CN115382856B - 一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质 - Google Patents

Abstract

本说明书实施例提供一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质，该装置包括处理仓、抽气装置、等离子发生器、输送装置、控制模块；处理仓包括若干带有气阀的接口，若干带有气阀的接口分别与抽气装置和输送装置的一端连接；输送装置的另一端和等离子发生器连接；处理仓内包括至少一个温度传感器；抽气装置用于抽出处理仓内的气体；输送装置用于输送等离子发生器生成的等离子体气体至处理仓内；控制模块用于控制抽气装置执行抽气动作、控制输送装置的输送动作、控制等离子发生器的启闭、控制气阀的启闭。

Description

一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质

技术领域

本说明书涉及等离子体技术领域，特别涉及一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质。

背景技术

等离子体气体中包括多种“活性”组分，主要包括离子、电子、原子、活性基团、激发态（亚稳态）的核素、光子等。当将等离子体气体应用于物体表面的清洗时，其可以与物体表面的污渍粒子发生反应、碰撞，形成小分子挥发性物质，从而达到清理物体表面污渍的效果。

基于等离子体气体在清洁方面的优异性能，因此，希望提供一种等离子体超净处理方法、系统、装置和介质，提高对物体的清洁效率以及提高物体的清洁度。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种等离子体超净处理装置，该装置包括处理仓、抽气装置、等离子发生器、输送装置、控制模块；处理仓包括若干带有气阀的接口，若干带有气阀的接口分别与抽气装置和输送装置的一端连接；输送装置的另一端和等离子发生器连接；处理仓内包括至少一个温度传感器；抽气装置用于抽出处理仓内的气体；输送装置用于输送等离子发生器生成的等离子体气体至处理仓内；控制模块用于控制抽气装置执行抽气动作、控制输送装置的输送动作、控制等离子发生器的启闭、控制气阀的启闭。

本说明书实施例之一提供一种等离子体超净处理方法，该方法包括：基于待处理对象的结构信息，确定抽气装置的运行功率；基于运行功率，执行抽气操作；基于待处理对象的结构信息，确定等离子体气体的发送时间；基于所述发送时间，执行等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭。

本说明书实施例之一提供一种计算机可读存储介质，该存储介质存储计算机指令，当计算机指令被处理器执行时实现如上述任一项所述的等离子体超净处理方法。

本说明书实施例之一提供一种等离子体超净处理系统，包括处理器，所述处理器用于执行上述任一项所述的等离子体超净处理方法。

附图说明

本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本说明书一些实施例所示的等离子体超净处理装置的示例性结构图；

图2是根据本说明书一些实施例所示的确定等离子体气体发送操作的启闭和抽气操作启闭的示例性方法流程图；

图3是根据本说明书一些实施例所示的确定抽气装置的运行功率的示例性流程图；

图4是根据本说明书一些实施例所示的确定等离子体气体的发送时间的示意图；

图5是根据本说明书一些实施例所示的确定模型的结构示意图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。

应当理解，本文使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换所述词语。

如本说明书和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。

本说明书中使用了流程图用来说明根据本说明书的实施例的系统所执行的操作。应当理解的是，前面或后面操作不一定按照顺序来精确地执行。相反，可以按照倒序或同时处理各个步骤。同时，也可以将其他操作添加到这些过程中，或从这些过程移除某一步或数步操作。

图1是根据本说明书一些实施例所示的等离子体超净处理装置的示例性结构图。以下将对本说明书实施例所涉及的等离子体超净处理装置100进行详细说明。需要注意的是，以下实施例仅用于解释本说明书，并不构成对本说明书的限定。例如，等离子体超净处理装置可以用于处理柔性等离子、柔性冷等离子、低温等离子体等应用场景。

如图1所示，等离子体超净处理装置100包括处理仓110、气阀、抽气装置130、输送装置140、等离子发生器150、控制模块160。

等离子体是指气体在强电磁场作用下而产生的一种高度电离的气体云，主要由电子、离子、原子、分子、自由基等各种活性物质组成，等离子体是除固、液、气三态以外的新的物质形态。可以理解的，等离子体中的正电荷总数与负电荷数在数值上相等。在应用方面，通过将等离子体气体施加到待清洁表面进行干刻蚀以达到清洁的目的，使用等离子体进行清洁的方法具有用时短、洁净度高、效率高的优点，从而可以广泛应用于清洁领域。

处理仓110可以指实现对待处理对象进行清洁的场所。待处理对象置于处理仓110后，在处理仓110中通过等离子体气体可以完成对待处理对象的清洁工作。

处理仓110可以包括若干带有气阀的接口，如图1所示，处理仓110的一端可以包括带有气阀一120-1的接口，该接口可以通过管道与输送装置140连接；处理仓110的另一端可以包括带有气阀二120-2的接口，该接口可以通过管道与抽气装置130连接。

处理仓110内可以设置有若干温度传感器（图1未示出），可以通过温度传感器实时确定处理仓110内的温度。温度传感器可以为至少一个，用来确定处理仓110内部不同位置处的温度。

