JP2010145609A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 基板と、
   前記基板の一面側に平面視略ストライプ状に設けられた複数の凸条部と、
   前記複数の凸条部各々の上に設けられるとともに、前記複数の凸条部の延在方向に沿って延びる複数の金属細線と、
   前記複数の凸状部と前記複数の金属細線とを覆う保護膜と、を備え、
   前記複数の凸条部のうち一の凸条部の側面が前記基板の前記一面に対して傾斜した傾斜面とされ、
   前記複数の金属細線のうち一の金属細線が、前記一の凸条部の前記側面によって片持ちに支持されていることを特徴とする偏光素子。
2. 前記複数の金属細線のうち互いに隣り合う２つの金属細線の間の領域には、前記保護膜が充填されない空隙部が形成されていることを特徴とする偏光素子。
3. 前記一の凸条部の上端面が略平坦面であり、
   前記一の金属細線が、前記一の凸条部の上端面の少なくとも一部を平面視で覆うように前記一の凸条部の前記側面から前記上端面に張り出していることを特徴とする請求項１または２に記載の偏光素子。
4. 前記保護膜は、前記空隙部の上部で接触し前記空隙部を覆っていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の偏光素子。
5. 前記保護膜は、透光性の絶縁性材料で形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の偏光素子。
6. 前記金属細線は、シリコン、ゲルマニウム、モリブデンの中から選ばれる金属材料を用いて形成されることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載の偏光素子。
7. 基板と、
   前記基板の一面側に平面視略ストライプ状に設けられた複数の凸条部と、
   前記複数の凸条部各々の上に設けられるとともに、前記複数の凸条部の延在方向に沿って延びる複数の金属細線と、
   前記複数の凸状部と前記複数の金属細線とを覆う保護膜と、を備える偏光素子の製造方法であって、
   前記一の凸条部の側面と、前記一の凸条部の上部に設けられたマスクの側面とにまたがって金属材料を堆積させることによって、前記複数の金属細線を形成する工程と、
   前記マスクを除去する工程と、
   前記複数の金属細線の周囲を覆う保護膜を形成する工程と、を備え、
   前記保護膜を形成する工程ではＣＶＤ法を用い、前記複数の金属細線のうち互いに隣り合う２つの金属細線の間の領域に、前記保護膜が充填されない空隙部を形成することを特徴とする偏光素子の製造方法。
8. 前記マスクの前記側面は、前記一の凸条部の上部の少なくとも一部を平面視で覆う傾斜面であることを特徴とする請求項７に記載の偏光素子の製造方法。
9. 前記金属細線を形成する工程に先だって、前記基板の形成材料である基材の一面側に、所定のパターンを有するレジストを形成する工程と、
   前記レジストを介して前記基材をエッチングし、前記所定のパターンを呈する凸条部を備えた前記基板を形成すると共に、前記凸条部の上部に前記レジストの一部を残存させるエッチング工程と、を有し、
   残存する前記レジストの一部を前記マスクとして用いることを特徴とする請求項７または８に記載の偏光素子の製造方法。
10. 光を射出する照明光学系と、
    前記光を変調する液晶ライトバルブと、
    前記液晶ライトバルブで変調された光が入射する請求項１から６のいずれか１項に記載の偏光素子と、
    前記偏光素子を透過した偏光光を被投射面に投射する投射光学系と、を備えることを特徴とする投射型表示装置。
11. 一対の基板間に液晶層を挟持してなり、前記一対の基板のうち少なくとも一方の基板の前記液晶層側に請求項１から６のいずれか１項に記載の偏光素子が形成されていることを特徴とする液晶装置。
12. 請求項１１に記載の液晶装置を備えたことを特徴とする電子機器。