JP2010177541A - Siウェーハの加工ダメージ除去方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】10〜60μm/分の範囲のエッチングレートで、エッチング量に対し±5%レベルのユニフォーミティ、荒らさない程度の表面状態となる混酸によるウェットエッチングを実現することでSiウェーハの加工ダメージ除去方法を提供すること。
【解決手段】本発明のSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、Siウェーハをスピンさせ、スピン中の前記Siウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去し、薬液が、4.45wt%から24.5wt%の弗化水素と、31.5wt%から54.09wt%の硝酸と、5wt%から13.64wt%の酢酸とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図18
【解決手段】本発明のSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、Siウェーハをスピンさせ、スピン中の前記Siウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去し、薬液が、4.45wt%から24.5wt%の弗化水素と、31.5wt%から54.09wt%の硝酸と、5wt%から13.64wt%の酢酸とを含むことを特徴とする。
【選択図】 図18
Description
本発明は、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去するSiウェーハの加工ダメージ除去方法に関する。
従来のSiウェーハ加工は、ウェーハのプロセス面とは逆の裏面を、砥石で機械的に加工するバックグラインド(B.G.)が用いられて来た。しかし、この加工では、ウェーハ裏面の表層および内部に、加工痕、加工起因のマイクロクラックおよび欠陥等(加工ダメージ)が存在する。
図19は、バックグラインド処理後の厚みが150μmのSiウェーハの要部断面写真及びダメージ状態を示す図である。
図19に示すように、処理面であるポリシリコン層の下部には、クラックエリアが存在する。確認の結果、この加工ダメージは、浅い場合でもウェーハ表面から30μm程度の内部、通常は60μm以上の内部に達していることが分かった。
この加工ダメージの存在は、ウェーハの機械的な強度を低下させるという問題を起こす。
この検証方法として、加工後のウェーハをチップ片にし、この強度を測定するという、抗折強度という評価が行われている。この評価によって、B.G.加工後の抗折強度は、強度の低下(すなわち、半導体製品チップにした際の割れ易さ)が著しい、強度のバラつき(ウェーハ上での強度のバラつき)が大きい、ということが明らかになっている。
そのため、この対策が必要となっている。
特に、この強度の低下は、ウェーハ厚みが、150〜200μmを下回る程度から、顕著になってくるといわれている。また、最近のSiウェーハの薄化の状況は、50μmを下回る薄さになってきており、このレベルでのウェーハでは、10μm程度のエッチング処理が要求されるようになっている。このような薄化状況では、B.G.による加工ダメージは、抗折強度の低下のみならず、表面のプロセス面へも達しており、製品チップの特性へ悪影響を与える。また、3次元構造のデバイス(3次元実装ではない)(CMOS等のセンサーデバイス、マイクロフォン、スピーカー等)では、機械加工による薄化時に、デバイスそのものが破断することも指摘されている。
このように、B.G.での問題が明らかとなり、その対策が必要となっている。
そこで、これらの対策として、B.G.後に、ウェーハ表面を研磨することによりミラー状態にするという技術が採用されている。ドライ方式、ウェット方式など、若干の違いはあるものの、原理としては、硬い微小粒子によりウェーハ表面を研磨する方法である。
この方法によれば、抗折強度が向上されていると言われている。
しかし、この方法では、表面層の数μm(2〜3μm)しか除去しないため、内在する加工ダメージは除去できない。また、表面層は、加工時の局部的温度上昇や、機械的なストレスにより、アモルファス化していると考えられる。
そのために次のような大きな問題点がある。
抗折強度のバラつき
B.G.後の抗折強度の平均値と、Polish(鏡面化)の後の抗折強度の平均値を比較すると、Polish後は、抗折強度が上昇している。しかしながら、内部に残存する加工ダメージは除去されていないので、抗折強度のバラつきが大きい。このため、チップの歩留まり(必要とされる抗折強度に達しないチップが大量に存在するおそれがある)を低下させる。
裏面表面層のSiの不完全性
CMOSデバイスのようなウェーハ表面側のみを使用するだけではなく、半導体製品のうち、パワーチップ(IGBT)やCMOSの場合には、裏面側も使用する。この場合の製品の特性に悪影響を与えることが予想される。
内在する加工ダメージによる、表面(プロセス面)への悪影響
上記のような裏面を使用する製品のみならず、CMOS、フラッシュメモリー等も、薄化が進んでおり、100μmを下回る厚さになると、加工ダメージにより、表面(プロセス面)へもダメージが到達し、製品特性や歩留まりを低下させるおそれがある。
図19は、バックグラインド処理後の厚みが150μmのSiウェーハの要部断面写真及びダメージ状態を示す図である。
図19に示すように、処理面であるポリシリコン層の下部には、クラックエリアが存在する。確認の結果、この加工ダメージは、浅い場合でもウェーハ表面から30μm程度の内部、通常は60μm以上の内部に達していることが分かった。
この加工ダメージの存在は、ウェーハの機械的な強度を低下させるという問題を起こす。
この検証方法として、加工後のウェーハをチップ片にし、この強度を測定するという、抗折強度という評価が行われている。この評価によって、B.G.加工後の抗折強度は、強度の低下(すなわち、半導体製品チップにした際の割れ易さ)が著しい、強度のバラつき(ウェーハ上での強度のバラつき)が大きい、ということが明らかになっている。
そのため、この対策が必要となっている。
特に、この強度の低下は、ウェーハ厚みが、150〜200μmを下回る程度から、顕著になってくるといわれている。また、最近のSiウェーハの薄化の状況は、50μmを下回る薄さになってきており、このレベルでのウェーハでは、10μm程度のエッチング処理が要求されるようになっている。このような薄化状況では、B.G.による加工ダメージは、抗折強度の低下のみならず、表面のプロセス面へも達しており、製品チップの特性へ悪影響を与える。また、3次元構造のデバイス(3次元実装ではない)(CMOS等のセンサーデバイス、マイクロフォン、スピーカー等)では、機械加工による薄化時に、デバイスそのものが破断することも指摘されている。
このように、B.G.での問題が明らかとなり、その対策が必要となっている。
そこで、これらの対策として、B.G.後に、ウェーハ表面を研磨することによりミラー状態にするという技術が採用されている。ドライ方式、ウェット方式など、若干の違いはあるものの、原理としては、硬い微小粒子によりウェーハ表面を研磨する方法である。
この方法によれば、抗折強度が向上されていると言われている。
しかし、この方法では、表面層の数μm(2〜3μm)しか除去しないため、内在する加工ダメージは除去できない。また、表面層は、加工時の局部的温度上昇や、機械的なストレスにより、アモルファス化していると考えられる。
そのために次のような大きな問題点がある。
抗折強度のバラつき