气阀可以指处理仓110内气体输送的控制部件，如气阀一120-1和气阀二120-2。在一些实施中，通过控制气阀的启闭可以控制处理仓110中气体的输入输出以及流量。例如，当气阀一120-1开启时，输送装置140可以向处理仓110内输入等离子体气体，当气阀二120-2开启时，抽气装置130可以从处理仓110中抽出处理仓110内的气体。再例如，气阀一120-1和气阀二120-2还可以通过调节开合的程度来调节进入处理仓110的气体的流量或者从处理仓110输出的气体的流量。

抽气装置130可以指用于抽取处理仓110中气体的装置。在一些实施例中，抽气装置130可以用于抽出所述处理仓内的气体，当气阀二120-2开启时，抽气装置130可以通过管道从处理仓110中抽取气体。抽气装置130可以包括真空泵。

输送装置140可以指用于将等离子体气体输送到处理仓110内部的装置。在一些实施例中，输送装置140可以用于输送等离子发生器生成的等离子体气体至处理仓110内。在一些实施例中，输送装置140可以包括风机。在一些实施例中，输送装置140的一端可以和处理仓110的带有气阀一120-1的接口相连，另一端可以和等离子发生器150连接。当气阀一120-1开启时，输送装置140可以通过管道将等离子体气体输送到处理仓110的内部。

等离子体发生器150可以指用于生成等离子体的装置，例如，等离子体发生器150可以是电弧等离子体发生器、工频电弧等离子体发生器、高频感应等离子体发生器、低气压等离子体发生器、燃烧等离子体发生器等。其中，等离子体发生器150可以与输送装置140连接，并将生成的等离子体气体通过输送装置140送入处理仓110内。

控制模块160可以控制等离子体超净处理装置100中的各类装置。例如，控制模块160可以用于控制抽气装置130执行抽气动作、控制输送装置140的输送动作、控制等离子发生器150的启闭、控制气阀一120-1和二120-2的启闭。再例如，控制模块160还可以控制处理仓110的工作参数。控制模块160可以由具备处理芯片的计算设备实现。

应当理解，图1所示的等离子体超净处理装置100可以利用各种方式来实现。

需要注意的是，以上对于等离子体超净处理装置100的描述，仅为描述方便，并不能把本说明书限制在所举实施例范围之内。可以理解，对于本领域的技术人员来说，在了解该装置的原理后，可能在不背离这一原理的情况下，对各个模块进行任意组合，或者构成子系统与其他模块连接。

图2是根据本说明书一些实施例所示的确定等离子体气体发送操作的启闭和抽气操作启闭的示例性方法流程图。在一些实施例中，流程200可以由控制模块160执行，可以包括以下步骤：

步骤210，基于待处理对象的结构信息，确定抽气装置的运行功率。

待处理对象可以指表面或者内部有污垢的待处理的物体。例如，日用品、医疗器械、电子商品零部件等。待处理对象可以具备各种内部和/或外部结构，例如，待处理对象的内部可以具有复杂的内部结构，如，待处理对象可以为具备蜂窝状多孔结构的滤芯。再例如，待处理对象可以为具有至少一个弯曲处的管道。

结构信息可以指与待处理对象内部和外部结构有关的信息。在一些实施例中，结构信息可以包括待处理对象的内部和外部的形状、材质和/或耐压性。

形状可以包括平板型、管状、蜂窝多孔状等。材质可以包括树脂、塑料、金属、玻璃、木质等。耐压性可以指待处理对象在压力下保持自身形态的性能。耐压性可以基于待处理对象的材料在受到外力作用时，其单位面积上所能承受的力的最大值确定。

在一些实施例中，待处理对象的机械强度越高，其耐压性就越好。在一些实施例中，待处理对象的耐压性和其所处的处理仓内部环境温度有关。处理仓内部环境温度越高，同样材料的机械性能可能会下降，即其耐压性会降低。耐压性可以通过其所能耐受的最高压强表示。

在一些实施例中，待处理对象的结构信息可以从提供待处理对象的用户处获取，也可以基于经验、查询相关内容确定。

抽气装置的运行功率可以指从处理仓抽气时的功率。例如，抽气装置的运行功率可以为1200w。

在一些实施例中，待处理对象的结构信息可以影响抽气装置的运行功率。例如，待处理对象的结构越复杂，在完成相同抽气任务（即抽取相同体积的气体）时，抽气装置所需的运行功率越高，因此，对于待处理对象为结构较复杂的装置时，可以适当增加抽气装置的运行功率。仅作为示例的，待处理对象A具备蜂窝状结构，待处理对象B具备平板型结构，那么从处理仓中抽取相同体积的气体时，清洁待处理对象A时对应的抽气装置的运行功率需要比清洁待处理对象B时对应的抽气装置的运行功率高。

在一些实施例中，待处理对象的材质也可以影响抽气装置的运行功率，当待处理对象的柔软度和/或材料脆性较高时，表明其承受压力的能力较差，为了保证待处理对象在处理仓中不发生形变，可以适当降低抽气装置的运行功率。例如，待处理对象A的材质为玻璃，待处理对象B的材质为橡胶，那么清洁待处理对象A时对应的抽气装置的运行功率需要比清洁待处理对象B时对应的抽气装置的运行功率低。

