JP2010219525A - 基板テーブル、液浸リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液浸リソグラフィ装置用の基板テーブルであって、所与のサイズの基板を収容するように構成された凹部と、基板の縁部と凹部の縁部との間のギャップから流体を抽出するように構成された流体抽出システムとを有し、流体抽出システムが、ギャップの局部から抽出された流体の流量がギャップの他の部分から抽出された流体の流量よりも大きくなるように構成される基板テーブルを提供する。
【選択図】図7
Description
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジストコートウェーハ)Wを保持するように構成され、特定のパラメータに従って基板Wを正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された基板テーブル(例えばウェーハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに与えられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ又は複数のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSとを含む。
Claims (24)
- 液浸リソグラフィ装置用の基板テーブルであって、
所与のサイズの基板を収容し、前記基板の下側表面を支持する支持区域と、前記基板が前記支持区域によって支持される時に前記基板の縁部に隣接する縁部とを有する凹部と、
前記基板の縁部と前記凹部の縁部との間のギャップから流体を抽出する流体抽出システムとを備え、
前記流体抽出システムは、液体がない場合に、所与の長さを有する前記ギャップの局部から抽出された流体の流量が同じ長さを有する前記ギャップの別の部分から抽出された流体の流量より大きくなるように構成された基板テーブル。 - 前記流体抽出システムは、前記ギャップ内に通じ、前記基板の実質的に全ての周囲で前記ギャップから流体を抽出する第1のダクトと、前記ギャップの局部から流体を抽出するように構成された前記ギャップ内に通じる第2のダクトとを備える、請求項1に記載の基板テーブル。
- 前記第1のダクトの断面の最小寸法は、前記第1及び第2のダクトが前記ギャップ内に通じるポイントでの前記第2のダクトの断面の最小寸法より小さい、請求項2に記載の基板テーブル。
- 液浸リソグラフィ装置用の基板テーブルであって、
所与のサイズの基板を収容し、前記基板の下側表面を支持する支持区域と、前記基板が前記支持区域によって支持される時に前記基板の縁部に隣接する縁部とを有する凹部と、
前記基板の縁部と前記凹部の縁部との間のギャップから流体を抽出する流体抽出システムとを備え、
前記流体抽出システムは、前記ギャップ内に通じ、前記基板の実質的に全ての周囲で前記ギャップから流体を抽出する第1のダクトと、前記ギャップ内に通じ、前記ギャップの局部から流体を抽出する第2のダクトとを備え、
前記第1のダクトの断面の最小寸法が、前記第1及び第2のダクトが前記ギャップ内に通じる前記ポイントの前記第2のダクトの断面の最小寸法より小さい基板テーブル。 - 前記第1のダクトは、前記凹部の前記縁部の開口によって前記ギャップ内に通じる、請求項2から4のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記第1のダクトは、前記凹部を取り囲む前記凹部の前記縁部の開口に、流体フローのために接続される、請求項5に記載の基板テーブル。
- 前記第2のダクトは、前記支持区域と前記凹部の前記縁部との間の前記基板テーブルの表面に形成された対応する開口によって前記ギャップ内に通じる、請求項2から6のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記第2のダクトは、前記第2のダクトを通過する流体フローを制御するように構成された制御弁を備える、請求項7に記載の基板テーブル。
- 前記第2のダクトは、前記制御弁をバイパスするブリードラインを備える、請求項8に記載の基板テーブル。
- 前記第1及び第2のダクトは、共通の加圧源に接続される、請求項7から9のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記第1のダクトは、第1の加圧源に接続され、前記第2のダクトは、第2の加圧源に接続される、請求項7から9のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記第2のダクトは、前記第2のダクトが前記ギャップ内に通じる前記ポイントから前記第2のダクトが前記ギャップ内に通じる前記ポイントの下流側の前記第2のダクト内の第2のポイントまで断面が減少する、請求項2から11のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記第2のダクトが前記ギャップ内に通じる前記ポイントから前記第2のポイントまでの前記第2のダクトの形状は、円錐台形状又はラッパ形状である、請求項12に記載の基板テーブル。
- 前記流体抽出システムは、少なくとも2つの第2のダクトを備え、前記第2のダクトは、互いに離間したそれぞれの開口で前記ギャップ内に通じる、請求項2から13のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記流体抽出システムは、少なくとも2つの第2のダクトを備え、前記第2のダクトが、共通の開口で前記ギャップ内に通じる、請求項2から13のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記基板テーブルは、基板が前記支持区域によって支持される時に、前記基板の位置決めフィーチャが前記凹部の前記縁部と前記基板の前記縁部との間の前記ギャップに通じる前記第2のダクトの前記開口に整列して、前記基板の前記位置決めフィーチャと前記凹部の前記縁部との間の空間から前記第2のダクト内に直接流体が引き込まれるように、前記位置決めフィーチャを有する基板を支持する、請求項2から15のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記基板テーブルは、位置決めフィーチャを有する基板を支持し、前記位置決めフィーチャは、前記基板の前記縁部の切欠き、平坦部又はへこみである、請求項16に記載の基板テーブル。
- 前記流体抽出システムは、前記基板の実質的に全ての周囲で前記ギャップから流体を抽出する前記ギャップ内に通じるダクトを備え、前記ダクトが前記凹部を取り囲む前記凹部の前記縁部の開口に流体フローのために接続され、前記開口の幅が前記ギャップの前記局部で前記開口の残りに沿った前記開口の幅よりも大きい、請求項1に記載の基板テーブル。
- 前記凹部の前記縁部を通る前記開口は、その幅が前記開口の残りに沿った前記開口の幅よりも大きくなるように前記局部で拡張される、請求項18に記載の基板テーブル。
- 前記局部で、追加の凹部が前記基板テーブルに形成されかつ前記凹部の前記縁部の前記開口の一部に隣接し、それらが組み合わさって前記凹部の前記開口のみの幅よりも大きい幅の開口を形成する、請求項18又は19に記載の基板テーブル。
- 前記流体抽出システムは、所与の長さから抽出された流体の流量が前記ギャップの他の部分からの流量よりも大きくなるように前記開口の幅が前記ギャップの残りに沿った幅よりも大きい前記ギャップの少なくとも2つの局部を有する、請求項18から20のいずれか1項に記載の基板テーブル。
- 前記請求項のいずれか1項に記載の基板テーブルを備える液浸リソグラフィ装置。
- 基板テーブル上の凹部内に支持された基板に隣接する空間内に提供された流体を通して前記基板上にパターン付放射ビームを投影するステップと、
液体がない場合に、所与の長さを有するギャップの局部から抽出された流体の流量が、同じ長さを有する前記ギャップの別の部分から抽出された流体の流量より大きくなるように、前記凹部の縁部と前記基板の縁部との間の前記ギャップから流体を抽出するステップとを含むデバイス製造方法。 - 基板テーブル上の凹部内に支持された基板に隣接する空間内に提供された流体を通して前記基板上にパターン付放射ビームを投影するステップと、
ギャップから流体を抽出する流体抽出システムを用いて前記凹部の縁部と前記基板の縁部との間の前記ギャップから流体を抽出するステップとを含み、前記流体抽出システムが、前記ギャップ内に通じ、前記基板の実質的に全ての周囲で前記ギャップから流体を抽出する第1のダクトと、前記ギャップ内に通じ、前記ギャップの局部から流体を抽出する第2のダクトとを備え、前記第1のダクトの断面の最小寸法が、前記第1及び第2のダクトが前記ギャップ内に通じるポイントの前記第2のダクトの断面の最小寸法より小さいデバイス製造方法。
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