B.G.後の抗折強度の平均値と、Polish(鏡面化)の後の抗折強度の平均値を比較すると、Polish後は、抗折強度が上昇している。しかしながら、内部に残存する加工ダメージは除去されていないので、抗折強度のバラつきが大きい。このため、チップの歩留まり(必要とされる抗折強度に達しないチップが大量に存在するおそれがある)を低下させる。
裏面表面層のSiの不完全性
CMOSデバイスのようなウェーハ表面側のみを使用するだけではなく、半導体製品のうち、パワーチップ(IGBT)やCMOSの場合には、裏面側も使用する。この場合の製品の特性に悪影響を与えることが予想される。
内在する加工ダメージによる、表面(プロセス面)への悪影響
上記のような裏面を使用する製品のみならず、CMOS、フラッシュメモリー等も、薄化が進んでおり、100μmを下回る厚さになると、加工ダメージにより、表面(プロセス面)へもダメージが到達し、製品特性や歩留まりを低下させるおそれがある。
従来のSiウェーハ薄化加工の問題点を解消する方法として、ドライエッチングが良いとする提案があるものの、先に示したような深さの加工ダメージを除去することは、ドライエッチングのエッチングレートでは、時間がかかりすぎることになり、実用的ではない。
そこで、ウェットエッチングによる薄化が必要となってくる。
しかし、ウェットエッチングを採用する場合には、30μm〜100μmのエッチングが必要なため、10〜50μm/分程度の範囲のエッチレートが必要と考えられる。また、一般的には、エッチング量に対し、±5%程度のユニフォーミティが必要といわれている。また、ミラー状態を作り出すという必要はないものの、表面を荒らさないことが必要である。
ところで、MEMS製造業界では、Siの結晶方位に対する、異方性エッチング特性を利用するために、アルカリ(主に、KOH、TMAH等)によるエッチングが行われている。
しかしながら、アルカリによるエッチングには、「表面を荒らす」「異方性」「 欠陥感受性」「エッチングレートが遅い(80℃で1μm/分程度)」「温度をあげることによる危険性、エネルギー消費」のような問題がある。
従って、前述したような半導体Siウェーハ工程では、アルカリによるエッチングは限られた一部の工程でしか採用されない。
図20は、アルカリによるエッチングを行った場合のSEM観察による要部写真であり、表面の荒れを示す。
これは、ウェーハメーカー出荷後の加工がなされていないウェーハをアルカリに浸漬してエッチングした場合のウェーハ表面の状態である。ウェーハ表面に無数のマイクロピラミッドが存在することが分かる。
一方、近年注目されているTSV(シリコン貫通電極)では、TSVプロセスのうち、ウェーハの裏面に貫通したプラグを出す工程では、ドライエッチングおよびウェットエッチングが検討されている。
TSVプロセスにおいてもウェーハの薄化には、B.G.を使用しており、その加工ダメージが存在している。
TSVはチップの多層スタックに使用されるため、ウェーハ厚みが極薄化される。
そこで、TSVの場合にもウェーハの裏面からの薄化では、B.G.による加工の後にウェットエッチングによるダメージ除去(60μm程度)を実施し、その後プラグの頭出しを行うことが有効となる。
また、絶縁膜およびバリア膜の性質や状態によっては、ダメージを除去しながらプラグ出しを実行することも不可能ではない。
そこで、ウェットエッチングによる薄化が必要となってくる。
しかし、ウェットエッチングを採用する場合には、30μm〜100μmのエッチングが必要なため、10〜50μm/分程度の範囲のエッチレートが必要と考えられる。また、一般的には、エッチング量に対し、±5%程度のユニフォーミティが必要といわれている。また、ミラー状態を作り出すという必要はないものの、表面を荒らさないことが必要である。
ところで、MEMS製造業界では、Siの結晶方位に対する、異方性エッチング特性を利用するために、アルカリ(主に、KOH、TMAH等)によるエッチングが行われている。
しかしながら、アルカリによるエッチングには、「表面を荒らす」「異方性」「 欠陥感受性」「エッチングレートが遅い(80℃で1μm/分程度)」「温度をあげることによる危険性、エネルギー消費」のような問題がある。
従って、前述したような半導体Siウェーハ工程では、アルカリによるエッチングは限られた一部の工程でしか採用されない。
図20は、アルカリによるエッチングを行った場合のSEM観察による要部写真であり、表面の荒れを示す。
これは、ウェーハメーカー出荷後の加工がなされていないウェーハをアルカリに浸漬してエッチングした場合のウェーハ表面の状態である。ウェーハ表面に無数のマイクロピラミッドが存在することが分かる。
一方、近年注目されているTSV(シリコン貫通電極)では、TSVプロセスのうち、ウェーハの裏面に貫通したプラグを出す工程では、ドライエッチングおよびウェットエッチングが検討されている。
TSVプロセスにおいてもウェーハの薄化には、B.G.を使用しており、その加工ダメージが存在している。
TSVはチップの多層スタックに使用されるため、ウェーハ厚みが極薄化される。
そこで、TSVの場合にもウェーハの裏面からの薄化では、B.G.による加工の後にウェットエッチングによるダメージ除去(60μm程度)を実施し、その後プラグの頭出しを行うことが有効となる。
また、絶縁膜およびバリア膜の性質や状態によっては、ダメージを除去しながらプラグ出しを実行することも不可能ではない。
そこで本発明は、10〜60μm/分の範囲、及びこれを越えるエッチングレートで、エッチング量に対し±10%レベル、より好ましくは±5%レベルのユニフォーミティ、荒らさない程度の表面状態となる混酸によるウェットエッチングを実現することでSiウェーハの加工ダメージ除去方法を提供することを目的とする。
請求項1記載の本発明のSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、Siウェーハをスピンさせ、スピン中の前記Siウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じる前記Siウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去するSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記薬液が、4.45wt%から24.5wt%の弗化水素と、31.5wt%から54.09wt%の硝酸と、5wt%から13.64wt%の酢酸とを含むことを特徴とする。
請求項2記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記Siウェーハの回転数を50rpmから700rpm、前記薬液の供給流量を0.3slmから1.5slm、前記薬液温度を30℃から85℃としたことを特徴とする。
請求項3記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記弗化水素を8.9wt%から24.5wt%としたことを特徴とする。
請求項4記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記弗化水素を8.9wt%から16.33wt%としたことを特徴とする。
請求項5記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記硝酸を31.5wt%から49wt%としたことを特徴とする。
請求項6記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記硝酸を42wt%から49wt%としたことを特徴とする。
請求項7記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記酢酸の代わりに、燐酸又は硫酸を含むことを特徴とする。
請求項8記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルに複数の吐出口を備え、それぞれの前記吐出口を前記Siウェーハの中心から異なる距離に配置することを特徴とする。
