JP2010141104A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマ処理装置の誘電体窓103に温風ユニット125を接続し、誘電体窓103あるいはシャワープレート102の温度を温度センサー128により計測した温度信号を元に、温風ユニット125を制御して誘電体窓103あるいはシャワープレート102の温度制御を行う。
【選択図】図1
Description
また、本実施例では、温風ユニット125を用いた温度制御の例について記載したが、赤外線計測形温度モニター128で誘電体窓103又はシャワープレート102の温度のみを監視し、装置状態を管理することで、実際の処理の可否を判断することも、デバイス生産における歩留まりを向上させる点で有効である。
102 シャワープレート
103 誘電体窓
104 処理室
105 ガス供給装置
106 真空排気口
107 導波管
108 空洞共振器
109 電磁波発生用電源
110 磁場発生コイル
111 ウエハ載置用電極
112 ウエハ
113 マッチング回路
114 高周波電源
115 フィルター
116 静電吸着用直流電源
117 冷媒用流路
118 温調器
119 ヒーター
120 ヒーター制御器
121 温度センサー
122 ヒーター
123 ヒーター制御器
124 温度センサー
125 温風ユニット
126 温風排気口
127 温風ユニット制御器
128 赤外線計測型温度モニター
129 赤外線計測用マーカー
130 中央温度制御ユニット
131 エッチング装置制御ユニット
132 断熱層
133 金属製メッシュ
134 誘電体プレート
401 プラズマ生成用高周波電源
402 整合器
403 ループアンテナ
404 カバー
Claims (11)
- 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な誘電体窓と真空容器により密閉された処理室と、該処理室内へガスを供給するガス供給装置と、被処理材を載置可能でかつ温度制御器により温度制御が可能な基板電極と、該誘電体窓よりプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段と、該高周波導入手段に接続された高周波電源とからなるプラズマ処理装置において、
該誘電体窓温度をモニターするための放射型温度センサーを有し、該温度センサーにより測定した信号を元に、装置状態の監視が可能なことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な誘電体窓と真空容器により密閉された処理室と、該処理室内へガスを供給するガス供給装置と、被処理材を載置可能でかつ温度制御器により温度制御が可能な基板電極と、該誘電体窓よりプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段と、該高周波導入手段に接続された高周波電源とからなるプラズマ処理装置において、
該誘電体窓温度をモニターする温度センサーおよび該誘電体窓に温風を導入する温風ファンユニットを有し、該温度センサーにより測定した信号を元に、該誘電体窓の温度調節が可能なことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項2に記載のプラズマ処理装置において、該誘電体窓はカバーにより密閉され、その内部へ該温風ファンユニットにより発生する気体を出し入れするための導入口および排気口を有することを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項3に記載のプラズマ処理装置において、該排気口は該温風ファンユニットに接続され、該温風ファンユニットから発生する気体が循環する構造であることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項2に記載のプラズマ処理装置において、該温度センサーが赤外線計測型であることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項5に記載のプラズマ処理装置において、該誘電体窓より該処理室内に誘電体であるシャワープレートを有し、該シャワープレートの一部に該温度センサーにて使用する赤外線が透過し難い物質である赤外計測用マーカーを付着し、該温度センサーにて該シャワープレートの温度を測定することを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項2に記載のプラズマ処理装置において、磁場を形成する手段を有し、該プラズマを発生する電磁波がマイクロ波であり、該誘電体窓を密閉するカバーが該マイクロ波の伝送路であることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項7に記載のプラズマ処理装置において、該誘電体窓よりプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段の導波管と該誘電体窓に温風を導入する温風ファンユニットとが接続されており、該温風ファンユニットの送風口には、高周波電磁波が該温風ファンユニット内に進入することを防止する金属製のメッシュが設けられ、該導波管には、該導波管内に導入された温風が該高周波電源に流入することを防止する誘電体プレートが設けられていることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な誘電体窓と真空容器により密閉された処理室、該処理室内へガスを供給するガス供給装置、被処理材を載置可能でかつ温度制御器により温度制御が可能な基板電極、該誘電体窓よりプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段と該高周波導入手段に接続された高周波電源からなるプラズマ処理装置において、
該誘電体窓温度をモニターする第1の温度センサー、該真空容器壁温度をモニターする第2の温度センサー、及び、該基板電極温度をモニターする第3の温度センサーを有し、
該誘電体窓に温風を導入する温風ファンユニットである第1の温度制御機構、該真空容器壁に接続された第2の温度制御機構、及び、該基板電極に接続された第3の温度制御機構を有し、
該第1ないし第3の温度センサーはエッチング装置全体を制御するエッチング装置制御ユニットに接続された中央温度制御ユニットに接続され、該第1ないし第3の温度センサーにて測定された温度信号は該中央温度制御ユニットにて信号処理され、該第1ないし第3の温度センサーの測定部位に直接接続された該第1ないし第3の温度制御機構を独立的に制御、又は該第1ないし第3の温度センサーの測定部位に直接接続されていない該第1ないし第3の温度制御機構を複合的に制御することが可能であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項9に記載のプラズマ処理装置において、プラズマ処理中以外は、該第1ないし第3の温度制御機構は該誘電体窓の温度変化を極小とするように制御することを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項9または10に記載のプラズマ処理装置において、該処理室と該真空排気装置が接続されている部位との間に、該真空容器を構成する部材の熱伝導率よりも低い熱伝導率を有する部材を設置することを特徴とするプラズマ処理装置。
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