JP2010198103A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第１導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第２導電層と、前記第１導電層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体の前記遮光層側の面上に感光性を有する第１感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第２感光層を形成する工程と、
   前記第１感光層上に第１マスクを配置するとともに前記第２感光層上に第２マスクを配置した状態で、前記第１感光層および前記第２感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
   前記第１感光層および前記第２感光層を現像してパターニングする工程と、
   パターニングされた前記第１感光層をマスクとして前記遮光層をエッチングして、前記遮光層をパターニングする工程と、
   パターニングされた前記第１感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第１導電層をエッチングするとともに、パターニングされた前記第２感光層をマスクとして、前記第２導電層をエッチングして、前記第１導電層および前記第２導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
   前記第１導電層および前記第２導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第１感光層および前記第２感光層を除去する工程と、
   前記第１感光層および第２感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記遮光層を除去する工程と、を備える
   ことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
2. 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第１導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第２導電層と、前記１導電層上に設けられ遮光性を有する第１遮光層と、前記２導電層上に設けられ遮光性を有する第２遮光層と、を有する積層体の一方の側の面上に感光性を有する第１感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第２感光層を形成する工程と、
   前記第１感光層上に第１マスクを配置するとともに前記第２感光層上に第２マスクを配置した状態で、前記第１感光層および前記第２感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
   前記第１感光層および前記第２感光層を現像してパターニングする工程と、
   パターニングされた前記感光層をマスクとして前記第１遮光層および前記第２遮光層をエッチングして、前記第１遮光層および前記第２遮光層をパターニングする工程と、
   パターニングされた前記感光層および前記遮光層をマスクとして、前記第１導電層および前記第２導電層をエッチングして、前記第１導電層および前記第２導電層を互いに異なるパターンにパターニングする工程と、
   前記第１導電層および前記第２導電層をパターニングした後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第１感光層および前記第２感光層を除去する工程と、
   前記第１感光層および第２感光層を除去する工程の後に行われる工程であって、前記パターニングされた前記第１遮光層および前記第２遮光層を除去する工程と、を備える
   ことを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
3. 前記第１感光層および前記第２感光層を露光する工程において、前記第１マスクに設けられた位置決めマークおよび前記第２マスクに設けられた位置決めマークを基準として、前記第１マスクおよび前記第２マスクが互いに対して位置決めされる
   ことを特徴とする請求項１または２に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
4. 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第１導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第２導電層と、前記第１導電層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を有する積層体を用意する工程と、
   前記積層体の前記遮光層側の面上に感光性を有する第１感光層を形成し、前記積層体の他方の側の面上に感光性を有する第２感光層を形成する工程と、
   前記第１感光層上に第１マスクを配置するとともに前記第２感光層上に第２マスクを配置した状態で、前記第１感光層および前記第２感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
   前記第１感光層および前記第２感光層を現像してパターニングする工程と、
   パターニングされた前記第１感光層をマスクとして、前記第１導電層までエッチングして第１導電層をパターニングし、パターニングされた前記第２感光層をマスクとして、前記第２導電層をエッチングして前記第２導電層をパターニングする工程と、
   を有することを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
5. 透光性を有した基材フィルムと、前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第１導電層と、前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第２導電層と、前記１導電層上に設けられ遮光性を有する第１遮光層と、前記２導電層上に設けられ遮光性を有する第２遮光層と、を有する積層体を用意する工程と、
   前記積層体の前記第１遮光層側の面上に感光性を有する第１感光層を形成し、前記積層体の前記第２遮光層側の面上に感光性を有する第２感光層を形成する工程と、
   前記第１感光層上に第１マスクを配置するとともに前記第２感光層上に第２マスクを配置した状態で、前記第１感光層および前記第２感光層を互いに異なるパターンで同時に露光する工程と、
   前記第１感光層および前記第２感光層を現像してパターニングする工程と、
   パターニングされた前記第１感光層をマスクとして、前記第１導電層までエッチングして第１導電層をパターニングし、パターニングされた前記第２感光層をマスクとして、前記第２導電層までエッチングして前記第２導電層をパターニングする工程と、
   を有することを特徴とするタッチパネルセンサの製造方法。
6. 前記現像された前記第１感光層および前記第２感光層を除去する工程を、さらに有する
   ことを特徴とする請求項４または５に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
7. 前記感光層をマスクとしてエッチングされた後の遮光層を除去する工程をさらに有することを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載のタッチパネルセンサの製造方法。
8. タッチパネルセンサを作製するために用いられる積層体であって、
   透光性を有した単一体としての基材フィルムと、
   前記基材フィルムの一方の側の面上に設けられ透光性を有する第１導電層と、
   前記基材フィルムの他方の側の面上に設けられ透光性を有する第２導電層と、
   前記第１導電層および前記第２導電層の少なくとも一つの層上に設けられ遮光性を有する遮光層と、を備える
   ことを特徴とする積層体。
9. 前記第１導電層上に第１遮光層が設けられ、前記第２導電層上に第２遮光層が設けられている
   ことを特徴とする請求項８に記載の積層体。