のエネルギー付与後の状態を示す部分拡大図、図８は、IIの構成の接合膜を成膜する際に用いられる成膜装置を模式的に示す縦断面図、図９は、接着シートの他の構成を説明するための図（斜視図）、図１０および図１１は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第１実施形態を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図１ないし図１１中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

以下では、まず、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートの第１実施形態について説明する。
本実施形態では、接着シート１は、図１に示すように、機能性基板２（単に「基板２」ともいう。）と、機能性基板２上（一方の面）に設けられた接合膜３とを有している。この接着シート１は、被着体４に、接合膜３を介して機能性基板２を接着して用いられる。
機能性基板２は、所定の機能を有するものであり、接着シート１を被着体４に接着した際に、その機能を発揮するものである。

本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート１では、主にこの接合膜３の構成に特徴を有しており、具体的には、接合膜３としては、次のようなＩまたはIIの構成のものが用いられる。
以下、ＩおよびIIの構成の接合膜３について、それぞれ、詳述する。
I： まず、Ｉの構成の接合膜３は、基板２上に設けられ、金属原子と、この金属原子結合する酸素原子と、これら金属原子および酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基３０３とを含むものである（図２参照。）。換言すれば、接合膜３は、金属酸化物で構成される金属酸化物膜に脱離基３０３を導入したものと言うことができる。

また、本発明では、接合膜３をＩの構成のものとする場合、接合膜３は、導電性を有するものであるのが好ましい。これにより、後述する接合体５において、接合膜３を機能性基板２と被着体４とを電気的に接続する端子等として用いることができる。
さらに、接合膜３は、透光性を有するものであるものが好ましい。これにより、接合体５を、光学素子等における、透光性を必要とする領域に適用することができる。

以下、本実施形態にかかる接合方法の各工程について順次説明する。
［１］まず、前述した方法を用いて、接着シート１（本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート）を用意する（図１０（ａ）参照）。
［２］次に、接着シート１の接合膜３の表面３５に対してエネルギーを付与する。
ここで、接合膜３にエネルギーを付与すると、接合膜３では、脱離基３０３の結合手が切れて接合膜３の表面３５付近から脱離し、脱離基３０３が脱離した後には、活性手が接合膜３の表面３５付近に生じる。これにより、接合膜３の表面３５に、被着体４との接着性が発現する。

以上のことから、本発明によれば、基板２および被着体４の各構成材料の選択の幅をそれぞれ広げることができる。
また、固体接合では、接合層を介していないため、基板２と被着体４との間の熱膨張率に大きな差がある場合、その差に基づく応力が接合界面に集中し易く、剥離等が生じるおそれがあったが、接合体５では、接合膜３によって応力の集中が緩和され、剥離の発生を的確に抑制または防止することができる。

以上のようにして、図１１（ｄ）に示す接合体５を得ることができる。
なお、図１１（ｄ）では、接着シート１の接合膜３の全面を覆うように被着体４を重ね合わせているが、これらの相対的な位置は、互いにずれていてもよい。すなわち、接合膜３から被着体４がはみ出るように、接着シート１と被着体４とが重ね合わされていてもよい。

このようにして得られた接合体５は、基板２と被着体４との間の接合強度が５ＭＰａ（５０ｋｇｆ／ｃｍ^２）以上であるのが好ましく、１０ＭＰａ（１００ｋｇｆ／ｃｍ^２）以上であるのがより好ましい。このような接合強度を有する接合体５は、その剥離を十分に防止し得るものとなる。そして、後述のように、接合体５を用いて、例えば弾性表面波素子を構成した場合、耐久性に優れた弾性表面波素子が得られる。また、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート１によれば、基板２と被着体４とが上記のような大きな接合強度で接合された接合体５を効率よく作製することができる。

＜第２実施形態＞
次に、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法の各第２実施形態について説明する。
図１２は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第２実施形態を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図１２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート１を用意する工程と、被着体（対向基板）４を用意し、接着シート１が備える接合膜３と被着体４とが密着するように、これらを重ね合わせる工程と、重ね合わせてなる積層体中の接合膜３に対してエネルギーを付与して、接合膜３を活性化させ、これにより、接着シート１と被着体４とを接合してなる接合体５を得る工程とを有する。

