JP2010194929A - 積層体とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基材との密着性および耐傷付き性が良好で、撥水性能に優れた層を備えた積層体とその製造方法の提供。
【解決手段】樹脂基材11a上に、硬化層11b、フッ素原子を含む層12が順次積層された積層体10であって、前記フッ素原子を含む層12の厚みが1〜40nmである積層体10。この積層体10は、表面に硬化層が形成された樹脂基材を大気圧または大気圧近傍の圧力下、特定の条件でプラズマ処理することにより製造できる。
【選択図】図1
【解決手段】樹脂基材11a上に、硬化層11b、フッ素原子を含む層12が順次積層された積層体10であって、前記フッ素原子を含む層12の厚みが1〜40nmである積層体10。この積層体10は、表面に硬化層が形成された樹脂基材を大気圧または大気圧近傍の圧力下、特定の条件でプラズマ処理することにより製造できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、撥水および撥油性能を備え、画像形成装置の前面板などに好適に使用される積層体とその製造方法に関する。
従来、液晶テレビ、プラズマテレビ、携帯電話等の画像表示装置を保護する前面板として、透明性や耐擦傷性が良好な(メタ)アクリル系樹脂等の透明樹脂板が使用されている。
しかし、画像形成装置に透明樹脂板等の前面板を取り付けると、取り扱い時の汚れが目立つ等の理由により画像の品位が低下するという問題があった。そのため、透明樹脂板には効率的な防汚処理が求められていた。
しかし、画像形成装置に透明樹脂板等の前面板を取り付けると、取り扱い時の汚れが目立つ等の理由により画像の品位が低下するという問題があった。そのため、透明樹脂板には効率的な防汚処理が求められていた。
透明樹脂板の表面を防汚処理する方法としては、大気圧プラズマによる基材表面の撥水化処理が知られており、該撥水化処理により基材表面に撥水性能を有する層(撥水化層)が形成される。
例えば特許文献1には、希ガスとフッ化炭化水素ガスの混合ガスを用い、被処理基材表面を大気圧でプラズマ処理する方法が開示されている。特許文献1に記載の方法によれば、大気圧プラズマを被処理基材に接触させ、被処理基材の水の接触角を110℃付近まで増加させることで、基材に撥水性を付与する。
例えば特許文献1には、希ガスとフッ化炭化水素ガスの混合ガスを用い、被処理基材表面を大気圧でプラズマ処理する方法が開示されている。特許文献1に記載の方法によれば、大気圧プラズマを被処理基材に接触させ、被処理基材の水の接触角を110℃付近まで増加させることで、基材に撥水性を付与する。
また、特許文献2には、被処理基材の最外層に硬化膜を形成した後、希ガスとフッ化炭化水素ガスの混合ガス中、大気圧近傍の圧力下で放電プラズマを被処理基材に接触させる方法が開示されている。特許文献2に記載の方法によれば、基材上に、表面硬度と撥水性に優れた被膜(撥水化層)を形成できる。
さらに、特許文献3には、高分子シートの少なくとも片面に、50〜1000nmのフッ素化合物の重合膜(撥水化層)をプラズマ重合により形成する方法が開示されている。
さらに、特許文献3には、高分子シートの少なくとも片面に、50〜1000nmのフッ素化合物の重合膜(撥水化層)をプラズマ重合により形成する方法が開示されている。
しかしながら、特許文献1〜3に記載の方法により形成される撥水化層は、取り扱い時に擦傷されることによって容易に傷が付きやすく、外観が損なわれるという欠点があった。また、必ずしも撥水性能や、基材と撥水化層との密着性が十分ではなかった。
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、基材との密着性および耐傷付き性が良好で、撥水性能に優れた層を備えた積層体とその製造方法の提供を課題とする。
本発明の積層体は、樹脂基材上に、硬化層、フッ素原子を含む層が順次積層された積層体であって、前記フッ素原子を含む層の厚みが1〜40nmであることを特徴とする。
また、前記樹脂基材がメタクリル系樹脂であることが好ましい。
また、本発明の積層体の製造方法は、大気圧または大気圧近傍の圧力下、少なくとも一方の電極が誘電体で被覆された一対の対向電極間に、表面に硬化層が形成された樹脂基材を配置し、前記対向電極間に不活性ガスと、不飽和炭化水素の水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されたガスとを含有する処理用ガスを導入すると共に、前記対向電極に1kHz以上10MHz未満の周波数の電力を印加してプラズマを発生させ、該プラズマと硬化層とを接触させて、硬化層上にフッ素原子を含む層を形成させる積層体の製造方法であって、前記フッ素原子を含む層の厚みが、1〜40nmであることを特徴とする。
さらに、前記樹脂基材がメタクリル系樹脂であることが好ましい。
また、前記樹脂基材がメタクリル系樹脂であることが好ましい。
また、本発明の積層体の製造方法は、大気圧または大気圧近傍の圧力下、少なくとも一方の電極が誘電体で被覆された一対の対向電極間に、表面に硬化層が形成された樹脂基材を配置し、前記対向電極間に不活性ガスと、不飽和炭化水素の水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されたガスとを含有する処理用ガスを導入すると共に、前記対向電極に1kHz以上10MHz未満の周波数の電力を印加してプラズマを発生させ、該プラズマと硬化層とを接触させて、硬化層上にフッ素原子を含む層を形成させる積層体の製造方法であって、前記フッ素原子を含む層の厚みが、1〜40nmであることを特徴とする。
さらに、前記樹脂基材がメタクリル系樹脂であることが好ましい。
本発明によれば、基材との密着性および耐傷付き性が良好で、撥水性能に優れた層を備えた積層体とその製造方法を提供できる。