在一些实施例中，待处理对象的耐压性也可以影响抽气装置的运行功率，对于耐压性更强的待处理对象，为了提高清洁效率，可以适当增加抽气装置的对应运行功率。例如，待处理对象A的耐压性为10MPa，待处理对象B的耐压性为12MPa，那么清洁待处理对象A时对应的抽气装置的运行功率需要比清洁待处理对象B时对应的抽气装置的运行功率低。

在一些实施例中，在与抽气装置与处理仓连接的管道的横截面积相同的情况下，抽气装置的抽气功率可以和抽气速率成正比，抽气功率越高，抽气速率越高。

在一些实施例中，可以根据待处理对象的结构信息通过功率确定模型确定对应的抽气装置的运行功率。在一些实施例中，功率确定模型可以为机器学习模型，例如，深度神经网络模型。功率确定模型的输入可以包括待处理对象的结构信息、处理仓的温度，输出可以为抽气装置的对应的运行功率。功率确定模型可以通过历史数据训练获得。

在一些实施例中，可以预先确定处理对象的形状、材质和/或耐压性与抽气装置的运行功率的对应关系。具体地，可以预设处理对象的形状、材质、耐压性分别对应的形状分数、材质分数、耐压分数以及各自的权重，基于此可以确定当前该待处理对象的分数，还可以预设抽气装置的运行功率与待处理对象的分数的对应关系，进一步地，可以基于当前该待处理对象的分数通过该对应关系确定抽气装置的运行功率。例如，待处理对象的形状为平板型，对应的形状分数为20分，权重为0.3，材质为钢，材质分数为20分，权重为0.3，耐压性为12MPa，对应的耐压分数为30分，权重为0.4，则该待处理对象的分数为24，基于预设对照关系可以确定抽气装置对应的运行功率为10KW。

在一些实施例中，确定抽气装置的运行功率可以包括：基于待处理对象的结构信息，确定结构向量；基于结构向量在历史结构数据库中检索，确定参考向量；历史结构数据库中存储有多个历史结构向量及其对应的抽气装置的历史运行功率；基于参考向量确定参考运行功率；基于参考运行功率确定抽气装置的运行功率。关于确定抽气装置运行功率的详细内容可以参见图3的描述，在此不再赘述。

步骤220，基于运行功率，执行抽气操作。

抽气操作可以指通过抽气装置从处理仓内进行抽气的操作。抽气操作可以包括控制处理仓与抽气装置相连的气阀的启闭、控制抽气装置的启闭、控制抽气装置按照已确定的运行功率进行抽气等。控制处理仓与抽气装置相连的气阀的启闭以及控制抽气装置的启闭的详细内容可以参见本说明书其他部分内容的描述，例如，步骤240。

在一些实施例中，控制模块160在接收到已确定的运行功率后，控制处理仓与抽气装置相连的气阀开启，并控制抽气装置按照该运行功率进行抽气操作。

步骤230，基于待处理对象的结构信息，确定等离子体气体的发送时间。

等离子体气体的发送时间可以为将等离子体气体输入处理仓的开始时间点以及结束时间点。在处理同一个待处理对象时，为防止处理仓内温度过高或者为了使待处理对象在处理仓内不发生变形、破裂、爆炸而损坏，可以多次输入等离子体气体对待处理对象进行清洁。例如，第一次输入等离子体气体的开始时间点为09:00，结束时间点为09:10，第二次输入等离子体气体的开始时间点为09:30，结束时间点为09:40。

在一些实施例中，等离子体气体输入处理仓的开始时间点以及结束时间点可以为等离子发生器的开启时间点和关闭时间点，或者，可以是处理仓与输送装置相连的气阀的开启时间点和关闭时间点。

在一些实施例中，确定等离子体气体的发送时间可以通过以下步骤实现：基于历史数据预设发送时间数据库，发送时间数据库中存储有多个历史结构向量及其对应的等离子体气体的历史发送时间。基于待处理对象的结构信息，确定结构向量；基于结构向量在发送时间数据库中检索，确定与该结构向量相似的历史结构向量，并将该历史结构向量对应的等离子体气体的发送时间作为当前等离子体气体的发送时间。在一些实施例中，发送时间数据库可以和历史结构数据库为同一个数据库，在该数据库中，历史结构向量可以与对应的等离子体气体的历史发送时间以及抽气装置的参考运行功率一一对应。

在一些实施例中，控制模块可以基于确定模型确定等离子体气体的发送时间。关于确定模型的详细内容可以参见本说明书其他部分的描述，例如，图4。

步骤240，基于发送时间，执行等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭。

等离子体气体的发送操作的启闭可以指向处理仓内部发送或者停止发送等离子体气体的操作。在一些实施例中，等离子体气体的发送操作的启闭可以通过等离子发生器的启闭、输送装置的启闭、处理仓与输送装置相连的气阀的启闭来实现。仅作为示例的，等离子体气体的发送操作的启闭可以通过以下方式执行：控制模块在确定等离子体气体的发送时间后，控制处理仓基于等离子体气体输入处理仓的开始时间点控制等离子发生器、处理仓与输送装置相连的气阀以及输送装置开启，相应地，控制处理仓可以基于等离子体气体输入处理仓的结束时间点控制等离子发生器、处理仓与输送装置相连的气阀以及输送装置关闭。

