JP5351389B2 - プローブカード - Google Patents
プローブカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP5351389B2 JP5351389B2 JP2007149926A JP2007149926A JP5351389B2 JP 5351389 B2 JP5351389 B2 JP 5351389B2 JP 2007149926 A JP2007149926 A JP 2007149926A JP 2007149926 A JP2007149926 A JP 2007149926A JP 5351389 B2 JP5351389 B2 JP 5351389B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- current
- probe card
- limiting means
- power supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
2 プローブ
3 電流制限手段
4 電源電極
5 テストヘッド
6 保護回路
7 電気配線
8 テスタ
9 半導体ウエハ
10 コンデンサ
11 FET
12 コントロールバッファ
13 電流検出抵抗
Claims (2)
- 検査対象物に接触して電流を供給するプローブ、
外部から供給される電流を受ける電源電極、
上記プローブと上記電源電極とを接続する電気配線、
および上記電気配線に設けられ、上記外部から供給される電流が基準値よりも大きくなった場合に、上記プローブに供給される電流を、100μ秒以内に短絡時電流値の1/50以下の電流値に制限し、その後、制限された電流値で電流が上記プローブに供給されるようにする電流制限手段を備えることを特徴とするプローブカード。 - 上記電気配線とグランドの間にコンデンサが接続されており、上記電流制限手段が上記コンデンサよりも上記プローブに近い位置に設けられていることを特徴とする請求項1記載のプローブカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149926A JP5351389B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | プローブカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007149926A JP5351389B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | プローブカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008304234A JP2008304234A (ja) | 2008-12-18 |
JP5351389B2 true JP5351389B2 (ja) | 2013-11-27 |
Family
ID=40233098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007149926A Active JP5351389B2 (ja) | 2007-06-06 | 2007-06-06 | プローブカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5351389B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7977959B2 (en) * | 2007-09-27 | 2011-07-12 | Formfactor, Inc. | Method and apparatus for testing devices using serially controlled intelligent switches |
JP2010151560A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63179507A (ja) * | 1987-01-21 | 1988-07-23 | 日立エーアイシー株式会社 | 積層セラミツクコンデンサ |
JPH10288628A (ja) * | 1997-04-14 | 1998-10-27 | Fuji Electric Co Ltd | プローブカード |
JP2002124552A (ja) * | 2000-10-13 | 2002-04-26 | Seiko Instruments Inc | プローブカード及び半導体検査装置 |
JP4020305B2 (ja) * | 2002-08-12 | 2007-12-12 | 株式会社シバソク | 試験装置 |
US7609080B2 (en) * | 2005-03-22 | 2009-10-27 | Formfactor, Inc. | Voltage fault detection and protection |
-
2007
- 2007-06-06 JP JP2007149926A patent/JP5351389B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008304234A (ja) | 2008-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4762044B2 (ja) | 負荷回路の保護装置 | |
CN111279571B (zh) | 高温熔丝电路 | |
JP4558601B2 (ja) | 試験装置 | |
JP4415131B2 (ja) | 電池保護装置及び電池保護回路 | |
JP4929020B2 (ja) | 負荷回路の過電流保護装置 | |
US9411016B2 (en) | Testing of a transient voltage protection device | |
US10250029B2 (en) | Device overvoltage detector | |
JP2009130944A (ja) | 電線保護方法および電線保護装置 | |
EP1993182A2 (en) | Protection device for load circuits | |
US20140002100A1 (en) | Surge protection circuit and method for testing a surge protection circuit | |
JP6412092B2 (ja) | 突入電流防止回路、突入電流防止方法、及び突入電流防止用プログラム | |
JP2010210238A (ja) | プローブカード、それを備えた半導体検査装置及びプローブカードのヒューズチェック方法 | |
JP2019506834A (ja) | 検電器及びシグナルヒューズを用いたmosfetリレー保護装置及び保護方法 | |
JP2008031981A (ja) | 内燃機関の異常検出装置 | |
JP4477607B2 (ja) | 内燃機関用点火装置 | |
JP5351389B2 (ja) | プローブカード | |
JP2010104079A (ja) | 負荷駆動装置 | |
JP5553713B2 (ja) | 負荷駆動回路の保護装置 | |
JP2002124552A (ja) | プローブカード及び半導体検査装置 | |
JP2014004996A (ja) | 車両用の人体保護手段のためのトリガ手段を識別するための方法、診断するための方法、およびトリガするための方法、並びに人体保護手段のためのトリガ手段を識別するための装置、およびトリガするための装置 | |
KR102215950B1 (ko) | 전압-제한기 모니터링 | |
JP2007189844A (ja) | 半導体素子保護回路 | |
US11824345B2 (en) | Methods and apparatus to improve performance of power path protection devices | |
JP7419948B2 (ja) | 内燃機関の点火装置 | |
JP5684871B2 (ja) | 負荷回路の保護装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100401 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111121 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20111220 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120316 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120406 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20120427 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130823 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5351389 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |