JP2010156717A

JP2010156717A - 高密度プローブデバイス

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Publication number: JP2010156717A
Application number: JP2010094355A
Authority: JP
Inventors: Steven Feldman; スティーブン・フェルドマン
Original assignee: 3M Innovative Properties Co
Current assignee: 3M Innovative Properties Co
Priority date: 2002-08-29
Filing date: 2010-04-15
Publication date: 2010-07-15
Also published as: EP1546740B1; JP2005537481A; ATE485524T1; EP1546740A1; WO2004021019A1; US20040043653A1; US6902416B2; AU2003247852A1; DE60334634D1

Abstract

【課題】電気的に共通のプローブおよび電気的に分離したプローブをプローブブロック内に設けるための、費用効率が高いバネプローブブロック組立体を提供する。
【解決手段】プローブブロック組立体２０は、電気的絶縁ハウジング４０と導電板５０とを備える。ハウジング４０の正面は前方面４６と後方面４８とを備える。導電板５０はハウジングの後方面４８に対して位置決めされる。複数のプローブ２４がハウジング４０の前方面から延在し、互いに、かつ導電板から電気的に分離される。複数のプローブ２６、３０が導電板５０の前面から延在し、互いに電気的に接触する。当該導電板５０の前面５２から延在する複数のプローブの少なくとも１つが導電板５０の後面を通ってハウジング４０内に延び、ハウジング４０の側壁１４０に接して弾性的に撓ませられて前記導電板５０とハウジング４０との間に垂直力を形成するよう構成される。
【選択図】図３

Description

本発明は、自動試験装置（ＡＴＥ）で使用される型のバネプローブブロック組立体、より詳細には、高帯域用途で用いるバネプローブブロック組立体に関する。

バネプローブブロックは、集積回路または他の電子装置と自動試験装置のテストヘッドとの間に一時的バネ接点インタフェースを提供するために使用される。自動試験装置は集積回路または他の電子装置について必要な試験を実行する。

自動試験装置で使用される型のバネプローブブロック組立体が広く利用可能であり、大体類似の設計を用いる。通常バネプローブブロックハウジングが、圧入されるユーティリティプローブおよび接地レセプタクルを受け入れる穴の正確な位置および直径を確かにする、プロセスの複雑かつ費用のかかるシーケンスで金属棒材から機械加工される。均質な金属製作はまた回路素子の全てを共通に接地するのに役立ち、これは多くの用途で望ましい特徴である。回路の共通接地が必要でないか、または望まれない場合には、バネプローブブロックハウジングはまた、機械加工金属の代わりに、成形ポリマーから作られることが知られている。成形ポリマーハウジングは機械加工金属ハウジングと対比して著しいコスト削減をもたらす。また、導電性ポリマー材料から形成されるハウジングが、共通接地を与えるために、金属ハウジングの代わりに使用されることもあり得る。

金属およびポリマープローブブロックハウジングの両方の場合とも、同軸プローブコネクタが一端で同軸ケーブルに、他端でバネプローブに個々に終端される。通常、１つのバネプローブが各信号ラインに設けられ、１つ以上のバネプローブが、各信号ラインのための基準（すなわち、接地）として機能するように設けられる。ポリマーバネプローブハウジングの場合に、各信号ラインと関連する同軸遮蔽管および接地バネプローブが、ポリマーハウジングの誘電体によってそれらの隣接するものから電気的に分離され得る。各チャンネルの電気的分離（信号ラインプラスその関連接地リターンループから成る）が、より広い帯域を達成して、より高速の集積回路を試験するために、また集積回路をより速く試験するために使用される。例えば、２００１年３月１２日に出願された「広帯域プローブ組立体（High Bandwidth Probe Assembly）」と題する、同一出願人による特許文献１では、絶縁ポリマーハウジングが、各信号ラインおよび関連接地プローブを他の信号ラインおよび接地プローブから電気的に分離する。