抽气操作的启闭可以指从处理仓内部开始或者停止抽气的操作。在一些实施例中，抽气操作的启闭可以通过抽气装置的启闭、处理仓与抽气操作相连的气阀的启闭来实现。仅作为示例的，抽气操作的启闭可以通过以下方式执行：控制模块确定需要进行抽气操作后，控制处理仓与抽气操作相连的气阀以及抽气装置开启，相应地，控制模块在接收到停止抽气操作的命令后，控制处理仓与抽气操作相连的气阀以及抽气装置的关闭。

在一些实施例中，控制模块160可以平行控制等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭，即在控制等离子体气体开始发送到处理仓后控制抽气装置关闭，还可以在控制等离子体气体停止发送到处理仓后控制抽气装置开启，以上步骤可以循环操作，直到清洁完成。

清洁完成可以通过待处理对象的清洁度达到预设阈值来表征，或者通过控制模块执行完所有的发送时间来确定。

通过平行控制等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭，可以提高对待处理对象的清洁效率。

在一些实施例中，控制模块160可以先开启处理仓的与抽气装置连接的气阀对处理仓抽气，这样可以先去除处理仓内残留的大部分的杂质气体，减少对待处理对象的污染，提高清洁效率。接着，控制模块控制处理仓的与输送装置连接的气阀开启，再在等离子体气体的开始时间点控制等离子发生器开始运行，此时控制模块可以控制抽气装置停止，并关闭处理仓的与抽气装置连接的气阀，通过输送装置先向处理仓内输送一部分等离子体气体后再关闭抽气装置，可以进一步减少仓内残留的杂质气体。最后，基于等离子发生器的结束时间点关闭离子发生器，使其停止运行，最后关闭处理仓的与输送装置相连的气阀。以上步骤可以多次循环运行，直至清洁完成。

在一些实施例中，控制模块160还可以在等离子体气体开始发送前，关闭抽气装置，并且，可以在等离子体气体停止发送后，开启抽气装置，如此进行循环运行，直至清洁完成。

需要注意的是，以上对于流程200的描述，仅为描述方便，并不能把本说明书限制在所举实施例范围之内。应当理解，图2所示的流程200可以利用各种方式来实现。对于本领域的技术人员来说，在了解该流程的原理后，可能在不背离这一原理的情况下，对各个步骤的顺序进行改变。在一些实施例中，确定等离子体气体的发送时间，并执行等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭和确定抽气装置的运行功率并执行抽气操作可以并列执行，即步骤210和步骤230可以并列执行。

在一些实施例中，基于等离子体气体的发送时间执行等离子体气体的发送操作的启闭和抽气操作的启闭的步骤可以先于基于抽气装置的运行功率执行抽气操作的步骤，即步骤230和步骤240可以先于步骤210和步骤220。诸如此类的变形，均在本说明书的保护范围之内。

根据本说明书一些实施例中，根据待处理对象的结构信息确定抽气功率以及等离子体气体的发送时间，控制模块进一步基于抽气功率和发送时间对待处理对象进行清洁，使得等离子体气体可以适用于多种不同形状、材质、结构的物体的清洁，能够有效清除待处理对象上静电吸附的杂质，清理效率高，灵活性好，并且在提高清洁效率的同时，可以避免损坏待处理对象，保证待处理对象的完整性。

由于对待处理对象的处理方案（包括，抽气装置的运行功率、等离子体气体的发送操作的启闭以及抽气操作的启闭等）是基于待处理对象的结构信息确定的，因此，所得到的处理方案都是与待处理对象一一对应的。例如，对于具备复杂结构的待处理对象（如，蜂窝状多孔结构的滤芯、具有至少一个弯曲处的管道）时，相比于具备简单结构的待处理对象（如，平板型的待处理对象），处理方案中的等离子体气体的发送时间会更长、抽气装置的运行功率会更高。因此，本说明书一些实施例中所确定的处理方案针对性强，可以应用于各种结构的待处理对象，适用性更广，清洁效率也更高。

在一些实施例中，控制模块160可以基于待处理对象的结构信息，确定抽气装置的运行功率。

在一些实施例中，可以基于待处理对象的结构信息通过功率确定模型确定对应的抽气装置的运行功率。在又一些实施例中，可以预先确定处理对象的形状、材质和/或耐压性与抽气装置的运行功率的对应关系，并基于待处理对象的结构信息及对应关系确定抽气装置的运行功率。上述两种方法的相关说明可参见图2相关描述，此处不再赘述。

在一些实施例中，可以基于待处理对象的结构信息构建结构向量，并基于结构向量确定抽气装置的运行功率。

图3是根据本说明书一些实施例所示的确定抽气装置的运行功率的示例性流程图。在一些实施例中，流程300可以由控制模块160执行。如图3所示，流程300可以包括下述步骤。

步骤310，基于待处理对象的结构信息，确定结构向量。

结构向量可以指基于待处理对象的结构信息构建的，可以用于表征待处理对象的结构特征的向量形式的数据。例如，某结构向量的内容可以是（3，1，2，11），其含义可参见后文描述。

