JP2008226857A - プラズマ処理方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空容器1内にガス供給装置2より所定の反応ガスを導入しつつ真空排気装置3で排気を行い、真空容器1内を所定の圧力に保ちながら、高周波電源4により高周波電力を、誘電体窓5の外側に配置された高周波電極6に印加すると、真空容器1内にプラズマが発生し、基板電極7上に載置された基板8に対してプラズマ処理を行うことができる。このとき、誘電体窓5の内部に設けられた流路11に流体を流すことにより、誘電体窓5の温度を制御することができる。
【選択図】図1
Description
誘電体窓の内部にその全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに設けられた流路に対して、一筆書き状かつ一続きの流路の一端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流入口と、一筆書き状かつ一続きの流路の他端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流出口とを通して、温度制御された流体を流通させることで、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流体の流れにより、誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御して、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制しながら、基板または基板上の膜に対するプラズマ処理を行うことを特徴とする、プラズマ処理方法を提供する。
誘電体窓の内部にその全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに設けられた流路に対して、複数の流路のうちの平面的に最外周の流路よりも内側に配置された一続きの流路の一端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流入口に、コイル状電極の間を通して配置された流体の循環通路から温度制御された流体を流すとともに、一続きの流路の他端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流出口とを通して、流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流体の流れにより、誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御して、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制しながら、基板または基板上の膜に対するプラズマ処理を行うことを特徴とする、プラズマ処理方法を提供する。
その内部に基板が保持される真空容器と、
円盤形状を有し、その内部に全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに形成された流路であって、一筆書き状かつ一続きの流路の一端に設けられかつその処理室外側表面に形成された流入口と、一筆書き状かつ一続きの流路の他端に設けられかつその処理室外側表面に形成された流出口とを通して、流体を流通可能な流路を有し、かつ基板に対向するように設けられて真空容器を密閉して真空容器の内部に処理室を形成する誘電体窓と、
処理室内に反応ガスを供給するガス供給装置と、
処理室内を排気して処理室内の圧力を略一定に保って真空化する真空排気装置と、
処理室の外側に誘電体窓を挟んで基板と対向するように配置された高周波電極に高周波電力を印加して、高周波電極より誘電体窓を通して処理室内に高周波を発生させる高周波電源と、
流路の流入口および流出口と接続された流体の循環経路を有し、プラズマ処理の際に、循環通路から流入口を通して誘電体窓の流路に温度制御された流体を流すとともに、流出口を通して流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流体の流れにより誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御し、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置とを備えることを特徴とする、プラズマ処理装置を提供する。
その内部に基板が保持される真空容器と、
円盤形状を有し、その内部に全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに形成された流路であって、複数の流路のうちの平面的に最外周の流路よりも内側に配置された一続きの流路の一端に設けられかつその処理室外側表面に配置された流入口を通して、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流れにて、一続きの流路の他端に設けられかつその処理室外側表面に配置された流出口まで流体を流通可能な流路を有し、かつ基板に対向するように設けられて真空容器を密閉して真空容器の内部に処理室を形成する誘電体窓と、
処理室内に反応ガスを供給するガス供給装置と、
処理室内を排気して処理室内の圧力を略一定に保って真空化する真空排気装置と、
処理室の外側に誘電体窓を挟んで基板と対向するように設けられ、断面視においてその中央部分に比してその外周部分が密となるように配置されたコイル状電極に高周波電力を印加して、コイル状電極より誘電体窓を通して処理室内に高周波を発生させる高周波電源と、