請求項9記載の本発明は、請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルとして複数のスプレーノズルを用いたことを特徴とする。
請求項10記載の本発明は、請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルとして逆T字型ノズルを用いたことを特徴とする。
請求項11記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルの吐出口を前記Siウェーハの半径方向にスイングさせることを特徴とする。
請求項12記載の本発明は、請求項1から請求項9に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、TSVの製造におけるプラグ出し工程において、前記砥石による加工処理の後で、前記Siウェーハ面から前記プラグを突出させるエッチング処理の前工程として行うことを特徴とする。
請求項2記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記Siウェーハの回転数を50rpmから700rpm、前記薬液の供給流量を0.3slmから1.5slm、前記薬液温度を30℃から85℃としたことを特徴とする。
請求項3記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記弗化水素を8.9wt%から24.5wt%としたことを特徴とする。
請求項4記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記弗化水素を8.9wt%から16.33wt%としたことを特徴とする。
請求項5記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記硝酸を31.5wt%から49wt%としたことを特徴とする。
請求項6記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記硝酸を42wt%から49wt%としたことを特徴とする。
請求項7記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記酢酸の代わりに、燐酸又は硫酸を含むことを特徴とする。
請求項8記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルに複数の吐出口を備え、それぞれの前記吐出口を前記Siウェーハの中心から異なる距離に配置することを特徴とする。
請求項9記載の本発明は、請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルとして複数のスプレーノズルを用いたことを特徴とする。
請求項10記載の本発明は、請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルとして逆T字型ノズルを用いたことを特徴とする。
請求項11記載の本発明は、請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、前記ノズルの吐出口を前記Siウェーハの半径方向にスイングさせることを特徴とする。
請求項12記載の本発明は、請求項1から請求項9に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、TSVの製造におけるプラグ出し工程において、前記砥石による加工処理の後で、前記Siウェーハ面から前記プラグを突出させるエッチング処理の前工程として行うことを特徴とする。
本発明によれば、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去することができる。
本発明の第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、薬液が、4.45wt%から24.5wt%の弗化水素と、31.5wt%から54.09wt%の硝酸と、5wt%から13.64wt%の酢酸とを含む混酸によるウェットエッチングにより、砥石による加工処理によって生じる前記Siウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去するものである。本実施の形態によれば、10〜60μm/分の範囲、及びこれを越えるエッチングレートで、エッチング量に対し±10%レベル、より好ましくは±5%レベルのユニフォーミティ、荒らさない程度の表面状態となる混酸によるウェットエッチングを実現することができる。
本発明の第2の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、Siウェーハの回転数を100rpmから700rpm、前記薬液の供給流量を0.3slmから1.3slm、前記薬液温度を30℃から85℃としたものである。本実施の形態によれば、安定したウェットエッチングを行うことができる。
本発明の第3の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、弗化水素を8.9wt%から24.5wt%としたものである。本実施の形態によれば、50μm/分を越えるエッチングレートを実現することができる。
本発明の第4の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、弗化水素を8.9wt%から16.33wt%としたものである。本実施の形態によれば、50〜70μm/分の範囲のエッチングレートと、±5%レベルのユニフォーミティを実現することができる。
本発明の第5の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、硝酸を31.5wt%から49wt%としたものである。本実施の形態によれば、50μm/分を越えるエッチングレートを実現することができる。
本発明の第6の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、硝酸を42wt%から49wt%としたものである。本実施の形態によれば、50〜70μm/分の範囲のエッチングレートと、±5%レベルのユニフォーミティを実現することができる。
本発明の第7の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、酢酸の代わりに、燐酸又は硫酸を含むものである。
本発明の第8の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルに複数の吐出口を備え、それぞれの前記吐出口を前記Siウェーハの中心から異なる距離に配置するものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第9の実施の形態は、第6の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルとして複数のスプレーノズルを用いたものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第10の実施の形態は、第6の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルとして逆T字型ノズルを用いたものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第11の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルの吐出口を前記Siウェーハの半径方向にスイングさせるものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第12の実施の形態は、第1から第9の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、TSVの製造におけるプラグ出し工程において、砥石による加工処理の後で、Siウェーハ面からプラグを突出させるエッチング処理の前工程として行うものである。本実施の形態によれば、B.G.によるダメージ除去を行うことができる。
