JP2012049393A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】誘電体窓103に温風ヒーター126を接続し、誘電体窓103温度を温度センサー128により計測された温度信号を元に誘電体窓103の温度制御を行う。
【選択図】図1
Description
前記温度センサーにより測定した信号を元に、前記温風ヒーターをONもしくはOFFすることにより、前記誘電体窓の温度調節が可能なことを特徴とする。
102 シャワープレート
103 誘電体窓
104 処理室
105 ガス供給装置
106 真空排気口
107 導波管
108 空洞共振器
109 電磁波発生用電源
110 磁場発生コイル
111 ウエハ載置用電極
112 ウエハ
113 マッチング回路
114 高周波電源
115 フィルター
116 静電吸着用直流電源
117 冷媒用流路
118 温調器
119 ヒーター
120 ヒーター制御器(第3の温度制御機構)
121 第3の温度センサー
122 ヒーター
123 ヒーター制御器(第2の温度制御機構)
124 第2の温度センサー
125 パイプ
126 温風ヒーター
127 温風ヒーター制御器(第1の温度制御機構)
128 赤外線計測型温度モニター(第1の温度センサー)
129 冷却水流路
130 中央温度制御ユニット
131 エッチング装置制御ユニット
133 誘電体プレート
134 ガス導入穴
135 赤外線計測用マーカー
108 空洞共振器
151 空間
160 ガスライン
Claims (9)
- 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な真空容器、該真空容器を誘電体窓により密閉して形成された処理室、前記処理室内へガスを供給するガス供給装置、被処理材を載置可能でかつ温度制御器により温度制御が可能な基板電極、前記誘電体窓と空洞共振器とで密閉された空間内にプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段と該高周波導入手段に接続された高周波電源からなるプラズマ処理装置において、
前記誘電体窓と前記空洞共振器との空間内部へドライエアを導入するガスラインと、前記誘電体窓温度をモニターする温度センサーと、前記ドライエアを出し入れするための導入口、排気口と、前記ドライエアを加熱する温風ヒーターを有し、
前記温度センサーにより測定した信号を元に、前記温風ヒーターをONもしくはOFFすることにより、前記誘電体窓の温度調節が可能なことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、前記温度センサーが赤外線計測型であることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1又は2記載のプラズマ処理装置において、前記高周波電源から発生する電磁波がマイクロ波であり、前記誘電体窓を密閉する空洞共振器が該マイクロ波の伝送路であることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1記載のプラズマ処理装置において、前記空洞共振器にドライエアのガス導入穴を設けるとともに該ガス導入穴の高さ方向に15°〜45°の角度を持たせることにより、導入ガスの熱伝達率を向上させることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1記載のプラズマ処理装置において、前記空洞共振器にドライエアのガス導入穴を設けるとともに該ガス導入穴の周方向に0°〜45°の角度をもたせることにより前記誘電体窓の面内温度均一性を向上させることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、前記空洞共振器に前記高周波導入手段としての導波管を設け、この導波管に、マイクロ波を減衰させ、且排気流量を満たすことができるパイプ形状の排気口を設けることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1に記載のプラズマ処理装置において、前記空洞共振器に前記高周波導入手段としての導波管を設け、該導波管への熱影響を抑制するための冷却水流路を備え、その位置は、空洞共振器上部にあり、加えて、前記導波管、前記温度センサーへの熱を遮断するため、それらの部品より外側、前記ガス導入穴よりも内側にあることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 真空排気装置が接続され内部を減圧可能な真空容器、該真空容器を覆う誘電体窓により密閉された処理室、該処理室内へガスを供給するガス供給装置、被処理材を載置可能でかつ温度制御器により温度制御が可能な基板電極、前記誘電体窓よりプラズマを発生するための電磁波を導入するための高周波導入手段と該高周波導入手段に接続された高周波電源からなるプラズマ処理装置において、
前記誘電体窓温度をモニターする第1の温度センサー、前記真空容器壁温度をモニターする第2の温度センサー、前記基板電極温度をモニターする第3の温度センサーを有し、
前記誘電体窓に温風を導入する温風ヒーターに接続された第1の温度制御機構、前記真空容器壁に接続された第2の温度制御機構、前記基板電極に接続された第3の温度制御機構を有し、
前記第1、第2、第3の温度センサーはエッチング装置全体を制御するエッチング装置制御ユニットに接続された温度制御ユニットに接続され、前記第1、第2、第3の温度センサーにて測定された温度信号は前記温度制御ユニットにて信号処理され、該第1、第2、第3の温度センサーの測定部位に直接接続された前記第1、第2、第3の温度制御機構を独立的に制御、又は該第1、第2、第3の温度センサーの測定部位に直接接続されていない第1、第2、第3の温度制御機構を複合的に制御することが可能であることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項8記載のプラズマ処理装置において、プラズマ処理中以外は前記第1、第2、第3の温度制御機構は前記誘電体窓の温度変化を極小とするように制御することを特徴とするプラズマ処理装置。
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