JP2010197376A - 形状測定装置,形状測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被測定物1の表裏各面について,レーザ光源2の出射光を2分岐したビーム光をさらに2分岐させて参照面及び表裏相対する測定点1a,1bに反射させ,参照光と物体光とを直交する偏光成分とする非干渉光Pax,Pbxを得て,それを複数に分岐させ,分岐光のうちの1つ以上について波長板a261,a263,a264等で直交する偏光成分の位相差に変化を与えて位相シフトを行い,位相シフト後の分岐光における参照光及び物体光の偏光方向を基準とする共通の偏光成分の抽出により干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4を得て,それらの強度から前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出し,その位相差の分布から被測定物1の厚み分布を算出する。
【選択図】図2
Description
より具体的には,光干渉計によるウェハの表面形状測定においては,ウェハの表面に対向配置された光干渉計により,そのウェハの表面上の多数の測定部位に物体光を照射して干渉光を得る。さらに,得られた干渉光の強度信号の位相の検出と,これにより得られる複数の測定部位ごとの位相データに基づく位相接続処理とが行われる。この位相接続処理により得られる位相の分布情報における各位相は,物体光の波長に基づいて表面高さの寸法値に換算できる。このため,位相接続処理により得られる位相の分布情報は,ウェハの表面高さの分布情報,即ち,形状情報と等価である。なお,前記位相接続処理は,アンラップ処理と称される。
これにより,非接触でウェハの表面形状を測定できるので,触針式の形状計で測定する場合とは異なり,ウェハ表面に傷等を生じさせることなくその表面形状を測定できる。ウェハの形状測定では,その表面全体に渡る形状を測定する必要があるため,一般に,ウェハ周辺のエッジ部を複数箇所で支持した状態で測定がなされる。
特許文献1には,セルに収容された流体の特性変化を,そのセルに通過させた物体光と他の参照光とが重畳された干渉光の位相の変化を検出することによって測定する技術について示されている。その際,位相データが所定周期でサンプリングされる。さらに,ある時点でサンプリングされた位相データについて,1つ前の時点の位相データを基準として位相差が−π〜+πの範囲に収まるように,前記ある時点の位相データに対して2πの整数倍分だけ位相をシフトする位相接続処理が行われる。
同様に,形状測定における位相接続処理においては,隣り合う2つの測定点で得られた2つの位相データの一方の位相の補正処理が行われる。その補正処理は,隣り合う2つの測定点の一方の位相について,他方の位相を基準とした位相差が−π〜+πの範囲に収まるように,2πの整数倍分だけ補正を行う処理である。この位相接続処理は,隣り合う2つの測定点の表面高さの差が,物体光の4分の1波長分を超えないという前提に基づく処理である。
即ち,特許文献2に示される装置では,レーザ光を拡大した平行光が参照面と被測定面とに照射され,参照光及び物体光を直交する偏光成分とするセンシング光が得られる。さらに,そのセンシング光が3分岐され,3つの分岐光から,3つの偏光板P1〜P3により偏光角度の異なる偏光成分を抽出することにより,参照光及び物体光の各成分の位相差が90°ずつシフトされた3つの干渉光が得られる。このように,参照光及び物体光についての位相シフトを,抽出対象とする偏光成分の異なる複数の偏光板を用いて光学的に行うことにより,前記位相シフトが行われた複数の干渉光が同時に得られる。そして,それら複数の干渉光の強度から,参照光と物体光との間の位相差を算出でき,その位相差の分布から,被測定物の表面高さの分布を算出できる。
また,特許文献3には,被測定物の表裏各面に対向配置された2つのヘテロダイン干渉計により,被測定物の表裏各面の測定部位について,参照光と物体光との関係を逆とした干渉光のビート信号を検出し,表裏のビート信号の位相差から被測定物の厚みを測定する装置について示されている。
しかしながら,特許文献1に示される技術では,被測定物の一方の面における1箇所の測定部位について得られた1つの干渉光の強度から,直接的にその測定部位についての位相データが導出される。そのため,被測定物の振動や,光源の特性変動,測定部位ごとの光の反射率の違い等の外乱要因により,参照光及び物体光の位相や強度が変動した場合,それがそのまま測定結果の誤差として表れ,高精度での形状測定を行うことができないという問題点があった。
また,特許文献2に示される測定法では,参照面及び被測定物の表面に平行光を照射して得られる干渉光の干渉縞画像が,複数台の2次元のカメラで撮像される。そして,特許文献2の測定法では,複数の干渉縞画像それぞれにおける対応する位置の画素データを用いて位相シフト法の演算が行われる。そのため,特許文献2の測定法では,2次元の広がりを有する物体光及び参照光,並びにそれらの干渉光の複数の撮像画像相互における各画素の対応関係を厳密に合わせることが難しく,その対応関係のズレが測定誤差に大きく影響する。
一方,一般に,2次元の広がりを有する光の波面を高精度で調整することは難しい。従って,特許文献2の測定法は,高い測定精度を確保するための光学機器の位置調整が非常に難しいという問題点があった。
