JP2010165973A - 積層インダクタ - Google Patents

積層インダクタ Download PDF

Info

Publication number
JP2010165973A
JP2010165973A JP2009008685A JP2009008685A JP2010165973A JP 2010165973 A JP2010165973 A JP 2010165973A JP 2009008685 A JP2009008685 A JP 2009008685A JP 2009008685 A JP2009008685 A JP 2009008685A JP 2010165973 A JP2010165973 A JP 2010165973A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
coil conductor
coil
insulating layer
conductor pattern
multilayer inductor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2009008685A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahiro Shibata
雅博 柴田
Hideaki Oe
秀明 大江
Tetsuya Kanekawa
哲也 金川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2009008685A priority Critical patent/JP2010165973A/ja
Publication of JP2010165973A publication Critical patent/JP2010165973A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)

Abstract

【課題】製品規格に適合しつつコイル内径を大きく設定することが可能であるとともに、小型で高Q値を有する積層インダクタを提供する。
【解決手段】コイル導体パターン2間に絶縁層3が介在するような態様で、複数のコイル導体パターンと複数の絶縁層が積層された積層体4と、絶縁層に形成されたビアホール5を介してコイル導体パターンどうしが電気的に接続されることにより形成され、積層方向に沿って中心軸を有するコイル6と、積層体の実装面に形成され、各外部電極にコイルの一対の端部が、絶縁層に形成されたビアホールを介してそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極7とを備え、各コイル導体パターンは、その一部が積層体の実装面を除いた非実装面の一部に露出している構成とする。
【選択図】図5

