JP5087753B2 - 光弾性測定方法およびその装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 92
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 200
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 199
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 91
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 77
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 57
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 56
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 31
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 15
- 230000006835 compression Effects 0.000 claims description 14
- 238000007906 compression Methods 0.000 claims description 14
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 14
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 13
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 10
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 83
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 68
- ANDGGVOPIJEHOF-UHFFFAOYSA-N CX-516 Chemical compound C=1C=C2N=CC=NC2=CC=1C(=O)N1CCCCC1 ANDGGVOPIJEHOF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 8
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 7
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
Images
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
- G01L1/241—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet by photoelastic stress analysis
-
- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/24—Measuring force or stress, in general by measuring variations of optical properties of material when it is stressed, e.g. by photoelastic stress analysis using infrared, visible light, ultraviolet
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Description
前記演算過程は、さらに予め求めた前記照射手段からの反射光の光強度に対する前記偏光検出過程で検出された偏光および前記反射光検出過程で検出された偏光の両光強度の変化量を求め、この変化量に応じて実測により求まる第2偏光から検出した偏光の光強度を補正することが好ましい。
3 … 第1偏光検部
4 … 反射ミラー
5 … 光学系ユニット
6 … 対物レンズ
7 … 可動台
8 … 載置台
9 … 第2偏光検出部
10 … 第1非偏光ビームスプリッタ
11 … 偏光板
12 … BDP
13 … λ/4波長板
15 … ピンホール
19 … ピンホール
22 … 平行度検出器
23 … 制御ユニット
24 … 演算処理部
25 … 駆動制御部
27 … 駆動機構
28 … アクチュエータ
Claims (17)
- 照射手段からの照射光を光学手段を介して直線偏光にする過程と、
複数の層からなる透過性を有する測定対象物にレンズを介して前記直線偏光を照射しながら、レンズと測定対象物を光軸方向に沿って相対的に前後移動させて層同士が接触する複数の接触界面のうち所定の接触界面に焦点を合せる過程と、
前記測定対象物から反射して戻る反射光を分離手段に透過させて初期の光路を戻る第1偏光と、この第1偏光と直交する第2偏光を別光路に分離して出力する分離過程と、
分離された前記第2偏光のうち焦点面から反射して戻る偏光のみをピンホールに通過させて検出する偏光検出過程とを1サイクル処理とし、
前記1サイクル処理後に、前記測定対象物に照射した偏光と、この測定対象物とを光軸回りに相対的に回転させ、少なくとも所定の3箇所ごとに前記1サイクル処理を行い、各サイクル処理時に検出された前記偏光の光強度の変化量と検出角度の位置情報とに基づいて回転角の2倍を変数とする正弦波の2乗からなるsinの2乗カーブとして求め、このsinの2乗カーブから測定対象物の各層に作用している主応力の差とその方向を求める演算過程と、
を備えたことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1に記載の光弾性測定方法において、
前記分離過程で分離されて初期の光路を戻る第1偏光のうち前記焦点面から反射して戻る偏光のみをピンホールに通過させて検出する反射光検出過程を備え、
前記演算過程は、さらに予め求めた前記照射手段からの反射光の光強度に対する前記偏光検出過程で検出された偏光および前記反射光検出過程で検出された偏光の両光強度の変化量を求め、この変化量に応じて実測により求まる第2偏光から検出した偏光の光強度を補正する
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1または請求項2に記載の光弾性測定方法において、
前記反射光が前記光学手段に入射する前に、複屈折の変化量が予め決められた光学素子に反射光を透過させる
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の光弾性測定方法において、
前記測定対象物に照射した偏光と、この測定対象物との光軸回りの相対的な回転は、前記偏光を光軸回りに回転させる光学素子を前記光学手段とレンズの間に配置して行う