结构向量可以基于待处理对象的结构信息，通过预设的向量确定规则进行确定。示例性地，结构向量的确定规则可以是：结构向量的每个维度的数值分别代表待处理对象的内部形状、外部形状、材质和耐压性；对于内部形状和外部形状，数值1代表平板型，数值2代表管状，数值3代表蜂窝多孔状等；对于材质，数值1代表树脂，数值2代表塑料，数值3代表金属，数值4代表玻璃，数值5代表木质等；对于耐压性，可直接使用其数值进行表征。例如，前述结构向量的内容为（3，1，2，11），所代表的含义为待处理对象的内部形状为蜂窝多孔状，外部形状为平板型，材质为塑料材质，耐压性为11MPa。

步骤320，基于结构向量在历史结构数据库中检索，确定参考向量。

历史结构数据库可以指存储有历史处理对象的结构信息相关数据的数据库。例如，历史结构数据库中可以存储有多个历史结构向量。

在一些实施例中，历史结构数据库中存储的每个历史结构向量可以对应一个历史抽气装置运行功率。

参考向量可以指从历史结构数据库中存储的多个历史结构向量中确定的，用于后续确定抽气装置的运行功率的向量形式的数据。

在一些实施例中，可以从多个历史结构向量中选取满足预设条件的历史结构向量作为参考向量。例如，预设条件可以是历史结构向量与结构向量的向量距离最小，又或是历史结构向量与结构向量的向量距离小于距离阈值等。向量距离的计算方法可以包括但不限于欧氏距离、曼哈顿距离、切比雪夫距离等。距离阈值可以预设。

步骤330，基于参考向量确定参考运行功率。

参考运行功率可以指基于参考向量对应的抽气装置的历史运行功率确定的抽气装置的运行功率。例如，参考运行功率可以是1250w。

在一些实施例中，若参考向量的数量只有一个，则可以将该参考向量对应的抽气装置的历史运行功率作为参考运行功率；若参考向量的数量不止一个，则可以将所有参考向量对应的抽气装置的历史运行功率的均值作为参考运行功率。

在一些实施例中，历史结构数据库中的每个历史结构向量还可以对应一个历史温度阈值。在一些实施例中，可以基于参考向量确定参考温度阈值，并基于参考温度阈值确定待处理对象对应的温度阈值。

待处理对象对应的温度阈值可以指能够保证待处理对象在处理过程中不发生损坏的最高温度限值，即当处理过程中待处理对象的温度超过温度阈值时，可能会导致待处理对象的损坏。损坏可以包括但不限于由于温度过高而引起的待处理对象的变形、融化、破裂、爆炸等。

参考温度阈值可以指基于参考向量对应的历史温度阈值确定的温度阈值。

在一些实施例中，若参考向量的数量只有一个，则可以将该参考向量对应的历史温度阈值作为参考温度阈值；若参考向量的数量不止一个，则可以将所有参考向量对应的历史温度阈值的均值作为参考温度阈值。

在一些实施例中，可以将参考温度阈值作为待处理对象对应的温度阈值。

本说明书一些实施例中，通过确定待处理对象的温度阈值，有效避免了待处理对象在处理过程中发生损坏的情况的出现。

步骤340，基于参考运行功率确定抽气装置的运行功率。

在一些实施例中，可以将参考运行功率作为抽气装置的运行功率。

在一些实施例中，可以对所确定的抽气装置的运行功率和待处理对象对应的温度阈值进行适当的调整，并将调整后的结果作为最终的抽气装置的运行功率和待处理对象对应的温度阈值。

在一些实施例中，可以基于当前结构向量和参考向量之间的向量距离，调整抽气装置的运行功率和待处理对象对应的温度阈值。

在一些实施例中，示例性地，调整后的抽气装置的运行功率可通过如下公式(1)进行计算：

其中，

为调整后的抽气装置的运行功率；

为参考向量的个数；

为第

个参考向量与当前结构向量的向量距离；

为

个参考向量与当前结构向量的向量距离之和；

为第

个参考向量对应的抽气装置的历史运行功率。

在一些实施例中，示例性地，调整后的待处理对象对应的温度阈值可通过如下公式(2)进行计算：

其中，

为调整后的待处理对象对应的温度阈值；

为第

个参考向量对应的历史温度阈值；其他变量的意义与公式(1)相同。

本说明书一些实施例中，通过对抽气装置的运行功率和待处理对象的温度阈值的调整，可以增强所确定的抽气装置的运行功率和待处理对象的温度阈值对于当前待处理对象的适应性。

本说明书一些实施例中，通过向量的方式确定抽气装置的运行功率和待处理对象的温度阈值，在简化了确定流程的同时，增强了抽气装置的运行功率和待处理对象的温度阈值对于当前待处理对象的适应性，同时也避免了待处理对象遭受损坏的情形的出现。

图4是根据本说明书一些实施例所示的确定等离子体气体的发送时间的示意图。

在一些实施例中，控制模块160可以基于待处理对象的结构信息410，确定等离子体气体的发送时间420。

在一些实施例中，确定等离子体气体的发送时间420可以包括：基于待处理对象的结构信息410，确定结构向量；基于结构向量在历史结构数据库中检索，确定参考向量；历史结构数据库中存储有多个历史结构向量及其对应的等离子体气体的历史发送时间；基于参考向量确定参考发送时间；基于参考发送时间确定等离子体气体的发送时间420。上述步骤的具体细节可以与图3中抽气装置的运行功率和待处理对象的温度阈值的确定方法相同。