さらに,特許文献2の測定法は,動作周波数が高々20Hz〜100Hz程度である2次元のカメラを用いるため,複数の干渉縞画像を時間のずれなく同時に撮像することが難しい。被測定物が高速で振動する場合,複数の干渉縞画像の撮像タイミングのズレは,大幅な測定精度の悪化につながる。そのため,特許文献2の測定法は,高速で振動する被測定物の測定には適さないという問題点もあった。例えば,薄板状の半導体ウェハは,その端部が支持された状態では,わずかな空気の流れや周囲の機器が発する振動等によって50Hz程度の周波数で振動する。従って,特許文献2の測定法は,薄板状の半導体ウェハの形状測定には適さない。
また,特許文献2の測定法は,被測定物の表面に沿う2次元方向における高さの分布の測定の空間分解能がカメラの解像度に依存し,高い分解能での形状測定を行うことができないという問題点も有している。
また,特許文献3に示される測定法は,ヘテロダイン干渉計に関する多数の光学部品を要するため,測定装置の小型化が難しいという問題点があった。また,特許文献3に示される測定法は,ヘテロダイン干渉計に関する機器について,2種類の測定光の重なり状態等に関する調整が繁雑であり,また,高価であるという問題点があった。例えば,周波数の異なる2つの測定光の重なり状態の調整や,その2つの測定光の光源やビート信号の検波器の調整などは,一般に繁雑である。
従って,本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり,その目的とするところは,半導体ウェハなどの薄板状の被測定物の厚み分布の測定において,簡易な装置構成により,被測定物の振動の影響を受けずに高精度で厚み分布の測定を行うことができる形状測定装置及びその方法を提供することにある。
(1)被測定物の表裏各面それぞれについて設けられ,所定の光源の出射光が2分岐されて前記被測定物の表裏各面の側へ導かれたビーム光を基準となる参照面と前記被測定物における表裏各面の表裏相対する測定部位とに反射させた参照光及び物体光の干渉光の強度を検出する2つのホモダイン干渉計。
(2)前記2つのホモダイン干渉計に対する前記測定対象物の2次元方向の相対位置を変化させつつその2つのホモダイン干渉計により複数箇所の前記測定部位について検出された前記干渉光の強度に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段。
さらに,本発明に係る形状測定装置において,前記2つのホモダイン干渉計それぞれが,次の(1.1)〜(1.5)に示される各構成要素を備えており,また,前記前記厚み分布算出手段が,次の(2.1)及び(2.2)に示される各構成要素を備えている。
(1.1)前記ビーム光を2分岐させて前記参照面と前記測定部位との各々に照射し,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる非干渉光を得る非干渉光取得用光学系。
(1.2)前記非干渉光取得用光学系により得られた前記非干渉光を複数に分岐させる非干渉光分岐用光学系。
(1.3)前記非干渉光分岐用光学系により得られた前記非干渉光の複数の分岐光のうちの1つ以上について複屈折素子を通じて直交する偏光成分の位相差に変化を与えることにより,前記非干渉光の複数の分岐光それぞれにおける前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との間に異なる位相差を生じさせる位相シフト用光学系。
(1.4)前記位相シフト用光学系を経た前記非干渉光の複数の分岐光それぞれからその分岐光における前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が共通の偏光成分を抽出することにより前記参照光と前記物体光との干渉光を抽出する干渉光抽出用光学系。
(1.5)前記干渉光抽出用光学系により抽出された複数の干渉光それぞれの強度を検出する干渉光強度検出手段。
(2.1)前記被測定物の表裏各面それぞれについて前記干渉光強度検出手段により検出された複数の前記干渉光のそれぞれの強度に基づいて前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出する位相差算出手段。
(2.2)前記被測定物の表裏各面それぞれの複数箇所の前記測定部位について前記位相差算出手段により算出された位相差の分布に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段。
また,ビーム光の強度を検出する光検出器である前記干渉光強度検出手段は,2次元のカメラに比べてはるかに高速で動作可能である。そのため,本発明に係る形状測定装置では,前記被測定物の表裏各面それぞれにおける複数の干渉光の強度を時間のずれなく同時に検出することが容易である。そのため,本発明に係る形状測定装置は,端部が支持された薄板状の半導体ウェハのように高速で振動する前記被測定物の厚み測定にも好適である。
また,本発明に係る形状測定装置では,直交する参照光及び物体光の偏光成分についての位相シフトが,複屈折素子を通じて光学的に行われる。これにより,各測定部位について,1つの前記非干渉光を起源として位相シフトが行われた複数の干渉光が同時に得られる。そして,それら複数の干渉光の強度から参照光と物体光との間の位相差を算出でき,その位相差の分布から,前記被測定物の厚み分布を算出できる。また,その位相差は,1つの前記非干渉光を起源とする複数の干渉光の強度の相対評価により算出できるため,前記ビーム光の光源の特性変動や前記測定部位ごとの表面角度及び光の反射率の違い等の外乱要因の影響を受けにくい。