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の光弾性測定方法において、
前記測定対象物の最外側の層に押圧をかけた押圧状態と非押圧状態のときの各主応力の差を求め、両値の偏差に基づいて、測定対象物に作用している主応力の差が圧縮か引っ張りかを特定する
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の光弾性測定方法において、
さらに、前記1サイクル処理を測定対象物の中央寄りの予め決めた位置から端縁方向に間欠的または連続的に行い、この1サイクル処理を前記偏光と測定対象物とを光軸回りに回転させて少なくとも3箇所で行い、
前記演算処理過程は、複数回の1サイクル処理ごとに同一焦点面上の複数箇所の主応力の差とその方向を求め、さらに、この複数箇所の主応力の差とその方向から2つの分布曲線を近似し、この曲線から所定層に作用する主応力の差が圧縮か引っ張りかを特定する
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の光弾性測定方法において、
さらに、前記測定対象物と同じ試料を用いて当該試料に圧縮および引っ張り応力を作用させ、
前記試料からの反射光を光弾性変調器に入力させ、その光強度を予め決めた周波数に変調し、
前記分離過程で分離された変調後の第2偏光をロックインアンプに入力させて直流成分を除去し、交流成分である回転角の2倍を変数とする正弦波として予め基準情報を取得し、
前記測定対象物の実測において、当該測定対象物からの反射光を光弾性変調器に入力させ、その光強度を予め決めた周波数に変調し、
前記分離過程で分離された変調後の第2偏光をロックインアンプに入力させて直流成分を除去し、交流成分である回転角の2倍を変数とする正弦波として実測情報を取得し、
前記実測情報と基準情報を比較し、主応力の差の状態を特定する
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の光弾性測定方法において、
焦点を合せるレンズを固定し、前記測定対象物に照射した偏光と、この測定対象物とを光軸回りに相対的に0から180°回転させ、求まる複屈折量が最小となる角度を予め検出し、当該角度に光軸を合せる過程と、
前記1サイクル処理を行う所定回転角度への移動に同期させて前記レンズを回転させる過程を備えた
ことを特徴とする光弾性測定方法。 - 複数の層からなる透過性を有する測定対象物を保持する保持手段と、
前記測定対象物に向けて光を照射する照射手段と、
前記光を透過させて直交する2方向の偏光成分からなる偏光にする第1光学手段と、
前記偏光を透過させて前記測定対象物の所定層の界面に焦点を合せるレンズと、
前記測定対象物の焦点面から反射して戻る偏光のうち初期の光路を戻る第1偏光と、この第1偏光と直交する第2偏光を別光路に分離して出力する分離手段と、
分離された前記第2偏光のうち前記焦点面から反射して戻る偏光のみを通過させるピンホールの形成された部材と、
前記ピンホールを通過した第2偏光の光強度を検出する第1検出手段と、
前記レンズと保持手段を偏光の光軸方向に沿って相対的に前後移動させる移動手段と、
前記保持手段と前記第1光学手段とを光軸回りに相対的に回転させる回転手段と、
前記回転手段により測定対象物に照射した偏光と、この測定対象物とを光軸回りに相対的に回転させ、少なくとも所定の3箇所ごとに前記第1検出手段で検出された前記偏光の光強度の変化量と検出角度の位置情報とに基づいて回転角の2倍を変数とする正弦波の2乗からなるsinの2乗カーブとして求め、このsinの2乗カーブから測定対象物の各層に作用している主応力の差とその方向を求める演算手段と、
を備えたことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9に記載の光弾性測定装置において、
前記分離手段で分離された第1偏光のうち前記焦点面から反射して戻る偏光のみを通過させるピンホールの形成された部材と、
前記ピンホールを通過した偏光の光強度検出する第2検出手段とを備え、
前記演算手段は、前記第1検出手段により検出された偏光の光強度を用いて前記第2検出手段により検出された偏光の光強度を除算する
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9または請求項10に記載の光弾性測定装置において、
反射光が前記分離手段に入射する前段に、複屈折の変化量が予め決められた第2光学手段を備えた
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9ないし請求項11のいずれかに記載の光弾性測定装置において、
前記回転手段は、前記第1光学手段から測定対象物に向う偏光を透過させ、その光軸回りに回転させる光学素子である
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9ないし請求項12のいずれかに記載の光弾性測定装置において、
押圧部材の先端を測定対象物の最外側の層に接触させて押圧する作用位置と非接触状態で離間した待機位置とにわたって押圧部材を移動させる移動機構をさらに備え、
前記演算手段は、測定対象物の最外側の層に押圧をかけた押圧状態と非押圧状態のときの各主応力の差を求め、両値の偏差に基づいて測定対象物に作用している主応力の差が圧縮か引っ張りかを特定する
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9ないし請求項12のいずれかに記載の光弾性測定装置において、
測定対象物に向う偏光を測定対象物の中央寄り所定位置から端縁方向に間欠的または連続的に走査する走査手段を備え、
前記演算手段は、前記走査手段の偏光の走査により検出される第2偏光を利用し、同一焦点面上の複数箇所の主応力の差とその方向を求め、さらに、この複数箇所の主応力の差とその方向から2つの分布曲線を近似し、この曲線から所定層に作用する主応力の差が圧縮か引っ張りかを特定する
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項9ないし請求項12のいずれかに記載の光弾性測定装置において、
前記測定対象物からの反射光を入力させ、その光強度を予め決めた周波数に変調する光弾性変調器と、
変調されてピンホールを通過した第2偏光を入力させて直流成分を除去し、交流成分である回転角の2倍を変数とする正弦波として実測情報を抽出するロックインアンプとを備え、
前記演算手段は、前記測定対象物と同じ試料を用いて当該試料に圧縮および引っ張り応力を作用させたときの各主応力の差を回転角の2倍を変数とする正弦波として予め基準情報を取得しておき、当該基準情報と実測情報とを比較し、測定対象物に作用している主応力の差の状態を特定する
ことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項10ないし請求項15のいずれかに記載の光弾性測定装置において、
前記分離手段で分離された第1偏光をピンホールに向う偏光と他の方向に向う偏光に分離する第1偏光分離手段と、前記第1偏光分離手段で他の方向に分離された偏光を検出する複数個の受光素子を2次元アレー状に配備して構成した検出手段と、