在一些实施例中，可以根据待处理对象的结构信息410通过时间确定模型确定对应的等离子体气体的发送时间420。在一些实施例中，时间确定模型可以为机器学习模型，例如，深度神经网络模型。时间确定模型的输入可以包括待处理对象的结构信息410、处理仓的温度，输出可以为等离子体气体的发送时间420。时间确定模型可以通过历史数据训练获得。

在一些实施例中，可以基于确定模型确定等离子体气体的发送时间420。确定模型的相关说明可参见图5及其相关描述。

本说明书一些实施例中，基于待处理对象的结构信息，通过模型确定等离子体气体的发送时间，在精准地确定等离子气体发送时间的同时，可以有效提高确定效率，节约了时间成本。

图5是根据本说明书一些实施例所示的确定模型的结构示意图。

如图5所示，确定模型500可以包括第一特征层510、第二特征层520、第三特征层530和确定层550。确定模型500可以基于对待处理对象的结构信息511、抽气装置运行功率521、处理仓的仓内体积522、多个时间点的处理仓内的温度数据531和温度阈值540的处理，确定等离子体气体的发送时间560。确定模型500的各个层均可以是机器学习模型，例如，可以是神经网络模型等。

确定模型500的第一特征层510可以基于对待处理对象的结构信息511的处理，确定对象特征512。第一特征层510的输入可以包括待处理对象的结构信息511，输出可以包括对象特征512。待处理对象的结构信息的相关说明可参见图2及其相关描述。

对象特征512可以指基于待处理对象的结构信息511确定的，可以表征待处理对象的结构特征的数据。在一些实施例中，对象特征512可以是向量形式的数据，可以与结构向量的内容形式相同。例如，某对象特征的内容可以是（3，2，1，10），所代表的含义为待处理对象的内部形状为蜂窝多孔状，外部形状为管状，材质为树脂材质，耐压性为10MPa。对象特征512中每个维度的数值的含义与结构向量相同，可参考图3中结构向量每个维度的数值的含义。

在一些实施例中，可以将第一特征层510基于历史处理对象的结构信息确定的历史对象特征向量作为历史结构数据库中的历史结构向量。在一些实施例中，待处理对象的结构向量也可以通过第一特征层510进行确定。

确定模型500的第二特征层520可以基于对抽气装置运行功率521和处理仓的仓内体积522的处理，确定抽气特征523。第二特征层520的输入可以包括抽气装置运行功率521和处理仓的仓内体积522，输出可以包括抽气特征523。

抽气装置运行功率521的获取方法可参见图3及其相关描述。处理仓的仓内体积可通过注水法等容积计算方法进行计算。

抽气特征523可以指基于抽气装置运行功率和处理仓的仓内体积确定的，可以反映待处理对象所处空间的气体流动特征的数据。在一些实施例中，抽气特征523可以是向量形式的数据。例如，某抽气特征的内容可以是（1170，1.5），代表的含义为该抽气特征对应的抽气装置运行功率为1170w，处理仓的仓内体积为1.5m³。

确定模型500的第三特征层530可以基于对多个时间点的处理仓内的温度数据531的处理，确定温度特征532。第三特征层530的输入可以包括多个时间点的处理仓内的温度数据531，输出可以包括温度特征532。

多个时间点的处理仓内的温度数据531可以指处理过程中处理仓内多个时间点的气温数据。其中，多个时间点的数量、时间位置可以人工选取。在一些实施例中，多个时间点中相邻时间点可以是等时间间隔的。例如，某个多个时间点的处理仓内的温度数据的内容可以包括：处理开始时刻为9:15:00，处理结束时刻为9:19:00，多个时间点的时间间隔为1s，多个时间点的温度值（按时间顺序先后排列）分别为32.8℃，40.0℃，47.7℃，54.3℃，60.5℃，64.0℃，65.8℃，66.1℃，66.2℃，...，66.0℃，65.9℃，55.9℃，46.9℃，41.0℃，33.1℃。

多个时间点的处理仓内的温度数据531可以通过设置于处理仓内的温度传感器进行获取。

温度特征532可以指基于多个时间点的处理仓内的温度数据确定的，可以表征处理仓内的温度特征的数据。在一些实施例中，温度特征可以是向量形式的数据。例如，针对前文所述的多个时间点的处理仓内的温度数据，对应的温度特征的内容可以是（9:15:00，9:19:00，32.8，40.0，47.7，54.3，60.5，64.0，65.8，66.1，66.2，...，66.0，65.9，55.9，46.9，41.0，33.1，1），其中，9:15:00代表处理开始时刻；9:19:00代表处理结束时刻；最后一个维度的数值“1”代表相邻时间点的时间间隔为1秒；其他维度的每个维度的数值代表按时间先后顺序排列的时间点的处理仓内的温度值，单位为℃。