以下、本発明を詳細に説明する。
図1は、本発明の積層体10の一例を示す断面図である。この例の積層体10は、樹脂基材11aの一方の面上に、硬化層11bが形成された樹脂積層体11と、該樹脂積層体11の硬化層11b上に形成されたフッ素原子を含む層(以下、「フッ化物層」という。)12とを有する。
図1は、本発明の積層体10の一例を示す断面図である。この例の積層体10は、樹脂基材11aの一方の面上に、硬化層11bが形成された樹脂積層体11と、該樹脂積層体11の硬化層11b上に形成されたフッ素原子を含む層(以下、「フッ化物層」という。)12とを有する。
フッ化物層12は、フッ素原子の他に、通常、炭素原子を含む。
フッ化物層12の厚みは、1〜40nmである。フッ化物層12の厚みが1nm以上であれば、フッ化物層12の耐久性が良好になる傾向にある。フッ化物層12の厚みが40nm以下であれば、耐傷付き性が良好になり、取り扱い時の傷が付きにくくなる傾向にある。フッ化物層12の厚みは2nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。また、フッ化物層12の厚みは30nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましい。
フッ化物層12の厚みは、1〜40nmである。フッ化物層12の厚みが1nm以上であれば、フッ化物層12の耐久性が良好になる傾向にある。フッ化物層12の厚みが40nm以下であれば、耐傷付き性が良好になり、取り扱い時の傷が付きにくくなる傾向にある。フッ化物層12の厚みは2nm以上が好ましく、10nm以上がより好ましい。また、フッ化物層12の厚みは30nm以下が好ましく、20nm以下がより好ましい。
フッ化物層12は、樹脂基材11aの一方の面上に硬化層11bが形成された樹脂積層体11の、硬化層11b上に形成される。
ここで、樹脂積層体11について、具体的に説明する。
樹脂積層体11は、樹脂基材11aの表面に硬化層11bが形成されてなる。硬化層11bを備えることで、フッ化物層12の耐傷付き性および耐久性や、樹脂積層体11への密着性が良好になる傾向にある。なお、図1に示すように樹脂基材11aが板状の場合、硬化層11bは樹脂基材11aの少なくとも一方の面上に形成されていればよい。
ここで、樹脂積層体11について、具体的に説明する。
樹脂積層体11は、樹脂基材11aの表面に硬化層11bが形成されてなる。硬化層11bを備えることで、フッ化物層12の耐傷付き性および耐久性や、樹脂積層体11への密着性が良好になる傾向にある。なお、図1に示すように樹脂基材11aが板状の場合、硬化層11bは樹脂基材11aの少なくとも一方の面上に形成されていればよい。
樹脂基材11aの材質としては特に限定されず、積層体10の用途などに応じて適宜選択できる。例えば積層体10の用途が画像表示装置の前面板などの場合は、樹脂基材11aの材質として、透明性に優れたメタクリル系樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂等が使用できる。なかでも、優れた透明性や易成形性を有するメタクリル系樹脂が好ましく、具体的には、メタクリル酸メチル単位を主成分とするメタクリル系樹脂が好ましい。より具体的には、メタクリル酸メチル単独重合体またはメタクリル酸メチルおよびこれと共重合可能なビニル系単量体との共重合体からなるメタクリル系樹脂が挙げられる。
メタクリル酸メチルと共重合可能なビニル系単量体としては、例えば(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸ブチル、(メタ)アクリル酸シクロヘキシル、(メタ)アクリル酸フェニル、(メタ)アクリル酸ベンジル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシル、(メタ)アクリル酸2−ヒドロキシエチル等のメタクリル酸メチル以外の(メタ)アクリル酸エステルが挙げられる。
ここで「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及び/又はメタクリル酸を意味する。
ここで「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸及び/又はメタクリル酸を意味する。
樹脂基材11aの形状は特に限定されず、成型品、フィルム、板等が挙げられる。積層体10の用途が画像表示装置の前面板などの場合は、板状であることが好ましい。
樹脂基材11aがメタクリル系樹脂からなる板(メタクリル系樹脂板)である場合、その厚みは0.5〜50mmであることが好ましい。メタクリル系樹脂板の厚みが0.5mm以上であれば、剛性が高く取り扱い性に優れ、またプラズマ処理時の反りが抑制される傾向にある。メタクリル系樹脂板の厚みが50mm以下であれば、電極間で均一な大気圧プラズマが得られる傾向にある。
樹脂基材11aがメタクリル系樹脂からなる板(メタクリル系樹脂板)である場合、その厚みは0.5〜50mmであることが好ましい。メタクリル系樹脂板の厚みが0.5mm以上であれば、剛性が高く取り扱い性に優れ、またプラズマ処理時の反りが抑制される傾向にある。メタクリル系樹脂板の厚みが50mm以下であれば、電極間で均一な大気圧プラズマが得られる傾向にある。
一方、硬化層11bの厚みは10〜30μmであることが好ましい。硬化層11bの厚みが10μm以上であれば、耐擦傷性が良好となる。硬化層11bの厚みが30μm以下であれば、切断時の割れ等が発生しにくく加工性が良好となる。