Description

本発明は、積層インダクタに関し、詳しくは、例えば移動体通信機器などの電子機器に使用される小型の積層インダクタに関する。
従来、移動体通信機器などの電子機器に使用される小型の積層インダクタとして、複数のコイル導体パターン間に絶縁層を介在させた状態でこれらを積層して積層体を形成するとともに、絶縁層に形成されたビアホールを介してコイル導体パターンどうしを互いに電気的に接続して積層方向に沿って中心軸を有するコイルを構成した積層インダクタがある。
このような積層インダクタにおいて、その電気的特性は積層体内に形成されるコイルの内径と密接に関連しており、コイル内径を大きくすることによりQ値を大きく設定することができる。
そこで、絶縁層上に螺旋状のコイル導体パターンを形成する際に、絶縁層の周縁部とコイル導体パターンの周縁部の間のギャップが零となるようにして、コイル内径をできるだけ大きく形成することを可能にした積層インダクタが提案されている(特許文献1参照)。
しかしながら、上記の特許文献1記載の積層インダクタの場合、積層体内に形成されるコイルの両端部を、実装面とこれに対向する面にそれぞれ引き出すようにしているため、実装面と対向する面に引き出されたコイルの一端側をさらに実装面にまで電気的に引き回す必要が生じる。
そのため、積層体の両側面に、コイルの一端側を実装面まで引き回すための外部電極を形成するとともに、外部電極とコイル導体パターンとの短絡を防止するために、外部電極と積層体の側面との間に絶縁層を形成している。
しかし、このように積層体の外周部の両側面に絶縁層や外部電極を形成すると、製品の外径寸法が規格化されている場合、積層体自体の寸法を、絶縁層と外部電極を形成するために必要な寸法分だけ、規格寸法よりも小さくすることが必要になる。そして、その結果、コイル内径が小さくなってQ値も小さくなり、所望のQ値を得ることが困難になるという問題点がある。
また、上記の特許文献1記載の積層インダクタの場合、回路基板などに実装する際の実装方向を確認することが容易でなく、実装誤りを起こすおそれがあり、信頼性が低いという問題点がある。
特開2001−313212号公報
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、外形寸法を維持したまま、コイル内径を大きくすることが可能で、製品規格に対応しつつ、Q値を大きく設定することが可能な、小型でかつ高Q値を有する積層インダクタを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明の積層インダクタは、
コイル導体パターン間に絶縁層が介在するような態様で、複数のコイル導体パターンと複数の絶縁層が積層された積層体と、
前記絶縁層に形成されたビアホールを介して前記コイル導体パターンどうしが電気的に接続されることにより形成され、積層方向に沿って中心軸を有するコイルと、
前記積層体の実装面に形成され、各外部電極に前記コイルの一対の端部が、前記絶縁層に形成されたビアホールを介してそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極と
を備えるとともに、
前記各コイル導体パターンは、その一部が前記積層体の前記実装面を除いた非実装面の一部に露出していること
を特徴としている。
また、前記コイルの中心軸と前記積層体の前記実装面とが平行になるように前記外部電極が形成されていることを特徴としている。
また、前記積層体の前記実装面と対向する面に前記コイル導体パターンの一部が露出していることを特徴としている。
本発明によれば、各コイル導体パターンを、その一部が前記積層体の前記実装面を除いた非実装面の一部に露出させるようにしているので、外形寸法を維持したまま、コイル内径を大きくすることが可能になる。したがって、製品規格に対応しつつ、Q値を大きく設定することが可能な、小型でかつ高Q値を有する積層インダクタを提供することが可能になる。
また、一対の外部電極を積層体の実装面に形成するとともに、コイルの両端部を一対の外部電極にそれぞれ接続するようにしているので、前述の従来技術のように、コイルの両端部を、実装面とこれに対向する面にそれぞれ引き出すようにしている場合のように、実装面と対向する面に引き出されたコイルの一端側を実装面にまで電気的に引き回す必要がなく、積層体を規格寸法一杯まで大きくすることが可能になり、得られる特性あたりの積層体の寸法を小型化することができる。
また、コイルの中心軸と積層体の実装面とが平行になるように外部電極を形成した場合、外部電極によってコイルの磁束が遮断されることがないため、さらなる高Q値化が可能となる。
また、積層体の実装面と対向する面にコイル導体パターンの一部が露出するようにした場合、実装面と対向する面に一部が露出したコイル導体パターンによって、積層インダクタの実装方向を容易、かつ、確実に認識することができるため、積層インダクタを正しい姿勢で確実に実装することができる。
また、テーピング時や特性選別の際の方向誤りをなくすことが可能になり、生産性を向上させることができる。
本発明の実施例1にかかる積層インダクタの平面図である。 本発明の実施例1にかかる積層インダクタの正面図である。 図2のX1−X1線に沿う断面図である。 図2のY1−Y1線に沿う断面図である。 本発明の実施例1にかかる積層インダクタの分解斜視図であり、同積層インダクタの製造方法を説明する図である。 本発明の実施例2にかかる積層インダクタの平面図である。 本発明の実施例2にかかる積層インダクタの正面図である。 図6のX2−X2線に沿う断面図である。 図6のY2−Y2線に沿う断面図である。 本発明の実施例2にかかる積層インダクタの分解斜視図である。 本発明の実施例3にかかる積層インダクタの平面図である。 本発明の実施例3にかかる積層インダクタの正面図である。 図11のX3−X3線に沿う断面図である。 図11のY3−Y3線に沿う断面図である。 本発明の実施例3にかかる積層インダクタの分解斜視図である。
以下、本発明の実施例を示して、その特徴とするところをさらに詳しく説明する。
図1は本発明の実施例1にかかる積層インダクタの平面図、図2は同積層インダクタの正面図、図3は図2のX1−X1線に沿う断面図、図4は図2のY1−Y1線に沿う断面図、図5は同積層インダクタの分解斜視図であり、同積層インダクタの製造方法を説明する図である。