确定模型500的确定层550可以基于对对象特征512、抽气特征523、温度特征532和温度阈值540的处理，确定等离子体气体的发送时间560。确定层550的输入可以包括对象特征512、抽气特征523、温度特征532和温度阈值540，输出可以包括等离子体气体的发送时间560。温度阈值的相关说明可参见图3及其相关描述。

在一些实施例中，确定模型500的第一特征层510、第二特征层520、第三特征层530和确定层550可以进行联合训练。联合训练的样本数据可以包括样本待处理对象的结构信息、样本抽气装置运行功率、样本处理仓的仓内体积、多个时间点的处理仓内的样本温度数据和样本温度阈值，标签可以包括样本等离子气体的发送时间。将样本待处理对象的结构信息输入第一特征层，得到第一特征层输出的对象特征；将样本抽气装置运行功率和样本处理仓的仓内体积输入第二特征层，得到第二特征层输出的抽气特征；将多个时间点的处理仓内的样本温度数据输入第三特征层，得到第三特征层输出的温度特征；将对象特征、抽气特征和温度特征作为训练样本数据，与样本温度阈值一起输入确定层，得到确定层输出的等离子气体的发送时间；基于样本等离子气体的发送时间和确定层输出的等离子气体的发送时间构建损失函数，同步更新第一特征层、第二特征层、第三特征层和确定层的参数。通过参数更新，得到训练好的第一特征层、第二特征层、第三特征层和确定层。

在一些实施例中，联合训练的样本数据可以基于历史数据获取，标签可以是历史等离子气体的发送时间，标签可以基于人工标注。

本说明书一些实施例中，通过将模型分为多个层级，有效提高了模型输出的结果的准确度，增强了结果应用于实际处理过程时的适应性。

需要说明的是，不同实施例可能产生的有益效果不同，在不同的实施例里，可能产生的有益效果可以是以上任意一种或几种的组合，也可以是其他任何可能获得的有益效果。

上文已对基本概念做了描述，显然，对于本领域技术人员来说，上述详细披露仅仅作为示例，而并不构成对本说明书的限定。虽然此处并没有明确说明，本领域技术人员可能会对本说明书进行各种修改、改进和修正。该类修改、改进和修正在本说明书中被建议，所以该类修改、改进、修正仍属于本说明书示范实施例的精神和范围。

同时，本说明书使用了特定词语来描述本说明书的实施例。如“一个实施例”、“一实施例”、和/或“一些实施例”意指与本说明书至少一个实施例相关的某一特征、结构或特点。因此，应强调并注意的是，本说明书中在不同位置两次或多次提及的“一实施例”或“一个实施例”或“一个替代性实施例”并不一定是指同一实施例。此外，本说明书的一个或多个实施例中的某些特征、结构或特点可以进行适当的组合。

此外，除非权利要求中明确说明，本说明书所述处理元素和序列的顺序、数字字母的使用、或其他名称的使用，并非用于限定本说明书流程和方法的顺序。尽管上述披露中通过各种示例讨论了一些目前认为有用的实施例，但应当理解的是，该类细节仅起到说明的目的，附加的权利要求并不仅限于披露的实施例，相反，权利要求旨在覆盖所有符合本说明书实施例实质和范围的修正和等价组合。例如，虽然以上所描述的系统组件可以通过硬件设备实现，但是也可以只通过软件的解决方案得以实现，如在现有的服务器或移动设备上安装所描述的系统。

同理，应当注意的是，为了简化本说明书披露的表述，从而帮助对一个或多个实施例的理解，前文对本说明书实施例的描述中，有时会将多种特征归并至一个实施例、附图或对其的描述中。但是，这种披露方法并不意味着本说明书对象所需要的特征比权利要求中提及的特征多。实际上，实施例的特征要少于上述披露的单个实施例的全部特征。

一些实施例中使用了描述成分、属性数量的数字，应当理解的是，此类用于实施例描述的数字，在一些示例中使用了修饰词“大约”、“近似”或“大体上”来修饰。除非另外说明，“大约”、“近似”或“大体上”表明所述数字允许有±20%的变化。相应地，在一些实施例中，说明书和权利要求中使用的数值参数均为近似值，该近似值根据个别实施例所需特点可以发生改变。在一些实施例中，数值参数应考虑规定的有效数位并采用一般位数保留的方法。尽管本说明书一些实施例中用于确认其范围广度的数值域和参数为近似值，在具体实施例中，此类数值的设定在可行范围内尽可能精确。

针对本说明书引用的每个专利、专利申请、专利申请公开物和其他材料，如文章、书籍、说明书、出版物、文档等，特此将其全部内容并入本说明书作为参考。与本说明书内容不一致或产生冲突的申请历史文件除外，对本说明书权利要求最广范围有限制的文件（当前或之后附加于本说明书中的）也除外。需要说明的是，如果本说明书附属材料中的描述、定义、和/或术语的使用与本说明书所述内容有不一致或冲突的地方，以本说明书的描述、定义和/或术语的使用为准。

最后，应当理解的是，本说明书中所述实施例仅用以说明本说明书实施例的原则。其他的变形也可能属于本说明书的范围。因此，作为示例而非限制，本说明书实施例的替代配置可视为与本说明书的教导一致。相应地，本说明书的实施例不仅限于本说明书明确介绍和描述的实施例。

Claims (8)