また,測定部位ごとの面角度の違いやミラーやビームスプリッタなどの光学機器の保持角度の僅かな変化等の外乱により,前記参照光及び前記物体光の光軸の角度やそれらの重なり具合などが変化する。そして,その変化が複数の前記干渉光における前記参照光及び前記物体光の位相差の変化として表れる。そのような状況下で,特許文献3に示されるように,角度が異なる偏光成分の抽出によって複数の干渉光の抽出が行われると,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化が,複数の干渉光において逆方向に反映される。そして,それら複数の干渉光の強度の相対評価により位相差の算出が行われると,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化が,そのまま位相差算出の誤差となる。
一方,本発明においては,位相差の算出に用いられる複数の干渉光は,前記非干渉光の複数の分岐光それぞれからその分岐光における前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が共通の偏光成分を抽出して得られた光である。即ち,本発明においては,複数の干渉光を得るために前記非干渉光の分岐光から抽出される偏光成分は,+45°又は−45°のいずれかに統一される。そのため,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化が,複数の干渉光において同方向に反映される。そして,それら複数の干渉光の強度の相対評価により位相差の算出が行われると,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化が位相差の算出の段階で相殺され,測定誤差を低減できる。
また,本発明によれば,スポット径の小さなビーム光を前記被測定物の表面において密に走査させることにより,前記被測定物の表面に沿う2次元方向における厚み分布の測定の空間分解能を高めることができる。
(c1)前記非干渉光分岐用光学系が前記非干渉光を2段階の2分岐によって4つの分岐光に分岐させる。
(c2)前記位相シフト用光学系が,前記4つの分岐光のうちの1つの分岐光を基準にして残りの3つの分岐光における前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との位相差に−4分の1波長分,+4分の1波長分及び+2分の1波長分の変化を与える。
(c3)前記位相差算出手段が,前記被測定物の表裏各面それぞれについて,−4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第1の分岐光,基準とされた第2の分岐光,+4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第3分岐光及び+2分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第4の分岐光それぞれについての前記干渉光の検出強度I1,I2,I3,I4を,次の(A1)式に適用することにより,前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φを算出する。
Φ=tan-1[(I2−I4)/(I3−I1)] …(A1)
但し,前記干渉光の検出強度I1,I2,I3,I4は,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差に変動を与えたときの強度変化のオフセット及び振幅が等しくなるように予め調整された値を用いる。
このように,本発明によれば,ごく簡易な演算により前記位相差Φを算出することができる。
なお,前記干渉光の検出強度I1,I2,I3,I4のオフセット及び振幅が等しくなるように調整する方法は,例えば以下のような方法である。
即ち,前記参照面の位置又は前記被測定物もしくはその代替となる校正用の物体の位置に,前記ビーム光の波長の2分の1以上の変位を生じさせる。そして,前記干渉光強度検出手段により得られる複数の前記干渉光それぞれの強度の変動の中心レベル及び変動幅が等しくなるように,前記干渉光強度検出手段の検出ゲインを調整するか,或いは,前記干渉光強度検出手段の検出値に対して補正を加える。
これにより,前記非干渉光から分岐された各分岐光の光路における外乱の影響が複数の前記干渉光それぞれに対して同程度に反映される。そのため,それら複数の干渉光の強度の相対評価による位相差の算出段階において,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化の相殺がより効果的となり,位相差算出の誤差をより低減できる。
また,前記2つのホモダイン干渉計それぞれが,次の(1.6)に示される構成要素を備えればなお好適である。
(1.6)前記非干渉光取得用光学系と前記測定部位との間における前記ビーム光及びその反射光である前記物体光の光路に配置されて前記測定部位を焦点とする集光レンズ。
これにより,前記測定部位に対する前記ビーム光の照射スポットを小さくでき,そのビーム光を前記被測定物の表面において密に走査させることにより,前記被測定物の表面に沿う2次元方向における厚み分布の測定の空間分解能をより高めることができる。また,前記測定部位ごとの表面角度に若干の違いが存在しても,前記集光レンズの作用により,前記測定部位での反射光である前記物体光の光軸のずれを抑えることができる。その結果,前記物体光の光軸のずれに起因する前記物体光の受光光量の減少及び干渉効率の低下を抑制できる。
