JP2010155694A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送方向に隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット39間の間隙に、基板受け部材43を挿入できるように、隣接関係にあるいずれかの浮上ユニット39のうちの少なくとも一方が搬送方向へ移動可能に構成されていること。
【選択図】図1
Description
S 圧力溜まり層
1 浮上搬送装置
3 装置フレーム
11 搬送機構
13 支持アーム
15 第1搬送ローラ
17 移動用エアシリンダ
23 スライダ
25 第2搬送ローラ
27 回転用モータ
29 チャンバー
35 ファン
39 浮上ユニット
41 ノズル
43 フォーク
45 ガイド部材
47 移動用エアシリンダ
Claims (3)
- 基板を搬送方向へ浮上搬送する浮上搬送装置において、
装置フレームに設けられ、基板を前記搬送方向へ搬送する搬送機構と、
前記装置フレームに前記搬送方向に沿って間隔を置いて設けられ、内部が浮上ガスを供給する浮上ガス供給源に接続され、上面に浮上ガスを噴出するノズルが形成され、浮上ガスの圧力を利用して基板を浮上させる複数の浮上ユニットと、を具備し、
前記搬送方向に隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間の間隙に、複数の前記浮上ユニット側に基板を受渡したり又は複数の前記浮上ユニット側から基板を受取ったりする際に用いられる基板受け部材を挿入できるように、前記隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニットのうちの少なくとも一方が前記搬送方向へ移動可能に構成されていることを特徴とする浮上搬送装置。 - 前記隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニットのうちの少なくとも一方を前記搬送方向へ移動させる移動用アクチュエータと、を具備したことを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記装置フレームに前記搬送方向に間隔を置いて設けられ、浮上ガスを収容する複数のチャンバーと、を具備し、
複数の前記浮上ユニットが前記装置フレームに複数の前記チャンバーを介して設けられてあって、各浮上ユニットの内部が対応する前記チャンバーを介して前記浮上ガス供給源に接続されてあって、
前記隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニット間の間隙に前記基板受け具を挿入できるように、前記隣接関係にあるいずれかの前記浮上ユニットのうちの少なくとも一方に対応する前記チャンバーが前記搬送方向へ移動可能に構成され、前記移動用アクチュエータが前記対応する前記チャンバーを前記搬送方向へ移動させるものであることを特徴とする請求項2に記載の浮上搬送装置。
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---|---|---|---|
JP2008334894A JP5353235B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008334894A JP5353235B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 浮上搬送装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
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JP2008334894A Active JP5353235B2 (ja) | 2008-12-26 | 2008-12-26 | 浮上搬送装置 |
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Country | Link |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102615858A (zh) * | 2012-02-21 | 2012-08-01 | 瑞安市胜利机械有限公司 | 高速纸杯机的吹卸杯机构 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005178918A (ja) * | 2003-12-16 | 2005-07-07 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
JP2008218781A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
-
2008
- 2008-12-26 JP JP2008334894A patent/JP5353235B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008218781A (ja) * | 2007-03-06 | 2008-09-18 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置 |
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CN102615858A (zh) * | 2012-02-21 | 2012-08-01 | 瑞安市胜利机械有限公司 | 高速纸杯机的吹卸杯机构 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP5353235B2 (ja) | 2013-11-27 |
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