本発明の第2の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、Siウェーハの回転数を100rpmから700rpm、前記薬液の供給流量を0.3slmから1.3slm、前記薬液温度を30℃から85℃としたものである。本実施の形態によれば、安定したウェットエッチングを行うことができる。
本発明の第3の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、弗化水素を8.9wt%から24.5wt%としたものである。本実施の形態によれば、50μm/分を越えるエッチングレートを実現することができる。
本発明の第4の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、弗化水素を8.9wt%から16.33wt%としたものである。本実施の形態によれば、50〜70μm/分の範囲のエッチングレートと、±5%レベルのユニフォーミティを実現することができる。
本発明の第5の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、硝酸を31.5wt%から49wt%としたものである。本実施の形態によれば、50μm/分を越えるエッチングレートを実現することができる。
本発明の第6の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、硝酸を42wt%から49wt%としたものである。本実施の形態によれば、50〜70μm/分の範囲のエッチングレートと、±5%レベルのユニフォーミティを実現することができる。
本発明の第7の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、酢酸の代わりに、燐酸又は硫酸を含むものである。
本発明の第8の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルに複数の吐出口を備え、それぞれの前記吐出口を前記Siウェーハの中心から異なる距離に配置するものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第9の実施の形態は、第6の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルとして複数のスプレーノズルを用いたものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第10の実施の形態は、第6の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルとして逆T字型ノズルを用いたものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第11の実施の形態は、第1の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、ノズルの吐出口を前記Siウェーハの半径方向にスイングさせるものである。本実施の形態によれば、Siウェーハが大きくなっても、所定のエッチングレート及びユニフォーミティを確保することができる。
本発明の第12の実施の形態は、第1から第9の実施の形態によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、TSVの製造におけるプラグ出し工程において、砥石による加工処理の後で、Siウェーハ面からプラグを突出させるエッチング処理の前工程として行うものである。本実施の形態によれば、B.G.によるダメージ除去を行うことができる。
以下本発明の実施例について説明する。
本発明のSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、Siウェーハをスピンさせ、スピン中のSiウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージをエッチングによって除去するものである。
まず、このウェットエッチングに用いる薬液について以下に説明する。
図1は、この薬液の成分と、それぞれの成分比による薬液のエッチングレートを実施例1から実施例5として示している。
実施例1による混酸は、薬液が、4.45wt%の弗化水素と、54.09wt%の硝酸と、13.64wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは12μm/minとなる。
実施例2による混酸は、薬液が、8.91wt%の弗化水素と、47.73wt%の硝酸と、13.64wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは60μm/minとなる。
実施例3による混酸は、薬液が、12.25wt%の弗化水素と、49.00wt%の硝酸と、5.00wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは50μm/minとなる。
実施例4による混酸は、薬液が、16.33wt%の弗化水素と、42.00wt%の硝酸と、6.67wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは70μm/minとなる。
実施例5による混酸は、薬液が、24.50wt%の弗化水素と、31.50wt%の硝酸と、5.00wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは150μm/minとなる。
本発明のSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、Siウェーハをスピンさせ、スピン中のSiウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じるSiウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージをエッチングによって除去するものである。
まず、このウェットエッチングに用いる薬液について以下に説明する。
図1は、この薬液の成分と、それぞれの成分比による薬液のエッチングレートを実施例1から実施例5として示している。
実施例1による混酸は、薬液が、4.45wt%の弗化水素と、54.09wt%の硝酸と、13.64wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは12μm/minとなる。
実施例2による混酸は、薬液が、8.91wt%の弗化水素と、47.73wt%の硝酸と、13.64wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは60μm/minとなる。
実施例3による混酸は、薬液が、12.25wt%の弗化水素と、49.00wt%の硝酸と、5.00wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは50μm/minとなる。
実施例4による混酸は、薬液が、16.33wt%の弗化水素と、42.00wt%の硝酸と、6.67wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは70μm/minとなる。
