JP5303196B2 - ガス検出装置及び経年変化補正方法 - Google Patents
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Description
10…制御部
11…センサ駆動制御部(センサ駆動制御手段)
12…センサ出力取得部
13…記憶部(初期差分記憶手段)
14…濃度算出部(濃度算出手段)
14a…補正部
15…劣化判断部(劣化判断手段)
20…ガスセンサ部
21…接触燃焼式ガスセンサ
21a…シリコンウェハ
21b…絶縁膜
21c〜21e…ボンディングパッド
21f,21g…凹部
21s…触媒層
21r…アルミナ層
22…ブリッジ電流制御部
23…計装アンプ
24…A/D変換器
Rs…センサ抵抗
Rr…リファレンス抵抗
R1〜R3,Rb…抵抗
Q1…トランジスタ
b1…吸着期間
B1…燃焼期間
a1…温度低下期間
A1…ベース値検出期間
Claims (12)
- 接触燃焼式ガスセンサを備えたガス検出装置であって、
前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させるためにハイレベルの信号を出力する高温制御と接触燃焼式ガスセンサを低温駆動させるためにロウレベルの信号を出力する低温制御とを繰り返し行うセンサ駆動制御手段と、
前記センサ駆動制御手段により駆動された前記接触燃焼式ガスセンサの出力から、有極性ガスの濃度を算出する濃度算出手段と、
前記濃度算出手段により算出された濃度が所定濃度以下である場合に、前記低温制御中における前記接触燃焼式ガスセンサの出力と、前記高温制御中における前記接触燃焼式ガスセンサの出力との出力差分の大きさから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する劣化判断手段と、を備え、
前記濃度算出手段は、前記センサ駆動制御手段により駆動された前記接触燃焼式ガスセンサの出力を、前記劣化判断手段により判断された前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態に応じて補正し、有極性ガスの濃度を算出する
ことを特徴とするガス検出装置。 - 前記センサ駆動制御手段は、前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させて吸着した有極性ガスを燃焼させる燃焼期間、前記接触燃焼式ガスセンサを低温駆動させて前記燃焼期間における燃焼により温度上昇した接触燃焼式ガスセンサの温度を低下させる温度低下期間、前記温度低下期間において温度低下した前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させるベース値検出期間、及び、前記ベース値検出期間において高温駆動された前記接触燃焼式ガスセンサを低温駆動して有極性ガスを吸着させる吸着期間を繰り返し、
前記劣化判断手段は、前記温度低下期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力と前記ベース値検出期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力との差分を出力差分とする
ことを特徴とする請求項1に記載のガス検出装置。 - 前記劣化判断手段は、前記温度低下期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力が安定した定常状態における出力と、前記ベース値検出期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力が安定した定常状態における出力との差分を出力差分とする
ことを特徴とする請求項2に記載のガス検出装置。 - 前記劣化判断手段は、前記出力差分の大きさと、前記低温制御中における初期の接触燃焼式ガスセンサの出力と、前記高温制御中における初期の接触燃焼式ガスセンサの出力との差分である初期差分とから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のガス検出装置。 - 前記初期差分は零とされている
ことを特徴とする請求項4に記載のガス検出装置。 - 予め前記初期差分を記憶した初期差分記憶手段をさらに備え、
前記劣化判断手段は、前記出力差分の大きさと、前記初期差分記憶手段により記憶された前記初期差分とから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する
ことを特徴とする請求項4に記載のガス検出装置。 - 接触燃焼式ガスセンサの経年変化補正方法であって、
前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させるためにハイレベルの信号を出力する高温制御と接触燃焼式ガスセンサを低温駆動させるためにロウレベルの信号を出力する低温制御とを繰り返し行うセンサ駆動制御工程と、
前記センサ駆動制御工程において駆動された前記接触燃焼式ガスセンサの出力から、有極性ガスの濃度を算出する濃度算出工程と、
前記濃度算出工程において算出された濃度が所定濃度以下である場合に、前記低温制御中における前記接触燃焼式ガスセンサの出力と、前記高温制御中における前記接触燃焼式ガスセンサの出力との出力差分の大きさから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する劣化判断工程と、を有し、
前記濃度算出工程では、前記センサ駆動制御工程において駆動された前記接触燃焼式ガスセンサの出力を、前記劣化判断工程において判断された前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態に応じて補正し、有極性ガスの濃度を算出する
ことを特徴とする経年変化補正方法。 - 前記センサ駆動制御工程では、前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させて吸着した有極性ガスを燃焼させる燃焼期間、前記接触燃焼式ガスセンサを低温駆動させて前記燃焼期間における燃焼により温度上昇した接触燃焼式ガスセンサの温度を低下させる温度低下期間、前記温度低下期間において温度低下した前記接触燃焼式ガスセンサを高温駆動させるベース値検出期間、及び、前記ベース値検出期間において高温駆動された前記接触燃焼式ガスセンサを低温駆動して有極性ガスを吸着させる吸着期間を繰り返し、
前記劣化判断工程では、前記温度低下期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力と前記ベース値検出期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力との差分を出力差分とする
ことを特徴とする請求項7に記載の経年劣化補正方法。 - 前記劣化判断工程では、前記温度低下期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力が安定した定常状態における出力と、前記ベース値検出期間における前記接触燃焼式ガスセンサの出力が安定した定常状態における出力との差分を出力差分とする
ことを特徴とする請求項8に記載の経年劣化補正方法。 - 前記劣化判断工程では、前記出力差分の大きさと、前記低温制御中における初期の接触燃焼式ガスセンサの出力と、前記高温制御中における初期の接触燃焼式ガスセンサの出力との差分である初期差分とから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する
ことを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか1項に記載の経年劣化補正方法。 - 前記初期差分は零とされている
ことを特徴とする請求項10に記載の経年劣化補正方法。 - 前記劣化判断工程では、予め記憶された前記初期差分を読み出し、前記出力差分の大きさと、記憶された前記初期差分とから、前記接触燃焼式ガスセンサの劣化状態を判断する
ことを特徴とする請求項10に記載の経年劣化補正方法。
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