また,本発明は,以上に示した本発明に係る形状測定装置が備える各手段を用いた測定を行う形状測定方法として捉えることもできる。
形状測定装置Xは,半導体ウェハ等の薄板状の被測定物1の厚み分布を測定する装置である。
図1に示されるように,形状測定装置Xは,ホモダイン干渉計である2つの光干渉計a20,b20を含む干渉光測定部Yと,可動支持装置Zとを備えている。また,前記干渉光測定部Yは,2つの前記光干渉計a20,b20に加え,3つの計算機a4,b4,5を備えている。
形状測定装置Xにおいて,被測定物1は,前記可動支持装置Zにより支持される。
以下,便宜上,被測定物1の一方の面(図1,図2における上側の面)をA面,そのA面と表裏の関係にある他方の面をB面と称する。また,被測定物1のA面上の厚みの測定部位をA面測定点1a,そのA面測定点1aと表裏相対するB面上の厚みの測定部位をB面測定点1bと称する。
一方の前記光干渉計a20は前記被測定物1のA面側に配置され,他方の前記光干渉計b20は,前記被測定物1のB面側に配置されている。
また,A面側の前記光干渉計a20及びB面側の前記光干渉計b20それぞれの検出信号を個別に処理する前記計算機a4及び前記計算機b4を,それぞれ第1計算機a4及び第2計算機と称し,残りの前記計算機5を第3計算機5と称する
3つの前記計算機a4,b4,5は,それぞれCPU,メモリ及び信号入出力インターフェース等を備え,前記CPUが所定のプログラムを実行することにより,各種の演算,前記信号入出力インターフェースを通じた外部装置との信号の送受信及び前記メモリへのデータの記録等を実行する。
また,前記第1計算機a4及び前記第2計算機b4は,A面側の前記光干渉計a20及びB面側の前記光干渉計b20それぞれから出力される前記干渉光の強度信号Sg1〜Sg4に基づいて,前記参照光と前記物体光との位相差Φa,Φbを算出する処理を実行する。その詳細については後述する。なお,位相差Φaは,前記A面側測定点1aに反射した物体光についての位相差であり,位相差Φbは,前記B面側測定点1bに反射した物体光についての位相差である。
また,前記第3計算機5は,複数箇所の前記A面側測定点1a及び前記B面側測定点1bについて算出された位相差Φa,Φbの差(Φa−Φb)分布に基づいて,前記被測定物1の厚み分布を算出する処理を実行する。
以下,形状測定装置Xが備える各構成要素の詳細について説明する。
図1に示されるように,前記可動支持装置Zは,回転軸41及びこれに連結された支持部44,回転駆動部42,直線移動機構43及び移動制御装置7を備えている。
半導体ウェハ等の円盤状の被測定物1は,そのエッジ部において,円周上の三箇所に配置された前記支持部44により3点支持される。これら3つの支持部44は,前記円周の中心に向かって伸びる前記回転軸41に連結されている。
さらに,前記回転軸41は,サーボモータ等の前記回転駆動部42によって回転駆動される。これにより,前記被測定物1は,その中央部を回転中心として回転する。
また,前記直線移動機構43は,前記回転軸41及び前記回転駆動部42を,前記被測定物1の表裏各面に平行な方向,即ち,前記被測定物1の厚み方向に直交する方向に所定の移動範囲内で直線移動させる。即ち,前記直線移動機構43は,円盤状の前記被測定物1をその半径方向に沿って移動させる。
また,前記移動制御装置7は,前記回転駆動部42及び前記直線移動機構43の動きを制御する装置である。さらに,前記移動制御装置7は,前記被測定物1における物体光の照射位置,即ち,随時変化する前記測定点1a,1bの位置を検出し,その検出結果を前記第3計算機5に伝送する。前記測定点1a,1bの位置の検出は,例えば,前記回転駆動部42及び前記直線移動機構43に対する動作指令の履歴,即ち,前記被測定物1の移動履歴に基づいて検出される。或いは,前記測定点1a,1bの位置が,前記回転駆動部42及び前記直線移動機構43各々に設けられた不図示の位置検出センサの検出結果により検出されることも考えられる。
例えば,前記移動制御装置7は,前記被測定物1を一定速度で連続的に回転及び直線移動させつつ,一定周期で,或いは前記測定点1a,1bの位置が予め定められた位置となるごとに,前記第3計算機5に対してデータ取得指令を送信する。そして,前記第3計算機5が,前記データ取得指令の受信に応じて前記第1計算機a4及び前記第2計算機b4に対して前記位相差Φa,Φbの算出を要求し,その算出結果を取得する。さらに,前記第3計算機5は,複数箇所の前記測定点1a,1bについての前記位相差Φa,Φbの差の分布から,前記被測定物1の厚み分布を算出する。
図3は,形状測定装置Xにおける前記被測定物1の表面の複数箇所の前記測定点1a,1bの分布の一例を表す模式図である。
前記被測定物1を回転及び直線移動させつつ前記位相差Φa,Φbの測定を順次行った場合,図3に破線で示されるように,前記測定点1a,1bの位置は,被測定物1の表面における渦巻き状の軌跡Rに沿って順次変化する。複数箇所の前記測定点1a,1b及びそれに対応する前記位相差Φa,Φbは,例えば,測定順序に従って割り振られた測定点番号(1,2,3・・・)により識別される。図3には,前記測定番号が(K−1)番目から(K+2)番目に至る前記測定点1a,1bの軌跡が示されている。
このように,形状測定装置Xにおいては,前記被測定物1上の一本の走査線Rに沿って,2つの前記光干渉計a20,b20それぞれからの物体光が走査される。
図2に示されるように,前記干渉光測定部Yは,レーザ光源2と,偏光ビームスプリッタ3と,複数のミラーa11〜a13,b11,b12と,A面側の前記光干渉計a20及びB面側の前記光干渉計b20と,前記第1計算機a4及び前記第2計算機b4と,前記第3計算機5とを備えている。