米国特許第６５５１１２６号明細書

いくつかの例で、ハウジング内の複数のユーティリティプローブの一部が電気的に分離される一方で、複数のユーティリティプローブの別の部分が共通に接地されることが望ましい。例えば、電力を供給するために使用されるバネプローブを他の接地されたプローブから分離する必要がある。現在は、そのようなデバイスは、共通接地をプローブに施すために金属ハウジングまたは接地板を使用し、そして被選択プローブを共通接地から電気的絶縁インサートまたはスリーブを被選択プローブの周りに用いて分離することによって、構成される。概して効果的であるけれども、そのようなバネプローブブロック構成は費用がかかり、かつ製造するのに時間がかかる。上に述べたように、金属ハウジングを機械加工するのに要するプロセスは複雑であり、費用がかかる。さらに、そのようなデバイスで使用される多数の小さい部品（例えば、レセプタクル、絶縁スリーブなど）が、デバイスを製造し組み立てる複雑性および費用を増大させる。

デバイスの複雑性を増大させることに加えて、レセプタクルおよび絶縁体の使用が、組立積み重ね公差を増大させることによって、バネプローブ指向精度を低下させる。バネプローブ指向精度は、Ｚ軸（バネプローブの移動方向）に沿って、ならびに横方向のＸおよびＹ軸に沿って重要である。ＤＵＴボードが、プローブブロックに接触せずに、それに非常に近接させられるように、Ｚ軸組立公差の精密制御が必要である。安全に達成され得る最小の隙間が、露出したプローブ長さに比例するループインダクタンスを最小にするために望まれる。ＸおよびＹ軸組立公差の精密制御が、プローブがＤＵＴボードの対象とする部位と実際に接触することを確かにするために必要である。デバイスが小さいほど、積み重ね公差はデバイスの指向精度においてより重要になる。

明らかに、必要なものは、電気的に共通のプローブおよび電気的に分離したプローブの両方をプローブブロック内に設けるための、費用効率が高い解決策を提供できるバネプローブブロック組立体である。そのようなバネプローブブロック組立体は、完成した組立体で使用される部品の数を減らすだろうことが好ましい。バネプローブブロック組立体はまた、バネプローブブロック組立体全体の広範囲に及ぶ手直しまたは一様な破棄を必要とせずに、プローブブロック組立体内のバネプローブおよび同軸コネクタの交換を容易にするだろうことが好ましい。さらに、バネプローブブロック組立体は、自動試験装置の動作中に同軸コネクタを偶然に取り外すこともあり得る、大きいケーブル引き抜き力に耐えるだろうことが好ましい。

本発明は自動試験装置とともに使用するためのバネプローブブロック組立体である。本明細書で説明され、特許請求される組立体は、電気的に共通のプローブおよび電気的に分離したプローブの両方をプローブブロック組立体内に設けるための、費用効率が高い解決策を提供する。バネプローブブロックは完成した組立体で使用される部品の数を減らし、組立体全体の広範囲に及ぶ手直しまたは一様な破棄を必要とせずに、プローブブロック組立体内のバネプローブおよび同軸コネクタの交換を容易にする。さらに、バネプローブブロック組立体は、自動試験装置の動作中にプローブまたはコネクタを偶然に取り外すこともあり得る、大きいケーブル引き抜き力に耐える。

本発明による一実施形態では、プローブブロック組立体は電気的絶縁ハウジングと、導電板とを備える。ハウジングは前方面と後方面とを含む正面を有する。導電板はハウジングの正面の後方面に対して位置決めされている。複数のプローブがハウジングの前方面から延在し、互いに、かつ導電板から電気的に分離される。複数のプローブが導電板の前面から延在し、互いに電気的に接触する。

本発明による別の実施形態では、プローブブロック組立体は電気的絶縁ハウジングと、導電板とを備える。ハウジングは前方面と後方面とを含む正面を有する。導電板はハウジングの正面の後方面に対して位置決めされる。少なくとも１つのプローブがハウジングによって弾力的に撓ませられ、導電板をハウジングに押し当てるように、少なくとも１つのプローブは導電板を通ってハウジング内に延在する。