この実施例1の積層インダクタ1は、図1〜5に示すように、上下の絶縁層3の間に、複数(この実施例1では3つ)のコイル導体パターン2が、絶縁層3を介して積層された構造を有する直方体形状の積層体4(図1,2など)を備えている。そして、図5などに示すように、積層体4の最上層の絶縁層3を除く他の絶縁層3に形成されたビアホール5を介してコイル導体パターン2どうしを電気的に接続することにより積層方向に沿って中心軸C(図1,図5)を有するコイル6が構成されている。
また、積層体4の実装面となるコイル6の中心軸C(図2)と直交する底面には左右一対の外部電極7が形成され、各外部電極7にコイル6の各端部(コイルの一対の端部)が絶縁層3に形成されたビアホール5を介してそれぞれ電気的に接続されている。さらに、コイル6を構成する各コイル導体パターン2は、その一部が積層体4の実装面となる底面と直交する外周面に露出している。
次に、上記構成を有する積層インダクタ1の製造方法の一例を、図5を参照して説明する。
まず、キャリアフィルム8上に感光性の導電ペーストを全面印刷する。このときの導電ペーストの厚みは10〜30μm程度であることが望ましい。そして、外部電極7の形成箇所に対応する部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。その後、アルカリ溶液で現像することにより外部電極7の形成箇所以外の部分の導電ペーストを除去する。これにより、キャリアフィルム8上に左右一対の外部電極7が形成される。
次に、キャリアフィルム8の外部電極7が形成された面に、感光性の絶縁ペーストを全面印刷する。このときの絶縁ペーストの厚みは30μm以上であることが望ましい。
そして、ビアホール5の形成箇所以外の部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。
その後、アルカリ溶液で現像することによりビアホール5の形成箇所に対応する部分の絶縁ペーストを除去する。これにより、絶縁層3の前方左右の各隅にビアホール5が形成され、このビアホール5を通して各外部電極7が上方に露出した状態になる。
次いで、ビアホール5が形成された絶縁層3の上に感光性の導電ペーストを全面印刷する。このときの導電ペーストの厚みは10〜100μm程度であることが望ましい。
そして、コイル導体パターン2の形成箇所およびビアホール5の形成箇所に対応する部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。
その後、アルカリ溶液で現像することによりコイル導体パターン2の形成箇所とビアホール5の形成箇所以外の部分の導電ペーストを除去する。
これにより、コイル導体パターン2とビアホール5が形成されるとともに、このコイル導体パターン2の左前方の端部とその直下の左側の外部電極7とがビアホール5内に充填された導体を介して電気的に接続され、さらに、右前方隅のビアホール5はその内部に充填された導体を介してその直下の右側の外部電極7に電気的に接続される。またこの場合、コイル導体パターン2の外周縁部の一部は、絶縁層3の外周縁部と同じ位置まで形成されている(すなわち、コイル導体パターン2の外周縁部と絶縁層3の外周縁部との間のギャップが零になっている)ので、コイル導体パターン2の外周縁部の一部が絶縁層3の外周面に露出した状態になる。
続いて、その上から感光性の絶縁ペーストを全面印刷する。このときの絶縁ペーストの厚みは10μm以上であることが望ましい。そして、ビアホール5の形成箇所以外の部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。
その後、アルカリ溶液で現像することによりビアホール5の形成箇所に対応する部分の絶縁ペーストを除去する。これにより、絶縁層3の対角線上の二隅にそれぞれビアホール5が形成される。そして、左後方隅のビアホール5を通してその真下のコイル導体パターン2の端部が上方に露出した状態になり、また、右前方隅のビアホール5を通してその真下のビアホール5が上方に露出した状態になる。
引き続いて、ビアホール5が形成された絶縁層3の上に感光性の導電ペーストを全面印刷する。このときの導電ペーストの厚みは10〜100μm程度であることが望ましい。そして、コイル導体パターン2の形成箇所およびビアホール5の形成箇所に対応する部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。その後、アルカリ溶液で現像することによりコイル導体パターン2の形成箇所とビアホール5の形成箇所以外の部分の導電ペーストを除去する。
これにより、コイル導体パターン2とビアホール5が形成されるとともに、このコイル導体パターン2の左後方の端部とその真下のコイル導体パターン2の端部とが一方のビアホール5内に充填された導体を介して電気的に接続され、さらに、右前方隅のビアホール5はその内部に充填された導体を介してその真下のビアホール5に電気的に接続される。またこの場合、コイル導体パターン2の外周縁部の一部は、絶縁層3の外周縁部との間のギャップが零になっているので、コイル導体パターン2の外周縁部の一部が絶縁層3の外周面に露出した状態になる。
次いで、その上から感光性の絶縁ペーストを全面印刷する。このときの絶縁ペーストの厚みは10μm以上であることが望ましい。そして、ビアホール5の形成箇所以外の部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。その後、アルカリ溶液で現像することでビアホール5の形成箇所に対応する部分の絶縁ペーストを除去する。これにより、絶縁層3の右辺側の前後二隅にそれぞれビアホール5が形成され、右後方隅のビアホール5を通してその真下のコイル導体パターン2の端部が上方に露出した状態になり、また、右前方隅のビアホール5を通してその真下のビアホール5が上方に露出した状態になる。
次に、ビアホール5が形成された絶縁層3の上に感光性の導電ペーストを全面印刷する。このときの導電ペーストの厚みは10〜100μm程度であることが望ましい。そして、コイル導体パターン2の形成箇所に対応する部分が開口したフォトマスクを用いて紫外線により選択露光する。その後、アルカリ溶液で現像することによりコイル導体パターン2の形成箇所以外の部分の導電ペーストを除去する。
これにより、コイル導体パターン2が形成されるとともに、このコイル導体パターン2の右後方の端部とその真下のコイル導体パターン2の端部とがビアホール5内に充填された導体を介して電気的に接続され、さらに、このコイル導体パターン2の右前方の端部がその直下のビアホール5の内部に充填された導体を介して右側の外部電極7に電気的に接続される。またこの場合、コイル導体パターン2の外周縁部の一部は、絶縁層3の外周縁部との間のギャップが零になっているので、コイル導体パターン2の外周縁部の一部が絶縁層3の外周面に露出した状態になる。
