JP2010151560A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローブカード1であって、グランド用プローブ3とグランド用外部端子10の接続は、上記グランド用外部端子が外部端子用スルーホール6と接続され、上記グランド用プローブと接続されたプローブ用スルーホール5、上記グランド用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールとを上記基板内に設けたグランド用配線8によって接続することによって行われ、信号用プローブ2と信号用外部端子9の接続は、上記信号用外部端子が受動素子11を介して外部端子用スルーホールと接続され、上記受動素子を介して上記信号用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールと、上記信号用プローブと接続された上記プローブ用スルーホールとを上記基板内に設けた信号用配線7によって接続することによって行われる。
【選択図】図1
Description
2 信号用プローブ
3 グランド用プローブ
4 基板
5 プローブ用スルーホール
6 外部端子用スルーホール
7 信号用配線
8 グランド用配線
9 信号用外部端子
10 グランド用外部端子
11,11’,11’’ ダンピング抵抗
12 受動素子用スルーホール
13 テスタ
14 ポゴピン
Claims (4)
- 複数の信号用プローブとグランド用プローブ、および、外部のテスタに接続される信号用外部端子とグランド用外部端子が設けられた基板とを備えるプローブカードであって、
上記信号用プローブと上記信号用外部端子、および上記グランド用プローブと上記グランド用外部端子は、それぞれ電気的に接続されており、
上記グランド用プローブと上記グランド用外部端子の接続は、上記グランド用外部端子が外部端子用スルーホールと接続され、上記グランド用プローブと接続されたプローブ用スルーホールと、上記グランド用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールとを上記基板内に設けたグランド用配線によって接続することによって行われ、
上記信号用プローブと上記信号用外部端子の接続は、上記信号用外部端子が受動素子を介して外部端子用スルーホールと接続され、上記受動素子を介して上記信号用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールと、上記信号用プローブと接続された上記プローブ用スルーホールとを上記基板内に設けた信号用配線によって接続することによって行われることを特徴とするプローブカード。 - 上記信号用外部端子と上記グランド用外部端子が上記基板の表面に複数配置されており、上記信号用外部端子と上記グランド用外部端子の間に上記受動素子が配置されていることを特徴とする請求項1に記載のプローブカード。
- 複数の信号用プローブとグランド用プローブ、および、外部のテスタに接続される信号用外部端子とグランド用外部端子が設けられた基板とを備えるプローブカードであって、
上記信号用プローブと上記信号用外部端子、および上記グランド用プローブと上記グランド用外部端子は、それぞれ電気的に接続されており、
上記グランド用プローブと上記グランド用外部端子の接続は、上記グランド用外部端子が外部端子用スルーホールと接続され、上記グランド用プローブと接続されたプローブ用スルーホールと、上記グランド用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールとを上記基板内に設けたグランド用配線によって接続することによって行われ、
上記信号用プローブと上記信号用外部端子の接続は、上記信号用外部端子が外部端子用スルーホールと接続され、上記信号用外部端子と接続された上記外部端子用スルーホールと、上記信号用プローブと接続された上記プローブ用スルーホールとを上記基板内に設けた信号用配線によって接続することによって行われ、上記基板内に受動素子を埋め込み、上記受動素子を上記信号用配線の途中に配置することを特徴とするプローブカード。 - 上記受動素子として、抵抗、コンデンサ、ダイオード、インダクタのいずれかを用いることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008328951A JP2010151560A (ja) | 2008-12-25 | 2008-12-25 | プローブカード |
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JP2010151560A true JP2010151560A (ja) | 2010-07-08 |
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JP2008328951A Pending JP2010151560A (ja) | 2008-12-25 | 2008-12-25 | プローブカード |
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JP (1) | JP2010151560A (ja) |
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-
2008
- 2008-12-25 JP JP2008328951A patent/JP2010151560A/ja active Pending
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