1.一种等离子体超净处理装置，其特征在于，包括处理仓、抽气装置、等离子发生器、输送装置、控制模块；

所述处理仓包括若干带有气阀的接口，所述若干带有气阀的接口分别与所述抽气装置和所述输送装置的一端连接；所述输送装置的另一端和所述等离子发生器连接；所述处理仓内包括至少一个温度传感器；

所述抽气装置用于抽出所述处理仓内的气体；所述输送装置用于输送所述等离子发生器生成的等离子体气体至所述处理仓内；

所述控制模块用于控制所述抽气装置执行抽气动作、控制所述输送装置的输送动作、控制所述等离子发生器的启闭、控制所述气阀的启闭；

所述控制模块还用于，基于确定模型，对待处理对象的结构信息，以及所述抽气装置的运行功率、所述处理仓的温度数据进行处理，确定所述等离子体气体的发送时间；其中，所述待处理对象的结构信息至少包括所述待处理对象的形状、材质信息、耐压性能、温度阈值中的一种；

所述确定模型包括第一特征层、第二特征层、第三特征层和确定层；所述确定模型的各个层均为机器学习模型；

所述确定模型的所述第一特征层的输入包括所述待处理对象的结构信息，输出包括对象特征；所述确定模型的所述第二特征层的输入包括所述抽气装置的运行功率和所述处理仓的仓内体积，输出包括抽气特征；所述确定模型的所述第三特征层的输入包括多个时间点的所述处理仓的温度数据，输出包括温度特征；所述确定模型的所述确定层的输入包括所述对象特征、所述抽气特征、所述温度特征和所述温度阈值，输出包括所述等离子体气体的发送时间；所述温度特征指基于多个时间点的所述处理仓内的温度数据确定的特征数据；所述温度阈值指能够保证待处理对象在处理过程中不发生损坏的最高温度限值，损坏至少包括待处理对象的变形、融化、破裂、爆炸中的一种。

2.根据权利要求1所述的装置，所述控制模块进一步用于：

基于待处理对象的结构信息，确定所述抽气装置的运行功率。

3.根据权利要求2所述的装置，所述基于待处理对象的结构信息，确定所述抽气装置的运行功率包括：

基于所述待处理对象的所述结构信息，确定结构向量；

基于所述结构向量在历史结构数据库中检索，确定参考向量；所述历史结构数据库中存储有多个历史结构向量及其对应的抽气装置的历史运行功率；

基于所述参考向量确定参考运行功率；

基于所述参考运行功率确定所述抽气装置的运行功率。

4.一种等离子体超净处理方法，基于权利要求1至3中任一所述等离子体超净处理装置执行，所述方法包括：

基于待处理对象的结构信息，确定抽气装置的运行功率；

基于所述运行功率，执行抽气操作；

基于所述待处理对象的结构信息，确定等离子体气体的发送时间；

基于所述发送时间，执行所述等离子体气体的发送操作的启闭和所述抽气操作的启闭；

基于确定模型，对待处理对象的结构信息，以及所述抽气装置的运行功率、所述处理仓的温度数据进行处理，确定所述等离子体气体的发送时间；其中，所述待处理对象的结构信息至少包括所述待处理对象的形状、材质信息、耐压性能、温度阈值中的一种；

所述确定模型包括第一特征层、第二特征层、第三特征层和确定层；所述确定模型的各个层均为机器学习模型；

所述确定模型的所述第一特征层的输入包括所述待处理对象的结构信息，输出包括对象特征；所述确定模型的所述第二特征层的输入包括所述抽气装置的运行功率和所述处理仓的仓内体积，输出包括抽气特征；所述确定模型的所述第三特征层的输入包括多个时间点的所述处理仓的温度数据，输出包括温度特征；所述确定模型的所述确定层的输入包括所述对象特征、所述抽气特征、所述温度特征和所述温度阈值，输出包括所述等离子体气体的发送时间；所述温度特征指基于多个时间点的所述处理仓内的温度数据确定的特征数据；所述温度阈值指能够保证待处理对象在处理过程中不发生损坏的最高温度限值，损坏至少包括待处理对象的变形、融化、破裂、爆炸中的一种。

5.根据权利要求4所述的方法，所述基于待处理对象的结构信息，确定抽气装置的运行功率包括：

基于所述待处理对象的所述结构信息，确定结构向量；

基于所述结构向量在历史结构数据库中检索，确定参考向量；所述历史结构数据库中存储有多个历史结构向量及其对应的抽气装置的历史运行功率；

基于所述参考向量确定参考运行功率；

基于所述参考运行功率确定所述抽气装置的运行功率。

6.根据权利要求5所述的方法，所述历史结构数据库中还包括历史结构向量对应的历史温度阈值；

所述方法还包括：

基于所述参考向量确定参考温度阈值；

基于所述参考温度阈值确定所述待处理对象对应的温度阈值。

7.一种等离子体超净处理系统，其特征在于，包括处理器，所述处理器用于执行权利要求4-6中任一项所述的等离子体超净处理方法。

8.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述存储介质存储计算机指令，当计算机读取存储介质中的计算机指令后，计算机执行如权利要求4-6中任一项所述的等离子体超净处理方法。

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