実施例5による混酸は、薬液が、24.50wt%の弗化水素と、31.50wt%の硝酸と、5.00wt%の酢酸とを含むものであり、エッチングレートは150μm/minとなる。
図2は、実施例6による測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図である。
図2に示す実施例6は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度40deg/sec、スキャン幅−16〜+80mm、供給流量0.3SLM、薬液温度30℃、処理時間300secとした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図2(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図2(b)は、図2(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本実験結果では、最大エッチングレートは15.1μm/min、最小エッチングレートは12.3μm/min、平均エッチングレートは13.8μm/minとなり、ユニフォーミティは10.3%であった。
図2に示す実施例6は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度40deg/sec、スキャン幅−16〜+80mm、供給流量0.3SLM、薬液温度30℃、処理時間300secとした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図2(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図2(b)は、図2(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本実験結果では、最大エッチングレートは15.1μm/min、最小エッチングレートは12.3μm/min、平均エッチングレートは13.8μm/minとなり、ユニフォーミティは10.3%であった。
図3は、実施例7による測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図である。
図3に示す実施例7は、実施例4による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−80〜+80mm、供給流量0.3SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図3(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図3(b)は、図3(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本実験結果では、最大エッチングレートは64.7μm/min、最小エッチングレートは50.3μm/min、平均エッチングレートは59.2μm/minとなり、ユニフォーミティは12.2%であった。
図3に示す実施例7は、実施例4による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−80〜+80mm、供給流量0.3SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図3(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図3(b)は、図3(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本実験結果では、最大エッチングレートは64.7μm/min、最小エッチングレートは50.3μm/min、平均エッチングレートは59.2μm/minとなり、ユニフォーミティは12.2%であった。
図4は、比較例1による薬液を用いた場合の測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図である。
図4に示す比較例1は、薬液としてアルカリエッチング液を用いたものである。処理時間60secを1min、処理時間300secを5min、処理時間600secを10minとしている。なお、1minは回転数100rpm、5minは回転数20rpm、10minは回転数80rpmから20rpmに変更、ノズルのスキャンは行わず、供給流量1SLM、薬液温度70℃とした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図4(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図4(b)は、図4(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本比較実験結果では、1minの場合には、最大エッチングレートは0.8μm/min、最小エッチングレートは0.0μm/min、平均エッチングレートは0.20μm/minとなり、ユニフォーミティは196.2%であり、5minの場合には、最大エッチングレートは0.7μm/min、最小エッチングレートは0.3μm/min、平均エッチングレートは0.52μm/minとなり、ユニフォーミティは42.1%であり、10minの場合には、最大エッチングレートは1.1μm/min、最小エッチングレートは0.4μm/min、平均エッチングレートは0.67μm/minとなり、ユニフォーミティは53.0%であった。
図4に示す比較例1は、薬液としてアルカリエッチング液を用いたものである。処理時間60secを1min、処理時間300secを5min、処理時間600secを10minとしている。なお、1minは回転数100rpm、5minは回転数20rpm、10minは回転数80rpmから20rpmに変更、ノズルのスキャンは行わず、供給流量1SLM、薬液温度70℃とした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図4(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図4(b)は、図4(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本比較実験結果では、1minの場合には、最大エッチングレートは0.8μm/min、最小エッチングレートは0.0μm/min、平均エッチングレートは0.20μm/minとなり、ユニフォーミティは196.2%であり、5minの場合には、最大エッチングレートは0.7μm/min、最小エッチングレートは0.3μm/min、平均エッチングレートは0.52μm/minとなり、ユニフォーミティは42.1%であり、10minの場合には、最大エッチングレートは1.1μm/min、最小エッチングレートは0.4μm/min、平均エッチングレートは0.67μm/minとなり、ユニフォーミティは53.0%であった。
図5は、比較例2による薬液を用いた場合の測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図である。
図5に示す比較例2は、薬液としてアルカリエッチング液を用い、ディッピング処理を行ったものである。処理時間1800secとし、薬液温度80℃とした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図5(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図5(b)は、図5(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本比較実験結果では、最大エッチングレートは0.76μm/min、最小エッチングレートは0.54μm/min、平均エッチングレートは0.68μm/minとなり、ユニフォーミティは16.25%であった。