続いて、その上から感光性の絶縁ペーストを全面印刷する。このときの絶縁ペーストの厚みは30μm以上であることが望ましい。そして、全面印刷後はフォトマスクを用いずに紫外線により全面露光する。これにより、最上層には保護用の絶縁層3が形成される。
そして、上記構成の積層インダクタ1の複数個の素子が同時に一枚のキャリアフィルム上に形成されている場合には、ダイシングして各素子ごとに分割した後、キャリアフィルム8を積層体4から剥離する。次いで、各素子を焼成した後、バレル研磨を行い、続いて、外部電極7の露出部分にNi、Cu、Snなどのめっきを施す。これにより、図1に示すような積層インダクタ1が得られる。
上述のように、この実施例1の積層インダクタの場合、積層体4に形成されるコイル6の外径寸法を、規格寸法の限度まで広げることができるため、製品規格の外形寸法を維持したまま、コイル6内径を大きくすることが可能になり、Q値を大きく設定することができる。そのため、小型で高Q値を有する積層インダクタを提供することが可能になる。
図6は本発明の実施例2にかかる積層インダクタの平面図、図7は同積層インダクタの正面図、図8は図6のX2−X2線に沿う断面図、図9は図6のY2−Y2線に沿う断面図、図10は同積層インダクタの分解斜視図である。
なお、図6〜図10において、図1〜図5に示した実施例1と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
この実施例2の積層インダクタ1は、コイル6の中心軸Cと積層体4の実装面とが平行になるように一対の外部電極7が形成されていることを特徴としている。すなわち、上記の実施例1では、積層体4のコイル6の中心軸Cと直交する底面に外部電極7が形成されているのに対して、この実施例2では、積層体4のコイル6の中心軸Cと平行する方向に沿って外部電極7が形成されている。
したがって、この積層インダクタ1を例えば図示しない回路基板などに実装する際には、図10に示すように、積層インダクタ1を90°回転させて直立させ、コイル6の中心軸Cと実装面とが平行になるようする。こうすることにより、外部電極7が積層体4の底部に位置することになるので、これを回路基板などに載置して電気的に接続することができる。
この実施例2の積層インダクタ1は、例えば、以下に説明するような方法で製造することができる。
まず、ガラスなどからなる絶縁層3を形成し、その上にコイル導体パターン2と外部電極7とを同時に形成する。そして、その上に絶縁層3を形成した後、ビアホール5と外部電極7とを同時に形成する。引き続いて、その上から絶縁層3を形成してからコイル導体パターン2と外部電極7とを同時に形成し、さらにその上から絶縁層3を形成した後、ビアホール5と外部電極7とを同時に形成する。さらにその上から絶縁層3を形成した後、コイル導体パターン2と外部電極7とを同時に形成し、最後に最上層として絶縁層3を形成する。
この場合、図8,9に示すように、外部電極7は、その外周縁部の一部が積層体4の外周面に露出するように形成される。また、各コイル導体パターン2は、外部電極7に近接する部分を除き、積層体4の外周面に露出するように形成される。
なお、この実施例2の積層インダクタ1のさらに具体的な製造方法は、実施例1の場合に基本的に準じたものであることから、ここでは製造方法の詳しい説明は省略する。
この実施例2の積層インダクタにおいては、コイル6の中心軸と積層体4の実装面とが平行になるように外部電極7が形成されているので、外部電極7によってコイル6の磁束が遮断されることがなく、このため、さらなる高Q値化を図ることが可能になる。
図11は本発明の実施例3にかかる積層インダクタの平面図、図12は同積層インダクタの正面図、図13は図11のX3−X3線に沿う断面図、図14は図11のY3−Y3線に沿う断面図、図15は同積層インダクタの分解斜視図である。
なお、図11〜図15において、図6〜図10に示した実施例2と対応もしくは相当する構成部分には同一の符号を付している。
この実施例3の積層インダクタ1は、積層体4の実装面と対向する面にコイル導体パターン2の一部2aが露出していることを特徴としている。すなわち、絶縁層3の上に外部電極7とともにコイル導体パターン2を形成する場合に、そのコイル導体パターン2の一部2aが、積層体4の外周面の、外部電極7が形成されている側と反対側に露出するように形成されている。
このように、この実施例3では、コイル導体パターン2の一部2aが積層体4の実装面と対向する面に露出しているので、その露出した部分2aによって、積層インダクタの実装方向を目視により、容易に確認することができる。
また、積層インダクタの実装方向を確実に認識することができることから、積層インダクタを正しい姿勢で確実に実装することができる。
また、テーピング時や特性選別の際の方向誤りをなくすことが可能になり、生産性を向上させることができる。
その他の構成、および製造方法については、実施例2の場合と同様であることから、ここでは詳しい説明は省略する。
なお、各実施例1〜3の積層インダクタを示す、図1〜図15の一部においては、各コイル導体パターン2が積層体4の外周面からいくらか外側に突出した状態を図示しているが、これはコイル導体パターン2が外部に露出していることを強調したものであって、コイル導体パターン2はこのように必ずしも外部に突出している必要はなく、積層体4の外周面と面一に形成されていてもよい。
また、上記の実施例1〜3では、3つのコイル導体パターン2を積層してコイル6を構成しているが、コイル導体パターン2の積層数は、これに限定されるものではない。
また、上記実施例1〜3では、フォトリソグラフィ法によって積層インダクタを製造する場合について説明したが、本発明の積層インダクタの製造方法は、これに限定されるものではなく、例えば、絶縁シート上にコイル導体パターンやビアホールを形成し、これらを積層する方法によっても製造することができる。
本発明は、さらにその他の点についても上記の各実施例に限定されるものではなく、発明の範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能である。
1 積層インダクタ
2 コイル導体パターン
2a コイル導体パターン2の一部
3 絶縁層
4 積層体
5 ビアホール
6 コイル
7 外部電極
8 キャリアフィルム
C コイルの中心軸

