JP2010171303A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置は、データ記録部35と履歴情報記憶部41と生産履歴ファイル作成部42aを備えた構成とする。データ記録部は、処理対象物に対するプラズマ処理が終了する毎に、日時データ,対象物特定データ,整合器18等の運転状態を示すマシン出力データ,放電状態検出部34による良否判定結果を示す判定データを読み取って履歴情報記憶部に時系列的に記憶する。生産履歴ファイル作成部は指定された期間または日時に基づいて日時データ41k,対象物特定データを含んだ処理済ワーク情報41j,マシン出力データ41c,判定データ41fを履歴情報記憶部から読み取り、トレーサビリティに有用な生産履歴ファイルを作成する。
【選択図】図4
Description
るための対象物特定データを出力する対象物特定データ出力部と、前記処理対象物に対するプラズマ処理が終了する毎に、前記日時データ,前記対象物特定データ,前記プラズマ処理実行部の運転状態を示すマシン出力データ,前記放電状態検出手段による良否判定結果を読み取って前記履歴情報記憶部に時系列的に記憶させるデータ記録部と、指定された期間または日時に基づいて前記履歴情報記憶部から前記日時データ,前記対象物特定データ,前記マシン出力データ,前記良否判定結果を読み出して生産履歴ファイルを作成する生産履歴ファイル作成部とを備えた。
給バルブ13を開状態にすることにより、ガス供給部16からプラズマ発生用ガスが処理室3a内に供給される。ガス供給部16は流量調整機能を内蔵しており、任意の供給量のプラズマ発生用ガスを処理室3a内に供給することができる。そしてベントバルブ12を開放にすることにより、真空破壊時に処理室3a内に大気が導入される。
形態においては、プローブ電極22bの電位を検出導線22dによって制御部20に導き、プラズマPの状態に応じた電位変化の信号を制御部20に設けられた放電状態検出部34(図4)よって解析して放電状態の判定を行うようにしている。
産履歴や、処理室3a内における放電状態の検出履歴などを所定様式でデータ化したトレーサビリティデータを作成する機能に関するものである。
2(−)がそれぞれ設定された検出条件において、判定しきい値V1(+)を+側へ超えさらに判定しきい値V2(−)を−側へ超えるパターンの波形W1、判定しきい値V2(−)を−側へ超えるパターンの波形W2が検出された例を示している。
う。
ータによって確認することができる。ここでも、「第2の動画抽出開始時点*4から検出時点*1までの時間帯T3」は、検出時点*1を含まない時間帯を意味するものとする。
明したが、放電状態検出部34が異常放電を検出しなかった場合には、画像データ抽出部35bは、当該基板9について正常な放電状態でプラズマ処理が実行されたことを証明するための履歴画像を抽出する処理を行う。この履歴画像としては、プラズマが最も安定しやすい時期に撮影した画像(動画または静止画)を当該処理における放電状態を代表させるのに適した画像とするのが好ましい。従って、プラズマが安定していると推定される特定時期を予め選定しておき、この特定時期の動画データを動画記憶部33から事後的に抽出することにより取得される。本実施の形態では、図6に示すように、プラズマ処理が停止される処理終了時点t3の直前に設定された画像取得時期*5に対応する画像データ(動画データもしくは静止画データ)を履歴画像とする。静止画データは、動画記憶部33に記憶された動画データから派生するものであり、動画データの1フレーム(1コマ)分のデータである。
て当該基板9について設定された運転条件パラメータを記憶する。運転条件パラメータとしては、高周波電源部19の高周波電源出力、ガス供給部16によって供給されるプラズマ発生用ガスの供給流量、プラズマ処理を実行する処理時間、処理室3a内の真空度を示す処理圧力などが含まれる。データ記録部35によって読み取られた運転条件パラメータは、履歴記録対象となる各基板9に実際に適用された運転条件を示す運転条件パラメータ41hとして履歴情報記憶部41に記録される。補助記憶部39には、制御部20による処理に際してデータを保持することが必要な場合に、随時一時的に記憶される。装置制御部40は、前述のプラズマ処理実行部によるプラズマ処理のプロセス動作を制御する。