以上のように、実施例1から実施例7によれば、10〜60μm/分の範囲、及びこれを越えるエッチングレートで、エッチング量に対し±5%レベルのユニフォーミティを確保することができた。
図5に示す比較例2は、薬液としてアルカリエッチング液を用い、ディッピング処理を行ったものである。処理時間1800secとし、薬液温度80℃とした場合のエッチングレート(μm/min)の実験結果を示している。
図5(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図5(b)は、図5(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
本比較実験結果では、最大エッチングレートは0.76μm/min、最小エッチングレートは0.54μm/min、平均エッチングレートは0.68μm/minとなり、ユニフォーミティは16.25%であった。
以上のように、実施例1から実施例7によれば、10〜60μm/分の範囲、及びこれを越えるエッチングレートで、エッチング量に対し±5%レベルのユニフォーミティを確保することができた。
図6は、図2で説明した実施例6における再現性の検討結果を示す特性図である。
図6は、10回の処理による結果を示している。平均エッチングレートは19.1μm/min、ウェーハ間におけるユニフォーミティは±4.65%であり、再現性があることが実証された。
図6は、10回の処理による結果を示している。平均エッチングレートは19.1μm/min、ウェーハ間におけるユニフォーミティは±4.65%であり、再現性があることが実証された。
図7は、図3で説明した実施例7における再現性の検討結果を示す特性図である。
図7は、10回の処理による結果を示している。平均エッチングレートは64.4μm/min、ウェーハ間におけるユニフォーミティは±3.48%であり、再現性があることが実証された。
図7は、10回の処理による結果を示している。平均エッチングレートは64.4μm/min、ウェーハ間におけるユニフォーミティは±3.48%であり、再現性があることが実証された。
図8は、実施例6で説明した実験条件における面内分布を示すヒストグラムである。
図8では、データ数78、エッチングレートの平均値を20.39μm/minとし、信頼水準を95%とすると、母平均の推定区間は20.20μm/min〜20.57μm/minとなる。
図8では、データ数78、エッチングレートの平均値を20.39μm/minとし、信頼水準を95%とすると、母平均の推定区間は20.20μm/min〜20.57μm/minとなる。
図9は、実施例7で説明した実験条件における面内分布を示すヒストグラムである。
図9では、データ数78、エッチングレートの平均値を66.50μm/minとし、信頼水準を95%とすると、母平均の推定区間は66.02μm/min〜66.97μm/minとなる。
図9では、データ数78、エッチングレートの平均値を66.50μm/minとし、信頼水準を95%とすると、母平均の推定区間は66.02μm/min〜66.97μm/minとなる。
図10は、実施例8から実施例10による測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図、図11(a)は実施例9による3つのスプレーノズルの写真、図11(b)は実施例10による6つのスプレーノズルの写真である。
図10に示す実施例8は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量0.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図10に示す実施例9は、実施例1による薬液を用い、回転数50rpm、ノズルのスキャン速度15deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例9では、図11(a)に示すように、ノズルとして、スプレーノズル3個を用いた。
また、図10に示す実施例10は、実施例1による薬液を用い、回転数50rpm、ノズルのスキャン速度15deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例10では、図11(b)に示すように、ノズルとして、スプレーノズル6個を用いた。
図10に示す実施例8は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量0.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図10に示す実施例9は、実施例1による薬液を用い、回転数50rpm、ノズルのスキャン速度15deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例9では、図11(a)に示すように、ノズルとして、スプレーノズル3個を用いた。
また、図10に示す実施例10は、実施例1による薬液を用い、回転数50rpm、ノズルのスキャン速度15deg/sec、スキャン幅−100〜+100mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例10では、図11(b)に示すように、ノズルとして、スプレーノズル6個を用いた。
図10(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図10(b)は、図10(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
実施例8における本実験結果では、最大エッチングレートは12.5μm/min、最小エッチングレートは8.9μm/min、平均エッチングレートは11.2μm/minとなり、ユニフォーミティは16.1%であった。
また、実施例9における本実験結果では、最大エッチングレートは11.8μm/min、最小エッチングレートは7.4μm/min、平均エッチングレートは10.3μm/minとなり、ユニフォーミティは21.3%であった。
また、実施例10における本実験結果では、最大エッチングレートは11.9μm/min、最小エッチングレートは9.9μm/min、平均エッチングレートは10.9μm/minとなり、ユニフォーミティは9.2%であった。
本実験結果により、回転数を50rpm程度まで低下させても、複数のスプレーノズルを用いることで、遜色ないエッチングレートを確保することができる。
実施例8における本実験結果では、最大エッチングレートは12.5μm/min、最小エッチングレートは8.9μm/min、平均エッチングレートは11.2μm/minとなり、ユニフォーミティは16.1%であった。
また、実施例9における本実験結果では、最大エッチングレートは11.8μm/min、最小エッチングレートは7.4μm/min、平均エッチングレートは10.3μm/minとなり、ユニフォーミティは21.3%であった。
また、実施例10における本実験結果では、最大エッチングレートは11.9μm/min、最小エッチングレートは9.9μm/min、平均エッチングレートは10.9μm/minとなり、ユニフォーミティは9.2%であった。
本実験結果により、回転数を50rpm程度まで低下させても、複数のスプレーノズルを用いることで、遜色ないエッチングレートを確保することができる。
図12は、実施例6及び実施例12による測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図、図13(a)は実施例12による逆T字型ノズルの写真、図13(b)は同ノズルの使用状態を示す写真である。