本発明によるバネプローブブロック組立体の実施形態の斜視図である。図１のバネプローブブロック組立体の実施形態の組立分解図である。図１のバネプローブブロック組立体の実施形態の断面図である。図３の丸く囲んだ部分４の拡大図であり、バネプローブブロック組立体のいくつかの特徴を示す。図１のバネプローブブロック組立体のハウジングの裏面の斜視図である。本発明によるバネプローブブロック組立体の別の実施形態の斜視図である。本発明によるバネプローブブロック組立体の別の代替実施形態の斜視図である。本発明によるバネプローブブロック組立体の別の実施形態の断面図である。

好ましい実施形態についての次の詳細な説明では、それの一部を形成し、かつ本発明が実施される特定の実施形態が例として示される添付図面に対して、参照が行われる。本発明の範囲を逸脱することなしに、他の実施形態が利用され、構造上または論理上の変更が行われることを理解すべきである。従って、次の詳細な説明は制限的な意味で受け取られるべきではなく、本発明の範囲は添付の特許請求の範囲によって規定される。

図１は、本発明による輸送用／サービスカバー２２付きのバネプローブブロック組立体２０の実施形態の斜視図であるのに対して、図２は、図１の組立体の実施形態の組立分解斜視図である。以下にさらに詳細に説明するように、バネプローブブロック組立体２０は、パワーまたは電気バネプローブ２４、接地バネプローブ２６、および同軸信号プローブコネクタ２８などの複数のバネプローブを含む。信号プローブコネクタ２８は当技術分野で周知であり、誘電体絶縁材３２それから導電性シールド管３４によって囲まれる信号バネプローブ３０を含む。従って、信号バネプローブ３０は接地から分離される。パワーまたはユーティリティプローブ２４は電気ワイヤ３６に電気的に接続されるのに対して、接地プローブ２６および同軸信号プローブコネクタ２８は同軸ケーブル３８に電気的に接続される。電気ワイヤ３６および同軸ケーブル３８は、はんだ付けまたは圧接のような従来の方法でそれらのそれぞれのプローブに接続される。

図１および２に見られるように、バネプローブブロック組立体２０は、絶縁ポリマー材料から形成されるハウジング４０を含む。ハウジング４０は、射出成形、機械加工、またはステレオリソグラフィ（ＳＬＡ）のような方法によって形成される。ハウジング４０を形成するために使用される材料は、例えば、ガラス繊維強化ポリフタルアミド（ＰＰＡ）、ミネラル充填液晶ポリマー（ＬＣＰ）、ポリアミド・イミド（ＰＡＩ）、または適当な特性を備えることが当技術分野で周知である他の材料を含む。以下で明らかになるであろうように、薄い部分で割れたり、粉々にならずに変形可能であるポリマー材料の使用が、ハウジング４０のいくつかの機能の実施において望ましい。プローブブロック組立体のいくつかの対象とする用途において、炭素繊維強化ポリフタルアミドまたは炭素充填ポリアミド（ＰＡ）のような、帯電防止または帯電減勢特性を有するポリマー材料を使用することが好ましい。

絶縁ハウジング４０は正面４２と裏面４４とを含む。取付けタブ４５がハウジング４０の側面に定置され、組立体２０を自動試験装置に取り付けるために設けられる。取付けタブ４５の種々の構成が、組立体２０の対象とする最終用途および自動試験装置の構成に応じて設けられる。正面４２は前方面４６と後方面４８とを含む。導電板５０の前面５２がハウジング４０の前方面４６と同一平面にあるように、導電性リテーナ板５０は後方面４８に対して位置決めされる。同時に、ハウジング４０の前方面４６および導電板５０の前面５２は、バネプローブブロック組立体２０のインタフェース端６０を形成する。本発明による一実施形態では、インタフェース端６０が連続したほぼ平らな面となるように、導電板５０の前面５２およびハウジング４０の前方面４６は互いに直に接する。導電性リテーナ板５０は、金属、導電性ポリマー、または金属めっきポリマーのような、任意の適当な導電性材料から形成される。