コイル状電極の間を通して配置され、流路の流入口および流出口と接続された流体の循環経路を有し、プラズマ処理の際に、循環通路から流入口を通して誘電体窓の流路に温度制御された流体を流すとともに、流出口を通して流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流体の流れにより誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御し、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置とを備えることを特徴とする、プラズマ処理装置を提供する。
温度制御付流体供給装置は、温度センサにより計測された誘電体窓の表面または内部の温度に基づいて誘電体窓の温度が堆積物の形成及び剥離を抑制可能な温度範囲内となるように流体の温度を制御しても良い。
プラズマ処理の際に、インナーチャンバの流路に温度制御された流体を流してインナーチャンバの温度を制御し、インナーチャンバへの堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置をさらに備えるようにしても良い。
上記誘電体窓の内部に設けられた流路に温度制御された流体を流して上記誘電体窓の温度を制御し、上記誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を制御可能であることを特徴とするプラズマ処理方法を提供する。
その内部に上記基板が保持される真空容器と、
その内部に流体を流通可能な流路を有し、かつ上記基板に対向するように設けられて上記真空容器を密閉して上記真空容器の内部に上記処理室を形成する誘電体窓と、
上記処理室内に反応ガスを供給するガス供給装置と、
上記処理室内を排気して上記処理室内の圧力を略一定に保って真空化する真空排気装置と、
上記処理室の外側に上記誘電体窓を通して上記基板と対向するように設けられた高周波電極に高周波電力を印加して、上記高周波電極より上記誘電体窓を通して上記処理室内に高周波を発生させる高周波電源と、
上記プラズマ処理の際に、上記誘電体窓の上記流路に温度制御された上記流体を流して上記誘電体窓の温度を制御し、上記誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制可能である温度制御付流体供給装置とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置を提供する。
上記温度制御付流体供給装置は、上記温度センサにより計測された上記誘電体窓の表面または内部の温度に基づいて上記誘電体窓の温度が上記堆積物の形成及び剥離を抑制可能な温度範囲内となるように上記流体の温度を制御する第14態様から第19態様のいずれか1つに記載のプラズマ処理装置を提供する。
プラズマ処理の際に、上記インナーチャンバの上記流路に温度制御された上記流体を流して上記インナーチャンバの温度を制御し、上記インナーチャンバへの堆積物の形成及び剥離を抑制可能である温度制御付流体供給装置をさらに備える第14態様から第20態様のいずれか1つに記載のプラズマ処理装置を提供する。
Claims (10)
- 円盤形状の誘電体窓を備えて密閉される真空容器内に基板を配置して、誘電体窓を挟んで基板に対向して真空容器外に配置された高周波電極に高周波電力を印加して、真空容器内にプラズマを発生させ、基板または基板上の膜をプラズマ処理するプラズマ処理方法であって、
誘電体窓の内部にその全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに設けられた流路に対して、一筆書き状かつ一続きの流路の一端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流入口と、一筆書き状かつ一続きの流路の他端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流出口とを通して、温度制御された流体を流通させることで、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流体の流れにより、誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御して、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制しながら、基板または基板上の膜に対するプラズマ処理を行うことを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 円盤形状の誘電体窓を備えて密閉される真空容器内に基板を配置して、基板に対向して真空容器外に誘電体窓の外側に設けられ、断面視においてその中央部分に比してその外周部分が密となるように配置されたコイル状電極に高周波電力を印加して、真空容器内にプラズマを発生させ、基板または基板上の膜をプラズマ処理するプラズマ処理方法であって、
誘電体窓の内部にその全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに設けられた流路に対して、複数の流路のうちの平面的に最外周の流路よりも内側に配置された一続きの流路の一端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流入口に、コイル状電極の間を通して配置された流体の循環通路から温度制御された流体を流すとともに、一続きの流路の他端に設けられかつ誘電体窓の処理室外側表面に配置された流出口とを通して、流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流体の流れにより、誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御して、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制しながら、基板または基板上の膜に対するプラズマ処理を行うことを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 流体の温度を計測して、計測された流体の温度に基づいて流体の温度を制御して誘電体窓の温度を堆積物の形成及び剥離を抑制可能な温度範囲内に制御する、請求項1または2に記載のプラズマ処理方法。
