JP2010171382A - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透光性基板1の上面に少なくとも発光層5を含む窒化物半導体層が形成されている。透光性基板1の上面には、凹部領域および凸部領域が形成され、凹部領域および凸部領域の一方は、平面的に見て、180°以上の内角を有する頂点を少なくとも一つ以上含む複数の多角形が配置されることにより形成される。凹部領域および凸部領域の他方は、平面的に見て、直線状につながらないように形成される。
【選択図】図1
Description
以下、透光性基板1の上面に形成される凸状領域または凹状領域を図2(A),2(C),3,4および5の5パターン形成し、発光素子の出力を計測した結果を示す。図4,5に示す形状では、凸部領域の最も狭い箇所の幅を1.5μm、凹部領域の最も狭い箇所の幅を1.5μmとした場合、発光素子の出力は、電圧が3.1Vで30mWとなった。
以下、AlNバッッファ層16を形成した窒化物半導体発光素子の形成方法および出力の計測結果を示す。
Claims (16)
- 透光性基板の上面に少なくとも発光層を含む窒化物半導体層が形成されている窒化物半導体発光素子であって、
前記透光性基板の上面には、複数の凹部領域および凸部領域が形成され、
前記凹部領域および前記凸部領域の一方は、平面的に見て、180°以上の内角を有する頂点を少なくとも一つ以上含む複数の多角形が配置されることにより形成され、
前記凹部領域および前記凸部領域の他方は、平面的に見て、直線状につながらないように形成される、窒化物半導体発光素子。 - 前記多角形は、放射状に突出する突出部を複数有し、隣り合う該突出部同士の間に凹みが形成され、
前記多角形の前記凹みに、隣り合う前記多角形の前記突出部が配置される、請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。 - 前記多角形を構成する辺は、前記窒化物半導体層における結晶面と平行である辺を含む、請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記多角形は、前記窒化物半導体層における結晶軸の<11−20>方向の辺で構成される、請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記凹部領域および前記凸部領域の幅が20μm以下である、請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記凹部領域および前記凸部領域の高さまたは深さが40nm以上である、請求項1〜5のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記凹部領域および前記凸部領域の側面がテーパ状である、請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 平面的に見て、直線状につながらないように形成される、前記凹部領域および前記凸部領域の前記他方が、平面的に見て、連続してつながるように形成される、請求項1〜7のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 平面的に見て、180°以上の内角を有する頂点を少なくとも一つ以上含む複数の多角形が配置されることにより形成される、前記凹部領域および前記凸部領域の前記一方が、平面的に見て、不連続に形成される、請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記透光性基板は、前記窒化物半導体層より小さい屈折率を有する、請求項1〜9のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記透光性基板は、前記窒化物半導体層より発光される光の透過率が高い、請求項1〜10のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記窒化物半導体層が、n型窒化物半導体層、前記発光層およびp型窒化物半導体層を含む、請求項1〜11のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記p型窒化物半導体層の表面に電流拡散層が形成される、請求項12に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記電流拡散層は透明導電膜を含む、請求項13に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記p型窒化物半導体層または前記電流拡散層の表面に、発光される光を反射する反射層が形成される、請求項13または14に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記透光性基板の上面に、AlNバッファ層が形成される、請求項1〜15のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
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