このように、インタフェース端６０は、絶縁部分（ハウジング４０の前方面４６から成る）と、導電性部分（導電板５０の前面５２から成る）とを含む。以下にさらに詳細に説明するように、絶縁部分はパワーまたは電気バネプローブ２４を互いに、かつ導電板５０から電気的に分離し、パワーまたは電気バネプローブ２４を囲む個別電気的絶縁体に対する必要性もなくす。導電性部分は、全ての接地プローブ２６および同軸プローブコネクタ２８のシールド管３４を電気的に共通にする。

カバー２２が、カバー２２の内面にある小さい保持歯（図示せず）によって組立体２０に着脱可能に固定される。保持歯はハウジング４０内のロッキング溝５４と係合する。カバー２２は、例えば自動試験装置の組立中、多数の組立体２０の接近した間隔を可能にするように、薄く形成される。

図２〜４に示すように、パワーまたは電気バネプローブ２４を互いに、かつ導電板５０から電気的に分離するために、ハウジング４０は、各パワーまたは電気バネプローブ２４について、前方面４６からハウジング４０を貫通して裏面４４へ延在する穴７０を含む。穴７０はプローブレセプタクル７２を受け入れる大きさにほぼ作られる。プローブレセプタクル７２は、パワーまたは電気バネプローブ２４を組立体に受け入れ、着脱可能に保持し、それらをそれらのそれぞれのワイヤに電気的に接続する。プローブレセプタクル７２は、はんだ付け、圧接、溶接、または当技術分野で周知である他の手段によって、電気ワイヤに適当に終端される。プローブレセプタクル７２およびパワーまたは電気バネプローブ２４は、ハウジング４０の絶縁材料内に保持されるので、追加の絶縁スリーブは必要ない。従って、絶縁スリーブの公差が公差の積み重ねから取り除かれ、デバイスの指向精度が改善される。

本発明による一実施形態では、図４でよく見られるように、パワーおよびユーティリティプローブレセプタクル７２は、バネプローブブロック組立体２０内での組立および交換を容易にし、かつ自動試験装置の動作中にそれらを偶然に取り外すこともあり得る、ケーブル引き抜き力に耐える特徴を備える。具体的に言えば、各プローブレセプタクル７２はレセプタクル７２の後端７６にフランジ７４を含む。組立時、各プローブレセプタクル７２（電気ワイヤ３６が既に取り付けられている）は、ハウジング４０の裏面４４からそのそれぞれの穴７０に挿入される。ハウジング４０の裏面４４と長手方向の凹み９２との間の穴７０の部分が、フランジ７４の直径および取り付けた電気ワイヤ３６を受け入れるように広げられる必要がある。プローブレセプタクル７２が穴７０に挿入されるとき、プローブレセプタクル７２はそのそれぞれの穴７０内に摩擦によって軽く保持されるように、フランジ７４は穴７０内のランプ８０に掛かる。一旦このように軽く保持されると、複数のプローブレセプタクル７２およびそれらの関連電気ワイヤ３６が、レセプタクルリテーナ９０が取り付けられている間に、プローブレセプタクル７２および関連電気ワイヤ３６を所定の位置に保持するために特別な固定具を必要とせずに、レセプタクルリテーナ９０によって所定の位置にしっかりと保持される。

レセプタクルリテーナ９０は、ハウジング４０の裏面４４の近くの長手方向の凹み９２にある。凹み９２はハウジング４０の幅を横切って延在し、プローブレセプタクル７２が上述のようにハウジング４０に挿入された後に、プローブレセプタクル７２の直ぐ後に定置される。レセプタクルリテーナ９０がプローブレセプタクル７２のフランジ７４に強く押し当てられ、フランジ７４をハウジング４０の肩状部９３にしっかりと押し込むように、レセプタクルリテーナ９０は凹み９２に圧入され、そしてそこで穴７０は凹み９２を横切る。レセプタクルリテーナ９０は、ハウジング４０と係合し、かつレセプタクルリテーナ９０を凹み９２内にしっかりと保持する、小さい突起または隆起９４をさらに含む。レセプタクルリテーナ９０は、組み合わされた場合、フランジ７４、肩状部９３、または隆起９４は、レセプタクルリテーナ９０が凹み９２内に完全に取り付けられるときにわずかに変形する程度にさえも、ハウジング４０、プローブレセプタクル７２、およびレセプタクルリテーナ９０との間にいかなる遊びまたは動きもない大きさに作られることが好ましい。