前記偏光ビームスプリッタ3は,前記レーザ光源2から出射される前記ビーム光P0を2分岐させる。そして,前記偏光ビームスプリッタ3により分岐された一方のビーム光Paは,3つのミラーa11,a12,a13により,前記被測定物1の前記A面測定点1aの方向へ導かれる。また,前記偏光ビームスプリッタ3により分岐された他方のビーム光Pbは,2つのミラーb11,b12により,前記被測定物1の前記B面測定点1bの方向へ導かれる。
なお,前記ビーム光Pa,Pbを前記A面測定点1a及び前記B面測定点1bのそれぞれへ導く光学機器としては,ミラーの他,光ファイバ等も考えられる。
前記被測定物1のA面側へ導かれた前記ビーム光Paは,A面側の前記光干渉計a20に入力される。同様に,前記被測定物1B面側へ導かれた前記ビーム光Pbは,B面側の前記光干渉計b20に入力される。
図2に示されるように,A面側の前記光干渉計a20及びB面側の前記光干渉計b20は,前記被測定物1における測定対象面が異なるだけで,全く同じ構成を備えている。以下,A面側の前記光干渉計a20の構成について説明し,それと同じ構成を備えたB面側の前記光干渉計b20の構成については,その説明を省略する。なお,図2において,A面側の前記光干渉計a20の各構成要素に対して符号"a・・・"が付され,B面側の前記光干渉計b20の各構成要素に対して符号"b・・・"が付されている。そして,2つの前記光干渉計a20,b20において,各符号から"a","b"を除いた残りの部分が同じ符号が付されている構成要素は同じものである。
図2に示されるように,前記光干渉計a20は,2分の1波長板a31,偏光ビームスプリッタa21,2つの4分の1波長板a22及びa23,参照板a24,集光レンズa32,3つの無偏光のビームスプリッタa251,a252及びa253,2つの4分の1波長板a261及びa263,2分の1波長板a264,4つの偏光板a271,a272,a273及びa274,4つの光検出器a281,a282,a283及びa284を備えている。
半導体ウェハのような薄板状の前記被測定物1は,例えば50Hz程度の周波数で振動することがある。そして,干渉光の強度の検出結果に,前記被測定物1の振動の影響が反映されないようにするためには,干渉光の強度のサンプリング周波数は,前記被測定物1の表面の変位速度に追随できる程度の周波数である必要である。
前記光検出器a281,a282,a283及びa284は,撮像サイクルが20Hz〜100Hz程度である2次元の撮像カメラと異なり,1MHz以上の高速なサンプリング周波数で光の強度を検出できる。これにより,前記被測定物1の振動の影響を受けずに干渉光の強度検出を行うことができる。
前記偏光ビームスプリッタa21は,前記2分の1波長板a31により偏光面が調整された前記ビーム光Paを,偏波方向が直交する2つのビーム光に分岐させ,分岐した一方のビーム光を基準となる参照面に照射し,分岐した他方のビーム光を前記A面側測定点1aに照射する。なお,前記参照面は,所定位置に保持された前記参照板a24の表面である。
前記参照面に入射したビーム光の反射光である参照光は,入射したビーム光と光軸が一致する状態で前記偏光ビームスプリッタa21へ戻る。
前記偏光ビームスプリッタa21と前記参照面との間のビーム光の光路には,前記4分の1波長板a23が配置されている。この4分の1波長板a23を往復通過して元のビーム光に対して偏光方向が90°回転した前記参照光は,前記偏光ビームスプリッタa21を通過する。
前記偏光ビームスプリッタa21と前記A面側測定点1aとの間のビーム光の光路には,前記4分の1波長板a22が配置されている。この4分の1波長板a22を往復通過して元のビーム光に対して偏光方向が90°回転した前記物体光は,前記偏光ビームスプリッタa21により,前記参照光と光軸が一致する方向へ反射する。これにより,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる非干渉光Paxが得られる。
以上に示したように,前記偏光ビームスプリッタa21及び2つの前記4分の1波長板a22,a23は,前記ビーム光Paを2分岐させて前記参照面と前記A面側測定点1aとの各々に照射し,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる前記非干渉光Paxを得る光学系である。以下,これらを非干渉光取得用光学系と称する。
これにより,前記測定点1aごとの表面角度に若干の違いが存在しても,前記集光レンズa32の作用により,前記物体光の光軸のずれを抑えることができる。その結果,前記A面側測定点1aごとの表面角度の違いによって前記物体光の光軸がずれることによる前記物体光の受光光量の減少及び干渉効率の低下を抑制できる。
また,前記A面側測定点1aに対する前記ビーム光の照射スポットを小さくできる。そのビーム光を前記被測定物1の表面において密に走査させることにより,前記被測定物1の表面に沿う2次元方向における厚み分布の測定の空間分解能をより高めることができる。
即ち,前記ビームスプリッタa251は,前記非干渉光Paxの1段階目の2分岐を行う。また,残りの前記ビームスプリッタa252,a253は,前記非干渉光Paxによる分岐光それぞれに対して2段階目の2分岐を行う。