- 誘電体窓の表面または内部の温度を計測して、計測された誘電体窓の温度に基づいて誘電体窓の温度が堆積物の形成及び剥離を抑制可能な温度範囲内となるように流体の温度を制御する、請求項1から3のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
- 真空容器の内側側壁に設けられたインナーチャンバの内部に配置された流路に、温度制御された流体を流してインナーチャンバの温度を制御し、インナーチャンバへの堆積物の形成及び剥離を抑制しながらプラズマ処理を行う、請求項1から4のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
- プラズマ処理を実施した後、プラズマ非処理状態を経て、その後、さらにプラズマ処理を行う場合に、プラズマ非処理状態において、誘電体窓の流路に流体を流通させて、誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御して、プラズマ処理時とプラズマ被処理時の誘電体窓の温度変化を抑制する、請求項1から5のいずれか1つに記載のプラズマ処理方法。
- 真空化された処理室内に高周波を誘導させてプラズマを発生させて、処理室内の基板に対しプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、
その内部に基板が保持される真空容器と、
円盤形状を有し、その内部に全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに形成された流路であって、一筆書き状かつ一続きの流路の一端に設けられかつその処理室外側表面に形成された流入口と、一筆書き状かつ一続きの流路の他端に設けられかつその処理室外側表面に形成された流出口とを通して、流体を流通可能な流路を有し、かつ基板に対向するように設けられて真空容器を密閉して真空容器の内部に処理室を形成する誘電体窓と、
処理室内に反応ガスを供給するガス供給装置と、
処理室内を排気して処理室内の圧力を略一定に保って真空化する真空排気装置と、
処理室の外側に誘電体窓を挟んで基板と対向するように配置された高周波電極に高周波電力を印加して、高周波電極より誘電体窓を通して処理室内に高周波を発生させる高周波電源と、
流路の流入口および流出口と接続された流体の循環経路を有し、プラズマ処理の際に、循環通路から流入口を通して誘電体窓の流路に温度制御された流体を流すとともに、流出口を通して流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流体の流れにより誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御し、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置とを備えることを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 真空化された処理室内に高周波を誘導させてプラズマを発生させて、処理室内の基板に対しプラズマ処理を行うプラズマ処理装置において、
その内部に基板が保持される真空容器と、
円盤形状を有し、その内部に全面に渡って円盤形状の周方向沿いに平面的に円弧状の形状を有する複数の流路を繋ぎ合わせて構成されかつ一筆書き状に一続きに形成された流路であって、複数の流路のうちの平面的に最外周の流路よりも内側に配置された一続きの流路の一端に設けられかつその処理室外側表面に配置された流入口を通して、円盤形状の周方向沿いの流路に沿った流れにて、一続きの流路の他端に設けられかつその処理室外側表面に配置された流出口まで流体を流通可能な流路を有し、かつ基板に対向するように設けられて真空容器を密閉して真空容器の内部に処理室を形成する誘電体窓と、
処理室内に反応ガスを供給するガス供給装置と、
処理室内を排気して処理室内の圧力を略一定に保って真空化する真空排気装置と、
処理室の外側に誘電体窓を挟んで基板と対向するように設けられ、断面視においてその中央部分に比してその外周部分が密となるように配置されたコイル状電極に高周波電力を印加して、コイル状電極より誘電体窓を通して処理室内に高周波を発生させる高周波電源と、
コイル状電極の間を通して配置され、流路の流入口および流出口と接続された流体の循環経路を有し、プラズマ処理の際に、循環通路から流入口を通して誘電体窓の流路に温度制御された流体を流すとともに、流出口を通して流路から循環通路へ流体を流出させることで、円盤形状の周方向沿いの流体の流れにより誘電体窓の外周温度を一定の範囲内に保つように制御し、誘電体窓への堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置とを備えることを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 誘電体窓の表面または内部の温度を計測する温度センサをさらに備え、
温度制御付流体供給装置は、温度センサにより計測された誘電体窓の表面または内部の温度に基づいて誘電体窓の温度が堆積物の形成及び剥離を抑制可能な温度範囲内となるように流体の温度を制御する、請求項7または8に記載のプラズマ処理装置。 - その内部に流体を流通可能な流路を有するインナーチャンバが、真空容器の内側側壁に設けられ、
プラズマ処理の際に、インナーチャンバの流路に温度制御された流体を流してインナーチャンバの温度を制御し、インナーチャンバへの堆積物の形成及び剥離を抑制する温度制御付流体供給装置をさらに備える、請求項7から9のいずれか1つに記載のプラズマ処理装置。
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