図12に示す実施例12は、実施例1による薬液を用い、回転数200rpm、ノズルのスキャン速度20deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例12では、図13(a)に示すように、ノズルとして、逆T字型ノズルを用いた。
図12(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図12(b)は、図12(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
実施例12における本実験結果では、最大エッチングレートは19.5μm/min、最小エッチングレートは17.8μm/min、平均エッチングレートは18.9μm/minとなり、ユニフォーミティは4.5%であった。
本実験結果により、逆T字型ノズルを用いた実施例12の方が、実施例6よりも、エッチングレートにおいてもユニフォーミティにおいても優れた効果を得ることができた。
図12に示す実施例12は、実施例1による薬液を用い、回転数200rpm、ノズルのスキャン速度20deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
実施例12では、図13(a)に示すように、ノズルとして、逆T字型ノズルを用いた。
図12(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図12(b)は、図12(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
実施例12における本実験結果では、最大エッチングレートは19.5μm/min、最小エッチングレートは17.8μm/min、平均エッチングレートは18.9μm/minとなり、ユニフォーミティは4.5%であった。
本実験結果により、逆T字型ノズルを用いた実施例12の方が、実施例6よりも、エッチングレートにおいてもユニフォーミティにおいても優れた効果を得ることができた。
図14は、実施例13、実施例14、比較例3、比較例4による測定位置とエッチングレートとの関係を示す特性図、図15(a)は比較例3及び比較例4によるスリットノズルの平面図を示す写真、図15(b)は同スリットノズルの底面図を示す写真、図15(c)は同スリットノズルの使用状態を示す写真である。
図14に示す実施例13は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−10〜+10mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す実施例14は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−10〜+10mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す比較例3は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す比較例4は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
比較例3及び比較例4では、図15に示すように、ノズルとして、スリットノズルを用いた。
図14に示す実施例13は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−10〜+10mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す実施例14は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−10〜+10mm、供給流量1.0SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す比較例3は、実施例1による薬液を用い、回転数500rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
また、図14に示す比較例4は、実施例1による薬液を用い、回転数300rpm、ノズルのスキャン速度50deg/sec、スキャン幅−5〜+5mm、供給流量1.5SLM、薬液温度30℃、処理時間60secとした。
比較例3及び比較例4では、図15に示すように、ノズルとして、スリットノズルを用いた。
図14(a)は、Siウェーハの任意の直径方向をX軸としたものであり、X軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。図14(b)は、図14(a)に示すX軸に直交する方向をY軸としており、Y軸の「0」がSiウェーハの中心位置を示している。
実施例13における本実験結果では、最大エッチングレートは17.3μm/min、最小エッチングレートは11.9μm/min、平均エッチングレートは13.7μm/minとなり、ユニフォーミティは19.6%であった。
また、実施例14における本実験結果では、最大エッチングレートは14.5μm/min、最小エッチングレートは9.5μm/min、平均エッチングレートは11.7μm/minとなり、ユニフォーミティは21.3%であった。
一方、比較例3における本実験結果では、最大エッチングレートは19.1μm/min、最小エッチングレートは10.5μm/min、平均エッチングレートは14.9μm/minとなり、ユニフォーミティは28.9%であった。
また、比較例4における本実験結果では、最大エッチングレートは18.2μm/min、最小エッチングレートは10.7μm/min、平均エッチングレートは14.8μm/minとなり、ユニフォーミティは25.3%であった。
本実験結果により、スリットノズルを用いた場合には、ユニフォーミティが低下してしまう結果となった。
実施例13における本実験結果では、最大エッチングレートは17.3μm/min、最小エッチングレートは11.9μm/min、平均エッチングレートは13.7μm/minとなり、ユニフォーミティは19.6%であった。
また、実施例14における本実験結果では、最大エッチングレートは14.5μm/min、最小エッチングレートは9.5μm/min、平均エッチングレートは11.7μm/minとなり、ユニフォーミティは21.3%であった。
一方、比較例3における本実験結果では、最大エッチングレートは19.1μm/min、最小エッチングレートは10.5μm/min、平均エッチングレートは14.9μm/minとなり、ユニフォーミティは28.9%であった。
また、比較例4における本実験結果では、最大エッチングレートは18.2μm/min、最小エッチングレートは10.7μm/min、平均エッチングレートは14.8μm/minとなり、ユニフォーミティは25.3%であった。
本実験結果により、スリットノズルを用いた場合には、ユニフォーミティが低下してしまう結果となった。
図16は、実施例7による処理状態を示す拡大写真である。
図16(a)は処理前の状態、図16(b)は30sec処理後の状態、図16(c)は90sec処理後の状態をそれぞれ示している。図16(b)では35μmエッチングされ、図16(c)では104μmエッチングされている。
図16(a)は処理前の状態、図16(b)は30sec処理後の状態、図16(c)は90sec処理後の状態をそれぞれ示している。図16(b)では35μmエッチングされ、図16(c)では104μmエッチングされている。
図17は、実施例7による処理状態を示す拡大写真である。
図17(a)は処理前の状態、図17(b)は30sec処理後の状態、図17(c)は60sec処理後の状態、図17(d)は90sec処理後の状態をそれぞれ示している。図17(b)では29μmエッチングされ、図17(c)では61μmエッチングされ、図17(d)では94μmエッチングされている。