前記保持手段を傾斜させる駆動手段と、前記検出手段によって検出された偏光の位置に応じて保持手段に保持された測定対象物の傾斜量が前記演算手段により求められ、この傾斜量にしたがって前記駆動手段を作動させて前記保持手段の平行度を維持させる駆動制御手段と、
を備えたことを特徴とする光弾性測定装置。 - 請求項16に記載の光弾性測定装置において、
前記レンズを偏光の光軸回りに回転させるレンズ回転手段と、
前記駆動手段は、前記レンズを固定し、照射手段から測定対象物に光を照射しながら保持手段と第1光学手段とを光軸回りに相対的に0から180°回転させ、求まる複屈折量が最小となる角度を予め検出し、レンズと第1光学手段とを相対的に回転させて検出された当該角度に位置合せし、
回転手段を操作して保持手段と第1光学手段とを光軸回りに相対的に回転させるのに同期させてレンズ回転手段を回転操作してレンズを光軸回りに回転させるよう構成した
を備えたことを特徴とする光弾性測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008548330A JP5087753B2 (ja) | 2006-12-08 | 2007-12-06 | 光弾性測定方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006332298 | 2006-12-08 | ||
JP2006332298 | 2006-12-08 | ||
PCT/JP2007/073592 WO2008069272A1 (ja) | 2006-12-08 | 2007-12-06 | 光弾性測定方法およびその装置 |
JP2008548330A JP5087753B2 (ja) | 2006-12-08 | 2007-12-06 | 光弾性測定方法およびその装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008069272A1 JPWO2008069272A1 (ja) | 2010-03-25 |
JP5087753B2 true JP5087753B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=39492150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008548330A Expired - Fee Related JP5087753B2 (ja) | 2006-12-08 | 2007-12-06 | 光弾性測定方法およびその装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5087753B2 (ja) |
KR (1) | KR101424840B1 (ja) |
TW (1) | TWI447367B (ja) |
WO (1) | WO2008069272A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN108738222B (zh) * | 2018-06-21 | 2020-08-21 | 北京工业大学 | 一种基于反射式衰减片的等离子体不同光强区域原位同步成像方法 |
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CN114777971B (zh) * | 2022-03-11 | 2023-08-01 | 中国人民解放军63919部队 | 航天服头盔面窗内应力无损跟踪检测方法 |
KR20240005356A (ko) | 2022-07-05 | 2024-01-12 | 현대자동차주식회사 | 잔류응력 예측장치 및 그 방법 |
CN115356264A (zh) * | 2022-08-12 | 2022-11-18 | 大连理工大学 | 一种硅片中位裂纹与侧位裂纹分离化检测方法 |
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-
2007
- 2007-12-06 JP JP2008548330A patent/JP5087753B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-12-06 KR KR1020097012556A patent/KR101424840B1/ko active IP Right Grant
- 2007-12-06 WO PCT/JP2007/073592 patent/WO2008069272A1/ja active Application Filing
- 2007-12-07 TW TW096146655A patent/TWI447367B/zh not_active IP Right Cessation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008069272A1 (ja) | 2008-06-12 |
KR20090097164A (ko) | 2009-09-15 |
TW200835901A (en) | 2008-09-01 |
KR101424840B1 (ko) | 2014-08-01 |
JPWO2008069272A1 (ja) | 2010-03-25 |
TWI447367B (zh) | 2014-08-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090416 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20091026 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20091026 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120621 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120724 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120810 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5087753 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R154 | Certificate of patent or utility model (reissue) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R154 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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