JP2010175367A - ガスセンサの性能評価方法及びガスセンサの性能評価装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】検出素子Rs及び比較素子Rrを含むブリッジ回路Bに交流電源3から交流電圧を供給する。その後、検出素子Rs及び比較素子Rrの温度が200℃〜400℃になるように交流電圧の大きさを調整する。次に、交流電圧を供給したときのブリッジ回路Bの中点電位差V0が最小になるようにブリッジ回路Bを構成する可変抵抗Rvを調整する。可変抵抗Rvを調整した後に検出素子Rs及び比較素子Rrの温度が200℃〜400℃になるように交流電圧の大きさを再び調整する。その後、ブリッジ回路Bの中点電位差V0の大きさに基づいてガスセンサ2を評価する。
【選択図】図1
Description
2 ガスセンサ
3 交流電源
4 マルチメータ(出力手段)
B ブリッジ回路
Rs 検出素子
Rr 比較素子
Rv 可変抵抗
V0 中点電位差
Claims (3)
- 検知対象ガスと燃焼する検出素子と、前記検知対象ガスと燃焼しない比較素子と、から構成されるガスセンサの性能評価方法であって、
前記検出素子及び前記比較素子を含むブリッジ回路に交流電圧を供給する第1工程と、
前記交流電圧を供給したときの前記ブリッジ回路の中点電位差の大きさに基づいて前記ガスセンサを評価する第2工程と、
を順次行うことを特徴とするガスセンサの性能評価方法。 - 前記第1工程と前記第2工程との間に、
前記検出素子及び前記比較素子の温度が予め定めた値になるように前記交流電圧の大きさを調整する第3工程と、
前記交流電圧を供給したときの前記ブリッジ回路の中点電位差が最小になるように前記ブリッジ回路を構成する可変抵抗を調整する第4工程と、
前記可変抵抗を調整した後に前記検出素子及び前記比較素子の温度が前記予め定めた値になるように前記交流電圧の大きさを再び調整する第5工程と、
を順次行うことを特徴とする請求項1に記載のガスセンサの性能評価方法。 - 検知対象ガスと燃焼する検出素子と、前記検知対象ガスと燃焼しない比較素子と、から構成されるガスセンサの性能評価装置であって、
前記検出素子及び前記比較素子を含むブリッジ回路と、
前記ブリッジ回路に交流電圧を供給する交流電源と、
前記ブリッジ回路の中点電位差を検出して出力する出力手段と、
を備えたことを特徴とするガスセンサの性能評価装置。
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WO2022239551A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ガス検出装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59180350A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-13 | Matsushita Electric Works Ltd | ガス検知回路 |
JPS63128249A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接触燃焼式ガスセンサ |
JPH0737182A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-07 | Yazaki Corp | ガス警報装置 |
JPH09145671A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Yazaki Corp | 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 |
JPH10142184A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサとその制御装置 |
JP2007198816A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Taizo Ishikawa | 接触燃焼式ガスセンサを用いた検出回路 |
JP2007232406A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Fis Inc | ガス検出装置 |
JP2008298617A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yazaki Corp | 接触燃焼式ガスセンサおよび接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
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Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59180350A (ja) * | 1983-03-30 | 1984-10-13 | Matsushita Electric Works Ltd | ガス検知回路 |
JPS63128249A (ja) * | 1986-11-18 | 1988-05-31 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 接触燃焼式ガスセンサ |
JPH0737182A (ja) * | 1993-07-16 | 1995-02-07 | Yazaki Corp | ガス警報装置 |
JPH09145671A (ja) * | 1995-11-17 | 1997-06-06 | Yazaki Corp | 酸素濃度計のセンサ特性調整回路 |
JPH10142184A (ja) * | 1996-11-11 | 1998-05-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサとその制御装置 |
JP2007198816A (ja) * | 2006-01-25 | 2007-08-09 | Taizo Ishikawa | 接触燃焼式ガスセンサを用いた検出回路 |
JP2007232406A (ja) * | 2006-02-27 | 2007-09-13 | Fis Inc | ガス検出装置 |
JP2008298617A (ja) * | 2007-05-31 | 2008-12-11 | Yazaki Corp | 接触燃焼式ガスセンサおよび接触燃焼式ガスセンサの製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018040814A (ja) * | 2017-12-13 | 2018-03-15 | 矢崎エナジーシステム株式会社 | ガス検知素子、及び、接触燃焼式ガスセンサ |
WO2022239551A1 (ja) * | 2021-05-12 | 2022-11-17 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | ガス検出装置 |
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