＜第３実施形態＞
次に、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法の各第３実施形態について説明する。
図１３は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第３実施形態を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図１３中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

すなわち、本実施形態にかかる接合方法は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート１を用意する工程と、接着シート１の接合膜３に対して、一部の所定領域３５０に対して選択的にエネルギーを付与して、前記所定領域３５０を選択的に活性化させる工程と、被着体（対向基板）４を用意し、接着シート１が備える接合膜３と被着体４とが密着するように、これらを貼り合わせ、接着シート１と被着体４とが前記所定領域３５０において部分的に接合されてなる接合体５ｂを得る工程とを有する。

以下、本実施形態にかかる接合方法の各工程について順次説明する。
［１］まず、接着シート１（本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シート）を用意する（図１３（ａ）参照）。
［２］次に、図１３（ｂ）に示すように、接着シート１の接合膜３の表面３５のうち、一部の所定領域３５０に対して選択的にエネルギーを付与する。
エネルギーが付与されると、接合膜３では、所定領域３５０において、図２および図６に示す脱離基３０３が接合膜３から脱離する。そして、脱離基３０３が脱離した後には、所定領域３５０において、図３および図７に示すように、接合膜３の表面３５付近に活性手３０４が生じ、接合膜３が活性化される。これにより、接合膜３の所定領域３５０に、被着体４との接着性が発現し、一方、接合膜３の所定領域３５０以外の領域には、該接着性は全く発現しないか、発現したとしてもほとんど発現しない。

＜第４実施形態＞
次に、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法の各第４実施形態について説明する。
図１４は、本発明の接着シートの製造方法で得られた接着シートを用いて、接着シートと被着体とを接合する接合方法の第４実施形態を説明するための図（縦断面図）である。なお、以下の説明では、図１４中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

＜弾性表面波素子＞
ここでは、接合体を弾性表面波素子（ＳＡＷデバイス）に適用した場合の実施形態について説明する。
図１５は、接合体を適用して得られた弾性表面波素子を示す平面図、図１６は、図１５に示す弾性表面波素子の縦断面図である。なお、以下の説明では、図１６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

＜配線基板＞
さらに、接合体を配線基板に適用した場合の実施形態について説明する。
図１７は、接合体を適用して得られた配線基板を示す斜視図である。
図１７に示す配線基板４１０は、絶縁基板４１３と、絶縁基板４１３上に配設された電極４１２と、リード４１４と、リード４１４の一端に、電極４１２と対向するように設けられた電極４１５と、電極４１２と電極４１５とを電気的に接合する導電層４１６とを有している。

以上、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。
例えば、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法は、前記各実施形態のうち、任意の１つまたは２つ以上を組み合わせたものであってもよい。
また、本発明の接着シートが備える接合膜の製造方法および接着シートの製造方法では、必要に応じて、１以上の任意の目的の工程を追加してもよい。

このようにして成膜された接合膜は、ＩＴＯに水素原子が導入されたもので構成されており、金属原子（インジウムおよびスズ）と、この金属原子と結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基（水素原子）とを含むものである。
これにより、単結晶シリコン基板上に接合膜が形成された、本発明の接着シートの製造方法を用いて製造された接着シートを得た。

＜熱処理の条件＞
・熱処理時のチャンバー内の圧力 ：１×１０^−３Ｔｏｒｒ
・水素ガスの流量 ：６０ｓｃｃｍ
・チャンバー内の温度 ：１５０℃
・処理時間 ：６０分
以上のようにして成膜された接合膜は、ＩＴＯ膜の表面付近に水素原子が導入されたもので構成されており、金属原子（インジウムおよびスズ）と、この金属原子と結合する酸素原子と、前記金属原子および前記酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基（水素原子）とを含むものである。
これにより、単結晶シリコン基板上に接合膜が形成された、本発明の接着シートの製造方法を用いて製造された接着シートを得た。