データ記録処理がデータ記録部35によって実行される。
ている。時間Δtは制御部の処理速度により異なるが、数十msから数百msの範囲で設定されるのが望ましい。また、データ記録部35は(S7)で記録した日時データを連結情報としてマシン出力データに組み込んで履歴情報記録部41のマシン出力データ41cに記憶する。日時データを連結情報として組み込む方法としては、ファイル名の一部に日時データを使用する方法でもよい。
含むことに重要な意味がある。異常放電の有無を意味する「結果」が“Success”であっても、放電状態検出部34における検出条件パラメータの設定ミスやプローブ電極22bの故障などの要因で誤った結果を出力している可能性を排除できない。しかし「結果」61cに加え「マシン出力データ」61gを含めておくことにより、マシン出力データの数値でプラズマ処理実行部が異常放電による異常な動作を行っていなかったことの立証により“Success”はより信用できる結果として受け入れられる。
装置メーカが必要なときにはネットワークを介して遠隔地からでも随時当該装置にアクセスして、これらの履歴ファイルを参照するのに適したファイル形式を選択する。これにより、内容とするデータの性質が異なる複数種類の履歴ファイルを、使い勝手よくかつ適正に管理することができる。
履歴データの散逸を防止することができる。
2a 窓部
3 真空チャンバ
3a 処理室
5 電極部
9 基板
15 圧力計
16 ガス供給部
17 真空ポンプ
18 整合器
19 高周波電源部
21 誘電体部材
22 プローブ電極ユニット
22b プローブ電極
23 放電検出センサ
26 カメラ
P プラズマ
Claims (3)
- 処理対象物を収容可能な処理室を形成する真空チャンバと、前記処理室を減圧した状態でこの処理室内にプラズマ発生用ガスを導入し、高周波電圧を印加することにより前記処理室内でプラズマ放電を発生させて前記処理室内に収容された処理対象物のプラズマ処理を実行するプラズマ処理実行部と、
前記プラズマ処理実行部の運転条件として設定された運転条件パラメータを記憶する運転条件パラメータ記憶部と、
前記運転条件パラメータに基づいて前記プラズマ処理実行部を制御する装置制御部と、
プラズマの変化に伴う電位変化を解析して放電状態を検出するとともにこの検出結果に基づいて前記放電状態の良否判定を前記処理対象物毎に行う放電状態検出手段と、
履歴情報記憶部と、
日時を示す日時データを生成する日時データ生成部と、
処理対象物を特定するための対象物特定データを出力する対象物特定データ出力部と、
前記処理対象物に対するプラズマ処理が終了する毎に、前記日時データ,前記対象物特定データ,前記プラズマ処理実行部の運転状態を示すマシン出力データ,前記放電状態検出手段による放電状態の判定結果を示す判定データを読み取って前記履歴情報記憶部に時系列的に記憶させるデータ記録部と、
指定された期間または日時に基づいて前記履歴情報記憶部から前記日時データ,前記対象物特定データ,前記マシン出力データ,前記良否判定結果を読み出して生産履歴ファイルを作成する機能を有する生産履歴ファイル作成部とを備えたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記データ記録部は、前記運転条件パラメータもプラズマ処理が終了する毎に読み取って前記履歴情報記憶部に時系列的に記憶させるものであり、
前記生産履歴ファイル作成部は、前記運転条件パラメータを含む生産履歴ファイルを作成することを特徴とする請求項1記載のプラズマ処理装置。 - プラズマ処理中に前記真空チャンバ内を撮像するカメラを備え、
前記データ記録部は、プラズマ処理が終了する毎に前記カメラで撮像されたプラズマ処理中の画像データを前記履歴情報記憶部に時系列的に記憶させるものであり、
前記生産履歴ファイル作成部は、前記画像データを含む生産履歴ファイルを作成することを特徴とする請求項1または2記載のプラズマ処理装置。
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