即ち,3つの波長板a261,a263及びa264は,4つの前記分岐光Pa1〜Pa4のうちの第2の分岐光Pa2を基準にして残りの3つの分岐光Pa1,Pa3,Pa4における前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との位相差に−4分の1波長分,+4分の1波長分及び+2分の1波長分の変化を与える。
このように,3つの波長板a261,a263及びa264は,前記参照光の成分と前記物体光の成分の位相差にそれぞれ異なる変化を与えることにより,前記非干渉光Paxに基づく4つの前記分岐光Pa1〜Pa4それぞれにおける前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との間に異なる位相差を生じさせる位相シフト用光学系である。
ここで,4つの前記偏光板a271〜a274それぞれが通過させる偏光成分の角度は,単に同一に設定されているとうものではなく,前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が+45°又は−45°のいずれかに統一されている。従って,前記偏光板a271〜a274それぞれが通過させる偏光成分の角度は,例えば,ミラーによる反射前及び反射後のいずれの前記分岐光Pa1〜Pa4を通過対象とするかにより90°ずれた角度となる。
また,4つの前記光検出器a281〜a284は,前記干渉光抽出用光学系により抽出された4つの干渉光Qa1〜Qa4それぞれの強度を検出してその検出信号Sig1〜Sig4を前記第1計算機a4へ出力する。
なお,B面側において,前記非干渉光Pax,前記分岐光Pa1〜Pa4及び前記干渉光Qa1〜Qa4それぞれに相当するものが,非干渉光Pbx,分岐光Pb1〜Pb4及び干渉光Qb1〜Qb4である。
Φ=tan-1[(I2−I4)/(I3−I1)] …(B1)
但し,前記干渉光Qa1〜Qa4の検出強度I1,I2,I3,I4は,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φに変動を与えたときの強度変化のオフセット及び振幅が等しくなるように予め調整された値を用いる。
なお,前記第2計算機b4も,前記被測定物1のB面について得られた干渉光Qb1〜Qb4の検出強度I1〜I4に基づいて,前記第1計算機a4と同様の処理を行う。
そして,前記第3計算機5は,複数箇所の前記A面側測定点1a及び前記B面側測定点1bについて算出されたA面側の位相差Φa及びB面側の位相差Φbの差(Φa−Φb)の分布に基づく位相接続処理を行うことにより,前記被測定物1の厚み分布を算出する。
なお,A面側の前記I1,I2,I3,I4を(B1)式に適用して得られる位相差Φが,A面側の位相差Φaであり,B面側の前記I1,I2,I3,I4を(B1)式に適用して得られる位相差Φが,B面側の位相差Φbである。
前記検出強度I1,I2,I3,I4それぞれのオフセットD及び振幅Hが等しいとすると,前記検出強度I1,I2,I3,I4は,次の(B2)式により表される。
ところで,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φに変動を与えたときの4つの前記光検出器a281〜a284による干渉光Qa1〜Qa4の実際の検出強度のオフセット及び振幅は,光学系や前記光検出器a281〜a284の特性の個体差により一致しない場合がある。
即ち,前記光検出器a281〜a284による干渉光Qa1〜Qa4の実際の検出強度をI1’,I2’,I3’,I4’とすると,その検出強度I1’,I2’,I3’,I4’は,次の(B3)式により表される。
そして,(B3)式の変形によって次の(B4)式を導くことができる。
また,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φに変動を与える方法としては,例えば,前記被測定物1又は前記参照板a24に,前記ビーム光の波長の2分の1以上の変位が生じるように振動を与えること等が考えられる。
また,前記被測定物1が高速で振動する場合であっても,複数の前記光検出器a281,a282,a283及びa284は,前記被測定物1の表面の変位速度よりも十分に高速で動作可能である。そのため,前記形状測定装置Xは,端部が支持された薄板状の半導体ウェハのように高速で振動する前記被測定物1の厚み測定にも好適である。また,2つの前記光干渉計a20,b20は,スポット径の小さなビーム光を前記被測定物1の表面において密に走査させることにより,前記被測定物1の表面に沿う2次元方向における厚み分布の測定の空間分解能を高めることができる。
また,その位相差Φa,Φbは,1つの前記非干渉光Pax,Pbxを起源とする4つの干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4の強度の相対評価により算出されるため,前記レーザ光源2の特性変動や複数箇所の前記測定点1a,1bごとの表面角度及び光の反射率の違い等の外乱要因の影響を受けにくい。
そのような状況下で,前記光干渉計a20,b20においては,位相差Φa,Φbの算出に用いられる4つの干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4は,前記非干渉光Pax,Pbxの分岐光Pa1〜Pa4,Pb1〜Pb4それぞれから共通の偏光成分を抽出して得られた光である。そのため,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差Φa,Φbの変化が,複数の干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4において同方向に反映される。そして,それら複数の干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4の強度の相対評価により位相差の算出が行われると,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差Φa,Φbの変化が位相差の算出の段階で相殺され,測定誤差を低減できる。