Claims (3)

  1. コイル導体パターン間に絶縁層が介在するような態様で、複数のコイル導体パターンと複数の絶縁層が積層された積層体と、
    前記絶縁層に形成されたビアホールを介して前記コイル導体パターンどうしが電気的に接続されることにより形成され、積層方向に沿って中心軸を有するコイルと、
    前記積層体の実装面に形成され、各外部電極に前記コイルの一対の端部が、前記絶縁層に形成されたビアホールを介してそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極と
    を備えるとともに、
    前記各コイル導体パターンは、その一部が前記積層体の前記実装面を除いた非実装面の一部に露出していること
    を特徴とする積層インダクタ。
  2. 前記コイルの中心軸と前記積層体の前記実装面とが平行になるように前記外部電極が形成されていることを特徴とする請求項1記載の積層インダクタ。
  3. 前記積層体の前記実装面と対向する面に前記コイル導体パターンの一部が露出していることを特徴とする請求項1または2記載の積層インダクタ。
JP2009008685A 2009-01-19 2009-01-19 積層インダクタ Withdrawn JP2010165973A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009008685A JP2010165973A (ja) 2009-01-19 2009-01-19 積層インダクタ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009008685A JP2010165973A (ja) 2009-01-19 2009-01-19 積層インダクタ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2010165973A true JP2010165973A (ja) 2010-07-29

