JP2008304234A - プローブカード - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
プローブカードが、検査対象物に接触して電流を供給するプローブ、外部から供給される電流を受ける電源電極、上記プローブと上記電源電極とを接続する電気配線、および上記電気配線に設けられ、上記外部から供給される電流が所定値よりも大きくなった場合に、上記プローブに供給される電流を制限する電流制限手段を備える。
【選択図】図2
Description
2 プローブ
3 電流制限手段
4 電源電極
5 テストヘッド
6 保護回路
7 電気配線
8 テスタ
9 半導体ウエハ
10 コンデンサ
11 FET
12 コントロールバッファ
13 電流検出抵抗
Claims (3)
- 検査対象物に接触して電流を供給するプローブ、
外部から供給される電流を受ける電源電極、
上記プローブと上記電源電極とを接続する電気配線、
および上記電気配線に設けられ、上記外部から供給される電流が所定値よりも大きくなった場合に、上記プローブに供給される電流を制限する電流制限手段を備えたことを特徴とするプローブカード。 - 上記電気配線とグランドの間にコンデンサが接続されており、上記電流制限手段が上記コンデンサよりも上記プローブに近い位置に設けられていることを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
- 上記電流制限手段が、100μ秒以内に短絡時電流値の1/50以下に電流を制限することを特徴とする請求項1または2記載のプローブカード。
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