硬化層11bの組成、硬化方法等は特に限定されるものではなく、例えば光硬化性重合体原料に紫外線等の活性エネルギー線を照射する方法、シリコーン系やメラミン系の架橋性硬化液を加熱する方法等が挙げられる。なかでも、光硬化性重合体原料として、分子中に少なくとも2個の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する重合性化合物(a−1)100質量部に対して、光開始剤(a−2)0.1〜10質量部を加えた混合物を用い、この混合物に紫外線を照射する方法が硬化速度の面より好ましい。
重合性化合物(a−1)は、分子中に少なくとも2個の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する架橋反応性化合物であり、各(メタ)アクリロイルオキシ基を結合する残基が、炭化水素またはその誘導体であり、その分子内にはエーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合、アミド結合、ウレタン結合等を含むことができる。
なお、「(メタ)アクリロイルオキシ」とは、アクリロイルオキシ及び/又はメタクリロイルオキシを意味する。
なお、「(メタ)アクリロイルオキシ」とは、アクリロイルオキシ及び/又はメタクリロイルオキシを意味する。
これらの化合物の主な例としては、例えば1モルの多価アルコールと、2モル以上の(メタ)アクリル酸またはそれらの誘導体とから得られるエステル化物;多価アルコールと多価カルボン酸またはそれの無水物と(メタ)アクリル酸またはそれらの誘導体とから得られる、1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する直鎖状のエステル化物等を挙げることができる。
1モルの多価アルコールと、2モル以上の(メタ)アクリル酸とから得られるエステルとしては、例えばジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート等のポリエチレングリコールのジ(メタ)アクリレート;1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ペンタグリセロールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
多価アルコールと多価カルボン酸またはそれの無水物と(メタ)アクリル酸とから得られる1分子中に2個以上の(メタ)アクリロイルオキシ基を有する直鎖状のエステル化物において、多価アルコールと多価カルボン酸またはそれの無水物と(メタ)アクリル酸の好ましい組み合わせとしては、マロン酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、マロン酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、コハク酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、コハク酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、アジピン酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、アジピン酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、グルタル酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、グルタル酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、セバシン酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、セバシン酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、フマル酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、フマル酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、イタコン酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、イタコン酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸/トリメチロールエタン/(メタ)アクリル酸、無水マレイン酸/トリメチロールプロパン/(メタ)アクリル酸等を挙げることができる。
重合性化合物(a−1)の他の例としては、トリメチロールプロパントルイレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート等の3量化により得られるポリイソシアネートと、活性水素を有するアクリルモノマー、例えば、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−メトキシプロピル(メタ)アクリレート、N−メチロール(メタ)アクリルアミド等とを、1モル当たり3モル以上を反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレート;トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸のジ(メタ)アクリレート、トリ(メタ)アクリレート等のポリ[(メタ)アクリロイルオキシエチレン]イソシアヌレート;公知のエポキシポリアクリレート;公知のウレタンポリアクリレート等が挙げられる。
これら重合性化合物(a−1)としては、以上の化合物を単独で、または2種以上を組み合わせて使用できる。
これら重合性化合物(a−1)としては、以上の化合物を単独で、または2種以上を組み合わせて使用できる。