＜成膜条件＞
・チャンバー内の雰囲気 ：窒素ガス ＋ 水素ガス
・有機金属材料（原材料） ：２，４−ペンタジオネート−銅（II）
・霧化した有機金属材料の流量 ：１ｓｃｃｍ
・キャリアガス ：窒素ガス
・キャリアガスの流量 ：５００ｓｃｃｍ
・水素ガスの流量 ：０．２ｓｃｃｍ
・チャンバーの到達真空度 ：２×１０^−６Ｔｏｒｒ
・成膜時のチャンバー内の圧力 ：１×１０^−３Ｔｏｒｒ
・基板ホルダーの温度 ：２７５℃
・処理時間 ：１０分
以上のようにして成膜された接合膜は、金属原子として銅原子を含み、脱離基として、２，４−ペンタジオネート−銅（II）に含まれる有機物の一部が残存しているものである。
これにより、単結晶シリコン基板上に接合膜が形成された、本発明の接着シートの製造方法を用いて製造された接着シートを得た。

Claims (15)

1. 金属原子および該金属原子に結合している酸素原子で構成される金属酸化物と、該金属酸化物に結合する脱離基と、を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
   前記機能性基板の一方の面側に、前記脱離基を構成する原子を含むガスの存在下で、前記金属酸化物膜を、物理的気相成長法により成膜することで前記接合膜を得ることを特徴とする接着シートが備える接合膜の製造方法。
2. 金属原子および該金属原子に結合している酸素原子で構成される金属酸化物と、該金属酸化物に結合する脱離基と、を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
   前記機能性基板の一方の面側に、物理的気相成長法により前記金属酸化物膜を成膜する工程と、
   前記脱離基を構成する原子を含むガスの存在下で、前記金属酸化物膜を熱処理することで前記接合膜を得る工程と、を有することを特徴とする接着シートが備える接合膜の製造方法。
3. 前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与し、前記接合膜の前記エネルギーが付与された領域の表面付近に存在する前記脱離基が、前記金属酸化物から脱離することにより、前記脱離基が脱離した原子に活性手が生じて、前記接合膜の表面の前記領域に、前記接着シートを接着すべき被着体に対する接着性が発現するものである請求項１または２に記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
4. 前記物理的気相成長法は、スパッタリング法である請求項１ないし３のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
5. 前記金属原子は、インジウム、スズ、亜鉛、チタン、およびアンチモンのうちの少なくとも１種である請求項１ないし４のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
6. 前記脱離基は、水素原子、炭素原子、窒素原子、リン原子、硫黄原子、およびハロゲン原子、またはこれらの各原子で構成される原子団のうちの少なくとも１種である請求項１ないし５のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
7. 前記接合膜は、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム亜鉛酸化物（ＩＺＯ）、アンチモン錫酸化物（ＡＴＯ）、フッ素含有インジウム錫酸化物（ＦＴＯ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）または二酸化チタン（ＴｉＯ_２）に、脱離基として水素原子が導入されたものである請求項１ないし６のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
8. 金属原子および該金属原子に結合する有機成分で構成される脱離基を含んでなる接合膜を、機能性基板の一方の面側に設けて接着シートを得る際の前記接合膜を製造する、接着シートが備える接合膜の製造方法であって、
   前記機能性基板の一方の面側に、低還元性雰囲気下で、有機金属材料を供給し、有機金属化学気相成長法により成膜することで前記接合膜を得ることを特徴とする接着シートが備える接合膜の製造方法。
9. 前記接合膜は、その少なくとも一部の領域にエネルギーを付与し、前記接合膜の前記エネルギーが付与された領域の表面付近に存在する前記脱離基が、当該接合膜から脱離することにより、前記脱離基が脱離した前記金属原子に活性手が生じて、前記接合膜の表面の前記領域に、前記接着シートを接着すべき被着体に対する接着性が発現するものである請求項８に記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
10. 前記脱離基は、前記有機金属材料に含まれる有機物の一部が残存したものである請求項８または９に記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
11. 前記脱離基は、炭素原子を必須成分とし、水素原子、窒素原子、リン原子、硫黄原子およびハロゲン原子のうちの少なくとも１種を含む原子団で構成される請求項８ないし１０のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
12. 前記脱離基は、アルキル基である請求項１１に記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
13. 前記有機金属材料は、金属錯体である請求項８ないし１２のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
14. 前記金属原子は、銅、アルミニウム、亜鉛および鉄のうちの少なくとも１種である請求項８ないし１３のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法。
15. 前記機能性基板の一方の面側に、請求項１ないし１４のいずれかに記載の接着シートが備える接合膜の製造方法を用いて接合膜を形成して前記接着シートを得ることを特徴とする接着シートの製造方法。