JP2010210705A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板と、
   前記基板の一面側に平面視略ストライプ状に設けられた複数の凸条部と、
   各々の前記凸条部において前記凸条部の延在方向に沿って設けられる金属細線とを備え、
   各々の前記凸条部に設けられた前記金属細線が、前記凸条部の短手方向の両側面のうち一方の側面に設けられた第１細線と、他方の側面に設けられた第２細線と、を含むと共に、前記第１細線と前記第２細線とは、前記凸条部の上端部において互いに重畳してなり、
   各々の前記凸条部に設けられた前記第１細線の体積は、前記基板の一端側から遠ざかる方向に連続的に減少し、各々の前記凸条部に設けられた前記第２細線の体積は、前記基板の一端側から遠ざかる方向に連続的に増加しており、
   前記第１細線の体積と前記第２細線の体積との和である前記金属細線の体積は、ばらつきが所定範囲内であることを特徴とする偏光素子。
2. 前記ばらつきが、前記金属細線の体積の平均値を基準として±４％の範囲内であることを特徴とする請求項１に記載の偏光素子。
3. 前記第１細線の体積は、前記基板の一端側から遠ざかる方向に線形に減少し、
   前記第２細線の体積は、前記基板の一端側から遠ざかる方向に線形に増加することを特徴とする請求項１または２に記載の偏光素子。
4. 前記凸条部と前記金属細線とを覆う保護膜を備え、
   互いに隣り合う２つの前記凸条部および前記金属細線の間の領域には、前記保護膜が充填されない空隙部が形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の偏光素子。
5. 前記保護膜は、前記空隙部の上部で接触し前記空隙部を覆っていることを特徴とする請求項４に記載の偏光素子。
6. 前記保護膜は、透光性の絶縁性材料で形成されていることを特徴とする請求項４または５に記載の偏光素子。
7. 前記金属細線は、シリコン、ゲルマニウム、クロム、モリブデンの中から選ばれる形成材料を用いて形成されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の偏光素子。
8. 基板の一面側に平面視略ストライプ状に設けられた複数の凸条部に、前記一面に対して斜め方向から金属材料を堆積させ、前記凸条部の表面に堆積された細線状の金属膜によって金属細線を形成する偏光素子の製造方法であって、
   前記凸条部の延在方向に交わる第１の方向から、前記凸条部の一方の側面に金属材料を堆積させ、第１細線を形成する工程と、
   前記第１の方向とは前記基板表面に投影した方位が正反対である第２の方向から、前記凸条部の他方の側面に金属材料を堆積させて第２細線を形成し、前記第１細線と前記第２細線とを有する前記金属細線を形成する工程と、を有することを特徴とする偏光素子の製造方法。
9. 前記複数の金属細線の周囲を覆う保護膜を形成する工程を備え、
   前記保護膜を形成する工程ではＣＶＤ法を用い、互いに隣り合う２つの前記金属細線の間の領域に、前記保護膜が充填されない空隙部を形成することを特徴とする請求項８に記載の偏光素子の製造方法。
10. 光を射出する照明光学系と、
    前記光を変調する液晶ライトバルブと、
    前記液晶ライトバルブで変調された光が入射する請求項１から７のいずれか１項に記載の偏光素子と、
    前記偏光素子を透過した偏光光を被投射面に投射する投射光学系と、を備えることを特徴とする投射型表示装置。
11. 一対の基板間に液晶層を挟持してなり、前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板の前記液晶層側に請求項１から７のいずれか１項に記載の偏光素子が形成されていることを特徴とする液晶装置。
12. 請求項１１に記載の液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。