これにより,各分岐光Pa1〜Pa4,Pb1〜Pb4の光路における外乱の影響が複数の前記干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4それぞれに対して同程度に反映される。そのため,それら複数の干渉光Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4の強度の相対評価による位相差の算出段階において,外乱に起因する前記参照光及び前記物体光の位相差の変化の相殺がより効果的となり,位相差Φa,Φbの算出誤差をより低減できる。
しかしながら,例えば,前記可動支持装置Zとして,X−Yプロッタのように前記被測定物1を支持する前記支持部44を,交差する2直線それぞれに沿って移動させる装置が採用されることも考えられる。この場合,前記測定点1a,1bの位置を,前記被測定物1の表面において,図4に示されるような軌跡R’に沿って順次変化させることも考えられる。
また,3つの前記計算機a4,b4,5の処理は,1つ又は2つの計算機により実現されてもよい。
例えば,前記非干渉光Pax,Pbxが前述した実施形態と同様に4分岐された場合,その4つの分岐光のうちの3つの分岐光に基づき得られる3つの干渉光の検出強度I1,I2,I3を次の(B6)式に適用することにより,前記位相差Φを算出することができる。但し,前述した実施形態と同様に,前記位相シフト用光学系により,第1の分岐光Pa1,Pb1に対し,第2の分岐光Pa2,Pa2を基準として−4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられている。また,前記位相シフト用光学系により,第3の分岐光Pa3,Pb3に対し,第2の分岐光Pa2,Pa2を基準として+4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられている。
Φ=tan-1[(2×I2−I3−I1)/(I3−I1)] …(B6)
但し,前記干渉光Qa1〜Qa3の検出強度I1,I2,I3は,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φに変動を与えたときの強度変化のオフセット及び振幅が等しくなるように予め調整された値を用いる。
このように,3つの前記干渉光Qa1〜Qa3の検出強度I1,I2,I3に基づく形状測定を行っても,前述した実施形態と同様の作用効果が得られる。
Y :干渉光測定部
Z :可動支持装置
1 :被測定物
1a:A面測定点
1b:B面測定点
2 :レーザ光源
3 :偏光ビームスプリッタ
a4:第1計算機
b4:第2計算機
5 :第3計算機
7 :移動制御装置
a11〜a13,b11,b12:ミラー
a20,b20:光干渉計
a21,b21:偏光ビームスプリッタ
a22,a23,b22,b23:4分の1波長板
a24,b24:参照板
a31,b31:2分の1波長板
a32,b32:集光レンズ
a251〜a252,b251〜b252:無偏光のビームスプリッタ
a261,a263,b261,b263:4分の1波長板
a264,b264:2分の1波長板
a271〜a274,b271〜b274:偏光板
a281〜a284,b281〜b284:光検出器
P0 :ビーム光
Pax,Pbx:非干渉光
Pa1〜Pa4,Pb1〜Pb4:非干渉光の分岐光
Qa1〜Qa4,Qb1〜Qb4:干渉光
Claims (5)
- 被測定物の表裏各面それぞれについて設けられ,所定の光源の出射光が2分岐されて前記被測定物の表裏各面の側へ導かれたビーム光を基準となる参照面と前記被測定物における表裏各面の表裏相対する測定部位とに反射させた参照光及び物体光の干渉光の強度を検出する2つのホモダイン干渉計と,該2つのホモダイン干渉計に対する前記被測定物の2次元方向の相対位置を変化させつつ該2つのホモダイン干渉計により複数箇所の前記測定部位について検出された前記干渉光の強度に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段と,を具備してなる形状測定装置であって,
前記2つのホモダイン干渉計それぞれが,
前記ビーム光を2分岐させて前記参照面と前記測定部位との各々に照射し,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる非干渉光を得る非干渉光取得用光学系と,
前記非干渉光取得用光学系により得られた前記非干渉光を3つ以上に分岐させる非干渉光分岐用光学系と,
前記非干渉光分岐用光学系により得られた前記非干渉光の3つ以上の分岐光のうちの1つ以上について複屈折素子を通じて直交する偏光成分の位相差に変化を与えることにより,前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれにおける前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との間に異なる位相差を生じさせる位相シフト用光学系と,