光開始剤(a−2)は特に限定されないが、具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトイン、ブチロイン、トルオイン、ベンゾフェノン、p−メトキシベンゾフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、α,α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン等のカルボニル化合物;テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド等の硫黄化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。
光開始剤(a−2)の添加量は、重合性化合物(a−1)100質量部に対し、0.1〜10質量部が好ましい。光開始剤(a−2)の添加量が0.1質量部以上であれば、光硬化性重合体原料の硬化性が向上する。光開始剤(a−2)の添加量が10質量部以下であれば、硬化層11bが着色しにくい。
光開始剤(a−2)は単独で、または2種以上を組み合わせて使用できる。
光開始剤(a−2)は単独で、または2種以上を組み合わせて使用できる。
光硬化重合体原料には、目的に応じて従来から使用されている種々の添加剤を加えることができる。添加剤としては、界面活性剤、レベリング剤、染料、顔料、酸化防止剤、紫外線吸収剤、安定剤、難燃剤、可塑剤等が挙げられる。
添加剤の添加量は、得られる硬化層11bの物性が損なわれない範囲内で適宜選択できるが、重合性化合物(a−1)及び光開始剤(a−2)の合計100質量部当たり、10質量部以下であることが好ましい。
添加剤の添加量は、得られる硬化層11bの物性が損なわれない範囲内で適宜選択できるが、重合性化合物(a−1)及び光開始剤(a−2)の合計100質量部当たり、10質量部以下であることが好ましい。
なお、樹脂積層体11は、得られる積層体10の耐擦傷性に影響を及ぼさない範囲内で、硬化層11bの樹脂基材11aとは反対側の面上に帯電防止層や反射防止層等が形成されていてもよい。
このような樹脂積層体11の製造方法には特に制限はないが、例えば樹脂基材11aがメタクリル系樹脂からなる場合、対向する一対の鋳型の少なくとも一方の内面に、光硬化性重合体原料を塗布し、塗布された光硬化性重合体原料を硬化させて硬化層11bを形成し、鋳型のキャビティ内にメタクリル系重合性混合物を注入して注型重合して、形成された硬化層11bの内側に樹脂基材11aを積層し、鋳型を剥離することで樹脂積層体11を得る方法が挙げられる。
また、対向する一対の鋳型のキャビティ内にメタクリル系重合性混合物を注入して注型重合し、鋳型を剥離して樹脂基材11aを得た後、樹脂基材11aの少なくとも一方の表面に光硬化性重合体原料を塗布して硬化させて硬化層11bを形成し、樹脂積層体11を得る方法であってもよい。
また、対向する一対の鋳型のキャビティ内にメタクリル系重合性混合物を注入して注型重合し、鋳型を剥離して樹脂基材11aを得た後、樹脂基材11aの少なくとも一方の表面に光硬化性重合体原料を塗布して硬化させて硬化層11bを形成し、樹脂積層体11を得る方法であってもよい。
具体的にこのような方法で使用される鋳型としては、例えば所定の間隔で対向する一対の強化ガラス板、クロムメッキ板、ステンレス板等の板状体と、対向する板状体間をシールするための軟質塩化ビニル等のガスケットとで構成されたものなども例示できるが、所定の間隔で対向する一対のエンドレスベルトを有して構成され、これらエンドレスベルトの対向面間がキャビティとなっている鋳型を採用すると生産性が良好となり、好適である。
図2は、このような鋳型21を備えた樹脂基材および樹脂積層体の連続製造装置20の一例である。この例の鋳型21において、一対のエンドレスベルト22a、22bは、対向面22c、22dが対峙した状態で同一方向(図中矢印で示す。)へ同一速度で走行する。そして該エンドレスベルト22a、22bの幅方向の両側部には、エンドレスベルト22a、22bと同一速度で走行するガスケット23が配されている。よって、2枚のエンドレスベルト22a、22bの対向面22c、22dが所定の間隔に維持されているとともに、ここに注入されるメタクリル系重合性混合物の外部への漏れが防止されるようになっている。
なお、図中、符号24a、24b、24c、24dは、エンドレスベルト22a、22bに張力を与える主ローラー、符号25、…、25はベルトを支持する支持ローラーである。
なお、図中、符号24a、24b、24c、24dは、エンドレスベルト22a、22bに張力を与える主ローラー、符号25、…、25はベルトを支持する支持ローラーである。
図2の樹脂基材および樹脂積層体の連続製造装置20により、連続キャスト法での製造において、一方の表面に硬化層が形成されたメタクリル系樹脂板を連続的に製造する場合、まず、エンドレスベルト22a、22bのいずれか一方に、フィルムカバー法、流延法、ローラーコート法、バーコート法、噴霧コート法、エアーナイフコート法等の塗布方法で光硬化性重合体原料を塗布して塗布膜を設ける(図示せず)。これらのなかで好ましい塗布方法としては、フィルムカバー法、エアーナイフコート法が挙げられる。ついで、この塗布膜を紫外線照射などにより硬化させて硬化層を形成する。その後、キャビティ内、すなわちエンドレスベルト22a、22bの対向面22c、22d間に、メタクリル系重合性混合物を供給部Sより注入し、エンドレスベルト22a、22bの走行に従い、注入されたメタクリル系重合性混合物を第一の加熱ゾーン26において熱水スプレー27により加熱重合する。ついで、第二の加熱ゾーン28において、例えば空気炉や遠赤外線ヒータ等で熱処理して重合を完結する。ついで、冷却ゾーン29において所定温度まで冷却し、先に形成された硬化層の内側にメタクリル系樹脂板を形成する。その結果、硬化層の内側にメタクリル系樹脂板が形成されるので、これを樹脂積層体11として、対向面22c、22d間から剥離して取り出せばよい。