レセプタクルリテーナ９０が各フランジ７４のかなりの部分と確実に係合することを確かにするために、レセプタクルリテーナ９０は、プローブレセプタクル７２に取り付けられた電気ワイヤ３６の周りに適合する大きさに作られ、かつ定置される、一連のアーチ型をした肩状部９６を備える（図４に断面で見える）。具体的に言えば、電気ワイヤ３６は、電気ワイヤ３６をプローブレセプタクル７２に接続するプロセスに起因する、被覆をむかれた部分９７をフランジ７４の直ぐ後に含むであろう。従って、アーチ型をした肩状部９６は、被覆をむかれたワイヤ部分９７の周りに密接に適合し、かつプローブレセプタクル７２のフランジ７４および電気ワイヤ３６を覆う絶縁体の両方よりも小さい半径を有する大きさに作られることが好ましい。

レセプタクルリテーナ９０の適当な取付け位置および方向を確立するために、ハウジング４０の溝１００と係合する整列キー９８が設けられる。整列キー９８は溝１００内に定置され、レセプタクルリテーナ９０は、プローブレセプタクル７２または電気ワイヤ３６に突き当たらずに、簡単に回転させられて凹み９２に入る。１つ以上の整列キー９８（例えば、レセプタクルリテーナ９０の各端部に１つ）が設けられる。レセプタクルリテーナ９０の各端部における整列キー９８の存在が、リテーナ９０の取付けをどちらの側からも可能にすることによって、組立を簡単にする。それはまた、レセプタクルリテーナ９０が壊れやすいユニットとして成形される（例えば、切欠き１０２の存在によって）こと、かつリテーナ９０の両半分がより小さい組立体で使用されることを可能にする。レセプタクルリテーナ９０の凹み９２からの取外しを容易にするために（例えば、プローブレセプタクル７２を交換する場合）、プライスロット１０４が、ハウジング４０にレセプタクルリテーナ９０に隣接して任意に設けられる。そして工具または指のつめが、レセプタクルリテーナ９０を凹み９２から持ち上げるために使用され、それによってプローブレセプタクルがハウジング４０から取り外されるのを可能にする。

本発明による代替実施形態では、プローブレセプタクル７２は除外され、パワーまたは電気バネプローブ２４は穴７０に直に受け入れられる。そのような代替実施形態では、パワーまたはユーティリティプローブ２４の長さが、ハウジング４０を貫通して溝１００に達するように増大される必要があり、プローブ２４はプローブレセプタクル７２のフランジ７４と類似である形状を備えることが必要だろう。

上述のように、導電板５０が、全ての接地プローブ２６および同軸プローブコネクタ２８のシールド管３４を電気的に共通にするために設けられる。導電板５０は、前面５２から導電板５０を貫通してハウジング４０の後方面４８まで延在する、複数の穴を含む。各穴は、同軸プローブコネクタ２８（穴１１０）か、或いは接地プローブ２６（穴１１２）を受け入れる大きさに作られる。同軸プローブコネクタ２８がそのそれぞれの穴１１０内にしっかりと保持されるように、穴１１０は同軸プローブコネクタ２８を圧入方法で受け入れる大きさに作られる。対照的に、穴１１２は接地プローブ２６をすべり嵌合方法で受け入れる大きさに作られる。

図３で最もよく見られるように、導電板５０の穴１１０，１１２はハウジング４０の対応する穴と順におのおの整列される。同軸プローブコネクタ２８を導電板５０に受け入れる穴１１０は、ハウジング４０のそれぞれの穴１１４と整列される。穴１１４は後方面４８からハウジング４０の裏面４４まで延在し、同軸プローブコネクタ２８をすべり嵌合方法で受け入れる大きさに作られる。同軸プローブコネクタ２８はハウジング４０の穴１１４よりも大きいフランジ１２０を含む。従って、同軸プローブコネクタ２８（関連する同軸ケーブル３８が取り付けられている）は、挿入がフランジ１２０によって止められるまで、ハウジング４０の裏面４４から穴１１４に挿入される。同軸プローブコネクタ２８が導電板５０の穴１１０に到達すると、それは圧入によって穴１１０にしっかりと保持される。