図17(a)は処理前の状態、図17(b)は30sec処理後の状態、図17(c)は60sec処理後の状態、図17(d)は90sec処理後の状態をそれぞれ示している。図17(b)では29μmエッチングされ、図17(c)では61μmエッチングされ、図17(d)では94μmエッチングされている。
図18は、本発明の他の実施例によるTSVの製造におけるプラグ出し工程を示す説明図である。
図18(a)は砥石による加工処理後の状態、図18(b)は上記各実施例のウェットエッチング処理による機械ストレス除去工程後の状態、図18(c)は上記各実施例のウェットエッチング処理による絶縁膜頭出し工程後の状態、図18(d)は上記各実施例のウェットエッチング処理による絶縁膜剥離工程後の状態を示している。
珪素のウェーハ11内のプラグ12として銅が用いられ、プラグ12の表面には窒化膜13、窒化膜13の表面には酸化膜14が形成されている。
図18(a)に示すように、砥石による加工処理後には、マイクロクラックや欠陥などの加工ダメージが発生している。この加工ダメージは、通常はウェーハ表面から60μm程度、最大では100μm程度まで入る可能性がある。従って、本実施例のウェットエッチング処理による機械ストレス除去工程では、60μmから100μm程度行うことが好ましい。
絶縁膜頭出し工程では、周知のアルカリ処理によるエッチング処理や周知のドライエッチング処理を用いてもよい。しかし、本実施例のウェットエッチング処理を用いることによって、酸化膜14との選択比の調整によるエッチングが可能となる。
以上のように、TSVの製造におけるプラグ出し工程では、砥石による加工処理の後で、Siウェーハ面からプラグを突出させるエッチング処理の前工程として、少なくとも本実施例によるウェットエッチング処理を行うことが有効である。
また、TSVの製造における絶縁膜頭出し工程においても、本実施例によるウェットエッチング処理を行うことで、酸化膜や窒化膜といった絶縁膜と珪素との選択比を利用したエッチングが可能となる。
図18(a)は砥石による加工処理後の状態、図18(b)は上記各実施例のウェットエッチング処理による機械ストレス除去工程後の状態、図18(c)は上記各実施例のウェットエッチング処理による絶縁膜頭出し工程後の状態、図18(d)は上記各実施例のウェットエッチング処理による絶縁膜剥離工程後の状態を示している。
珪素のウェーハ11内のプラグ12として銅が用いられ、プラグ12の表面には窒化膜13、窒化膜13の表面には酸化膜14が形成されている。
図18(a)に示すように、砥石による加工処理後には、マイクロクラックや欠陥などの加工ダメージが発生している。この加工ダメージは、通常はウェーハ表面から60μm程度、最大では100μm程度まで入る可能性がある。従って、本実施例のウェットエッチング処理による機械ストレス除去工程では、60μmから100μm程度行うことが好ましい。
絶縁膜頭出し工程では、周知のアルカリ処理によるエッチング処理や周知のドライエッチング処理を用いてもよい。しかし、本実施例のウェットエッチング処理を用いることによって、酸化膜14との選択比の調整によるエッチングが可能となる。
以上のように、TSVの製造におけるプラグ出し工程では、砥石による加工処理の後で、Siウェーハ面からプラグを突出させるエッチング処理の前工程として、少なくとも本実施例によるウェットエッチング処理を行うことが有効である。
また、TSVの製造における絶縁膜頭出し工程においても、本実施例によるウェットエッチング処理を行うことで、酸化膜や窒化膜といった絶縁膜と珪素との選択比を利用したエッチングが可能となる。
本発明によるSiウェーハの加工ダメージ除去方法は、各種デバイス・プロセスに適用することができる。
11 ウェーハ
12 プラグ
13 窒化膜
14 酸化膜
12 プラグ
13 窒化膜
14 酸化膜
Claims (12)
- Siウェーハをスピンさせ、スピン中の前記Siウェーハにノズルから薬液を吐出させることで、砥石による加工処理によって生じる前記Siウェーハのマイクロクラックや欠陥などの加工ダメージを除去するSiウェーハの加工ダメージ除去方法において、
前記薬液が、4.45wt%から24.5wt%の弗化水素と、31.5wt%から54.09wt%の硝酸と、5wt%から13.64wt%の酢酸とを含むことを特徴とするSiウェーハの加工ダメージ除去方法。 - 前記Siウェーハの回転数を50rpmから700rpm、前記薬液の供給流量を0.3slmから1.5slm、前記薬液温度を30℃から85℃としたことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記弗化水素を8.9wt%から24.5wt%としたことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記弗化水素を8.9wt%から16.33wt%としたことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記硝酸を31.5wt%から49wt%としたことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記硝酸を42wt%から49wt%としたことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記酢酸の代わりに、燐酸又は硫酸を含むことを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記ノズルに複数の吐出口を備え、それぞれの前記吐出口を前記Siウェーハの中心から異なる距離に配置することを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記ノズルとして複数のスプレーノズルを用いたことを特徴とする請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記ノズルとして逆T字型ノズルを用いたことを特徴とする請求項6に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- 前記ノズルの吐出口を前記Siウェーハの半径方向にスイングさせることを特徴とする請求項1に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
- TSVの製造におけるプラグ出し工程において、前記砥石による加工処理の後で、前記Siウェーハ面から前記プラグを突出させるエッチング処理の前工程として行うことを特徴とする請求項1から請求項9に記載のSiウェーハの加工ダメージ除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009020088A JP2010177541A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | Siウェーハの加工ダメージ除去方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010177541A true JP2010177541A (ja) | 2010-08-12 |
Family
ID=42708169
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009020088A Pending JP2010177541A (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | Siウェーハの加工ダメージ除去方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2010177541A (ja) |
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