このようにメタクリル系樹脂板を形成するよりも前に、硬化層を硬化形成しておくと、硬化層とメタクリル系樹脂板との密着性が良好となり好ましい。
このようにメタクリル系樹脂板を形成するよりも前に、硬化層を硬化形成しておくと、硬化層とメタクリル系樹脂板との密着性が良好となり好ましい。
エンドレスベルト22a、22bの材質には特に制限はないが、例えばステンレス鋼、アルミ板等が挙げられる。
ガスケット23の材質としては、例えば、軟質塩化ビニル、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリウレタンなどが好適である。
ガスケット23の材質としては、例えば、軟質塩化ビニル、ポリエチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリウレタンなどが好適である。
連続キャスト法で製造され、一方の表面に硬化層が形成されたメタクリル系樹脂板としては、商品名アクリライトMR(三菱レイヨン社製)が挙げられる。
なお、メタクリル系樹脂板の両方の表面に硬化層を形成する場合には、塗布工程において、一対のエンドレスベルト22a、22bの両方の対向面22c、22dに、光硬化性重合体原料を塗布し、これらを硬化層形成工程において硬化させればよい。
このように連続キャスト法などで樹脂積層体11を製造し、ついで、図3に示すような大気圧プラズマ処理装置30でこれをプラズマ処理することにより、図1に示す積層体10を製造できる。
図3に示す大気圧プラズマ処理装置30は、処理用のチャンバー31内に上部電極32aと下部電極32bからなる一対の対向電極32と、処理用ガスをチャンバー31内に導入するガス導入口33と、使用後の処理用ガスをチャンバー31内から排出するガス排出口34と、電源部35を備える。
対向電極32は、少なくとも一方の電極の対向面が誘電体で被覆されたものである。プラズマが発生する部位は、対向電極32のいずれか一方のみに誘電体が被覆された場合には誘電体と電極の間であり、いずれにも誘電体が被覆された場合には誘電体間である。
対向電極32は、少なくとも一方の電極の対向面が誘電体で被覆されたものである。プラズマが発生する部位は、対向電極32のいずれか一方のみに誘電体が被覆された場合には誘電体と電極の間であり、いずれにも誘電体が被覆された場合には誘電体間である。
対向電極32の構造は、電界集中によるアーク放電の発生を避けるために、対向電極32間の距離が略一定とされた構造が好ましく、この条件を満たす電極構造としては、平行平板型、円筒対向平板型、球対向平板型、双曲面対向平板型、同軸円筒型構造等が挙げられる。なかでも、後述する樹脂積層体が例えばメタクリル系樹脂板等の板状である場合には、図3に示すような平行平板型の対向電極32が好ましい。
対向電極32を構成する材料としては、例えば銀、白金、アルミニウム、銅、鉄等の純金属や、ステンレス、真鍮等の多成分系の金属などを用いることができる。
また、対向電極32を被覆する誘電体としては、例えばケイ酸塩系ガラス、ホウ酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラス、ゲルマン酸塩系ガラス等の無機ガラスおよびこれらの混合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタラート、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のプラスチックおよびこれらの混合物、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、チタン酸バリウム等の金属酸化物およびこれらの混合物などの固体誘電体を用いることができる。
前記誘電体で対向電極32を被覆する方法としては特に制限されないが、例えば溶射法が挙げられる。被覆の厚さは0.01〜10mmであることが好ましく、0.5〜5mmであることがより好ましい。
また、対向電極32を被覆する誘電体としては、例えばケイ酸塩系ガラス、ホウ酸塩系ガラス、リン酸塩系ガラス、ゲルマン酸塩系ガラス等の無機ガラスおよびこれらの混合物、ポリテトラフルオロエチレン、ポリエチレンテレフタラート、ポリメチルメタクリレート、ポリカーボネート、ポリプロピレン等のプラスチックおよびこれらの混合物、酸化アルミニウム、酸化ジルコニウム、酸化チタン、チタン酸バリウム等の金属酸化物およびこれらの混合物などの固体誘電体を用いることができる。
前記誘電体で対向電極32を被覆する方法としては特に制限されないが、例えば溶射法が挙げられる。被覆の厚さは0.01〜10mmであることが好ましく、0.5〜5mmであることがより好ましい。
対向電極32の対向面間の距離(最短距離)は、処理される樹脂積層体11の厚さ、被覆された誘電体の厚さ、印加される電圧の大きさ、均一な層の形成しやすさ等を考慮して決定されるが、対向電極32の一方のみに誘電体が被覆された場合、両方に誘電体が被覆された場合のいずれにおいても、50mm以下であることが好ましい。最短距離が50mm以下であれば、均一な放電プラズマを発生させることができる。
図3に示す大気圧プラズマ処理装置30を用いた積層体の製造方法では、大気圧または大気圧近傍の圧力下、対向電極32に樹脂積層体11を配置し、処理用ガスをガス導入口33から供給して対向電極32の対向面間に導入し、電源部35から対向電極32間に1kHz以上10MHz未満の周波数の電力を印加してプラズマを発生させることにより、該プラズマと樹脂積層体11とが接触し、樹脂積層体11の硬化層11b上にフッ化物層12を形成することができる。
なお、本発明において、「大気圧または大気圧近傍の圧力」とは、0.1〜110kPaの圧力を意味する。なかでも、圧力調整が容易である点や装置構成の簡便さから、90〜110kPaの圧力範囲が好ましい。