Ｚ軸（バネプローブの移動方向）に沿ったバネプローブ指向精度を維持するために、導電性シールド管３４が導電板５０の前面５２と同一平面であるように、各同軸プローブコネクタ２８はそのそれぞれの穴１１０に嵌められる。ハウジング４０、導電板５０、および同軸プローブコネクタ２８の任意の積み重ねおよび組立公差が、ハウジング４０の裏面４４に一体成形されたリブ１２２（図５でよく見られる）によって処理される。同軸プローブコネクタ２８がハウジング４０および導電板５０に完全に嵌められ、リブ１２２はフランジ１２０によって変形させられ、それでフランジ１２０とリブ１２２との間に少しの隙間もない。従って、組み立てられた場合、ハウジング４０および導電板５０は、少なくとも１つの同軸プローブコネクタ２８によって遊びまたは動き無しにしっかりと共に保持される。

図２に示すように、ハウジング４０、導電板５０、および同軸プローブコネクタ２８の組立を容易にするために、位置合わせポスト１３０がハウジング４０の後方面４８に設けられる。同軸プローブコネクタ２８の取付け時、導電板５０がハウジング４０に軽く保持され、かつ穴１１０、１１４は接近して整列するように、位置合わせポスト１３０は導電板５０の合わせ孔１３２と係合する。環状溝１３４が後方面４８の位置合わせポスト１３０の基部の周りに任意に設けられて、導電板５０がポスト１３０の上を滑る場合、ポスト１３０から任意の削られた材料を受け入れる。位置合わせポスト１３０はハウジング４０の後方面４８のどこにでも配置されるけれども、本発明による一実施形態では、位置合わせポスト１３０はハウジング４０の一端に隣接して配置される（例えば、非対称に）。そのように配置される場合、組み立てる人がどの穴がどの穴を受け入れるべきかを速く決定できるように、位置合わせポスト１３０は、組立体２０内のプローブ位置を識別するための目に見えるキーとして機能する。

図３を再び参照すると、接地プローブ２６を導電板５０に受け入れる穴１１２は、ハウジング４０のそれぞれの穴１１６と整列される。穴１１６は後方面４８からハウジング４０の裏面４４の方へ延在する。本発明による一実施形態では、穴１１６は傾斜した側壁１４０を含む。接地プローブ２６と傾斜した側壁１４０との間の抵触が接地プローブ２６を弾力的に変形させるように、傾斜した側壁１４０は、それがハウジング４０に挿入されるとき、接地プローブ２６と徐々に抵触する。接地プローブ２６はその所望位置に保持されるように、接地プローブ２６と傾斜した側壁１４０との間の抵触は、接地プローブ２６とハウジング４０との間の垂直力を維持する。このように、どんなプローブレセプタクルも必要ではなく、その素子の公差が公差積み重ねから除外され、デバイスの指向精度が改善される。

変形した接地プローブ２６によって生じる垂直力が、ハウジング４０の前方面４６と導電板５０の前面５２との間のあらゆる空間を減らすか、または除くように、垂直力は導電板５０をハウジング４０に強く押し当てるように向けられることは有利である。このように、ゼロクリアランス適合が組立体２０の横軸に沿って得られ、これはデバイスのバネプローブ指向精度を改善する。

本発明による代替実施形態では、変形した接地プローブ２６が同軸プローブコネクタ２８の導電性シールド管３４と接触する限りでは、穴１１４および１１６は組み合わされて単一空洞になる。

