JP2010150594A - 反応性スパッタリング方法及び光学部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】反応性スパッタリング方法が、真空チャンバ内に不活性ガスと反応性ガスとを導入し、該真空チャンバ内の成膜基体に、スパッタリングターゲットと反応性ガスとの化合物膜を形成する反応性スパッタリング方法で、所望の成膜を行うスパッタリングターゲットへの印加電力よりも低い印加電力で、遷移状態となるような印加電圧を設定した状態で放電を開始後、印加電圧及び反応性ガスの導入量を制御することで遷移状態を維持しつつ、所望の成膜を行う投入電力とスパッタリングターゲットの反応状態に移行させるようにする。
【選択図】図4
Description
[化合物状態]は、使用するターゲット表面全体を化合物化させるのに十分な量の反応性ガスがチャンバ内に存在し、ターゲット表面が化合物化されている状態である。そのため、成膜速度は非常に遅いが、状態としては非常に安定で、成膜物は十分に化合物化されている。
真空チャンバ内に不活性ガスと反応性ガスとを導入し、該真空チャンバ内の成膜基体に、スパッタリングターゲットと前記反応性ガスとの化合物膜を形成する反応性スパッタリング方法において、所望の成膜を行う前記スパッタリングターゲットへの印加電力よりも低い印加電力で、遷移状態となるような印加電圧を設定した状態で放電を開始後、前記印加電圧及び前記反応性ガスの導入量を制御することで遷移状態を維持しつつ、所望の成膜を行う投入電力とスパッタリングターゲットの反応状態に移行させるようにしたことを特徴とする方法であり、
さらに、遷移状態を維持しつつ所望の成膜を行う投入電力とスパッタリングターゲットの反応状態に移行させる際、前記印加電圧を段階的に上昇させると共に前記反応性ガスの導入量を制御して、順々に各印加電圧におけるスパッタリングターゲットの反応状態に移って行くようにすることを特徴とする方法であり、
さらに、前記ターゲットが、アルミニウムまたは珪素を含むものであり、前記反応性ガスが酸素であることを特徴とする方法であり、
さらに、放電を開始させる際、放電を促すための点火手段を用いることを特徴とする方法であり、
また、光学部材が、前記方法の少なくとも1つの方法を用いて形成した透明光学膜が、成膜基体表面に被着されていることを特徴とするものである。
スパッタリング装置:芝浦メカトロニクス(株)のCFS−4EP−LL
真空チャンバ容積 :幅315×高さ317×奥行228 [mm]
真空排気系 :ターボ分子ポンプ、油回転真空ポンプ
スパッタ方式 :マグネトロンスパッタ
ターゲットサイズ :直径76.2×厚さ5 [mm]
の諸元を有する装置を用い、他の共通条件を、
不活性ガス :アルゴン
反応性ガス :酸素
チャンバ内圧力 :8×10−4Pa (到達真空度)
として反応性スパッタリングの特性確認を行うと共に、スパッタリングターゲット4を珪素(Si)とし、成膜基体7のガラス板表面に酸化物である二酸化シリコン(SiO2)の化合物膜12を形成した。
3…プラズマ
4…スパッタリングターゲット
5…反応性ガス供給機構
7…成膜基体
9…制御部
Claims (5)
- 真空チャンバ内に不活性ガスと反応性ガスとを導入し、該真空チャンバ内の成膜基体に、スパッタリングターゲットと前記反応性ガスとの化合物膜を形成する反応性スパッタリング方法において、
所望の成膜を行う前記スパッタリングターゲットへの印加電力よりも低い印加電力で、遷移状態となるような印加電圧を設定した状態で放電を開始後、
前記印加電圧及び前記反応性ガスの導入量を制御することで遷移状態を維持しつつ、所望の成膜を行う投入電力とスパッタリングターゲットの反応状態に移行させるようにしたことを特徴とする反応性スパッタリング方法。 - 遷移状態を維持しつつ所望の成膜を行う投入電力とスパッタリングターゲットの反応状態に移行させる際、前記印加電圧を段階的に上昇させると共に前記反応性ガスの導入量を制御して、順々に各印加電圧におけるスパッタリングターゲットの反応状態に移って行くようにすることを特徴とする請求項1記載の反応性スパッタリング方法。
- 前記ターゲットが、アルミニウムまたは珪素を含むものであり、前記反応性ガスが酸素であることを特徴とする請求項1記載の反応性スパッタリング方法。
- 放電を開始させる際、放電を促すための点火手段を用いることを特徴とする請求項1記載の反応性スパッタリング方法。
- 前記請求項1乃至請求項4記載の少なくとも1つの反応性スパッタリング方法を用いて形成した透明光学膜が、成膜基体表面に被着されていることを特徴とする光学部材。
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- 2008-12-25 JP JP2008329438A patent/JP2010150594A/ja active Pending
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