なお、本発明において、「大気圧または大気圧近傍の圧力」とは、0.1〜110kPaの圧力を意味する。なかでも、圧力調整が容易である点や装置構成の簡便さから、90〜110kPaの圧力範囲が好ましい。
処理用ガスは、不活性ガスと、不飽和炭化水素の水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されたガス(以下、「フッ化炭化水素ガス」という。)とを含有する。
不活性ガスとしては、ヘリウム、アルゴン、窒素またはこれらの混合ガスが挙げられる。なかでも放電を均一かつ安定に維持できることから、ヘリウムまたはアルゴンの少なくとも一方からなる不活性ガスが好ましい。
不活性ガスとしては、ヘリウム、アルゴン、窒素またはこれらの混合ガスが挙げられる。なかでも放電を均一かつ安定に維持できることから、ヘリウムまたはアルゴンの少なくとも一方からなる不活性ガスが好ましい。
フッ化炭化水素ガスは、不飽和炭化水素の水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されていればよいが、良好な撥水性および撥油性を発現できることから、水素原子の全てがフッ素原子に置換されていることが好ましい。
不飽和炭化水素の水素原子の全てがフッ素原子に置換されたフッ化炭化水素としては、4フッ化エチレン、6フッ化プロピレン、8フッ化ブチレン等が挙げられる。なかでも、取り扱い性や入手のし易さから、6フッ化プロピレンが好ましい。
不飽和炭化水素の水素原子の全てがフッ素原子に置換されたフッ化炭化水素としては、4フッ化エチレン、6フッ化プロピレン、8フッ化ブチレン等が挙げられる。なかでも、取り扱い性や入手のし易さから、6フッ化プロピレンが好ましい。
処理用ガス中、フッ化炭化水素ガスの濃度は0.1〜10体積%が好ましい。フッ化炭化水素ガスの濃度が0.1体積%以上であれば、処理の効率が向上する傾向にある。フッ化炭化水素ガスの濃度が10体積%以下であれば、プラズマの安定性が増大する傾向にある。
対向電極32間に印加する電力は、周波数が1kHz以上10MHz未満の高周波電力である。周波数が上記範囲内であれば、樹脂積層体11をプラズマ処理する際の変形や劣化を抑制できる。好ましい周波数は1kHz以上500kHz以下である。
また、対向電極32間に電力を印加する際には、電力面密度が2.0〜30.0W/cm2となる範囲に制御するのが好ましい。電力面密度が2.0W/cm2以上であれば、フッ化物層を効率的に形成しやすくなる。電力面密度が30.0W/cm2以下であれば、プラズマ照射熱による樹脂積層体11の変形を抑制できる。
なお、「電力面密度」とは、一対の対向電極間に投入する電力をプラズマと接している電極の表面積で割った値である。
また、対向電極32間に電力を印加する際には、電力面密度が2.0〜30.0W/cm2となる範囲に制御するのが好ましい。電力面密度が2.0W/cm2以上であれば、フッ化物層を効率的に形成しやすくなる。電力面密度が30.0W/cm2以下であれば、プラズマ照射熱による樹脂積層体11の変形を抑制できる。
なお、「電力面密度」とは、一対の対向電極間に投入する電力をプラズマと接している電極の表面積で割った値である。
樹脂積層体11をプラズマに曝す時間、すなわちプラズマによる照射時間は、電力面密度によって異なるが、通常、60秒間以下が好ましく、更に好ましくは30秒間以下である。処理時間がこのような範囲であると、プラズマ照射熱による樹脂積層体11の変形が抑制される傾向にある。
なお、図3では、プラズマ処理を大気圧にて行う場合を示しているため、チャンバー31内の圧力を調整する圧力調整手段は図示されていないが、0.1〜110kPaの範囲内であって、大気圧以外の圧力下にてプラズマ処理を行う場合には、真空ポンプや減圧弁等の圧力調整手段を設けて、適宜所望の圧力に調整すればよい。
このように樹脂積層体11をプラズマ処理することで、図1に示すような樹脂積層体11の硬化層11b上にフッ化物層12が形成した積層体10が得られる。
フッ化物層12の厚みは、処理用ガス中のフッ化炭化水素ガスの濃度、プラズマの照射時間、電力の出力や周波数等により調整できる。例えば、処理用ガス中のフッ化炭化水素ガスの濃度を増やしたり、プラズマの照射時間を長くしたり、電力の出力や周波数を高くすると、フッ化物層12の厚みは厚くなる傾向にある。
フッ化物層12の厚みは、処理用ガス中のフッ化炭化水素ガスの濃度、プラズマの照射時間、電力の出力や周波数等により調整できる。例えば、処理用ガス中のフッ化炭化水素ガスの濃度を増やしたり、プラズマの照射時間を長くしたり、電力の出力や周波数を高くすると、フッ化物層12の厚みは厚くなる傾向にある。
以上説明したように、例えば図2に示す樹脂基材および樹脂積層体の連続製造装置20を使用し、連続キャスト法などで樹脂積層体11を製造し、ついで、この樹脂積層体11を例えば図3に示す大気圧プラズマ処理装置30により樹脂積層体上にフッ化物層を形成することにより、大気圧または大気圧近傍下で連続的に、図1に示すような、樹脂積層体11との密着性および耐傷付き性が良好で、撥水性に優れた層(フッ化物層)12を備えた積層体10を効率良く製造できる。また、フッ化物層12は撥油性にも優れる。
本発明で得られた積層体10は、撥水性に優れるため汚れが付着しにくく、また擦傷時の耐傷付き性に優れる。さらに、プラズマ処理により形成されたフッ化物層12は、撥油性にも優れるため、油汚れに対しても効果的に付着を抑制できる。このような積層体10は、例えば画像表示装置などの前面板として好適に使用される。
本発明で得られた積層体10は、撥水性に優れるため汚れが付着しにくく、また擦傷時の耐傷付き性に優れる。さらに、プラズマ処理により形成されたフッ化物層12は、撥油性にも優れるため、油汚れに対しても効果的に付着を抑制できる。このような積層体10は、例えば画像表示装置などの前面板として好適に使用される。
以下、本発明について実施例を挙げて具体的に説明する。ただし、本発明はこれらに限定されるものではない。