本発明によるさらに別の実施形態では、接地プローブ２６は「バナナベンド」と呼ばれるものを用いて製造され、穴１１６は傾斜した側壁を含む必要がない。バナナベンドは、接地バネプローブ２６が大き過ぎる穴１１６に挿入され、かつ摩擦嵌め合いによって穴１１６内に保持されるのを可能にする。傾斜した側壁１４０によって変形した真っ直ぐな接地プローブに類似して、少し変形した「バナナベンド」接地プローブによって生じる垂直力が、ハウジング４０の前方面４６と導電板５０の前面５２との間のあらゆる空間を減らすか、または除くように、垂直力は導電板５０をハウジング４０に強く押し当てるように向けられる。

本発明による他の実施形態では、導電板５０の形状および位置が図１〜５に示すものから変更される。例えば、図６に示すように、ハウジング１５２の絶縁部分が導電板１５０の２つ以上の側部にあるように、導電板１５０はハウジング１５２の外側縁の間に定置される。別の例では、図７に示すように、導電板２５０が、上述のような位置合わせポスト１３０の助けなしに、それ自体をハウジング２５２に正しく定置しやすいように、導電板２５０は非対称に成形され、ハウジング２５２に嵌められる。さらに別の実施形態では、図８に示すように、弾力的に変形した接地プローブ２６によって生じる垂直力が、ハウジング３５２の前方面３５４と導電板３５０の前面３５６との間のあらゆる空間を減らすか、または除くように、導電板３５０およびハウジング３５２を共に圧迫しやすいように、かつまた導電板３５０をハウジング３５２の後方面３５８に強く押し当てやすいように、導電板３５０は成形され、ハウジング３５２に嵌められる。

特定の実施形態が、好ましい実施形態の説明のために、本明細書に示され、説明されたけれども、幅広い種類の代替および／または同等の実施が、本発明の範囲を逸脱せずに示され、説明された特定の実施形態に置き換えられることが、当業者によって理解されるであろう。機械、電気機械、および電気技術分野の人は、本発明は幅広い種類の実施形態で実施されることを容易に理解するであろう。本出願は、本明細書に説明した好ましい実施形態の任意の改作または変形形態を包含するように意図されている。従って、本発明は特許請求の範囲およびそれの等価物だけによって制限されることがはっきりと意図されている。

２０．バネプローブブロック組立体、２４．パワーまたは電気バネプローブ、２６．接地バネプローブ、２８．同軸信号プローブコネクタ、３０．信号バネプローブ、３６．電気ワイヤ、３８．同軸ケーブル、４０．電気絶縁ハウジング、４２．正面、４４．裏面、４６．前方面、４８．後方面、５０．導電板、５２．前面、６０．インタフェース端、３４．シールド管、７０．穴、７２．プローブレセプタクル、７４．フランジ、９０．レセプタクルリテーナ、９２．凹み、１１０，１１２．（導電板の）穴、１１４，１１６．（ハウジングの）穴、１２０．フランジ、１２２．リブ、１４０．傾斜した側壁。

Claims

正面（４２）を備える電気的絶縁ハウジング（４０）であって、前記正面が前方面（４６）と後方面（４８）とを含む電気的絶縁ハウジング（４０）と、
ハウジング（４０）の正面（４２）の後方面（４８）に対して位置決めされる導電板（５０）と、
ハウジング（４０）の前方面（４６）から延在し、互いに電気的に分離される複数のプローブと、
導電板（５０）の前面（５２）から延在し、互いに電気的に接触する複数のプローブと、を備え、
前記導電板（５０）の前面（５２）から延在する複数のプローブの少なくとも１つが導電板（５０）の後面を通って電気的絶縁ハウジング（４０）内に延在し、当該ハウジング（４０）によって弾性的に撓ませられて前記導電板（５０）とハウジング（４０）との間に垂直力を形成する、プローブブロック組立体（２０）。
前記電気的絶縁ハウジング（４０）が、当該ハウジング（４０）内に延在する前記複数のプローブの少なくとも１つを弾性的に撓ませる傾斜した側壁（１４０）をさらに備えている、請求項１に記載のプローブブロック組立体（２０）。
少なくとも１つのプローブが、所定の位置にリテーナ（９０）によって保持されたリセプタクル（７０）内に着脱可能に保持されている、請求項１に記載のプローブブロック組立体（２０）。