Family

ID=42581900

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009008685A Withdrawn JP2010165973A (ja) 2009-01-19 2009-01-19 積層インダクタ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2010165973A (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013084856A (ja) * 2011-10-12 2013-05-09 Tdk Corp 積層コイル部品
KR20160000612A (ko) 2014-06-25 2016-01-05 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
WO2016006542A1 (ja) * 2014-07-08 2016-01-14 株式会社村田製作所 電子部品
US20160042860A1 (en) * 2014-08-11 2016-02-11 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inductor
KR20160019265A (ko) 2014-08-11 2016-02-19 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
CN109545502A (zh) * 2017-09-22 2019-03-29 株式会社村田制作所 电子部件
KR20190138299A (ko) 2019-11-29 2019-12-12 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
US20200075221A1 (en) * 2018-08-31 2020-03-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer coil component

Cited By (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013084856A (ja) * 2011-10-12 2013-05-09 Tdk Corp 積層コイル部品
KR20160000612A (ko) 2014-06-25 2016-01-05 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
US11222743B2 (en) 2014-07-08 2022-01-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
WO2016006542A1 (ja) * 2014-07-08 2016-01-14 株式会社村田製作所 電子部品
US11942259B2 (en) 2014-07-08 2024-03-26 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
CN106062904A (zh) * 2014-07-08 2016-10-26 株式会社村田制作所 电子部件
US20170103846A1 (en) * 2014-07-08 2017-04-13 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
JPWO2016006542A1 (ja) * 2014-07-08 2017-04-27 株式会社村田製作所 電子部品
CN106062904B (zh) * 2014-07-08 2018-02-09 株式会社村田制作所 电子部件
US20220093318A1 (en) * 2014-07-08 2022-03-24 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component
KR20160019265A (ko) 2014-08-11 2016-02-19 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법
US9892841B2 (en) * 2014-08-11 2018-02-13 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inductor
US20160042860A1 (en) * 2014-08-11 2016-02-11 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Inductor
CN109545502A (zh) * 2017-09-22 2019-03-29 株式会社村田制作所 电子部件
US20200075221A1 (en) * 2018-08-31 2020-03-05 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer coil component
US11990265B2 (en) * 2018-08-31 2024-05-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Multilayer coil component
KR20190138299A (ko) 2019-11-29 2019-12-12 삼성전기주식회사 칩형 코일 부품 및 그 제조방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010165975A (ja) 積層インダクタ
JP2010165973A (ja) 積層インダクタ
JP6544080B2 (ja) コイル部品
JP6269591B2 (ja) コイル部品
JP5673358B2 (ja) コイル部品及びその製造方法
JP5637607B2 (ja) コイル部品
JP4477345B2 (ja) 薄膜コモンモードフィルタ及び薄膜コモンモードフィルタアレイ
JP5874199B2 (ja) コイル部品及びその製造方法
US20050181684A1 (en) Electronic component
JP2008117851A (ja) コイル部品
JP2014038884A (ja) 電子部品および電子部品の製造方法
WO2013108862A1 (ja) コイル部品
JP2005159222A (ja) 薄膜コモンモードフィルタ及び薄膜コモンモードフィルタアレイ
JP7163882B2 (ja) インダクタ部品および電子部品
JP5765507B1 (ja) インダクタ素子及び電子機器
JP2018182024A (ja) コイル部品
JP5829487B2 (ja) コイル部品
JP4978184B2 (ja) 半導体装置及び電子機器
JP2008258464A (ja) 回路基板および差動伝送機器
JP2011029222A (ja) 電子部品
JP2018170315A (ja) コイル部品
JP4600638B2 (ja) コイル部品
JP2012182285A (ja) コイル部品
JP2008177254A (ja) インダクタ及びその製造方法
JP2005109082A (ja) コイル部品

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20120403