本実施例においては、以下に示すプラズマ処理装置を使用した。また、得られた積層体の擦傷試験の評価は以下の方法で行った。
本実施例においては、以下に示すプラズマ処理装置を使用した。また、得られた積層体の擦傷試験の評価は以下の方法で行った。
<プラズマ処理装置>
図3に示した大気圧プラズマ処理装置30を大気圧下にて使用した。
なお、上部電極32aと下部電極32bとの間隔は2mmとした。また、上部電極32aは、大きさが20×20×200mmであり、その一面(下部電極32bの対向面側、20×200mm)のSUS製電極表面に、厚さ1mmの酸化アルミニウム(固体誘電体)を溶射したものを用いた。下部電極32bは、大きさが200×200×20mmであり、その一面(上部電極32aの対向面側、200×200mm)のSUS製電極表面に、厚さ1mmの酸化アルミニウム(固体誘電体)を溶射したものを用いた。また、下部電極32bは、予め設定された速度で矢印の方向に移動できるようになっている。さらに、電源部35は、10MHz未満の周波数および50W/cm2以下の電力面密度で印加できるように構成されている。
図3に示した大気圧プラズマ処理装置30を大気圧下にて使用した。
なお、上部電極32aと下部電極32bとの間隔は2mmとした。また、上部電極32aは、大きさが20×20×200mmであり、その一面(下部電極32bの対向面側、20×200mm)のSUS製電極表面に、厚さ1mmの酸化アルミニウム(固体誘電体)を溶射したものを用いた。下部電極32bは、大きさが200×200×20mmであり、その一面(上部電極32aの対向面側、200×200mm)のSUS製電極表面に、厚さ1mmの酸化アルミニウム(固体誘電体)を溶射したものを用いた。また、下部電極32bは、予め設定された速度で矢印の方向に移動できるようになっている。さらに、電源部35は、10MHz未満の周波数および50W/cm2以下の電力面密度で印加できるように構成されている。
<擦傷試験の評価>
耐擦傷性については、擦傷試験の前後における積層体のヘーズの変化(擦傷ヘーズ)をもって評価した。すなわち、紙ウエス(日本製紙クレシア社製、商品名キムタオル)を装着した直径25.4mmの円形パッドを積層体のフッ化物層の表面上に置き、500gの荷重下で、20mmの距離を1000回往復擦傷し、擦傷試験を行った。
擦傷試験前後のフッ化物層の厚み、水接触角、およびヘーズをそれぞれ以下の方法により測定した。
耐擦傷性については、擦傷試験の前後における積層体のヘーズの変化(擦傷ヘーズ)をもって評価した。すなわち、紙ウエス(日本製紙クレシア社製、商品名キムタオル)を装着した直径25.4mmの円形パッドを積層体のフッ化物層の表面上に置き、500gの荷重下で、20mmの距離を1000回往復擦傷し、擦傷試験を行った。
擦傷試験前後のフッ化物層の厚み、水接触角、およびヘーズをそれぞれ以下の方法により測定した。
(フッ化物層の厚みの測定)
フッ化物層の厚みは、光干渉式膜厚計(フィルメトリクス社製、「F−20」)を用いて測定した。
フッ化物層の厚みは、光干渉式膜厚計(フィルメトリクス社製、「F−20」)を用いて測定した。
(水接触角の測定)
積層体の水接触角(水の静的接触角)は、携帯型接触角計(マツボー社製、「PG−X」)を用いて測定した。
積層体の水接触角(水の静的接触角)は、携帯型接触角計(マツボー社製、「PG−X」)を用いて測定した。
(ヘーズの測定)
積層体のヘーズは、全光線透過率測定装置(日本電色工業(株)製、「NDH−2000」)を用い、JIS K7136に準拠して測定した。
擦傷試験前後の積層体のヘーズを測定し、下記式(1)よりヘーズの変化(ΔH)を算出し、擦傷試験による傷の付き易さを評価した。なお、ΔHの値が小さいほど傷が付き難いことを示す。
ΔH=(擦傷試験後のヘーズ)−(擦傷試験前のヘーズ) ・・・(1)
積層体のヘーズは、全光線透過率測定装置(日本電色工業(株)製、「NDH−2000」)を用い、JIS K7136に準拠して測定した。
擦傷試験前後の積層体のヘーズを測定し、下記式(1)よりヘーズの変化(ΔH)を算出し、擦傷試験による傷の付き易さを評価した。なお、ΔHの値が小さいほど傷が付き難いことを示す。
ΔH=(擦傷試験後のヘーズ)−(擦傷試験前のヘーズ) ・・・(1)
[実施例1]
樹脂積層体として、連続キャスト法で生産され、硬化層を有するメタクリル系樹脂板(三菱レイヨン社製、「アクリライトMR(両面硬化層付き)」、厚さ1mm)を使用し、この樹脂積層体を下部電極32b上に配置した。処理用ガスとしては、Heガスと6フッ化プロピレンを使用した。これらの流量などを表1に示す。
この処理用ガスを、ガス導入口33を経由して上部電極32aと下部電極32b間に導入し、大気圧とした。そして、電源部35より周波数100kHz、電力面密度25W/cm2の高周波数の電力を印加し、大気圧プラズマを発生させ、樹脂積層体にプラズマを5秒間照射して、樹脂積層体の硬化層の表面にフッ化物層が形成された積層体を得た。なお、プラズマの照射時間は、任意の速度で移動している下部電極32bに同伴される樹脂積層体上の任意の1点が、プラズマ照射された時間の合計とした。処理後の処理用ガスは、ガス排出口34より排出した。
得られた積層体を評価した。結果を表1に示す。
樹脂積層体として、連続キャスト法で生産され、硬化層を有するメタクリル系樹脂板(三菱レイヨン社製、「アクリライトMR(両面硬化層付き)」、厚さ1mm)を使用し、この樹脂積層体を下部電極32b上に配置した。処理用ガスとしては、Heガスと6フッ化プロピレンを使用した。これらの流量などを表1に示す。