前記位相シフト用光学系を経た前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれから該分岐光における前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が共通の偏光成分を抽出することにより前記参照光と前記物体光との干渉光を抽出する干渉光抽出用光学系と,
前記干渉光抽出用光学系により抽出された複数の干渉光それぞれの強度を検出する干渉光強度検出手段と,を具備し,
前記厚み分布算出手段が,
前記被測定物の表裏各面それぞれについて前記干渉光強度検出手段により検出された複数の前記干渉光のそれぞれの強度に基づいて前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出する位相差算出手段と,
前記被測定物の表裏各面それぞれの複数箇所の前記測定部位について前記位相差算出手段により算出された位相差の分布に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出手段と,
を具備してなることを特徴とする形状測定装置。 - 前記非干渉光分岐用光学系が前記非干渉光を2段階の2分岐によって4つの分岐光に分岐させ,
前記位相シフト用光学系が,前記4つの分岐光のうちの1つの分岐光を基準にして残りの3つの分岐光における前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との位相差に−4分の1波長分,+4分の1波長分及び+2分の1波長分の変化を与え,
前記位相差算出手段が,
前記被測定物の表裏各面それぞれについて,−4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第1の分岐光,基準とされた第2の分岐光,+4分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第3分岐光及び+2分の1波長分の前記位相差の変化が与えられた第4の分岐光それぞれについての前記干渉光の検出強度I1,I2,I3,I4を次式に適用することにより,前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差Φを算出してなる請求項1に記載の形状測定装置。
Φ=tan-1[(I2−I4)/(I3−I1)]
但し,前記干渉光の検出強度I1,I2,I3,I4は,前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差に変動を与えたときの強度変化のオフセット及び振幅が等しくなるように予め調整された値を用いる。 - 前記2つのホモダイン干渉計それぞれにおいて,前記非干渉光から分岐された各分岐光の光路長が等しく設定されてなる請求項1又は2のいずれかに記載の形状測定装置。
- 前記2つのホモダイン干渉計それぞれが,
前記非干渉光取得用光学系と前記測定部位との間における前記ビーム光及びその反射光である前記物体光の光路に配置されて前記測定部位を焦点とする集光レンズを具備してなる請求項3に記載の形状測定装置。 - 所定の光源から出射されるビーム光を2分岐させて被測定物の表裏各面の側へ導き,前記被測定物の表裏各面それぞれについて設けられた2つのホモダイン干渉計それぞれにより,前記被測定物の表裏各面の側へ導かれた前記ビーム光を基準となる参照面と前記被測定物における表裏各面の表裏相対する測定部位とに反射させた参照光及び物体光の干渉光の強度を検出し,前記2つのホモダイン干渉計に対する前記被測定物の2次元方向の相対位置を変化させつつ前記2つのホモダイン干渉計により複数箇所の前記測定部位について検出された前記干渉光の強度に基づいて所定の演算手段により前記被測定物の厚み分布を算出する形状測定方法であって,
前記2つのホモダイン干渉計それぞれが備える所定の光学系により,
前記ビーム光を2分岐させて前記参照面と前記測定部位との各々に照射し,前記参照光と前記物体光とが相互に直交する偏光成分として含まれる非干渉光を得る非干渉光取得工程と,
前記非干渉光取得工程により得られた前記非干渉光を複数に分岐させる非干渉光分岐工程と,
前記非干渉光分岐工程により得られた前記非干渉光の3つ以上の分岐光のうちの1つ以上について複屈折素子を通じて直交する偏光成分の位相差に変化を与えることにより,前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれにおける前記参照光の偏光成分と前記物体光の偏光成分との間に異なる位相差を生じさせる位相シフト工程と,
前記位相シフト工程を経た前記非干渉光の3つ以上の分岐光それぞれから該分岐光における前記参照光及び前記物体光の偏光方向を基準とする角度が共通の偏光成分を抽出することにより前記参照光と前記物体光との干渉光を抽出する干渉光抽出工程と,
前記干渉光抽出工程により抽出された複数の干渉光それぞれの強度を光検出手段により検出する干渉光強度検出工程と,を実行し,
前記演算手段により,
前記被測定物の表裏各面それぞれについて前記干渉光強度検出工程により検出された複数の前記干渉光のそれぞれの強度に基づいて前記非干渉光における前記参照光及び前記物体光の偏光成分の位相差を算出する位相差算出工程と,
前記被測定物の表裏各面それぞれの複数箇所の前記測定部位について前記位相差算出工程により算出された位相差の分布に基づいて前記被測定物の厚み分布を算出する厚み分布算出工程と,を実行してなることを特徴とする形状測定方法。
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