JP2010222654A - 銅系素材の酸洗方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】銅系素材11を収容する酸洗槽12内に酸素含有ガスのマイクロバブルを含んだ硫酸の酸洗液を供給し、酸洗液中の溶存酸素により銅系素材11の表面で、2Cu+O2 →2CuOの酸化反応を進行させて銅系素材11の表面に酸化銅を生成させ、生成した酸化銅と酸洗液中の硫酸との間で、CuO+H2SO4→Cu2++SO4 2−+H2Oに示す溶解反応を進行させて、酸化銅を酸洗液に溶解させることにより酸洗を行う。
【選択図】図1
Description
2Cu+O2 →2CuO (酸化反応)
CuO+H2SO4→Cu2++SO4 2−+H2O (溶解反応)
そして、前記マイクロバブルの大きさは1mm以下であることが好ましい。
また、前記酸素含有ガスには、酸素ガス又は空気を使用することができる。
図1に示すように、本発明の一実施の形態に係る銅系素材の酸洗方法を適用する酸洗設備10は、酸洗液を受入れ一時貯留して排出しながら、銅系素材の一例である銅又は銅合金製の帯板11を一側から進入させて一時貯留された酸洗液中を通過させて他側から外部に排出する酸洗槽12と、酸洗槽12に酸洗液を供給すると共に、酸洗槽12から排出される酸洗液を回収する酸洗液供給装置13とを有している。以下詳細に説明する。
銅又は銅合金製の帯板11が通過する酸洗槽12内に酸素のマイクロバブルを含んだ硫酸の酸洗液を供給すると、酸洗液と帯板11が接触し酸洗液中の溶存酸素により帯板11の表面で、2Cu+O2 →2CuOの酸化反応が進行し、帯板11の表面に酸化銅が生成する。そして、生成した酸化銅は酸洗液中の硫酸(希硫酸)と接触し、CuO+2H+→Cu2++H2Oに示す還元反応が進行し、酸化銅が酸洗液に溶解して(CuO+H2SO4→Cu2++SO4 2−+H2O )帯板11の酸洗が行われる。
また、酸素のマイクロバブルの大きさは1mm以下、好ましくは70μm以下、より好ましくは20μm以下、更に好ましくは5μm以下であり、更により好ましくはナノメートルオーダーとしてもよい。マイクロバブルの大きさを小さくすることで、マイクロバブルの単位体積当たりの表面積を大きくできると共に、酸洗液(硫酸溶液)中におけるマイクロバブルの浮上速度を小さくでき、マイクロバブルを形成している酸素の酸洗液中への溶解を促進できる。その結果、酸洗液の溶存酸素量を多くでき、酸洗液の酸洗性能(酸化性能)を高めることができる。
本発明の銅系素材の酸洗方法では、酸洗液中に酸素のマイクロバブルを供給して溶存酸素量を高位に安定化させると共に、銅イオンを回収して酸洗液中の銅イオン濃度を一定値以下に保つことができ、酸洗液の酸洗性能を高位に維持できるので、例えば酸洗槽を浸漬式とすることができる。また、酸洗液の銅イオン濃度を飽和濃度未満に保持できるので、硫酸銅の析出が防止でき、酸洗槽をスプレー式とすることもできる。
更に、マイクロバブル発生機に空気を供給して、空気のマイクロバブルを発生させてもよい。空気を使用することで、酸洗液のコストを低減できる。なお、空気中の窒素分を除去した酸素富化空気を使用することもできる。酸素富化空気を使用することで、空気を使用した場合に比較して酸洗液中の溶存酸素量を多くでき、酸洗液の酸洗性能を高めることができる。
Claims (4)
- 銅系素材を収容する酸洗槽内に酸素含有ガスのマイクロバブルを含んだ硫酸の酸洗液を供給し、下記に示す酸洗時の化学反応で、前記銅系素材の表面の酸化に前記マイクロバブル中の酸素を利用し、生成させた酸化銅を硫酸で溶解して前記酸洗液に溶解させることを特徴とする銅系素材の酸洗方法。
2Cu+O2 →2CuO (酸化反応)
CuO+H2SO4→Cu2++SO4 2−+H2O (溶解反応) - 請求項1記載の銅系素材の酸洗方法において、前記酸洗槽は、収容された前記銅系素材の表面に前記酸洗液の流れを当てる噴流式であることを特徴とする銅系素材の酸洗方法。
- 請求項1及び2のいずれか1項に記載の銅系素材の酸洗方法において、前記マイクロバブルの大きさは1mm以下であることを特徴とする銅系素材の酸洗方法。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の銅系素材の酸洗方法において、前記酸素含有ガスは、酸素ガス又は空気であることを特徴とする銅系素材の酸洗方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Applications Claiming Priority (1)
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JP2010222654A true JP2010222654A (ja) | 2010-10-07 |
JP5393214B2 JP5393214B2 (ja) | 2014-01-22 |
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JP (1) | JP5393214B2 (ja) |
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