この処理用ガスを、ガス導入口33を経由して上部電極32aと下部電極32b間に導入し、大気圧とした。そして、電源部35より周波数100kHz、電力面密度25W/cm2の高周波数の電力を印加し、大気圧プラズマを発生させ、樹脂積層体にプラズマを5秒間照射して、樹脂積層体の硬化層の表面にフッ化物層が形成された積層体を得た。なお、プラズマの照射時間は、任意の速度で移動している下部電極32bに同伴される樹脂積層体上の任意の1点が、プラズマ照射された時間の合計とした。処理後の処理用ガスは、ガス排出口34より排出した。
得られた積層体を評価した。結果を表1に示す。
[実施例2〜4、比較例1〜3]
各種条件を表1のように変更した以外は、実施例1と同様の樹脂積層体を使用して、積層体を製造し、評価した。結果を表1に示す。
各種条件を表1のように変更した以外は、実施例1と同様の樹脂積層体を使用して、積層体を製造し、評価した。結果を表1に示す。
[比較例4、5]
樹脂積層体の代わりに、連続キャスト法で生産され、硬化層が形成されていない樹脂基材であるメタクリル系樹脂板(三菱レイヨン社製、「アクリライトL」、厚さ1mm)を使用した以外は、実施例1と同様に表1に示す条件でプラズマ処理し、積層体を製造し、評価した。結果を表1に示す。
樹脂積層体の代わりに、連続キャスト法で生産され、硬化層が形成されていない樹脂基材であるメタクリル系樹脂板(三菱レイヨン社製、「アクリライトL」、厚さ1mm)を使用した以外は、実施例1と同様に表1に示す条件でプラズマ処理し、積層体を製造し、評価した。結果を表1に示す。
得られた積層体のフッ化物層の厚みが15〜20nmの範囲内である実施例1〜4では、積層体の水接触角が104〜106°となり、高い撥水性を示した。なお、プラズマ処理前の樹脂積層体の水接触角は72°であった。
また、擦傷試験後のフッ化物層の厚みは10〜20nmの範囲内であり、擦傷試験前の厚みと殆ど変化しなかった。また、水接触角は102〜105°、ΔH=0.01であり、良好な耐久性を示した。
また、擦傷試験後のフッ化物層の厚みは10〜20nmの範囲内であり、擦傷試験前の厚みと殆ど変化しなかった。また、水接触角は102〜105°、ΔH=0.01であり、良好な耐久性を示した。
一方、比較例1では、処理用ガスとして飽和炭化水素の水素原子の全部をフッ素原子に置き換えたフッ化炭化水素ガスを使用したため、プラズマ処理によるフッ化物層の形成が確認できず(測定限界0.1nm以下)、擦傷試験後の撥水性が失われた。
比較例2、3では、擦傷試験後も撥水性を示したが、フッ化物層の厚みが40nmより厚かったため、ΔHの値が各実施例に比べて著しく大きく、擦傷試験後の積層体の外観が悪化した。
比較例4、5では、硬化層が形成されていないメタクリル系樹脂板を使用したため、擦傷試験後の撥水性が失われた。また、ΔHの値が各実施例に比べて著しく大きく、擦傷試験後の積層体の外観が悪化した。特に比較例5は、処理用ガスとして飽和炭化水素の水素原子の全部をフッ素原子に置き換えたフッ化炭化水素ガスを使用したため、プラズマ処理によるフッ化物層の形成が確認できず、擦傷試験後の撥水性が失われた。
比較例2、3では、擦傷試験後も撥水性を示したが、フッ化物層の厚みが40nmより厚かったため、ΔHの値が各実施例に比べて著しく大きく、擦傷試験後の積層体の外観が悪化した。
比較例4、5では、硬化層が形成されていないメタクリル系樹脂板を使用したため、擦傷試験後の撥水性が失われた。また、ΔHの値が各実施例に比べて著しく大きく、擦傷試験後の積層体の外観が悪化した。特に比較例5は、処理用ガスとして飽和炭化水素の水素原子の全部をフッ素原子に置き換えたフッ化炭化水素ガスを使用したため、プラズマ処理によるフッ化物層の形成が確認できず、擦傷試験後の撥水性が失われた。
10:積層体、11:樹脂積層体、11a:樹脂基材、11b:硬化層、12:フッ素原子を含む層(フッ化物層)、30:大気圧プラズマ処理装置、32:対向電極。
Claims (4)
- 樹脂基材上に、硬化層、フッ素原子を含む層が順次積層された積層体であって、
前記フッ素原子を含む層の厚みが1〜40nmである積層体。 - 前記樹脂基材がメタクリル系樹脂である請求項1に記載の積層体。
- 大気圧または大気圧近傍の圧力下、少なくとも一方の電極が誘電体で被覆された一対の対向電極間に、表面に硬化層が形成された樹脂基材を配置し、前記対向電極間に不活性ガスと、不飽和炭化水素の水素原子の少なくとも一つがフッ素原子に置換されたガスとを含有する処理用ガスを導入すると共に、前記対向電極に1kHz以上10MHz未満の周波数の電力を印加してプラズマを発生させ、該プラズマと硬化層とを接触させて、硬化層上にフッ素原子を含む層を形成させる積層体の製造方法であって、
前記フッ素原子を含む層の厚みが、1〜40nmである積層体の製造方法。 - 前記樹脂基材がメタクリル系樹脂である請求項3に記載の積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009043892A JP2010194929A (ja) | 2009-02-26 | 2009-02-26 | 積層体とその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107457165A (zh) * | 2016-06-03 | 2017-12-12 | 柯尼卡美能达株式会社 | 紫外线固化膜的形成方法和紫外线照射装置 |
-
2009
- 2009-02-26 JP JP2009043892A patent/JP2010194929A/ja not_active Withdrawn
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JP2017217573A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | コニカミノルタ株式会社 | 紫外線硬化膜の形成方法および紫外線照射装置 |
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